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平成28年8月3日判決言渡同日原本受領裁判所書記官
平成27年(行ケ)第10160号審決取消請求事件
口頭弁論終結日平成28年7月13日
判決
原告ヘッドウェイテクノロジーズ
インコーポレイテッド
同訴訟代理人弁理士三反崎泰司
舘花敦司
田名網孝昭
遠藤宏行
竹尾泰人
岩井優子
被告特許庁長官
同指定代理人井上信一
関谷隆一
森川幸俊
富澤哲生
冨澤武志
主文
1原告の請求を棄却する。
2訴訟費用は原告の負担とする。
3この判決に対する上告及び上告受理申立てのための付加期間を
30日と定める。
事実及び理由
第1請求
特許庁が不服2014-11050号事件について平成27年3月31日にした
審決を取り消す。
第2事案の概要
1特許庁における手続の経緯等
(1)原告は,平成20年11月4日(優先権主張:平成19年11月2日,米
国),発明の名称を「垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法」とする特許出願
(特願2008-283461。以下「本願」という。甲4)をし,平成25年3
月15日付けで拒絶理由通知(甲6)を受けたことから,同年7月19日付け手続
補正書(甲5)により特許請求の範囲を補正した(以下「本件補正」という。)。
(2)原告は,平成26年2月4日付けで拒絶査定(甲7)を受けたため,同年
6月11日,これに対する不服の審判を請求した。
⑶特許庁は,これを,不服2014-11050号事件として審理し,平成2
7年3月31日,「本件審判の請求は,成り立たない。」との別紙審決書(写し)記
載の審決(以下「本件審決」という。)をし,同年4月14日,その謄本が原告に
送達された。なお,出訴期間として90日が附加された。
⑷原告は,平成27年8月11日,本件審決の取消しを求める本件訴訟を提起
した。
2特許請求の範囲の記載
本件補正後の特許請求の範囲請求項1の記載は,次のとおりのものである(甲
5)。以下,この請求項に記載された発明を「本願発明」といい,その明細書(甲
甲4,5)を,図面を含めて「本願明細書」という。なお,「/」は,原文の改行
部分を示す(以下同じ。)。
【請求項1】基体の上に形成されたテーパ主磁極層と,前記テーパ主磁極層の上
に形成されたテーパ非磁性上部形状層と,前記テーパ主磁極層および前記テーパ非
磁性上部形状層の上に形成されると共に一定の厚さを有する記録ギャップ層と,前
記記録ギャップ層の上に形成されたトレーリングシールドと,を備えた垂直磁気記
録ヘッドであって,/(a)前記テーパ主磁極層は,下側部分および上側部分を有
し,/前記下側部分は,エアベアリング面に磁極先端部を有すると共に,前記基体
の表面に平行な上面を有し,/前記上側部分は,前記エアベアリング面における一
端部と前記一端部よりも前記エアベアリング面から離れた側に位置すると共に前記
一端部よりも前記基体から離れた側に位置する他端部との間における傾斜面と,前
記他端部において前記傾斜面に連結されると共に前記基体の表面に平行な上面と,
を有し,/(b)前記テーパ非磁性上部形状層は,前記テーパ主磁極層の上側部分
の上に配置されていると共に,前記上側部分の他端部に一致する一端部と前記一端
部よりも前記エアベアリング面から離れた側における所定の距離に位置すると共に
前記一端部よりも前記基体から離れた側に位置する他端部との間における傾斜面と,
前記他端部において前記傾斜面に連結されると共に前記基体の表面に平行な上面と,
を有し,/前記テーパ主磁極層の傾斜面と前記テーパ非磁性上部形状層の傾斜面と
は,同一面内に位置し,/(c)前記記録ギャップ層は,前記テーパ主磁極層の傾
斜面および前記テーパ非磁性上部形状層の傾斜面の上に配置された第1部分と,前
記テーパ非磁性上部形状層の上面の上に配置された第2部分と,を有し,/(d)
前記トレーリングシールドは,前記記録ギャップ層の第1部分の上に配置されてい
ると共に,前記エアベアリング面に沿った第1側面と,前記エアベアリング面から
離れた側における前記所定の距離に位置すると共に前記第1側面に対向する第2側
面と,前記記録ギャップ層の第1部分に隣接した第3側面と,前記第3側面に対向
すると共に前記エアベアリング面に垂直な第4側面と,を有する/ことを特徴とす
る垂直磁気記録ヘッド。
3本件審決の理由の要旨
(1)本件審決の理由は,別紙審決書(写し)のとおりである。要するに,本願
