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平成２１年９月１７日判決言渡
平成２０年（行ケ）第１０３５２号審決取消請求事件
口頭弁論終結日平成２１年９月１０日
判決
原告X
原告高砂熱学工業株式会社
原告浜松ホトニクス株式会社
原告ら訴訟代理人弁理士長谷川芳樹
同寺崎史朗
同柴田昌聰
同石田悟
同城戸博兒
訴訟代理人弁護士岡崎士朗
被告スンチェ・ハイテック・
カンパニー・リミテッド
訴訟代理人弁理士大槻聡
主文
１原告らの請求を棄却する。
２訴訟費用は原告らの負担とする。
事実及び理由
第１請求
特許庁が無効２００６−８０２０８号事件について平成２０年８月１９日に
した審決を取り消す。
第２事案の概要
１本件は，原告らが特許権者であり発明の名称を「帯電物体の中和構造，クリ
ーンルーム，搬送装置，居住室，植物栽培室，正負の電荷発生方法，帯電物体
の中和方法」とする特許第２７４９２０２号の請求項１３∼１５について，被
，（，告が特許無効審判請求をしたところ特許庁が原告らがなした訂正請求１３
１５を削除した上，１４の内容を変更して１３とする等）を認めた上，上記訂
正後の請求項１３に記載された発明についての特許を無効とする旨の審決をし
たことから，原告らがその取消しを求めた事案である。
２争点は，上記訂正後の請求項１３に係る発明が下記刊行物との関係で進歩性
（特許法２９条２項）を有するか，である。
記
・刊行物１：特開平１−２７４３９６号公報（発明の名称「ガスイオン化方法
」，，及び装置出願人イオン・システムス・インコーポレーテッド
公開日平成元年１１月２日，甲１。以下「引用刊行物１」とい
い，そこに記載された発明を「引用発明」という）。
・刊行物２：米国特許第３８６２４２７号明細書（公刊日昭和５０年１月２
１日，甲２。以下「引用刊行物２」という）。
・刊行物３：特公昭３９−１７０１号公報（発明の名称「静電気除去体，出」
願人A，公告日昭和３９年２月２１日，甲３。以下「引用刊行
物３」という）。
・刊行物４：特開昭５８−１９７６９７号公報（発明の名称「光照射による除
電方法，出願人春日電機株式会社，公開日昭和５８年１１月」
１７日，甲４。以下「引用刊行物４」という）。
・刊行物５：特開平１−２８１１９０号公報（発明の名称「液晶板用ガラス板
清掃装置，出願人日本スピンドル製造株式会社，公開日平成」
元年１１月１３日，甲５。以下「引用刊行物５」という）。
（「」，・刊行物６：特開平２−６１６１３号公報発明の名称電子部品の製造装置
出願人株式会社東芝公開日平成２年３月１日甲６以下引，，。「
用刊行物６」という）。
（「」，・刊行物７：特開平１−１０７４９７号公報発明の名称静電気除去装置
出願人松下電子工業株式会社，公開日平成元年４月２５日，甲
７。以下「引用刊行物７」という）。
第３当事者の主張
１請求の原因
(1)特許庁等における手続の経緯
ア原告らは，平成４年８月１４日の優先権（日本国）を主張して，平成５
，「，，，年８月１３日名称を帯電物体の中和構造クリーンルーム搬送装置
居住室，植物栽培室，正負の電荷発生方法，帯電物体の中和方法」とする
発明について特許出願（特願平６−５０６１０４号）をし，平成１０年２
月２０日に特許第２７４９２０２号として設定登録を受けた（請求項の数
２０，以下「本件特許」という。特許公報は甲８。なお，上記登録に対）
し特許異議の申立て（平成１０年異議第７５４８１号）がなされ，その中
で原告らは平成１１年５月１７日付けで訂正請求（全文訂正明細書は甲１
６）をしたところ，特許庁は，平成１１年７月３０日付けで，上記訂正を
認めた上で特許維持決定をした。
イこれに対し被告が，平成１８年１０月１７日付けで本件特許の請求項１
３∼１５について特許無効審判請求を行ったので，特許庁はこれを無効２
００６−８０２０８号事件として審理し，その中で原告らは明細書の訂正
請求をしたが，特許庁は，平成１９年９月７日，上記訂正を認めた上，上
記請求項１３ないし１５に記載された発明についての特許を無効とする旨
の審決をした。
ウそこで原告らは，知的財産高等裁判所に対し上記審決の取消しを求める
訴えを提起し（平成１９年（行ケ）第１０３５７号，その後平成２０年）
１月４日，特許庁に対し訂正審判請求（請求項１３，１５を削除し，１４
の内容を変更した上１３とする等，甲１１。全文訂正明細書は甲１２）を
したところ，同裁判所は，平成２０年２月１９日，特許法１８１条２項に
より上記審決を取り消す旨の決定をした。
エ上記決定により前記無効審判請求事件は再び特許庁で審理されることと
なり，上記訂正審判請求（甲１１）と同内容の訂正請求がなされたとみな
された（以下「本件訂正」という）ところ，特許庁は，平成２０年８月。
１９日，本件訂正を認めた上「特許第２７４９２０２号の請求項１３に，
記載された発明についての特許を無効とする」旨の審決をし，その謄本は
平成２０年８月２９日原告らに送達された。
(2)発明の内容
本件訂正後の請求項１３の内容は，次のとおりである（以下，そこに記載
された発明を「本件特許発明」という。。）
「透過型のＸ線ユニットによりターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲ
ット電流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線
を，搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に
，，直接照射することにより該雰囲気空気をイオン化させて正イオンと
負イオン及び／又は電子とを生成し，この生成された正イオンにより
負電荷を，負イオン及び／又は電子により正電荷を中和することを特
徴とする帯電物体の中和方法」。
(3)審決の内容
ア審決の内容は，別添審決写しのとおりである。その理由の要点は，本件
訂正は適法であり，かつ訂正後の本件特許発明は刊行物１∼７に記載の発
明及び周知技術に基づいて容易に発明することができたから特許法２９条
２項により特許を受けることができない，というものである。
イなお審決が認定した引用発明の内容，本件特許発明と引用発明との一致
点及び相違点は，次のとおりである。
〈引用発明の内容〉
「15keVのエネルギーを有するＸ線を例とする，Ｘ線管29からのＸ線
を，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫
通させて，空気に照射することにより，該空気をイオン化させて，該空
気中の成分ガスの正及び負のイオンを生成させ，
，さらに流体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導き
その出口から放出して集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同
様のものである製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自
由イオンを高水準に維持し，空気中の正のイオンは製品上の負の静電荷
に，また，空気中の負のイオンは製品上の正の静電荷と電荷の交換によ
って静電荷を中和することによる製品上の静電荷の累積を中和する方
法」。
〈一致点〉
本件特許発明と引用発明とは，いずれも
「，，Ｘ線ユニットにより発生させたＸ線を空気に照射することにより
該空気をイオン化させて正イオンと，負イオン及び／又は電子とを生成
し，この生成された正イオンにより負電荷を，負イオン及び／又は電子
により正電荷を中和する帯電物体の中和方法」。
である点で一致する。
〈相違点Ａ〉
Ｘ線ユニット（Ｘ線管）について，本件特許発明が透過型としている
のに対して引用発明は透過型でない点。
〈相違点Ｂ〉
Ｘ線について，本件特許発明は，ターゲット電圧６ｋＶ以上かつター
ゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ
線であるのに対して，引用発明はＸ線管29からのＸ線であって，15keV
のエネルギーを有するＸ線である点。
〈相違点Ｃ〉
本件特許発明は，Ｘ線を空気に直接照射するものであるのに対して引
用発明は直接照射するのか否か明確でない点。
〈相違点Ｄ〉
本件特許発明は「搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の
雰囲気空気に「照射することにより，該雰囲気空気をイオン化」する」
ものであるのに対して，引用発明はそうでない点。
(4)審決の取消事由
しかしながら，審決には以下のとおりの誤りがあるから，違法として取り
消されるべきである。
ア取消事由１（引用発明認定の誤り）
(ｱ)流体送達配管に係る認定
審決は，引用発明では電離室ハウジング１８（Ｘ線照射によるイオン
）（）生成の領域と分離箱１２除電対象物である帯電物体が置かれる領域
との間にイオン化ガスを送るための流体送達配管２８が設けられるもの
の，引用刊行物１（甲１）にはこの流体送達配管２８を用いなくてもよ
い旨の示唆があるとする（審決２７頁４行∼９行。）
しかし，引用発明においては，電離室ハウジング１８と分離箱１２と
の間にイオン化ガスを送る為の流体送達配管２８が設けられることが必
須である。すなわち，引用刊行物１（甲１）の請求項１は「所定の領，
域でイオン化されたガス環境を与える方法において，囲まれた流路に沿
って前記領域へ加圧されたガスの流れを導くこと，前記所定の領域から
隔離された位置で前記囲まれた流路の所定の部分へ電離放射線を導くこ
とにより前記ガスの流れをイオン化すること，前記流路の前記所定の部
分の外へ伝播する放射線の漏洩を抑制すること，及び前記所定の領域で
前記囲まれた流路から前記イオン化されたガスの流れを放出すること，
。」。の工程を含むことを特徴とするガスイオン化方法というものである
そして，上記請求項１に「前記所定の領域から隔離された位置で前記囲
まれた流路の所定の部分へ電離放射線を導く」とあるとおり，引用刊行
（），「」物１甲１から把握される引用発明は囲まれた流路の所定の部分
（引用刊行物１〔甲１〕の図１及び図２等に示された実施例の要素に対
応させると「電離室ハウジング１８）が「所定の領域（同「分離箱１」」
」），，２から隔離されていることが必須でありその隔離をするためには
イオン化されたガスを「分離箱１２」へ送る「流体送達配管２８」が設
けられることが必須の要件とされている。
しかも，引用発明においては，除電対象物の周辺の雰囲気空気にＸ線
を直接照射することが明示的に排除されている。すなわち，引用刊行物
１（甲１）には，ガスをイオン化する手段がコロナ放電およびＸ線照射
のいずれである場合であっても，ガスのイオンを発生する位置が除電対
象物に近いときには，該対象物への静電荷の付与を起こし得るという問
題点がある，との認識が示されており（５頁左上欄３行∼８行，５頁左
上欄１６行∼右上欄１行，引用発明はこの問題点を回避するため，イ）
オン化されたガスの流れを囲まれた流路に沿って使用点へ伝達するこ
と，すなわち，電離室ハウジング１８を分離箱１２から隔離した上で当
該隔離のために流体送達配管２８を設けることを必須の要件とし（６頁
右上欄２行∼５行，このような必須の要件を備えることによって初め）
て前述の問題点を回避することができるとしているのである。
さらに，引用刊行物１（甲１）は，引用発明がイオン化されたガスを
流体送達配管２８により分離箱１２へ送ること，すなわち流体送達配管
を使用することを，従来のコロナ放電による除電に対する最大の相違点
としている（８頁左下欄９行∼１４行。）
したがって，審決の「引用発明は，…帯電物体の周辺の雰囲気空気に
照射してイオン化することができないというものではない（審決２７」
頁４行∼９行）との認定は，引用刊行物１（甲１）から把握し得ないど
ころか，引用刊行物１（甲１）の記載内容に反していることが明らかで
ある。
なお，引用刊行物１（甲１）には「配管中の湾曲が可能な量に回避，
された場合「配管を通る流路の直径の変化が可能な限り回避された場」，
」「」，合及び一定のキー助変数が適当に相互に関係付けられた場合には
イオン化されたガスを流体送達配管により送る場合であってもイオンの
中和が低減される旨の記載があり（８頁左上欄１６行∼右上欄２行，同
頁左下欄１８行∼右下欄２行，ある条件では流体送達配管の使用が欠）
点にならない旨の記載があると解し得るが，その条件とは，流体送達配
管の長さ，内径，湾曲の程度及び内径の変化の程度並びにガス流量に関
するものであるから（８頁右下欄１２行∼９頁左上欄３行，これらす）
べては流体送達配管の使用を前提とするものである。したがって，上記
記載は流体送達配管を使用しなくてもよい旨を示唆するものではない。
(ｲ)低エネルギー（長波長）のＸ線の利用に係る認定
審決は，引用発明が「１５ｋｅＶのエネルギーを有すＸ線（すなわ」
ち，波長０.８２７ÅのＸ線）を利用するものであるとしつつ，引用刊
行物１（甲１）には，これより低エネルギー（長波長）のＸ線を利用す
，「，ることの示唆があるとして…Ｘ線の波長をより長く設定することは
当業者が格別の困難性を要することなくなし得ることである。…（審」
決２１頁下３行∼下１行）とする。
しかし，引用発明は「遮蔽する必要を最小化」及び「薄い膜３１を，
貫通することが可能」の双方の考慮が必要であるとの認識の下に「遮，
蔽する必要を最小化」を考慮したとき最低値として「１５ｋｅＶのエネ
ルギーを有すＸ線」を決定しており，この「１５ｋｅＶのエネルギーを
有すＸ線」を利用する場合であっても「プラスチック，アルミニュー，
ム又はベリリウム製の薄い膜３１」のようにＸ線透過率が最も高い材料
からなる窓を用いるならば「薄い膜３１を貫通することが可能」として
いるのであるから，１５ｋｅＶより低いエネルギー（０.８２７Åより
長い波長）のＸ線を利用することは想定され得ない。
また，引用刊行物１（甲１）には，Ｘ線透過率が高い窓の材料の例と
して，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い膜３１が
例示されているが（７頁右上欄６行∼７行，これらよりＸ線透過率が）
高い窓の材料は存在しないのであって，審決のいうような，より貫通し
やすい薄い窓を採用すること（審決２１頁下３行）も想定され得ない。
したがって，審決の前記認定は，引用刊行物１（甲１）から把握し得
ないどころか，引用刊行物１（甲１）の記載内容に反していることが明
らかである。
(ｳ)除電効率への影響に係る認定
審決は，引用発明においてはＸ線波長，ターゲット電圧及びターゲッ
ト電流は除電効率に全く影響を与えないものではないとする（審決２９
頁２０行∼３１行。）
しかし，引用刊行物１（甲１）には，流体送達配管による気体の流れ
に関する因子（流体送達配管の内径及び長さ並びにガス流量）が除電効
率に影響を与えることが記載されている一方，ターゲット電圧及びター
ゲット電流のいずれも除電効率に影響を与えないことが明言されてお
り，さらに，ターゲット電圧との間に一定の関係があるＸ線波長が除電
効率に影響を与えないことも明言されている（８頁右下欄１２行∼１７
行，９頁左上欄１０行∼右上欄７行。なお，９頁右上欄１３行∼左下欄
７行には，９頁左上欄１０行∼右上欄７行に記載されている「放電時間
モデル」の正確度が実験により確証され「放電時間モデル」が実験結，
果とよく一致したこと，つまり，Ｘ線波長，ターゲット電圧及びターゲ
ット電流のいずれも除電効率に影響を与えないことが実験により確かめ
られた旨が記載されている。。）
この点，審決は，Ｘ線波長，ターゲット電圧及びターゲット電流の各