発明は,下記アの引用例に記載された発明(以下「引用発明」という。)及び下記
イ及びウの周知例に記載された周知技術に基づいて,当業者が容易に発明をするこ
とができたものであるから,特許法29条2項の規定により特許を受けることがで
きない,というものである。
ア引用例:特開2007-242210号公報(甲1)
イ周知例:特開2005-302281号公報(甲2)
ウ周知例:特開2002-133610号公報(甲3)
(2)本願発明と引用発明との対比
ア引用発明
本件審決が認定した引用発明は,以下のとおりである。
基板の上に積層され,媒体対向面に配置された端面を有し,コイルによって発生
された磁界に対応する磁束を通過させると共に,垂直磁気記録方式によって情報を
記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と,シールドとを備えた垂直
磁気記録用磁気ヘッドであって,/前記シールドは,前記媒体対向面において前記
磁極層の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第1層
を有し,/前記磁極層と前記第1層との間には好ましくはALCVD法を用いて形
成され一定の厚さを有するギャップ層が設けられ,/前記媒体対向面において前記
第1層の端面は,前記磁極層の端面に対して,前記ギャップ層の厚みによる所定の
間隔を開けて配置されてなる垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて,/前記磁極層は,
前記媒体対向面に配置された端面を有し,前記媒体対向面からの距離に応じて変化
しない厚みを有する第1の部分と,当該第1の部分よりも前記媒体対向面から遠い
位置に配置され,前記媒体対向面からの距離に応じて第1の部分よりも徐々に厚み
が大きくなり,その後変化しない厚みを有する第2の部分とを有していて,その上
面は屈曲しており,/前記磁極層の上面が屈曲していることに伴い,前記ギャップ
層も前記磁極層の上面に沿って屈曲しており,前記第1層の下面も前記ギャップ層
を介して前記磁極層の上面に対向するように屈曲しており,/前記シールドを構成
する前記第1層は,前記媒体対向面における前記端面と,前記媒体対向面から所定
距離離れた側において前記端面と対向する側面と,前記ギャップ層に隣接した前記
下面と,当該下面に対向するとともに前記媒体対向面に垂直な上面とを有し,/
更に,前記媒体対向面から見て最初に前記ギャップ層が屈曲する位置よりも,前記
媒体対向面から遠い領域において,前記磁極層と前記ギャップ層との間に非磁性膜
が配置され,当該非磁性膜は,前記磁極層の前記第2の部分の上に配置され,当該
第2の部分における徐々に厚みが大きくなる部分と変化しない厚みの部分との境界
位置より前記媒体対向面からの距離に応じて徐々に厚みが大きくなり,その後変化
しない厚みを有するものであり,当該非磁性膜を設けたことによってこの領域にお
ける前記磁極層と前記第1層との間における磁束の漏れを当該非磁性膜がない場合
に比べて少なくなるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッド。
イ本願発明と引用発明との一致点及び相違点
本件審決が認定した本願発明と引用発明との一致点及び相違点は,以下のとおり
である。
(ア)一致点
「基体の上に形成されたテーパ主磁極層と,前記テーパ主磁極層の上に形成され
たテーパ非磁性上部形状層と,前記テーパ主磁極層および前記テーパ非磁性上部形
状層の上に形成されると共に一定の厚さを有する記録ギャップ層と,前記記録ギャ
ップ層の上に形成されたトレーリングシールドと,を備えた垂直磁気記録ヘッドで
あって,/(a)前記テーパ主磁極層は,下側部分および上側部分を有し,/前記
下側部分は,エアベアリング面に磁極先端部を有すると共に,前記基体の表面に平
行な上面を有し,/前記上側部分は,一端部と前記一端部よりも前記エアベアリン
グ面から離れた側に位置すると共に前記一端部よりも前記基体から離れた側に位置
する他端部との間における傾斜面と,前記他端部において前記傾斜面に連結される
と共に前記基体の表面に平行な上面と,を有し,/(b)前記テーパ非磁性上部形
状層は,前記テーパ主磁極層の上側部分の上に配置されていると共に,前記上側部
分の他端部に一致する一端部と前記一端部よりも前記エアベアリング面から離れた