パラメータを適宜設定して最適な値を求めるべく実験等を行うことは当
業者が通常行うことであるとするが（審決２３頁８行∼９行，下５行∼
下４行，２９頁下６行∼下３行，引用刊行物１（甲１）は「内部室の），
大きさ及びＸ線管２９のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその他の
試験された変数」について試験した結果，これらの変数が「非常に少し
」（）。しか動作に影響しなかったとしている８頁右下欄１４行∼１７行
すなわち，審決のいう「当業者にとって自明の事項」に反する結果が得
られたとしているのである。
なお，引用刊行物１（甲１）の「…我々は，このシステムの一定のキ
ー助変数が適当に相互に関係付けられた場合には，イオンの充分高い濃
度が数フィート以上の距離に対して制限されたガスの流れの中に維持さ
れ得ることを見出した（８頁左下欄下３行∼右下欄２行）との記載に。」
よれば，引用発明において流体送達配管２８を経て分離箱１２まで送ら
れるイオンの量は，電離室ハウジング１８におけるＸ線照射によるイオ
ン発生の量と相関があると解すべきである。そうすると，仮に，審決の
いうとおり「Ｘ線管の出力がターゲット電流と相関があり，より大きな
出力がより多くのイオンを発生することは，当業者にとって自明の事項
である（審決２９頁下６行∼下５行）というのであれば，電離室ハウ」
ジング１８におけるＸ線照射によるイオン発生の量のみならず，流体送
達配管２８を経て分離箱１２まで送られるイオンの量もターゲット電流
と相関があると考えるべきことになり，したがって，ターゲット電流の
増加に応じて除電時間が短縮されると考えるべきところである。それに
もかかわらず，上記のとおり，引用刊行物１（甲１）においては，内部
室の大きさ及びＸ線管２９のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその
他の試験された変数は非常に少ししか動作に影響しなかったとされてい
るのである。また審決は，引用刊行物１（甲１）の上記記載に関し，流
体送達配管２８に係る変数の影響が大きいことをいうものであるとも解
しているが（審決３０頁２行∼４行，このような解釈は，当業者にと）
って自明の事項に矛盾しているだけでなく，引用刊行物１（甲１）の記
載内容を無視したものであり，根拠がない。
このように，審決は，Ｘ線波長等と除電効率との間の関係について誤
った判断をしたものである。
イ取消事由２（進歩性判断の誤り）
(ｱ)相違点Ｃ及びＤに関する判断の誤り
，（），，ａ審決は引用刊行物２∼４甲２∼４を帯電物体の周辺雰囲気
つまり帯電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線，放射
線，紫外線等の電離線を照射し，帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化
し除電するものの周知例として引用しつつ，当該引用刊行物２∼４に
記載の周知の事項に倣って帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を照射
することは，当業者にとって容易であるとする（審決３１頁４行∼９
行。）
しかし，引用刊行物２（甲２）に記載された発明は，好ましくは３
００ｋｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって生成されたＸ線
を，可燃性流体を容れたコンテナの内部に放射し，このコンテナ内に
イオンを生成して，コンテナ内の望ましくない静電場を中和するとい
うものである。ここで「３００ｋｅＶ未満のエネルギーを有する電，
子によって生成されたＸ線」とは波長０.０４１Å以上のＸ線を意味
するから，引用刊行物２に記載されたＸ線波長の下限値０.０４１Å
は，一般的なＸ線波長帯域の下限値０.１Åを下回っており，使用Ｘ
線波長の好適範囲の下限値を特定するものではないし，引用刊行物２
，。においては使用Ｘ線波長の上限値についても何ら特定されていない
しかも，引用刊行物２（甲２）におけるＸ線源１０に含まれるター
ゲット２８は平板状ではなくドーム形状をしており，Ｘ線源１０の内
部空間を真空に維持するための真空容器の一部を構成するとともに，
発生したＸ線を外部へ出力するための窓をも兼ねている。このような
ターゲット・窓材は軟Ｘ線が吸収されない程度にその厚さを薄くする
（例えば１０００Å∼数千Å）必要があるが，このような厚さでター
ゲット２８の材料（例えばタングステン）を真空気密を保つようにド
ーム形状に加工することは困難であることからすると，このＸ線源は
軟Ｘ線を利用することを想定していないというべきである。また，軟
Ｘ線を外部へ出力するには，例えば薄いベリリウム等からなる窓が用
いられるが，引用刊行物２（甲２）に記載された発明ではターゲット
２８が窓を兼ねていることから，これとは別にベリリウム等からなる
窓を備えることはないし，軟Ｘ線を透過させ，かつ，ターゲット２８
の独特の形状に合わせてベリリウム等を加工することは困難である。
仮に軟Ｘ線を利用するのであれば，ターゲット２８が独特の形状を有
するにもかかわらず軟Ｘ線を出力し得るよう何らかの工夫がされるべ
，（）。きであるが引用刊行物２甲２にそのような記載は見当たらない
このような構造を考えると，引用刊行物２（甲２）においては軟Ｘ
線の利用について何ら考慮されていないだけでなく，むしろ軟Ｘ線の
利用が困難であり，引用刊行物２（甲２）におけるＸ線源１０は，軟
Ｘ線を出力するには不適切なものであるから，軟Ｘ線を利用するもの
ではないというべきである（なお，引用刊行物２（甲２）に記載され
た発明が利用するＸ線が硬Ｘ線であることは，審決も認めている。審
決２６頁３６行∼３７行。）
また，引用刊行物３（甲３）に記載された発明は，原子炉で発生さ
せた中性子をβ線標識物等に当ててβ線を発生させ，このβ線を帯電
物体の周辺の雰囲気空気に照射することで，その雰囲気空気をイオン
化して除電対象物を除電するものである。
さらに，引用刊行物４（甲４）に記載された発明は，紫外線を除電
対象物の周辺の雰囲気空気に照射することで，その雰囲気空気をイオ
ン化して除電対象物を除電するものである。
このように，引用刊行物２∼４（甲２∼４）に記載された発明は，
硬Ｘ線，β線又は紫外線を帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射するも
のであるのに対し，引用発明は，前記アのとおり，電離室ハウジング
１８と分離箱１２との間にイオン化ガスを送るための流体送達配管２
８が設けられることが必須であり，しかも，除電対象物である帯電物
体の周辺の雰囲気空気にＸ線を直接照射することを明示的に排除して
いる。
したがって，引用発明とは全く相容れない引用刊行物２∼４（甲２
∼４）に記載された技術を引用発明に適用することはできない。
ｂまた審決は，引用刊行物２（甲２）に記載された硬Ｘ線によるイオ
ン化技術が周知の事項であるとする（審決３１頁４行∼７行。）
しかし，引用刊行物２（甲２）は昭和５０年に頒布されたものであ
って，非常に古い刊行物であるにもかかわらず，硬Ｘ線によるイオン
化技術は未だ実用化されておらず，これについて記載した刊行物は他
に見当たらない。
したがって，硬Ｘ線によるイオン化技術を周知の事項であるとした
審決は，この点でも誤っている。
(ｲ)相違点Ｂに関する判断の誤り
前記アのとおり，引用刊行物１（甲１）は，遮蔽の必要を最小化する
ためにＸ線の最低エネルギーとして１５ｋｅＶ（すなわち，最長波長と
して０.８２７Åを挙げているのであってこれより低エネルギー長），（
）。，（）波長のＸ線を利用することの示唆はないまた引用刊行物１甲１
には，Ｘ線波長，ターゲット電圧及びターゲット電流のいずれも除電効
率に全く影響を与えないことが明確に記載されている。
また，前記(ｱ)のとおり，引用刊行物２（甲２）は，好ましくは３０
０ｋｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって生成されたＸ線，すな
わち，一般的なＸ線波長帯域の下限値０.１Åより更に短い０.０４１Å
を下限値とするＸ線を利用する旨の記載があるのみで，Ｘ線波長，ター
ゲット電圧及びターゲット電流のいずれについても好適範囲が示されて
。（），いない引用刊行物２甲２に示されたＸ線源１０の構造を考えると
軟Ｘ線の利用について何ら考慮されていないだけでなく，むしろ，軟Ｘ
線の利用が困難である。
さらに，引用刊行物３∼７（甲３∼７）等にも，Ｘ線を利用する除電
技術について何ら記載も示唆もない。
以上のように，本件特許発明の特徴である「ターゲット電圧６ｋＶ以
上かつターゲット電流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波
長の軟Ｘ線を照射する点」については，いずれの刊行物からも当業者が
容易に想到することができるものではない。
(ｳ)本件特許発明の効果についての判断の誤り
ａ発明特定事項を分断して判断した誤り
審決における本件特許発明の効果についての判断は，本件特許発明
の各発明特定事項について個々別々に論じられたものであって，発明
特定事項が組み合わされた本件特許発明の技術的思想についてなされ
たものはなく，誤りである。
すなわち，本件特許発明と引用発明とを対比すると，本件特許発明
は以下のような特徴点ａ∼ｃ（特徴点ａ，ｂが審決の認定した相違点
Ａ，Ｂに相当し，特徴点ｃが同相違点Ｃ及びＤに相当する）を有する
ものである。
・特徴点ａ:透過型のＸ線ユニットを用いる点
・特徴点ｂ:ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流６０μ
Ａ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線
を照射する点
・特徴点ｃ:その軟Ｘ線を，搬送系における帯電物体としての液晶
基板の周辺の雰囲気空気に直接照射する点
ところで，搬送系における液晶基板は，生産性の向上が要求される
とともに，大面積化が進んでいることもあって，広い範囲にわたって
効率よく短時間に帯電を中和することが望まれる。そこで，本件特許
発明では，ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流６０μＡ以
（），上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用い特徴点ｂ
その軟Ｘ線を搬送系における液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射
すること（特徴点ｃ）で，雰囲気空気を効率的にイオン化して，液晶
基板を効率的に除電することができる。
加えて本件特許発明では透過型のＸ線ユニットを用いること特，，（
徴点ａ）により，照射範囲を広くすることができるとともに，ターゲ
ットで発生した軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができるので，
この点でも，雰囲気空気を効率的にイオン化して，液晶基板を効率的
に除電することができる。すなわち，反射型のＸ線ユニットではター
ゲットから全方位に向けて発生したＸ線のうち窓を通過したもののみ
が外部へ出力されるのに対して，透過型のＸ線ユニットでは，ターゲ
ットで発生したＸ線は該ターゲットを通過して外部へ出力されるの
で，Ｘ線の出力時の拡がり角が大きく照射範囲を広くすることができ
るともに，ターゲットで発生したＸ線に対して外部へ出力されるＸ線
の割合が大きいこのように透過型のＸ線ユニットを用いること特。，（
徴点ａ）でも，雰囲気空気を効率的にイオン化して，液晶基板を効率
的に除電することができる。
また，本件特許発明では，透過型のＸ線ユニット（特徴点ａ）は反
射型のＸ線ユニットと比較して小型化が可能であるので，配置スペー
スが限られる搬送系における液晶基板の周辺の雰囲気空気にＸ線を照
射する場合（特徴点ｃ）においても，Ｘ線ユニットの配置の自由度が
高い。
さらに，本件特許発明では，ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲ
ット電流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線
を用いること（特徴点ｂ）により，硬Ｘ線を用いる場合と比較して，
Ｘ線ユニットから比較的短い距離の範囲において該軟Ｘ線が高い割合
で雰囲気空気に吸収されて，その範囲において高密度のイオンを生成
することができる。その場合，一般的に，Ｘ線ユニットから出力され
る軟Ｘ線が大きく拡がる前に該軟Ｘ線が吸収されるので，軟Ｘ線照射
によりイオンが生成される範囲（軟Ｘ線照射方向に対して垂直な方向
の範囲）が限られることになるが，本件特許発明では，Ｘ線の出力時
の拡がり角が大きい透過型のＸ線ユニットを用いること（特徴点ａ）
により，反射型のＸ線ユニットを用いる場合と比較して，軟Ｘ線照射
によりイオンが生成される範囲（軟Ｘ線照射方向に対して垂直な方向
の範囲）を広くすることができる。そのため，Ｘ線ユニットの必要数
を少なくすることができ，搬送系における液晶基板の周辺の雰囲気空
気に軟Ｘ線を直接照射すること（特徴点ｃ）で液晶基板を除電する際
に，低コスト化を図ることができる。
以上のように，本件特許発明では，透過型のＸ線ユニット（特徴点
ａ）によりターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流６０μＡ以
上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線（特徴点ｂ）を，搬
送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照
射すること（特徴点ｃ）により，搬送系における液晶基板の広いエリ
アの除電を高効率かつ低コストで行うことができる。すなわち，本件
特許発明では，特徴点ａ∼ｃが相俟って，搬送系における液晶基板を
高効率かつ低コストで除電することができるのである。
本件訂正発明の効果は，これらだけではなく，硬Ｘ線照射の場合と
比較して除電性能が高いこと，硬Ｘ線照射の場合と比較して遮蔽対策
が容易であること，オゾンの発生が抑制されること，イオン化したガ
スを配管等で搬送する場合と比較して除電性能が１００∼１０００倍
高いこと，搬送系における液晶基板の広いエリアの除電を高効率かつ
低コストで行うことができることも挙げられる。
ｂ引用刊行物から予測し得ない効果
(a)引用発明は空気の流れを作ることが必須であるとされていると
ころ，その場合には，粉塵を巻き上げて除電対象物を汚染したり，
除電対象物において逆に静電気を発生させたりすることがあり得
る。
また，引用刊行物５（甲５）には「除電バー４７」を用いて液，
晶基板を除電することが記載されている。引用刊行物６（甲６）に
は「除電器１７」を用いて液晶基板を除電することが記載されて，
いる。また，引用刊行物７（甲７）には「イオン発生器３」を用，
いてＩＣパッケージを除電することが記載されている。これらの引
用刊行物５∼７に記載された各発明で用いられている「除電バー４
７「除電器１７「イオン発生器３」のいずれも，コロナ放電で」，」，
イオン化した空気を吹き付けて除電対象物を除電するものであり，
引用発明と同様に，粉塵を巻き上げて除電対象物を汚染したり，除
電対象物において逆に静電気を発生させたりすることもあり得る。
これに対し，本件特許発明では，クリーンルーム内で空気の流れ
を作らなくてもよいので，帯電物体としての液晶基板の汚染を回避
することができ，また，効率的な除電が可能となるなど，液晶基板
の製造工程において最適な除電をすることができる。
(b)引用刊行物２（甲２）に記載された発明は，前記のとおり，軟
Ｘ線の利用について何ら考慮されていないだけでなく，むしろ，軟
Ｘ線を利用することはあり得ず，硬Ｘ線の中でも短波長のＸ線を利
用するに止まる。
この点，審決は「…引用刊行物２と４は軟Ｘ線に上下に近接す，
。」（）る波長の硬Ｘ線及び紫外線でもある審決２６頁下３行∼下２行
とするが，引用刊行物２（甲２）に記載された発明で利用する短波
長の硬Ｘ線は，本件特許発明で利用する１Å以上２Å未満の波長の
軟Ｘ線に近接するとは決していうことはできない引用刊行物２甲。（
２）に記載された発明は短波長の硬Ｘ線を利用するので除電効率が
悪いのに対し，本件特許発明は，１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線
を利用するので，効率的な除電が可能となるのである。
(c)引用刊行物３（甲３）には，原子炉で発生させた中性子をβ線
標識物に当ててβ線を発生させ，このβ線を用いて除電対象物の周
辺の雰囲気空気をイオン化して，除電対象物を除電することが記載
されている。
しかし，同記載の発明は，中性子を発生させるための原子炉だけ
でなく被曝防止のための設備も極めて大掛かりになるので，工業用
途には全く非現実的である。
これに対し，本件特許発明では透過型のＸ線ユニットで発生させ
た１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を利用するので，設備の小型化
が可能であり，液晶基板製造等の工業用途に好適である。
(d)引用刊行物４（甲４）には，紫外線を用いて雰囲気空気をイオ
ン化して除電対象物を除電することが記載されている。
，，，しかし同記載の発明では紫外線を用いるのでオゾンが発生し
環境が汚染される。
これに対し，本件特許発明では１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線
を利用するので，オゾンの発生を伴わずに雰囲気空気をイオン化す
ることが可能で，その結果，短時間で除電することができる。
(e)以上のように，本件特許発明は，特徴点ａ∼ｃそれぞれを有す
ることによる効果を奏するだけでなく，特徴点ａ∼ｃが相俟って格
別の効果を奏することができる。
そして，本件特許発明の効果は，いずれの刊行物の記載内容から
も予測し得ない格別のものである。特に，Ｘ線波長，ターゲット電
圧及びターゲット電流のいずれもが除電効果に影響を与えないとす
る引用刊行物１（甲１）の記載内容からは，本件特許発明の効果は
決して予測し得ない。
ｃ引用発明との比較
原告らが，本件特許発明の如く除電対象物の周辺の雰囲気空気に軟
Ｘ線を直接照射する場合（以下「直射の場合」という）と，引用発。
明のように他の地点でＸ線によりイオン化した空気を除電対象物の周
辺へ送風する場合（以下「送風の場合」という）のそれぞれについ。
て，除電に要する時間につきシミュレーション計算をしたところ，直
射の場合に除電に要する時間は１秒程度であるのに対して，送風の場
合に除電に要する時間は２５０秒（又は数十分∼数時間時間）にも及
び，両者の間には除電性能に関して非常に大きな差異が存在すること
が判明した。
一方，液晶基板の製造工程において除電のために許容される時間は
たかだか１０秒程度である。
そうすると，液晶基板の製造工程において，本件特許発明のように
除電対象物の周辺の雰囲気空気に軟Ｘ線を直接照射する技術は適用可
能であるのに対して，引用発明のように他の地点でＸ線によりイオン
化した空気を除電対象物の周辺へ送風する技術は全く適用することが
できない。
このように，本件特許発明は，引用発明と比較して顕著な効果を有
しており，液晶基板の製造工程において数十ｃｍ角∼数ｍ角の大きさ
の液晶基板を除電する唯一の技術であるといえる。
ｄパイオニア発明性
本件特許の出願当時，工業用途に利用されていたのは硬Ｘ線であっ
て，軟Ｘ線は雰囲気のイオン化や除電等に限らず工業的に利用されて
おらず，むしろ，硬Ｘ線の利用の際に軟Ｘ線は邪魔ものとして扱われ
。，，ていたそのような本件出願当時の技術常識の中で本件特許発明は
波長１Å以上２Å未満の軟Ｘ線を利用することで，雰囲気のイオン化
や除電を効率的に行うことができ，しかも，硬Ｘ線と比べて遮蔽が容
易であり安全性の点でも有利であるとして，本発明者により発明され
たものである。
そして，近年では，本件特許発明は，液晶パネルの製造工程におい
て必須の技術となっている。仮に，これらの製造工程において本件特
許発明を実施しないとすれば，静電破壊により製造歩留まりが極端に
低下する。すなわち，本件特許発明は，これらの製造工程において高
い製造歩留まりを得るための必須の技術となっていて，商業的成功を
成し遂げている（甲９〔稲葉仁「ＬＣＤ製造における静電気対策静
電気対策の基本フローと除電対策」日本工業出版発行・クリーンテク
，「」。〕，ノロジー・平成１６年４月号２６∼３２頁以下甲９文献という
甲１０〔山本稔「液晶製造工程における静電気対策とその管理手法」
同７月号１３∼１９頁，以下「甲１０文献」という。。〕）
一方，除電対象物の周辺においてガスをイオン化したり，他の地点
でイオン化したガスを除電対象物の周辺に導いたりして除電対象物を
除電する技術としては，引用刊行物１，２（甲１，２）に記載されて
いるような硬Ｘ線を利用する除電技術，引用刊行物３（甲３）に記載
されているようなβ線を利用する除電技術，引用刊行物４（甲４）に
記載されているような紫外線を利用する除電技術，引用刊行物５∼７
（甲５∼７）に記載されているようなコロナ放電を利用する除電技術
が知られているが，これら硬Ｘ線，β線，紫外線を利用する除電技術
は，いずれも液晶パネルの製造工程において実用化されていないし，
コロナ放電を利用する除電技術は，液晶パネルの製造工程では限定的
にしか採用されていない。
すなわち，硬Ｘ線を利用する除電技術については，平成元年ないし
昭和５０年に頒布された非常に古い引用刊行物１，２（甲１，２）に
記載されているだけで，それ以降は刊行物に記載されず，工業用途に
は全く実用化されていない。その理由は，作業者の安全のための遮蔽
対策が大掛かりになるだけでなく，そもそも除電効率が非常に悪いか
らである。
放射線を利用する除電技術については，昭和３９年に頒布された非
常に古い引用刊行物３に記載されているだけで，それ以降は刊行物に
記載されず，工業用途には全く実用化されていない。その理由は，原
子炉を用いて中性子やβ線を利用すること自体が非現実的であるから
である。
紫外線を利用する除電技術については，研究成果を記載した刊行物
がいくつか存在するものの，工業用途には実用化されていない。その
理由はオゾンが発生するからである。
コロナ放電を利用する除電技術は，ある条件下では実用化されてい
るが，液晶パネルの製造工程では限定的にしか採用されていない。そ
の理由は，コロナ放電の際に電極から発生する微粒子が除電対象物を
汚染し，イオン極性の偏りによる残留電位や高圧放電による誘導電圧
の影響があり，この影響を回避するために除電対象物と電極との間の
距離を長くすると除電効率の低下を招き，また，オゾンが発生するか
らである。コロナ放電を利用する除電技術は，このような障害が問題
とならないような工程で限定的に採用されているのみである。
このような本件特許出願当時の状況下において，本件特許発明は，
工業的には注目されていなかった軟Ｘ線の中でも特に波長１Å以上２
Å未満の軟Ｘ線を利用することで，雰囲気のイオン化や除電を効率的
に行うことができ，しかも，上記の硬Ｘ線，β線，紫外線，コロナ放
電を利用する除電技術が有する問題点を解決することができるものと
して，本発明者により発明されたものである。
以上のように，本件特許発明は，液晶パネルを高歩留りで大量生産
するに際して不可欠なものであり，液晶パネルの工業的生産を実現す
るためのパイオニア発明である。
ウ取消事由３（引用刊行物１の引用例としての適格性判断の誤り）
(ｱ)審査基準第Ⅱ部第２章「新規性・進歩性」の２１頁には「2.8進歩，
性の判断における留意事項」として「(1)刊行物中に請求項に係る発明，
に容易に想到することを妨げるほどの記載があれば，引用発明としての
適格性を欠く」と記載されているところ，審決が主引用例とした引用。
刊行物１（甲１）には，以下のとおり，本件特許発明に容易に想到する
ことを妨げるほどの記載があるから，引用発明としての適格性を欠く。
ａ本件特許発明は，特徴点として「軟Ｘ線を，搬送系における帯電，
物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射する点」を有す
るのに対し，引用刊行物１（甲１）から把握される引用発明は，電離
室ハウジング１８と分離箱１２との間にイオン化ガスを送る為の流体
送達配管２８が設けられることが必須であり，しかも，除電対象物で
ある帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を直接照射することは明示的
に排除されている。
ｂ本件特許発明は，特徴点として「ターゲット電圧６ｋＶ以上かつ，
ターゲット電流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の
軟Ｘ線を照射する点」を有するのに対し，引用刊行物１（甲１）は，
遮蔽の必要を最小化するためにＸ線の最低エネルギーとして１５ｋｅ
Ｖ（すなわち，最長波長として０.８２７Å）を挙げているのであっ
，（），てこれより低エネルギー長波長のＸ線の利用を否定しているし
引用刊行物１（甲１）には，Ｘ線波長，ターゲット電圧及びターゲッ
ト電流のいずれも除電効率に全く影響を与えないことが明確に記載さ
れている。
(ｲ)上記審査基準には「例１:本願発明が炭酸マグネシウムの分解に伴，
う二酸化炭素を利用するものであるのに対し，引用発明はその利用を否
定するものであるから対比判断の資料に供し得ない参考：昭62行，。（（
ケ）155」と記載されているところ，以下のとおり，引用発明をもって）
しては分離箱１２内の除電対象物をほとんど除電することができず，引
用発明は未完成ないし工業的に実施不可能なものであるから，この点で
も引用刊行物１（甲１）は引用例としての適格性を欠く。
ａ電離室ハウジング１８におけるイオン生成効率が低いこと
引用発明は，１５ｋｅＶのエネルギーを有する波長０.８２７Åの
Ｘ線が電離室ハウジング１８の内部室１９内において４.５インチ１（
１.４ｃｍ）の距離を通過するというものであるが，波長０.８２７Å
のＸ線は，透過性が極めて高い硬Ｘ線に属するものであるから，高さ
４.５インチ（１１.４ｃｍ）の内部室１９の内部にある気体をイオン
化することはほとんどできない。計算によると，波長０.８２７Åの
硬Ｘ線が内部室１９を通過する際に内部室１９内の厚さ１１.４ｃｍ
の空気で吸収される割合は１.８％程度にすぎない。
また，引用発明においては電離室ハウジング１８の内部室１９内を
気体が流れているので，気体が流れていない場合と比較して気体をイ
オン化できる割合は更に低いと考えられる。
ｂ流体送達配管２８による分離箱１２の内部領域へのイオン導入効率
が低いこと
引用発明は，電離室ハウジング１８で生成されたイオンが流体送達
配管２８を通って分離箱１２の内部領域に導入されるものであるが，
流体送達配管２８を通る間にイオンの多くは中和されるので，電離室
ハウジング１８で生成されたイオンのうち分離箱１２の内部領域に導
入されるものの割合は低い。
ｃ分離箱１２の内部領域におけるイオン利用効率が低いこと
引用発明において，電離室ハウジング１８で生成されて流体送達配
管２８を通って分離箱１２の内部領域に導入されたイオンは，除電対
象物であるウェーハ１４の周辺に局在することはなく，分離箱１２の
内部領域の全体に均一に存在することになる。
したがって，流体送達配管２８を通って分離箱１２の内部領域に導
入されたイオンのほとんどは，ウェーハ１４の除電に寄与することな
く中和してしまうと考えられる。
ｄ当業者が発明を実施できる程度に発明が開示されていないこと
引用発明は，内部室１９の限られた内部空間に存在する気体をイオ
ン化するものであり，引用刊行物１（甲１）には，遮蔽及び効率の双
方が考慮された上で，Ｘ線エネルギーの最低値として１５ｋｅＶが示
され，Ｘ線波長については最長波長として０.８２７Åが示されてい
るが，Ｘ線波長の下限値については何ら言及がない。このように，引
用発明は波長０.８２７Å以下の任意の波長のＸ線を利用するもので
ある。
しかし，限られた空間に存在する気体に対して波長０.８２７Åよ
り短い任意の波長のＸ線を照射した場合，気体によるＸ線の吸収は更
に小さくなり，イオン生成効率は更に低くなる。例えば，波長０.１
ÅのＸ線を照射した場合，限られた空間に存在する気体は全くといっ
ていいほどイオン化されず，除電効果は全く得られない。
２請求原因に対する認否
請求原因(1)ないし(3)の各事実はいずれも認めるが，同(4)は争う。
３被告の反論
，。審決の認定判断は正当であり原告ら主張の取消事由はいずれも理由がない
(1)取消事由１に対し
ア流体送達配管につき
(ｱ)原告らは，引用刊行物１（甲１）の請求項１に「囲まれた流路」が
記載され，この「囲まれた流路」は引用刊行物１（甲１）の実施例にお
ける流体送達配管２８に相当するから，引用発明は流体送達配管２８が
設けられることが必須の要件になっていると主張する。
しかし，審決は，本件特許発明が特許法２９条２項の要件を満たして
いないと判断しているのであるから，その判断の基礎となるべき引用発
明は，同条１項各号に記載された発明であることはいうまでもない。つ
，，（），まり引用発明とは引用刊行物１甲１に記載された発明であって
引用刊行物１（甲１）の請求項に記載された発明ではないから，原告ら
の上記主張は失当である。
(ｲ)原告らは，引用刊行物１（甲１）にはイオンを発生する位置が除電
対象物に近いときには該対象物への静電荷の付与を起こし得るという問
題点があるとの認識が示されており，この問題点を回避するため流体送
達配管２８が設けられているのであるから，引用発明において流体送達
配管２８は必須の要件であり，引用発明は，除電対象物の周辺の雰囲気
空気にＸ線を直接照射することを明示的に排除していると主張する。
しかし，このような原告らの主張はそれ自体が矛盾しているといわざ
るを得ない。原告らが主張するとおり，流体送達配管２８が特定の問題
点を回避するために設けられているのであれば，当該問題点によって除
電効果が完全に失われてしまうというような特段の事情でもない限り，
上記問題点を回避しない場合には流体送達配管２８も必要ないというこ
とになり，流体送達配管２８は技術的に必須のものではないという結論
に帰着する。
(ｳ)原告らは，引用発明は，従来のコロナ放電による除電に対して，イ
オン化されたガスを流体送達配管２８により「使用される点（分離箱１
２」へ送ること，すなわち流体送達配管を使用することを最大の相違）
点としていると主張する。
しかし，流体送達配管２８を使用することが引用発明と従来装置との
相違点であるとしても，それが最大の相違点であるという記載は引用刊
行物１（甲１）にはない。また，仮に最大の相違点であったとしても，
そのことは単に，引用発明をその従来技術と比較したならば流体送達配
管２８の有無が最も特徴的である，というだけのことであり，このよう
な比較結果をもって引用刊行物１（甲１）において流体送達配管２８が
技術的に欠くことができない性質のものとして記載されているというこ
とはできない。
(ｴ)特許を受けることができる発明を特定する際，従来技術との対比に
よってある構成を「必須」であると判断することと，いわゆる公知文献
に記載された発明を特定する際，ある構成を当該発明において技術的に
欠くことができない「必須」のものであると判断することとは，全く次
元の違う判断である。しかるに，原告らの上記主張は，いずれもこれら
を混同して行われたものであり，それ自体が失当である。
イ低エネルギー（長波長）のＸ線の利用につき
原告らは，引用刊行物１（甲１）ではＸ線の最低エネルギーとして１５
（．），ｋｅＶ最長の波長として０８２７Åを利用することが示されており
これより低いエネルギー（長波長）のＸ線を利用することの示唆はないと
主張する。
しかし，審決に示されているとおり，引用刊行物１（甲１）には，遮蔽
する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとすることを
示唆しており，同時に薄い窓３１を貫通することが可能な例として０．８
２７Åの波長のＸ線が示されているというべきである。
引用刊行物１（甲１）には「本発明の好適な形では，遮蔽する必要を，
最小化するために比較的低エネルギーのＸ線を与えるように選択され調節
。，，，される１５ｋｅＶのエネルギーを有するＸ線は例えばプラスチック
アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓３１を貫通することが可能であ
り，従って内部室１９内で窒素を能率的にイオン化する（７頁右上欄３」
行∼９行）と記載されている。この記載からは，(i)遮蔽の必要性を考慮
すればＸ線のエネルギーは低い方が望ましいことと，(ii)１５ｋｅＶのエ
ネルギーを有するＸ線は，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム
製の薄い窓３１を貫通することが可能であることを読み取ることができ
る。
これに対し原告らは「遮蔽する必要を最小化する」という文言を，薄，
い窓を貫通することができるＸ線のエネルギーとして例示されている「１
」，（）（．５ｋｅＶと強引に結びつけ引用刊行物１甲１には１５ｋｅＶ０
８２７Å）がＸ線エネルギーの最小値（波長の最大値）として示されてい
ると主張するが，このような主張は上記記載を曲解するものである。
また原告らは，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い
窓３１がＸ線透過率の最も高い材料からなる窓であるとし，引用発明では
このような窓を貫通することができるＸ線のエネルギーの最低値として１
５ｋｅＶが採用されたのであるから，引用発明では１５ｋｅＶよりも低い
エネルギー（０．８２７Åより長い波長）のＸ線を利用することは想定さ
れ得ない旨主張する。
しかし，審決が指摘するとおり，薄い窓３１の材料としては，各種の材
質が知られており，材質や厚み等によりこれを貫通する際の吸収も大きく
異なることも当業者にとって周知の事項である。
したがって，薄い窓３１の材質や厚さを特定することなくＸ線のエネル
ギーの最低値を示すことに何の意味もないことは，当業者であれば直ちに
分かることであり，引用刊行物１（甲１）に記載された１５ｋｅＶがＸ線
のエネルギーの最低値を示したものでないことは明らかである。
ウ除電効率への影響につき
原告らは，引用刊行物１（甲１）では，Ｘ線波長，ターゲット電圧及び
ターゲット電流のいずれも除電効果に全く影響を与えないことが明確に記
載されており，Ｘ線管のターゲット電圧及びターゲット電流は必要なイオ
ン出力に応じて当業者が適宜設定し得る設計事項であるとした審決の判断
はこれと矛盾するものであると主張する。
しかし，審決は，フィラメント電流と陽極電圧は非常に少ししか動作に
影響しなかったとするものの，全く影響がないというものではないとし，
Ｘ線管の出力がターゲット電流と相関があり，より大きな出力がより多く
のイオンを発生することは，当業者にとって自明の事項であるから，たと
え少ししか影響しないとしても，その値を決めるに当たって最適な値を求
めるべく，実験等を行うことは当業者が通常行うことといえると判断して
いるのであって，むしろ当業者を基準とし，引用刊行物１（甲１）の記載
に基づいて，容易に想到し得る発明の範囲を正しく認定しているというべ
きである。
，（）さらに付け加えれば特許法２９条２項に基づいて引用刊行物１甲１
に記載された発明から本件特許発明に容易に想到し得たか否かを判断する
場合，その判断基準となる当業者は，当然のことながら，上記技術常識を
有する者である。したがって，仮に引用刊行物１（甲１）に上記技術常識
とは異なる記載があったとしても，そのことによって直ちに上記技術常識
を参酌して本件特許発明の容易想到性を判断することが妨げられるという
ことはできない。しかも，本件特許発明の場合，必要なイオン出力に応じ
てターゲット電圧及びターゲット電流を決定しているだけであるから，正
に技術常識どおりに設計変更を加えたものにすぎない。このような本件特
許発明について容易想到性を判断するに当たって，上記技術常識と異なる
記載が引用刊行物１（甲１）に存在していることのみをもって容易想到で
あると判断することの妨げになるとすれば，もはや当業者を判断基準にし
ていないのと等しいというべきである。
したがって，仮に原告らが主張するとおり引用刊行物１（甲１）におい
て波長，ターゲット電圧及びターゲット電流が除電効果に影響を与えない
ことが記載されていたとしても，本件特許発明のように，必要とするＸ線
照射の効果に応じて「ターゲット電圧６ｋｅＶ以上かつターゲット電流を
６０μＡ以上」とする程度のことは，当業者が普通に行っている設計事項
であるというべきである。
(2)取消事由２に対し
ア相違点Ｃ及びＤに関する判断について
，，原告らは引用発明は流体送達配管２８が設けられることが必須であり
しかも，除電対象物である帯電物体の周辺の雰囲気空気を直接照射するこ
とを明示的に排除しているから，引用発明とは全く相容れない引用刊行物
２∼４に記載された技術を引用発明に適用することはできないと主張す
る。
しかし，引用発明において流体送達配管２８が技術的に欠くことのでき
ない性質のものではないことは前記(1)のとおりである。また，審決が指
摘するとおり，引用刊行物２∼４には，帯電物体の周辺雰囲気，つまり帯
電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線，放射線，紫外線等
の電離線を照射し，帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電するものが
示されているのであるから，引用刊行物２∼４に記載された発明は，いず
れも電離線を用いる除電装置であるという点で，本願特許発明及び引用発
明と技術分野を共通にするものである。
したがって，引用刊行物２∼４に記載の周知の事項に倣って，帯電物体
の周辺の雰囲気空気にＸ線を照射することが当業者にとって容易であると
することに不都合はないとの審決の判断に誤りはない。
イ相違点Ｂに関する判断について
(ｱ)１Å以上２Å未満の波長
原告らは，引用刊行物１（甲１）ではＸ線波長，ターゲット電圧及び
ターゲット電流のいずれも除電効率に全く影響を与えないことが明確に
記載されているとか，Ｘ線の最低エネルギーとして１５ｋｅＶを挙げて
いるからこれより低エネルギー（長い波長）のＸ線を利用することを示
唆していない旨主張するが，この点が採用できないことは前記(1)のと
おりである。
また，原告らは，引用刊行物２では，好ましくは３００ｋｅＶ未満の
エネルギーを有するＸ線（０．０４１Åを越えるＸ線）を利用する旨の
記載があるのみで，Ｘ線波長について好適な範囲が示されておらず，む
しろ軟Ｘ線の利用が困難であると主張する。しかし，審決は，遮蔽する
必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとすることを示
唆しており，同時に薄い窓３１を貫通することが可能な例として０．８
２７Åの波長のＸ線が示されているといえるのであるから，上記示唆に
基づいてより遮蔽を容易にするために，例示のＸ線のエネルギーはより
低く，つまり０．８２７Åの波長をより長いＸ線を用いようと考えるこ
とに困難性は認められないとし，また，薄い窓３１の具体的構成やイオ
ン化の能率等の各種の条件を考慮・変更しつつ，より貫通しやすい薄い
窓を採用する等して，Ｘ線の波長をより長く設定することは，当業者が
格別の困難性を要することなくなし得ることであり，そのようにより長
，，い波長を選択しようとするに際し上記例示の長波長側の近傍に着目し
１Å以上２Å未満の波長を選択することは当業者にとって適宜なし得る
，，設計的事項であるといえると判断しているのであって原告らの主張は
引用発明において波長１∼２ÅのＸ線を採用することの困難性について
審決が行った判断と無関係のものであり，失当である。
(ｲ)ターゲット電圧６ｋＶ以上
電子のエネルギーＥ（ｋｅＶ）とは，１つの電子がターゲット電圧Ｅ
（ｋＶ）から得るエネルギーとして定義され，この電子がターゲットに
衝突して発生するＸ線スペクトルの最短波長λ（Å）との間にはλ・Ｅ
＝１２．４という周知の関係が成立している。
これを踏まえて，審決は，ターゲット電圧６ｋＶという値は，最短波
長２．０６７ÅのＸ線に対応するものであるから，１Å以上２Å未満の
波長のＸ線を得るには，そもそもターゲット電圧６ｋＶを超えなければ
ならないのであって，そのようなターゲット電圧とすることは容易であ
るとする。
要するに，ターゲット電圧６ｋＶ以上という限定は，波長１Å以上２
Å未満という条件を満たすＸ線を完全に包含する不要限定である。この
ため，本件では１Å以上２Å未満という波長範囲の容易想到性について
，。検討すればターゲット電圧について容易想到性を検討する必要はない
(ｳ)ターゲット電流６０μＡ
原告らは，引用刊行物２ではターゲット電流について好適な範囲が示
されていないと指摘する。
しかし，審決は，Ｘ線管の出力がターゲット電流と相関があることは
当業者に自明である，当業者が求める出力や除電時間に応じて出力を設
定することは当業者が普通になす設計事項であるとし，６０μＡという
値を装置や要求に応じて設定することは当業者が適宜設定することとい
える，そして，それより短くなるように６０μＡ以上とすることも設計
事項であると判断しているのであって，原告らの主張は，引用発明にお
いてターゲット電流６０μＡ以上を採用することの困難性について審決
が行った判断と無関係のものであり，失当である。
ウ本件特許発明の効果について
(ｱ)発明特定事項を分断して判断した点につき
原告らは，透過型のＸ線ユニット（特徴点ａ）は，反射型のＸ線ユニ
ットと比較して，小型化が可能であるので，配置スペースが限られる搬
送系における液晶基板の周辺の雰囲気空気にＸ線を照射する場合（特徴
点ｃ）においても，Ｘ線ユニットの配置の自由度が高いとか，軟Ｘ線を
用いること（特徴点ｂ）により，硬Ｘ線を用いる場合と比較して高濃度
のイオンを生成することができ，Ｘ線ユニットの出力時の拡がり角が大
きい透過型のＸ線ユニットを用いること（特徴点ａ）により，反射型の
Ｘ線ユニットを用いる場合と比較して，軟Ｘ線によりイオンが生成され
る範囲を広くすることができ，搬送系における液晶基板の周辺の雰囲気
空気に軟Ｘ線を直接照射すること（特徴点ｃ）で液晶基板を除電する際
に，低コスト化を図ることができると主張する。
しかし，審決が摘示するとおり，透過型のＸ線ユニットは周知のもの
であるから，引用発明のＸ線ユニットとして透過型のものを用いること
は当業者が適宜なし得る選択的事項といえ，その効果についても，その
構成に付随するものであって，格別であるとはいえない。
また，照射範囲を広くすることができることや，ターゲットで発生し
た軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができ，小型化可能である等の
効果は，透過型のＸ線ユニットを用いたことに付随する効果にすぎず，
雰囲気空気を効率的にイオン化して，液晶基板を効率的に除電すること
ができ，配置スペースが限られる液晶基板の搬送系においてもＸ線ユニ
ットの配置の自由度が高い等の効果についても上記透過型のＸ線ユニッ
トを用いたことに付随する効果に関連して，当業者が容易に予測できた
ことといえる。照射範囲を広くすることができるのであるから，イオン
が生成される範囲を広くでき，Ｘ線ユニットの必要数を少なくでき，低
コスト化を図ることの効果についても同様である。硬Ｘ線を用いる場合
に比較して，比較的短い距離の範囲において高密度のイオンを生成する
ことができ，イオンが生成される範囲が限られることについても，当該
効果は明細書に記載されるものではなく，かつ，軟Ｘ線は吸収されやす
いことから，当業者が普通に想到し得る効果であるともいえる。
要するに，各特徴点ａ∼ｃによってそれぞれ生ずる効果は当業者が容
易に予測できるものであり，さらに，これらの効果の組み合わせについ
ても当業者が容易に予測できる程度のものにすぎない。
(ｲ)引用刊行物から予測し得ない効果につき
原告らは，本件特許発明では空気の流れを作らなくてもよいので，帯
電物体としての液晶基板の汚染を回避することができ，また，効率的な
除電が可能となると主張する。しかし，審決が摘示するとおり，本件特
許の請求項２の「前記雰囲気空気」は請求項１の「帯電物体の周辺の雰
囲気空気」を指すものであるから，ここでいう「周辺」とは「帯電物，
，」体方向に向かう気流空気であり該帯電物体よりも上流側における空気
を含む範囲であるといえるのであるから，空気の流れを作る必要がない
ことについては本願特許発明の効果とはいえず，かつ，当業者が容易に
想到し得ることでもあるというべきである。
また原告らは，引用刊行物２に記載された発明は短波長の硬Ｘ線を利
用するので除電効率が悪いのに対して，本件特許発明は１Å以上２Å未
満の波長の軟Ｘ線を利用するので効率的な除電が可能となると主張する
が，前記イのとおり，原告らの主張は，引用発明において波長１∼２Å
のＸ線を採用することの困難性について審決が行った判断と無関係のも
のであり，失当である。
また原告らは，引用刊行物３に記載された発明は中性子を発生させる
ための原子炉だけでなく被爆防止のための設備も大掛かりになるのに対
し，本件特許発明では透過型のＸ線ユニットで発生させた１Å以上２Å
未満の波長の軟Ｘ線を利用するので設備の小型化が可能であり，液晶製
造等の工業用途に好適であると主張する。しかし，審決が指摘するとお
り，引用刊行物３は放射性物質を用いることが示されていて，原子炉を
必須とするとはいえない。また，審決は，帯電物体の周辺の雰囲気空気
に電離線を照射し，帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電すること
が従来周知の技術であることを示し，引用発明において，このような周
知の技術を適用することは当業者が容易になし得たことであると判断し
ているのであるから，このような原告らの主張は，審決が行った判断と
無関係のものであり，失当である。
また原告らは，引用刊行物４に記載された発明では紫外線を用いるの
でオゾンが発生し，環境が汚染されるのに対し，本件特許発明では１Å
以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を利用するのでオゾンの発生を伴わずに雰
囲気空気をイオン化することが可能で，その結果，短時間で除電するこ
とができると主張するが，このような原告らの主張は，審決が行った判
断と無関係のものであり，失当である。
(ｳ)引用発明との比較につき
原告らは，本件特許発明による場合（直射の場合）と引用発明（送風
による場合）についてシミュレーションを行った結果を示し，両者の間
には除電性能に関して非常に大きな差異が存在すると主張する。
一般に，シミュレーションの結果は，採用するアルゴリズムや各種パ
ラメータのチューニングによって全く異なるものになることはよく知ら
れている。このため，対象とするモデルや条件に応じて適切なアルゴリ
ズムを選択し，パラメータを適切に決定した上で計算を行わなければ，
信頼するに足る計算結果を得ることはできない。
ところが，原告らは，自らが行ったシミュレーションにおいてどのよ
うな計算方法を用いたのかを公開せず，ブラックボックスから出てきた
結果だけを示している。したがって，このシミュレーション結果がどの
程度信頼できるものであるのか明らかでない。
また原告らは，上記シミュレーション結果に基づいて，本件特許発明
と引用発明のどちらが液晶基板の製造工程における除電技術として優れ
ているのかを比較しているが，このような比較を行うことは少なくとも
本件訴訟において意味がない。
一般に，２つの異なる発明についてその効果を実験やシミュレーショ
ン等によって確認し，これらの効果の優劣を比較したとしても，このよ
うな優劣は周辺技術の進歩などによって逆転し得るものであるから，現
時点における特定の条件下でのシミュレーション結果のみを示し，これ
らを単純に比較することは，少なくとも本件訴訟において意味がない。
また原告らは，本件特許発明は，引用発明と比較して顕著な効果を有
していて，液晶基板の製造工程において数十ｃｍ角∼数ｍ角の大きさの
液晶基板を除電する唯一の技術であると主張する。
しかし，審決は，一般に，引用刊行物７に示されるように，半導体等
の製造における搬送時に静電気を除去することは，半導体の製造におい
て常套手段であるとし，また，クリーンルーム等で製造される半導体装
置の１つとして液晶基板も周知のものであって，液晶基板の製造におい
て，その搬送時，静電気を除去することも，例えば引用刊行物５や６等
，，，に示されているように周知であると認定しているのであるから仮に
本件特許発明が特定用途に利用されている唯一の技術であったとして
も，そのことをもって，引用発明に対し上記周知技術を適用することに
困難性があるということはできない。
(ｴ)パイオニア発明性につき
原告らは，本件特許発明は，その技術的特徴および格別の効果に基づ
いて商業的成功を成し遂げているパイオニア発明であると主張し，その
根拠として甲９文献及び甲１０文献を挙げる。
しかし，甲９文献及び甲１０文献には，除電装置の効果に関する記載
があるとしても，その除電装置が本件特許発明の技術的範囲に属する除
電装置であることは明らかになっていない。例えば，波長が１∼２Åの
Ｘ線を用いているものであるか否かさえ明らかではない。また，甲１０
文献にも，軟Ｘ線を対象物に照射することは記載されているが，その波
長が１∼２Åであることは記載されていない。
したがって，これらに記載された除電装置の効果が本件特許発明の技
術的特徴および格別の効果に基づくものであることは，何ら立証されて
いないし，商業的に成功を成し遂げていることについても，何ら立証さ
れていない。
原告らは，本件特許の出願当時において刊行物に記載されたものとし
て知られていた硬Ｘ線，β線，紫外線，コロナ放電を利用する除電技術
は，いずれも液晶パネルの製造工程において実用化され得ないものであ
り，実際に未だ実用化されておらず，本件特許発明は，液晶パネルを高
歩留りで大量に生産するに際して不可欠なものであり，液晶パネルの工
業的生産を実現するためのパイオニア発明となっていると主張するが，
，。，その根拠は示されておらずそれが事実であるのか明らかでないなお
甲９文献には紫外線を照射するＵＶＵ除電装置が記載されており，紫外
線を利用する除電技術は液晶パネルの製造工程において未だに実用化さ
れていないとする原告らの上記主張と矛盾する。
(3)取消事由３に対し
ア原告らは，引用発明の効果が低いため「工業的」に実施することができ
ないから，引用刊行物１（甲１）は引用例としての適格性を欠くと主張す
る。
原告らがいかなる基準をもって工業的に実施可能なものと不可能なもの
とを区別しているのか明らかでないが，いずれにしても工業的に実施する
ことができないことを理由として，その発明が記載された刊行物が引用例
としての適格性を欠くという主張は，それ自体失当である。
原告らのいう引用例が特許法２９条１項３号に記載された刊行物を意味
していることは明らかである。そうすると，引用刊行物１（甲１）が引用
例としての適格性を欠くという原告らの主張は，引用刊行物１（甲１）に
は同号に該当する発明が記載されていないか，あるいは，実質的に記載さ
れていないという主張であると理解することができる。
ところが，原告らが指摘するのは単に引用刊行物１（甲１）に記載され
た発明の効果が小さいということであってそのことは引用刊行物１甲，，（
１）には発明が記載され，かつ，小さいながらも効果を奏することが読み
取れるということを，ほかならぬ原告ら自身が認めていることになる。つ
まり，原告らの主張は，むしろ引用刊行物１（甲１）が引用例としての適
格性を有することを自ら積極的に認めるものであるから，このような原告
らの主張は失当である。
イなお，原告らは，上記主張のほか，引用発明は電離ハウジング１８と電
離箱１２との間にイオン化ガスを送る為の流体送達配管２８が設けられる
ことが必須であり，除電対象物である帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線
，（）を直接照射することは明示的に排除されているとか引用刊行物１甲１
は１５ｋｅＶ（最長波長０．８２７Å）より低エネルギー（長波長）のＸ
線の利用を否定し，また，Ｘ線波長，ターゲット電圧及びターゲット電流
のいずれも除電効率に影響を与えないことが明確に記載されているなどと
，，主張するがこれらの主張の根拠は取消事由１における主張と同一であり
これに理由がないことは前記(1)のとおりである。
第４当裁判所の判断
１請求原因(1)（特許庁等における手続の経緯，(2)（発明の内容，(3)（審））
決の内容）の各事実は，いずれも当事者間に争いがない。
２本件特許発明の意義
(1)本件訂正後の請求項１３は，前記第３，１(2)のとおりである。
(2)また，本件訂正後の明細書（甲１２の全文訂正明細書）には次の記載があ
る。
ア技術分野
「，，，，本発明は第一義的には気体中に正負の電荷を発生させる方法に関しさらに
それによる帯電物体の中和方法並びに中和構造及びそれを用いた搬送装置，ウエット
ベンチ，クリーンルーム等の各種装置・構造物に関する（１頁４行∼６行）。」
イ背景技術
・「例えば，LSI及び液晶製造プロセスにおいて，シリコンウエハ及び液晶基板の帯
電が大きな問題になっており，帯電防止技術の確立が急がれている。本装置は，こ
の様な背景から，ガス分子イオンまたは電子を生成し，これによって帯電物体の電
荷を中和するために開発されたものである。本装置を用いれば，シリコンウエハ及
び液晶基板はもちろん，正あるいは負に帯電した全ての物体の表面電荷を短時間で
中和することができ静電気による各種の障害を防止することが可能となる…１，。」（
頁８行∼１４行）
・「従来のウエハ帯電防止技術としては，以下に示すような方法がある。
①コロナ放電法によりイオンを発生させ，このイオンにより帯電ウエハの電荷を
中和する。
②接地された導電性材料（金属や導電性樹脂）でウエハをハンドリングすること
により，ウエハの電荷の中和をする。
しかし，これらの中和方法にはいくつかの欠点があり，これを改善しない限り帯
電ウエハの中和対策として将来にわたって使っていくことが出来ない。
まず，①のコロナ放電法にはおもに４つの欠点がある。
１）放電電極からの微粒子発生
２）イオン極性の偏りに起因する残留電位の発生
３）高圧放電電極による誘導電圧の発生
４）オゾンの発生（３頁５行∼１６行）」
・「次に，②では，ウエハ帯電はほぼ完全に防止することが出来るが，不純物汚染
という重大な障害を伴う危険性が高くなる。金属はもちろん導電性をもたせるため
にフッ素樹脂等に混入されている不純物は，ウエハとの接触摩耗によりウエハを汚
，。，，染し電気特性劣化の大きな原因になるこの障害は静電気以上に重大な問題で
これを防止するために，絶縁性の樹脂材でウエハがハンドリングされているという
のが現状なのである。
本発明は，どの様な雰囲気下でも帯電物体の電荷を短時間で中和することが可能
な正及び負の電荷を同時に発生する装置に関し，また，前述した全ての欠点を伴わ
ずに静電気の発生を完全に防止できる帯電物体の中和方法並びに中和構造及びそれ
を用いた各種装置に関する（４頁１４行∼４頁下６行）。」
ウ発明の開示
「本発明の帯電中和方法は，透過型のＸ線ユニットによりターゲット電圧６kV以上
かつターゲット電流６０μA以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を，
搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射することに
より，該雰囲気空気をイオン化させて正イオンと，負イオン及び／又は電子とを生成
し，この生成された正イオンにより負電荷を，負イオン及び／又は電子により正電荷
を中和することを特徴とする。
軟Ｘ線領域の電磁波を発生させるためのＸ線ユニットとしては，例えば，図３に示
すようなＸ線ユニットを用いることが好ましい。すなわち，このＸ線ユニットは，Ｘ
線透過性の基体34上に電子を受けてＸ線を放射する材料よりなる薄いターゲット膜
33が形成されているターゲット35を用い，また，電子源（フィラメント31）とター
ゲット35との間にグリッド電極32が設けられているもの例えば特開平２−297850（，
号公報）を用いることが好ましい。このＸ線ユニット30は，ターゲット膜33が薄い
ため電子源とは反対側からＸ線37が放射される，いわゆる透過型であるため小型化が
可能であり，従って，任意の場所に配設することができるという利点を有している。
また，電子源とターゲット35との間にグリッド電極32が設けられているためターゲ
ット電流の制御が可能である。
軟Ｘ線領域の電磁波は，ある特定の物質（例えば，W:タングステン）に所定のエネ
ルギーの電子線を照射することにより簡単に得られる。
発生するＸ線の波長は，電子が照射されるターゲットによって異なるが，１オング
ストローム∼数百オングストロームの波長範囲の軟Ｘ線を用いることが好ましい。特
に，１オングストローム∼数十オングストロームの軟Ｘ線が好ましい。
また，軟Ｘ線領域の電磁波としては，ターゲット電圧（加速電圧）を4kV以上とす
ることにより電子ビームを4kV以上に加速してターゲットに衝突させて発生させた電
磁波を用いることが好ましい。さらに，ターゲット電流を60μＡ以上とすることによ
り発生させた電磁波を用いることが好ましい（６頁５行∼７頁１行）。」
エ作用
「本発明においては，軟Ｘ線領域の電磁波の照射によるガス分子及び原子のイオン
化を利用して，正イオン及び負イオンまたは電子を生成させるものである。
このイオン化法によれば，前述したコロナ放電イオン化法や紫外線照射イオン化法
が有している問題点がすべて解決される。
コロナ放電法では放電電極先端部で放電時のスパッタ作用などにより発塵を生じて
いたが，本発明では発塵を伴うことなく正負の電荷の発生が可能である。
また，コロナ放電法では，正負の電荷は，放電電極に印加される極性に同調して周
辺に供給されるために，正負の空間電位が発生し，その結果，除電物体（帯電物体）
には残留電位が発生する。そして，残留電位をさげるためにイオン生成器を除電物体
から遠ざけるを得なかった。それに対して，本発明では，除電物体周辺では常に同数
の正負電荷が生成されていることから，除電後は，空間電位の片寄りがなく，除電物
体には残留電位が発生しない。従って，所望の位置までＸ線ユニットを除電物体に近
づけることができ，高い除電性能を達成することができる。
なお，Ｘ線ユニット内部では高圧電圧が印加されているが，ケーシングで静電遮蔽
されているために外部には電界は出てこない。そのため，コロナ放電法で問題となる
放電電極からの誘導電圧はまったく生じない。従って，Ｘ線ユニットを所望の位置ま
で除電物体に近づけることに問題はない。
本発明の大きな特徴は，空気等酸素を含むガスを用いてもオゾンの発生を伴わずに
ガスをイオン化できることにある。従って，半導体ウエハの酸化や高分子材の劣化等
の従来法の問題点を解決することができる。
オゾン発生については，光子のエネルギが数百eV∼数keVオーダーで非常に高いた
めに，効率よくガス分子及び原子はイオン化することができ，その結果，オゾン生成
に最も寄与すると考えられる中性の酸素原子ラジカル数は少なくなり，オゾンの発生
は抑制される。
ガス分子及び原子は，軟Ｘ線領域の電磁波を吸収して直接イオン化に至る。ガス分
子及び原子のイオン化エネルギーはせいぜい十∼二十数eV程度で，軟Ｘ線領域の光子
エネルギーの数十∼数百分の一である。従って，１光子により複数の原子分子のイオ
ン化または２価以上のイオン生成が可能である。
帯電物体の周辺のガス雰囲気に向けて軟Ｘ線を照射することにより，高濃度のイオ
ン及び電子を生成し，帯電物体の電荷の中和を行う。この場合，帯電物体周辺のガス
の種類に関係なく，どのようなガスでもほぼ同等の除電性能が得られる。また，コロ
ナ放電イオン化法による中和と違って，ガスのイオン化が帯電物体近傍で可能なこと
から，生成されたイオン及び電子を効率よく中和に使うことができ，その結果，除電
。，，性能が飛躍的に高くなるまたイオン化したガスを配管等で搬送する場合に比べて
除電性能は100∼1000倍向上する（８頁５行∼９頁１２行）。」
オ産業上の利用可能性
「本発明による，軟Ｘ線照射によるイオン発生装置を用いれば，発塵を伴うことな
く，正負のイオンを生成せしめることが可能となる。
また，帯電物体を中和する際には，どの様な雰囲気下でも帯電物体の電荷を短時間
で中和することが可能となり，帯電箇所にこの装置を適用することにより静電気の発
生を完全に防止できる。
このことは，半導体や液晶製造における，静電気障害による欠陥の発生や製品の信
頼性低下の防止につながり，製造歩留まりを上昇させるものである。特に，今までこ
，の静電気の問題で純粋なフッ素樹脂系のウエハキャリヤの採用が問題になっていたが
この除電法の適用によりそのような心配が完全になくなった（１８頁１１行∼１９。」
行）
(3)以上によれば，本件特許発明は，帯電物体の中和方法，特に搬送系におけ
る帯電物体としての液晶基板に適する帯電物体の中和方法に関するものであ
る。すなわち，本件特許発明は，液晶の製造プロセスにおいて液晶基板の帯
電を防止することが必要であることを技術的背景とし，コロナ放電法等の従
来の帯電防止技術が有していた欠点（放電電極からの微粒子発生，イオン極
性の偏りに起因する残留電位の発生，高圧放電電極による誘導電圧の発生，
オゾンの発生，不純物汚染等）を伴わずに静電気の発生を完全に防止するこ
とを技術課題とするものであり，前記第３，１(2)の構成を採用することによ
り，静電気による各種の障害を防止することを可能とするとともに，従来の
帯電防止技術の欠点を解決したものである。
３取消事由１（引用発明認定の誤り）について
，，(1)原告らは引用発明についての審決の認定に誤りがあると主張するので
以下検討する。
ア引用刊行物１（甲１）には，次の記載がある。
(ｱ)特許請求の範囲
・「１．所定の領域でイオン化されたガス環境を与える方法において，
囲まれた流路に沿って前記領域へ加圧されたガスの流れを導くこと，
前記所定の領域から隔離された位置で前記囲まれた流路の所定の部分へ電離放
射線を導くことにより前記ガスの流れをイオン化すること，
前記流路の前記所定の部分の外へ伝播する放射線の漏洩を抑制すること，及び
前記所定の領域で前記囲まれた流路から前記イオン化されたガスの流れを放出
すること，
の工程を含むことを特徴とするガスイオン化方法（１頁左下欄４行∼下４行）。」
(ｲ)技術分野
「。・本発明は所定の領域における大気のイオン含有量の制御に関するものである
更に詳細には，この領域内の物体への静電荷の累積を抑制するために所定の領
域においてイオン化された大気を維持する方法及び装置に関するものである」。
（４頁右上欄３行∼７行）
(ｳ)発明の背景
・「静電気の蓄積の究極的な放電は望ましくない結果を生じ得て，ある種の環境
では一定の工業的生産品のような物品に痛烈な損傷を起こし得る。小型化され
。，た半導体電子素子の製造では顕著な例が起こる静電放電は集積回路ウェーハ
マイクロチップ及びその他同様のもの内の導電路を破壊し得て，製造工程の間
のそのように生産品の高い廃棄率の重要な原因となる。静電荷はまた，製品に
不利に影響し得る塵埃粒子及びその他の汚染物の付着を誘引し引き起こす。
そのような生産品の製造は，潜在的な汚染物を除去するため及びまた生産品上
への静電荷の形成を抑制するために，クリーンルームと名付けられた範囲で実
行される。製品を取り囲む空気中の自由イオンの高水準の維持は，そのような
電荷の形成を抑制するために大変有効な技術の一つである。空気中の成分ガス
の正及び負のイオンが反対極性の電荷累積へ静電的に誘引され，それで電荷の
交換によってそのような累積を中和する。
そのような目的のための普通の空気電離器は，防御されるべき物体から数フィ
ート離れて典型的に置かれた１個又はそれ以上の高電圧電極を含む。この電極
によって創られた強烈な電界がコロナ放電を起こし，空気の成分ガスの分子を
荷電されたイオンへ分離するように働く。この電極の極性と同一の極性を有す
るイオンはこの電極によって反撥され，保護されるべき生産品へ向って外側へ
。，，放出される両極性のイオンを発生するために両極性の電極が準備されるか
又は単一の電極上の電圧が周期的に反転される。負のイオンに対する正のイオ
ンの適当な比率が維持されることを確めるために必要だから，このシステムは
多かれ少なかれ連続的に監視され調節されねばならない。不均一な電極侵食の
ような原因によって起こり得る不均衡は，生産品に分与する電荷の反生産的な
影響を持ち得る（４頁右上欄下６行∼右下欄１０行）。」
・「高電圧空気電離装置は，隔離された電極でか又は交互の期間で同じ電極で生
産される正及び負のイオンの混合を許すために，生産品から充分な距離を離て
られる必要がある。電極が近過ぎる場合には，この装置がそれ自身で生産品へ
電荷を与えるかも知れない。従って，そのような装置は分離箱が極端な寸法で
ない限り分離箱又はその他同様のものの中へは置かれ得ない。
普通のシステムの有効範囲は多くの作業条件の下で望ましくなく制限される。
反対極性のイオンは，電極から保護されるべき生産品迄漂流する間に相互に絶
えず中和される。両極性のイオンは又壁やそばの物体へも静電的に誘引され，
そのとき電荷交換によって中和される。従って空気中のイオン含有量は電離電
極からの距離の関数として急速に低下する。この問題は高電圧電極を生産品へ
極めて接近して置くことによっては救済され得ない。前述の通り，それは電荷
の中和よりむしろ生産品への静電荷の付与を起こし得る。
更に，普通の高電圧空気電離装置は，非常に静浄な生産環境が必要な所で重要
であり得る水準では，それ自身が微粒子汚染の源泉であることが見出された。
特に，そのような装置は隣接する大気へ典型的には約３００オングストローム
の大きさを有する金属の粒子を放出する。これは電極で起こるコロナ放電によ
る高電圧電極の侵食からの結果であると信じられる。放電中の熱，スパッタリ
ング及び遊離基の存在が影響要素であろう。いずれにしても，粒子放出は特殊
電極材料の使用によって低減され得るが，完全には除去され得ない証明できる
存在である。
高電圧放電が大気中の酸素の幾らかをオゾンに変え得るという問題が更に起こ
る。オゾンは前述の半導体ウェーハのような幾つかの生産品を非常に損傷し得
る極めて活性なガスである（５頁左上欄３行∼右上欄下３行）。」
・「本発明は前述の一つ又はそれ以上の問題を克服するために導かれた（５頁。」
左下欄８行∼９行）
(ｴ)発明の概要
・「本発明の他の好適な局面では，放射線の源泉は小室内へＸ線を導くように位
置決めされたＸ線管であり，ガスの流れは窒素の流れである。
本発明は，ガスの中にイオンを発生し，このイオン化されたガスの流れを囲ま
れた流路に沿って使用点へ伝達することによって，前述の問題点を回避する。
好適なガスはオゾンの発生を回避するために窒素のような酸素を含まないガス
である。金属汚染物の放出を回避するため及び正と負とのイオンの固有に平衡
した生産を可能にするために，高電圧電極によるよりはむしろＸ線あるいは他
の電離放射線によってイオンが生産される。ガスは流路の拡張された領域内で
照射される。ガスの手頃な量が放射線にさらされ且つ各ガスの原子又は分子が
手頃な期間放射線にさらされるように拡大された領域内ではガスの流速が比較
的遅いので，これがイオン生産を増大する。ガスの流量と所定の領域へイオン
を送達する配管又はその他同様のものの大きさとが，配管内でのイオンの損失
を最小にする方法に相関する。…（６頁左上欄下２行∼右上欄下３行）」
(ｵ)好適な実施例の詳細な説明
・「特定の例では酸素を含まない不活性のガスを使用する必要はなく，その場合
に装置11は前述の目的とは異なる目的用に用いられる。例えば特定の領域で空
気から微粒子の物質を除去するのが目的の場合には，内部室19を通る空気が用
いられ得る。
放射線の源泉は好適に，内部室の一端で薄い窓31を通して内部室19内へＸ線
21を導くように位置決めされたＸ線管29である。…（７頁左上欄１０行∼１」
７行）
・「本発明の好適な形では，遮蔽する必要を最小化するために比較的低エネルギ
。，ーのＸ線を与えるように選択され調節される15keVのエネルギーを有すＸ線は
例えば，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通す
ることが可能であり，従って内部室19内で窒素を能率的にイオン化する。
Ｘ線管29を付勢するための電気的な要素は，管のフィラメント33及び制御グ
リット34用の低電圧電力源32と管の陽極37用の高電圧発生器36とを含み，
これらの要素は普通の設計のものでよい。…（７頁右上欄３行∼１３行）」
・「電離室ハウジング18及びＸ線管29は，装置からの放射線の漏洩を防止する
，。ために少なくとも一部がＸ線吸収材で形成された遮蔽覆い51内に配列される
例えば，１ミリメートル厚さの鉛が15keVのエネルギーのＸ線の放出を防止す
る。…（７頁左下欄下３行∼右下欄２行）」
・「配管中の湾曲が可能な量に回避された場合及び出口取付部品62を含む配管
を通る流路の直径の変化も可能な限り回避された場合に，反対極性のイオンの
電荷交換による，又流体送達配管28の内壁との接触によるイオンの中和は低減
される。これが流路中の騒乱を最小化することにより前述の原因によるイオン
損失を減少させる。…（８頁左上欄下５行∼右上欄２行）」
・「再び第１図を参照すると，イオン化されたガスが流体送達配管のような導管
内の封入された流れとして使用される点へ配送されることにおいてこの装置11，
は電荷抑制用の従来のイオン化システムとは異なる。使用される点に近い位置
で周囲の空気を単純にイオン化する従来の方法に対抗するから，自由イオンの
このような配管は，最初に考えると不適当な手段であるように見える。外見上
は，隣接する壁面との及び相互間での電荷交換からイオン損失の問題が非常に
悪化させられる。我々は，このシステムの一定のキー助変数が適当に相互に関
係付けられた場合には，イオンの充分高い濃度が数フィート以上の距離に対し
て制限されたガスの流れの中に維持され得ることを見出した。
特に，前述の動作に本質的に似た電荷抑制装置11の動作は，その装置が10イ
ンチ角の平板(67pfのキャパシタンス)を1000ボルトから100ボルト迄放電する
のに必要な時間を秒で測定する充電平板モニターから18インチ離れて流体送達
配管28の出口を置くことによって評価された。この測定された放電時間は流体
送達配管28からのイオン出力に反比例する。イオン出力の増加はより低い放電
時間に帰着する。
イオン出力に最も明確な影響を伴う変数はガスの流量，流体送達配管28の直
径及び流体送達配管の長さであることを試験が示した。内部室の大きさ及びＸ
線管29のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその他の試験された変数は，非
常に少ししか動作に影響しなかった。他の変数を一定に保持した流体送達配管
，。」材料及び内部室19の材料の異なる形式を用いた試験は同様の結果を生じた
（８頁左下欄９行∼右下欄下２行）
・図１（本発明に従った工業的生産品又はその他同様のものへの静電形成を抑制
する装置の図式的概念図））
イ以上によれば，引用刊行物１（甲１）には，物体への静電荷の累積の抑
制，特に，小型化された半導体電子素子の製造において，集積回路ウェー
ハ，マイクロチップ及びその他同様のものである生産品上への静電荷の累
積を抑制することを技術的背景とし，高電圧空気電離装置等の従来の帯電
防止装置が有していた問題（正負イオンの適当な比率の維持の困難性，高
電圧電極の近接による生産品への電荷付与，金属の粒子の放出による微粒
子汚染，オゾンの発生等）を克服することを技術課題とする発明が記載さ
れており，具体的には「15keVのエネルギーを有するＸ線を例とする，Ｘ，
線管29からのＸ線を，プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製
の薄い窓31を貫通させて，空気に照射することにより，該空気をイオン
化させて，該空気中の成分ガスの正及び負のイオンを生成させ，さらに流
体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導き，その出口か
ら放出して集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のものであ
る製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自由イオンを高水
準に維持し，空気中の正のイオンは製品上の負の静電荷に，また，空気中
の負のイオンは製品上の正の静電荷と電荷の交換によって静電荷を中和す
ることによる製品上の静電荷の累積を中和する方法（審決認定の引用発。」
明の内容）が記載されているということができる。
そうすると，引用発明の内容につきこれと同旨をいう審決の認定に誤り
はない。
(2)流体送達配管について
原告らは，引用発明は電離室ハウジング１８と分離箱１２との間にイオン
化ガスを送るための流体送達配管２８を設けることを必須の構成としてお
り，除電対象物である帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を直接照射するこ
とを明示的に排除しているとして，この点に関する審決の認定に誤りがある
旨主張する。
しかし，審決は，引用発明の内容として，上記前記第３，１(3)イのとお
，「」，，り流体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導きかつ
「その出口から放出して集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様
のものである製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自由イオ
ンを高水準に維持」するもの，すなわち，イオンの生成場所と除電対象物で
ある製品の存在場所との間に流体送達配管を設ける構成を有するものとして
認定しており（Ｘ線を除電対象物である帯電物体の周辺の雰囲気空気に直接
照射するか否かについては相違点Ｃ・Ｄとして認定されている，引用発明。）
，「」を除電対象物である帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を直接照射する
ものとして認定するものでないことは明らかである。
この点，原告らは，審決が「引用発明は…帯電物体の周辺の雰囲気空気に
照射してイオン化することができないというものではない（審決２７頁４」
行∼９行）としたことをもって，上記主張の根拠とするが，審決の上記記載
は，相違点Ｄについての進歩性の判断において記載されたものであって，引
用刊行物１（甲１）に「帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射してイオン化す
ることができないというものではない」との直接的な開示がある旨を認定し
，。たものではないし上記内容を引用発明の構成として認定したものでもない
したがって，引用発明の認定誤りをいう原告らの上記主張は，採用するこ
とができない。
なお，原告らの上記主張は，実質的には，引用発明が電離室ハウジング１
８と分離箱１２との間にイオン化ガスを送るための流体送達配管２８を設け
ることを必須の構成としている点で，これを欠く本件特許発明は同引用発明
から容易想到でないこと（すなわち，相違点Ｃ，Ｄが容易想到でないこと）
を主張するものと理解することもできるが，相違点Ｃ及びＤが容易想到であ
ることは後記４のとおりであるから，いずれにせよ，原告らの上記主張は採
用することができない。
(3)Ｘ線波長について
，。原告らはＸ線波長に係る審決の引用発明の認定に誤りがある旨主張する
しかし，審決は，前記(1)イのとおり，引用発明におけるＸ線の波長につ
，「，」いて15keVのエネルギーを有するＸ線を例とするＸ線管29からのＸ線
と認定し「ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上，
で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線」との本件特許発明の構成は
相違点Ｂとして認定しているのであって，審決が引用発明におけるＸ線の波
長について１５ｋｅＶ（０．８２７Å）よりも長いものとして認定したもの
でないことは明らかである。
この点，原告らは，審決が，引用発明について，Ｘ線の波長を１５ｋｅＶ
より長く設定することが格別困難を要しない旨認定したことをもって，上記
主張の根拠とするが，審決の上記記載は，相違点Ｂについての進歩性の判断
において記載されたものであって，Ｘ線の波長が１５ｋｅＶより長いことを
引用発明の構成として認定したものではない。
そうすると，審決の引用発明の認定について誤りがあるということはでき
ないから，原告らの上記主張は採用することができない。
なお，原告らの上記主張は，実質的には，引用発明において１５ｋｅＶと
の数値はＸ線エネルギーの最低値を示すものであるから，これより長い波長
の本件特許発明の構成は同引用発明から容易想到でないこと（すなわち，相
違点Ｂが容易想到でないこと）を主張するものと理解することもできるが，
，，相違点Ｂが容易想到であることは後記４のとおりであるからいずれにせよ
原告らの上記主張は採用することができない。
(4)除電効率について
原告らは，引用刊行物１（甲１）にはＸ線波長，ターゲット電圧及びター
ゲット電流のいずれも除電効率に影響を与えない旨が記載されているとし
て，引用発明におけるＸ線波長，ターゲット電圧及びターゲット電流は除電
効率に影響を与える旨の審決の判断は，引用発明の認定を誤まるものである
と主張する。
この点，いずれもＸ線に関する特開昭５８−３２２００号公報（発明の名
称「特性Ｘ線の単色性を強める方法，出願人B，公開日昭和５８年２月２」
５日，甲１３，以下「甲１３公報」という，特開平２−２９７８５０号公。）
報（発明の名称「Ｘ線発生管用ターゲットおよびＸ線発生管，出願人浜松」
ホトニクス株式会社，公開日平成２年１２月１０日，甲１４，特開昭和６）
３−１１０５４１号公報（発明の名称「Ｘ線管，出願人株式会社東芝，公」
開日昭和６３年５月１６日，甲１５）によれば，Ｘ線発生装置は，Ｘ線を
放射する材料で形成されたターゲットに対して電子ビームを照射する（すな
わち，ターゲット原子に加速電子を衝突させる）構成を有するものであり，
これにより，電子が有していたエネルギーの一部がＸ線に変わるのであるか
，（）（），らターゲット電圧電子の加速電圧とターゲット電流電子の流量が
Ｘ線の出力に関係することは技術常識と認められることからすれば，Ｘ線の
特性（波長や出力）と除電効果に相関があることは，当業者（その発明の属
する技術の分野における通常の知識を有する者）が当然に予測し得るものと
いうべきである。
これに対し原告らは，引用刊行物１（甲１）に「イオン出力に最も明確，
な影響を伴う変数はガスの流量，流体送達配管２８の直径及び流体送達配管
の長さであることを試験が示した。内部室の大きさ及びＸ線管２９のフィラ
メント電流と陽極電圧とを含むその他の試験された変数は，非常に少ししか
動作に影響しなかった（８頁右下欄１２行∼１７行）との記載があること。」
をもって上記主張の根拠とするものであるが，上記のような技術常識に鑑み
れば，引用刊行物１（甲１）における上記記載は，ターゲット電圧及びター
ゲット電流等の影響が，ガス流量，流体送達配管の直径・長さの影響に比し
相対的に低かったという趣旨に理解できるのであって，同記載をもって「引
用刊行物１にはＸ線波長，ターゲット電圧及びターゲット電流のいずれも除
電効率に影響を与えない旨が記載されている」と認めることはできない。
そうすると，この点に関する審決の認定に誤りがあるということはできな
いから，原告らの上記主張は採用することができない。
４取消事由２（進歩性判断の誤り）について
(1)相違点Ｃ及びＤにつき
ア原告らは，引用刊行物２∼４に記載された発明は，硬Ｘ線，β線又は紫
外線を帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射するものであるのに対し，引用
発明は電離室ハウジング１８と分離箱１２との間にイオン化ガスを送るた
めの流体送達配管２８が設けられることが必須であり，しかも，除電対象
物である帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を直接照射することを明示的
に排除しており，両者は全く相容れないから，引用刊行物２∼４に記載さ
れた技術を引用発明に適用することはできないと主張する。
イそこで，引用発明における流体送達配管の技術的意義についてみると，
前記３(1)のとおり，引用発明が記載された引用刊行物１（甲１）は「高，
電圧空気電離装置は，隔離された電極でか又は交互の期間で同じ電極で生
産される正及び負のイオンの混合を許すために，生産品から充分な距離を
離てられる必要がある。電極が近すぎる場合には，この装置がそれ自身で
生産品へ電荷を与えるかも知れない。従って，そのような装置は分離箱が
極端な寸法でない限り分離箱又はその他同様のものの中へは置かれ得な
い（５頁左上欄３行∼１０行）等といった技術課題を前提に，Ｘ線を照。」
射することによりイオン化された空気の流れを流体送達配管により導き，
帯電物体周辺に放出することで，帯電物体を取り囲む空気中の正及び負の
イオンである自由イオンを高水準に維持し，静電荷の累積を中和するとい
うものであるから，引用発明は流体送達配管の存在を前提とするものであ
るということができる。
もっとも，引用刊行物１（甲１）には「そのような目的のための普通，
の空気電離器は，防御されるべき物体から数フィート離れて典型的に置か
れた１個又はそれ以上の高電圧電極を含む。この電極によって創られた強
烈な電界がコロナ放電を起こし，空気の成分ガスの分子を荷電されたイオ
ンへ分離するように働く。…（４頁左下欄下７行∼下２行）と記載され」
ているから，上記課題における「高電圧電極」とはコロナ放電を起こす電
極を前提としているものと認められ，Ｘ線照射装置の電極を意味するもの
ではない。そうすると，引用刊行物１（甲１）の上記記載をもって，Ｘ線
照射でイオンを発生する位置が除電対象物に近いときに静電荷付与の問題
点があることが開示されているとまでいうことはできない。
しかも，引用刊行物（甲１）の「発明の背景」欄には「…反対極性の，
イオンは，電極から保護されるべき生産品迄漂流する間に相互に絶えず中
和される。両極性のイオンは又壁やそばの物体へも静電的に誘引され，そ
のとき電荷交換によって中和される。従って空気中のイオン含有量は電離
電極からの距離の関数として急速に低下する（５頁左上欄１２行∼１８。」
行）との記載があり，これによれば，空気中の両極性のイオン含有量を維
持するためには，イオンが電離（生成）した場所と保護されるべき生産品
との距離が短いことが望ましいことが当業者における技術常識であり，し
たがって，引用発明における上記課題解決方法自体，前記技術課題とは異
なる新たな技術課題を内包するものとして当業者に認識されるものである
ということができる（ちなみに，引用発明は，このような新たな技術課題
に対し，引用刊行物（甲１）の「配管中の湾曲が可能な量に回避された場
合及び出口取付部品６２を含む配管を通る流路の直径の変化も可能な限り
回避された場合に，反対極性のイオンの電荷交換による，又流体送達配管
２８の内壁との接触によるイオンの中和は低減される。これが流路中の騒
。」乱を最小化することにより前述の原因によるイオン損失を低減させる…
（８頁左上欄下５行∼右上欄２行「再び第１図を参照すると，イオン化），
されたガスが流体送達配管のような導管内の封入された流れとして使用さ
れる点へ配送されることにおいて，この装置１１は電荷抑制用の従来のイ
オン化システムとは異なる。使用される点に近い位置で周囲の空気を単純
にイオン化する従来の方法に対抗するから，自由イオンのこのような配管
は，最初に考えると不適当な手段であるように見える。外見上は，隣接す
る壁面との及び相互間での電荷交換からイオン損失の問題が非常に悪化さ
せられる。我々は，このシステムの一定のキー助変数が適当に相互に関係
付けられた場合には，イオンの充分高い濃度が数フィート以上の距離に対
して制限されたガスの流れの中に維持され得ることを見出した（８頁左。」
下欄９行∼右下欄２行）との記載が開示する手段により，流体送達配管の
使用によるイオンの損失を最小化する工夫を検討したものである。。）
そうすると，引用発明に接した当業者が，引用発明が前提及び内包する
前記各技術課題とその解決手段を再検討し，高いイオン濃度の維持の観点
からは不利となる流体送達配管を使用しない改変を検討することは，選択
肢として当業者において優に想定可能というべきであって，引用刊行物の
上記記載から，帯電物体の除電方法一般において流体送達配管が必須の構
成であり，これを用いない手段が想到できないものであるとまでは認めら
れない。審決が「なお，引用発明は，Ｘ線により生成された正及び負の，
イオンを流体送達配管２８によりこのイオン化された空気の流れを導くも
のであるものの，従来の方法に対して不適当と思われる，流体送達配管２
８によりイオン化された空気を導く方法が，ある条件で欠点にならないと
いうにすぎないのであって，帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射してイオ
ン化することができないというものではない（２７頁４行∼９行）とし。」
たことは上記趣旨を述べるものとして正当であって，これが誤りであると
いうことはできない。
ウ以上を踏まえて，さらに引用刊行物２∼４（甲２∼４）の記載内容につ
いて検討する。
(ｱ)引用刊行物２（甲２）
ａ引用刊行物２には，次の記載がある。
・「可燃性流体のコンテナの上部表面にＸ線源のアレイが配置されている。各
Ｘ線源は，高電圧発生器，電子加速管及びＸ線ターゲットを備えている。ま
た，各Ｘ線源は，防水及び防ガスの方法で当該Ｘ線源を維持する金属製封入
容器内に収容されている。広角ビームとして形成されたＸ線は，上記コンテ
ナ内のガス領域内で自由イオンを生成し，これらのイオンが，コンテナ内の
。」（，ガス充満領域内に形成された望ましくない静電場を中和させる１頁右欄
翻訳文中の要約書）
・「好ましくは，Ｘ線は３００ＫｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって
生成される。電力源（不図示）は高電圧発生器２４を動作させる。動作中，
Ｘ線源１０は，図１の３０及び図３の３２に示されたようにコンテナ内の領
。」（）域へ放射されるＸ線の広角ビームを生成する３欄２９行∼３５行の翻訳
ｂ以上によれば，引用刊行物２には，３００ＫｅＶ未満のエネルギー
を有する電子によって生成されたＸ線をコンテナ内の領域に放射，す
なわち，Ｘ線をガスに照射して，コンテナ内のガス領域内で自由イオ
ンを生成し，静電場を中和することが開示されている。
この点，原告らは，引用刊行物２では，ターゲット電圧や使用Ｘ線
波長の好適範囲が特定されておらず，引用刊行物２に記載のＸ線源の
構造からは硬Ｘ線の利用しかあり得ないとして，引用刊行物２に記載
された技術は引用発明に適用することができない旨主張するが，引用
刊行物２に好適範囲が記載されていないとしても，帯電物体の周辺雰
囲気，つまり帯電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線
の電離線を照射し，帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電する技
術が開示されていることは明らかであり，引用刊行物２の「Ｘ線は３
００ＫｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって生成される」との
条件に基づいて，除電効率の良いＸ線とそのためのターゲット電圧等
を実験的に求めることは，引用刊行物２に記載された技術事項を採用
，。しようとする際に当業者が当然に行うことにすぎないと認められる
，，したがって原告らの上記主張は前記認定を左右するものではなく
採用することができない。
(ｲ)引用刊行物３（甲３）
ａ引用刊行物３には，次の記載がある。
・「静電気を発生している個所に放射線を照射することにより静電気を発生し
ている個所の空気をイオン化してこの空気を導電媒体として静電気を中和さ
せることがすでに行われている。従来この原理を応用した静電気除去法は種
々為されているようであるが例えば第１図に示すように繊維の作業工程にあ
つては種々の装置との摩擦または繊維自体の摩擦によつて静電気を発生する
が特にガイドローラーＡによつて移送される際に帯電している繊維布Ｂに対
して例えばラジウムを線源とする放射性物質Ｃよりα線を該繊維布Ｂに照射
するかあるいはβ線を照射するかして繊維布Ｂの帯電を除去するものがあ
る（１頁右欄１行∼１３行）。」
ｂ以上によれば，引用刊行物３には，α線又はβ線を帯電物体である
繊維布に対して照射し，その箇所の空気をイオン化し，静電除去する
技術が開示されている。
(ｳ)引用刊行物４（甲４）
ａ引用刊行物４には，次の記載がある。
・「本発明は，光照射によるガスの電離作用を利用して帯電物体を除電する除
電方法に関する（１頁左下欄１３行∼１４行）。」
・「ガスを光照射によって電離し，そのイオン化したガスによって帯電物体を
間接的に除電すると，高電圧の除電電極によるコロナ放電によって除電する
場合に比べ，安全であるとともに電源も低電圧でよく経済的である（２頁。」
左上欄３行∼７行）
・「第１図に示すように，一定のガス雰囲気中において帯電物体１を絶縁材製
の支持台２に支持しておき，その上方より水銀ランプ３によって紫外線を照
射する。
本発明者は，この第１実施例について次のような条件で実験を行い，帯電物
体２の電位を電位測定器４で測定した。
ガス……１気圧，通常の空気
水銀ランプ……低圧石英ランプ
紫外線の最短波長及びそのエネルギー
……１８５０Å，６．７ｅＶ
（あるいは２５３７Å，４．９ｅＶ）
電位測定器……エレクトロメータ
水銀ランプと帯電物体間の距離……１５０mm
帯電物体と電位測定器間の距離……２０mm
帯電物体の長さ及び厚さ………８５mm，０．５mm
この測定データを第４図に示す。この図より明らかなように，帯電物体１が
正帯電をしている場合もまた負帯電をしている場合も，実線で示すように，
その電位が，紫外線照射により時間の推移に従つて減衰している。これは，
水銀ランプ３よりの紫外線の光のエネルギー（６．７ｅＶ）が空気の電離電
圧（約１２．５ｅＶ）より小さいにもかかわらず，空気がイオン化され，そ
れによつて帯電物体１が除電されていることを示している（２頁左上欄末。」
行∼左下欄５行）
ｂ以上によれば，引用刊行物４には，帯電物体を通常の空気中に支持
し，紫外線を帯電物体及びその雰囲気の空気に照射すると，ガスの電
離作用で空気がイオン化され，帯電物体が除電されることが開示され
ている。
(ｴ)前記(ｱ)∼(ｳ)によれば，Ｘ線，α線，紫外線とその種類は様々であ
，，，るが引用刊行物２∼４にはガスの電離作用を生じる電離線を利用し
帯電物体及びその周辺の雰囲気に電離線を照射し，帯電物体の周辺のガ
ス（空気）をイオン化して除電することが記載されているから，帯電物
体の静電気中和の技術分野においては「帯電物体の周辺雰囲気，つま，
り帯電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線，放射線，紫
外線等の電離線を照射し，帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電す
る」ことは周知であると認められる。
さらに，引用刊行物４には，ガスを光照射によって電離し，そのイオ
ン化したガスによって帯電物体を除電する方法はコロナ放電によって除
電する方法に比べて有利である旨が開示されており，電離線を帯電物体
の周辺の雰囲気空気に直接照射することは従来のコロナ放電の代替手段
となることが認められ，また，引用刊行物１（甲１）には「金属汚染物
の放出を回避するため及び正と負とのイオンの固有に平衡した生産を可
能にするために，高電圧電極によるよりはむしろＸ線あるいは他の電離
放射線によってイオンが生産される。…（６頁右上欄７行∼１０行）」
と記載されていることからすれば，引用刊行物１（甲１）記載の技術課
題の多く（正負イオンの適当な比率の維持の困難性，高電圧電極の近接
による生産品への電荷付与，金属の粒子の放出による微粒子汚染）が，
流通送達配管の使用とは無関係に，単にＸ線等の電離線の利用により解
決されることが認められる。
そして，前記イにおいて説示したとおり，空気中の両極性のイオン含
有量を維持するためには，イオンが電離（生成）した場所と保護される
べき生産品との距離が短いことが望ましいことは技術常識であり，流通
，，送達配管の使用は内壁との接触によるイオンの中和等が起こりやすく
イオンの充分高い濃度の維持の観点からは流体送達配管の使用が不利な
手段になるとの認識に基づけば，Ｘ線の照射により電離（生成）した両
極性のイオンを流通送達配管により移送して帯電物体の周囲の空気中の
自由イオンを高水準に維持することに代えて，帯電物体を含めてその周
辺の雰囲気に電離線を直接照射してイオンを生成する周知の手段を採用
することは，当業者が容易になし得ることと認められる。
また，液晶基板については，引用刊行物５（甲５）に，搬送中の液晶
用のガラス板に対向して設けた除電バーで静電気を除去することが示さ
れ，引用刊行物６（甲６）に，搬送機構上の液晶表示器用の透明電極基
板に電離空気を吹き付けて静電気を中和することが示され，引用刊行物
７（甲７）に，ＩＣパッケージ搬送工程においてイオン流を吹き付けて
静電気を除去することが示されているから，搬送系における液晶基板を
静電除去の対象とすることも周知である。
そうすると「Ｘ線を，搬送系における帯電物体としての液晶基板の，
周辺の雰囲気空気に直接照射することにより，該雰囲気空気をイオン化
すること（相違点Ｃ及びＤ）は，引用発明に上記引用刊行物２∼７記」
載の技術を適用することによって当業者が容易に想到し得ると認めら
れ，これと同旨である審決の判断に誤りはない。
，。したがってこの点に関する原告らの主張は採用することができない
(2)相違点Ｂにつき
ア原告らは，本件特許発明の特徴である「ターゲット電圧６ｋＶ以上かつ
ターゲット電流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ
線を照射する点」については，引用刊行物１∼７のいずれの刊行物からも
当業者が容易に想到することができるものではないと主張する。
，（），イこの点前記３(1)に認定した引用刊行物１甲１の記載に照らせば
引用発明は好適には比較的低エネルギーのＸ線を与えるように選択され調
節されるものであって，そのＸ線は，遮蔽する必要を最小化することを目
，，的としつつも薄い膜３１を貫通することが可能であることが必要とされ
双方の必要性の考慮の下に「１５ｋｅＶのエネルギーを有すＸ線」が例，
示されているものと認められ当該エネルギーの選択は引用刊行物１甲，，（
）。１の出願人が最良と理解した実施の態様であると理解することができる
すなわち，単に「遮蔽する必要を最小化する」ためであれば，Ｘ線のエネ
ルギーは小さいほど望ましいことは明らかであるが，Ｘ線をガスに照射す
るためにはＸ線管２９の外囲器の窓及び薄い窓３１を通して内部室１９内
へＸ線を導く必要があり，Ｘ線のエネルギーとして少なくとも薄い窓３１
を透過するための最低限のエネルギーが必要であるから引用刊行物１甲，（
１）における実施例（引用刊行物１において選択された窓３１の材質・厚
さ等を含む，様々な実施条件）において「薄い膜３１を貫通することが，
可能」なＸ線のエネルギーを考慮して，この「１５ｋｅＶのエネルギー」
を選択していると認められる。
そして「薄い膜３１」の材質・厚さ等の条件によりこれを貫通する際，
のＸ線の吸収も大きく異なり「薄い膜３１を貫通することが可能」なＸ，
線のエネルギーが変わることは明らかであるから，Ｘ線透過率がより高い
材料からなる窓を用い，また，その厚さを更に薄くするならば「薄い膜，
３１を貫通することが可能」なＸ線のエネルギーは更に小さくなるととも
に，遮蔽する必要が更に小さくなることは明らかである。
そうすると，引用発明における１５ｋｅＶ（すなわち，波長０.８２７
Å）のＸ線は実施例における例示であり，条件により変わり得るものにす
ぎないというべきであるから，比較的低エネルギーのＸ線を与えるように
選択・調節する過程において，上記波長のＸ線よりも更に低エネルギーの
Ｘ線の採用を検討することは当然のことであるし，また，Ｘ線が低エネル
ギー（長波長）になるほど吸収され易いことは当業者にとって技術常識で
あるから，遮蔽する必要を最小化する観点からも，Ｘ線照射により短い距
離で効率的にイオン生成する観点からも，Ｘ線を低エネルギー（長波長）
とすることが望ましいことは明らかであるから，引用発明において，Ｘ線
の波長をより長く設定することは，当業者が格別の困難を要することなく
なし得ることであるといえる。
そして，甲１３公報（特開昭５８−３２２００号公報）に記載されてい
るように，ピーク波長として１Å∼２Åの波長を含むＸ線（甲１３の第５
図参照）をＸ線管から出力させることも公知であって，Ｘ線として「１，
Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線」は従来より知られていたものにすぎず，
また，本件特許明細書（甲１２）には「１Å以上」及び「２Å未満」の，
具体的数値に関して，臨界的意義も記載されていない。すると，引用刊行
物１（甲１）に例示された１５ｋｅＶ（波長０.８２７Å）より低エネル
ギー（長波長）のＸ線として「１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線」を選，
択することが，当業者にとって格別困難ということはできない。
ウまた，ターゲット電圧についてみると，電子のエネルギーＥ（ｋｅＶ）
は，１つの電子がターゲット電圧Ｅ（ｋＶ）から得るエネルギーとして定
義され，この電子がターゲットに衝突して発生するＸ線スペクトルの最短
波長λ（Å）との間にはλ・Ｅ＝１２．４という周知の関係が成立するか
ら，ターゲット電圧６ｋＶ以上という限定は，波長１Å以上２Å未満のＸ
線の発生条件を完全に包含する条件であって，Ｘ線の波長限定と重複する
限定にすぎない。
エ次に，ターゲット電流についてみると，Ｘ線管の出力がターゲット電流
，，，と相関がありＸ線がガスの電離すなわちイオン生成を引き起こし更に
イオン出力が除電時間に影響することは当業者に自明であるといえるか
ら，これらの相関関係を前提にすれば，求める出力や除電時間に応じてタ
ーゲット電流について出力を設定することは当業者が普通になす設計事項
というべきである。そして「６０μＡ以上」との数値限定についても，，
本件特許明細書及び図面（甲８）において，ターゲット電流を限定する根
拠となる図６は，図４の実験装置による実験結果であるところ，除電時間
やイオン出力はＸ線管の構成や特性，チャンバの構造，ガスの状態等，各
種条件で変動することは，当業者に明らかである。そうすると，ターゲッ
ト電流の条件は普遍的な臨界条件に基づく値とはいえず，それぞれの装置
や要求に応じて当業者が適宜設定し得る値であるといえる。
オ以上によれば，本件特許発明のＸ線波長，ターゲット電圧及びターゲッ
ト電流のいずれの数値限定も当業者が適宜設定することといえるからタ，「
ーゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流６０μＡ以上で発生させた１
Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を照射する点」が容易想到でないとの原告
らの上記主張は，採用することができない。
(3)効果につき
ア原告らは，審決における本件特許発明の効果についての判断は，本件特
許発明の各発明特定事項について個々別々に論じられたものであって，発
明特定事項が組み合わされた本件特許発明の技術的思想についてなされた
ものはなく，誤りであるとか，本件特許発明の効果は，引用刊行物から予
測し得ない効果である旨主張する。
しかし，本件特許発明では，透過型のＸ線ユニットを用いること（原告
らの主張する特徴点ａ）により，照射範囲を広くすることができるととも
に，ターゲットで発生した軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができ，
また，小型化が可能であり（この点は原告らが自認するところである，）
そのため，雰囲気空気を効率的にイオン化して液晶基板を効率的に除電す
ることができるという効果や，配置スペースが限られる搬送系における液
晶基板の周辺の雰囲気空気にＸ線を照射する場合（同特徴点ｃ）において
もＸ線ユニットの配置の自由度が高く，また，Ｘ線ユニットの必要数を少
なくすることができるのであって，液晶基板を除電する際に低コスト化を
図ることができるとの効果は，透過型のＸ線ユニットを用いたことに付随
する効果ないしその効果に関連して当業者が容易に予測できたことにすぎ
ないというべきである。
また，本件特許発明では，ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電
流６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用いるこ
と（特徴点ｂ）により，硬Ｘ線を用いる場合と比較して，Ｘ線ユニットか
ら比較的短い距離の範囲において該軟Ｘ線が高い割合で雰囲気空気に吸収
されて，その範囲において高密度のイオンを生成することができるとの効
果も，軟Ｘ線が低エネルギーのＸ線であって，吸収されやすいことから必
然的に導かれる効果にすぎない。
これに対し原告らは，本件特許発明は特徴点ａ∼ｃが相俟って，搬送系
における液晶基板を高効率かつ低コストで除電することができると主張す
るが，原告らの主張する効果は，上記のように本件特許発明の各特徴点ａ
∼ｃのそれぞれに付随する作用・効果から導かれるものを超えるものでは
なく，当業者が容易に予測し得る程度のものにすぎない。
したがって，原告らの上記主張は採用することができない。
イ原告らは，本件特許発明の効果は，搬送系における液晶基板の広いエリ
アの除電を高効率かつ低コストで行うことができることのほかに，硬Ｘ線
照射の場合と比較して除電性能が高いこと，硬Ｘ線照射の場合と比較して
遮蔽対策が容易であること，オゾンの発生が抑制されること，イオン化し
たガスを配管等で搬送する場合と比較して除電性能が１００∼１０００倍
高いことも挙げられると主張する。
しかし，除電性能が高いことや遮蔽対策が容易であることは，上記アで
説示したとおり，軟Ｘ線が吸収されやすいことから必然的に導かれること
であるし，引用刊行物１（甲１）にも，遮蔽対策を最小化するために低エ
ネルギーのＸ線を用いることが開示されているのであるから，本件特許発
明が遮蔽対策が容易であるとしても，当業者が予測し得る程度のこととい
わざるを得ない。
また，本件特許明細書（全文訂正明細書，甲１２）には「オゾン発生，
については，光子のエネルギが数百ｅＶ∼数ｋｅＶオーダーで非常に高い
ため，効率よくガス分子及び原子はイオン化することができ，その結果，
オゾン生成に最も寄与すると考えられる中性の酸素原子ラジカル数は少な
くなり，オゾンの発生は抑制される（８頁下３行∼９頁１行）との記載。」
はあるが，一般にオゾン発生が多いとされる紫外線照射の場合と比較した
結果に基づくものにすぎない。なお，引用刊行物１（甲１）には，オゾン
の発生を回避するために窒素のような酸素を含まないガスを使用する旨が
記載されているが（６頁右上欄５行∼６行，雰囲気空気に照射する際に）
おける本件特許発明の軟Ｘ線照射の場合と甲１記載のＸ線照射の場合との
オゾン発生量の定量的な比較は明らかではないから，本件特許発明が引用
発明と比較して，オゾンの発生の抑制に格別の効果があるとも認めること
ができない。
また，本件特許発明が，イオン化したガスを配管等で搬送する場合と比
較して除電性能が１００∼１０００倍高いことについては，引用刊行物１
（甲１）には，充分高いイオン濃度の維持の観点からは，流体送達配管の
使用が通常は不利な手段となることが開示されているのであるから，流体
送達配管を使用した引用発明に比して本件特許発明の除電性能が高くなる
ことは当然のことであるし，ガス流量や流体送達配管の構造によりイオン
の送達量が大きく影響を受けることは引用刊行物１（甲１）にも開示され
ているから，除電性能の差（比率）はこれら条件に依存するものと認めら
れる。そうすると，本件特許発明の除電性能に関する上記効果は，当業者
が予測し得ないものということはできない。
したがって，原告らの上記主張は，いずれも採用することができない。
ウ原告らは，引用発明と比較して本件特許発明の除電性能が高いことを裏
付けるものとして，シミュレーション計算の結果を主張する。
しかし，原告らの主張する上記シミュレーションは，結果を導くための
計算手法が明確ではないし，シミュレーションの前提となる条件も，除電
対象物である液晶基板と作業台とを平行に設置し，その隙間に向けて除電
装置を設置した場合について行っている等，本件特許明細書に記載された
実施例とは一致していないから，シミュレーション結果が直ちに本件特許
発明の効果であると認定することはできない。
エ原告らは，甲９文献及び甲１０文献を参照して，本件特許発明は，その
技術的特徴及び格別の効果に基づいて商業的成功を成し遂げているパイオ
ニア発明であると主張する。
しかし，甲９文献に記載の光照射型除電装置は，極軟Ｘ線（＝ＵＳＸ）
除電装置又は真空紫外線（＝ＶＵＶ）除電装置であるから（３０頁左欄参
照，本件特許発明に係る軟Ｘ線による除電装置と同一のものとは認めら）
，，，，れないしまた甲１０文献をみてもそこに記載のフォトイオナイザは
軟Ｘ線を対象物に照射するものではあるものの，その波長は明示されてい
ない。
そうすると，甲９文献及び甲１０文献に記載された効果等をもってして
は，本件特許発明の技術的特徴に関する格別の効果ないし商業的成功を証
明するものとは認められないから，原告らの上記主張は採用することがで
きない。
５取消事由３（引用刊行物１の引用例としての適格性判断の誤り）について
(1)原告らは，引用刊行物１（甲１）には，本件特許発明に容易に想到する
ことを妨げるほどの記載があるから，引用発明としての適格性を欠くと主張
するが，引用刊行物１（甲１）が特許法２９条１項３号の特許出願前に頒布
された刊行物に該当することは明らかであるし，原告らが容易想到性を妨げ
る旨の記載として挙げる流体送達配管やＸ線波長，ターゲット電圧及びター
ゲット電流の除電効率等に関する事情が容易想到性を判断する上で支障とな
るものでないことは，前記取消事由２に対する判断において説示したとおり
である。
したがって，これを進歩性判断の対象となし得ることは明らかであって，
原告らの上記主張は採用することができない。
(2)また原告らは，引用発明は未完成ないし工業的に実施不可能なものであ
るから，引用刊行物１（甲１）はこの点でも引用例としての適格性を欠くと
主張する。
しかし，原告らの主張は，電離室ハウジングにおけるイオン生成効率が低
いとか，流体送達配管による分離箱の内部領域へのイオン導入効率が低いと
か，分離箱の内部領域におけるイオン利用効率が低いなど，本件特許発明等
と比較した場合に引用発明の効果の程度が小さいことをいうものであって，
同主張を考慮してもなお，引用発明が原理的に実施することが不可能な発明
であるとは認められない。
したがって，引用刊行物１（甲１）が引用例としての適格性を欠くという
ことはできず，原告らの上記主張は採用することができない。
６結論
以上によれば，原告ら主張の取消事由はすべて理由がない。
よって，原告らの請求を棄却することとして，主文のとおり判決する。
知的財産高等裁判所第２部
裁判長裁判官中野哲弘
裁判官森義之
裁判官澁谷勝海

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