側における所定の距離に位置すると共に前記一端部よりも前記基体から離れた側に
位置する他端部との間における傾斜面と,前記他端部において前記傾斜面に連結さ
れると共に前記基体の表面に平行な上面と,を有し,/(c)前記記録ギャップ層
は,前記テーパ主磁極層の傾斜面および前記テーパ非磁性上部形状層の傾斜面の上
に配置された第1部分と,前記テーパ非磁性上部形状層の上面の上に配置された第
2部分と,を有し,/(d)前記トレーリングシールドは,前記記録ギャップ層の
第1部分の上に配置されていると共に,前記エアベアリング面に沿った第1側面と,
前記エアベアリング面から離れた側における所定の距離に位置すると共に前記第1
側面に対向する第2側面と,前記記録ギャップ層の第1部分に隣接した第3側面と,
前記第3側面に対向すると共に前記エアベアリング面に垂直な第4側面と,を有す
る/ことを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。」である点。
(イ)相違点1
テーパ主磁極層(の上側部分)における傾斜面の一端部について,本願発明では,
「前記エアベアリング面における」ものである,つまり,エアベアリング面に位置
している旨特定するのに対し,引用発明では,そのような構成を有していない点。
(ウ)相違点2
テーパ主磁極層の傾斜面とテーパ非磁性上部形状層の傾斜面について,本願発明
では,「同一面上に位置し」ている旨特定するのに対し,引用発明では,そのよう
な特定を有していない点。
(エ)相違点3
トレーリングシールドにおけるエアベアリング面から離れた側に位置する第2側
面について,エアベアリング面からの所定の距離が,本願発明では,「前記所定の
距離」,つまり,エアベアリング面からテーパ非磁性上部形状層の傾斜面の他端部
までの距離である旨特定するのに対し,引用発明では,そのような特定を有してい
ない点。
4取消事由
本願発明の容易想到性の判断の誤り
(1)引用発明の認定の誤り
(2)本願発明と引用発明との相違点の看過
(3)顕著な効果の看過
第3当事者の主張
〔原告の主張〕
(1)引用発明の認定の誤り
ア本件審決における認定
引用例には,スロートハイトの範囲内にギャップ層14のうちの平坦な部分を含
ませること,言い換えれば,スロートハイトの範囲内に含まれるギャップ層14の
うちの前方ギャップ部分を傾斜させないことを前提とする垂直磁気記録用磁気ヘッ
ドが記載されている。
しかし,本件審決は,引用発明の認定に当たり,上記の点を認定していないから,
誤りである。
イスロートハイトとシールド第1層13Aの体積との関連性
(ア)引用例において,垂直磁気記録用磁気ヘッドの性能を決定する重要なパラ
メータの1つであるスロートハイト(TH)は,第1層13Aのうちの媒体対向面
30から遠い側の端部ではなく,その媒体対向面30から見て最初にギャップ層1
4(第1層13Aの下面)が屈曲する位置により決定されている(【0110】)。
そして,引用発明にかかる垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいては,スロートハイト
の範囲内にはギャップ層14のうちの平坦な部分が必ず含まれている(図2等)。
(イ)スロートハイトの範囲内に平坦な前方ギャップ部分が含まれているのは,
オーバーライト特性を向上させるために,第1層13Aの体積を十分に大きくしな
がらスロートハイトを小さくしたいからである(【0110】)。
すなわち,スロートハイトの値を維持(固定)したまま,そのスロートハイトの
値の範囲内に,平坦な前方ギャップ部分だけでなく,傾斜した中央ギャップ部分ま
で存在させようとすると,ギャップ層14の位置(媒体対向面30から見てギャッ
プ層14が最初に屈曲する位置)を前方にシフトさせることになる。しかし,ギャ
ップ層14の位置を前方にシフトさせると,第1層13Aの体積,すなわち第1層
13Aにおける磁束の収容可能量は減少する。よって,引用発明では,ギャップ層
14の位置を前方にシフトさせる(ギャップ層14中に占める前方ギャップ部分の
割合を小さくすることにより,引用発明の構成を本願発明の構成に近づける)と,
第1層13Aにおける磁束の収容可能量が減少し,これにより,磁極層12からギ
ャップ層14を経由して第1層13Aに磁束が漏洩すると,第1層13Aでは磁束
の飽和現象が発生しやすくなる。
また,本願発明におけるトレーリングシールド24の後端(第2側面24c)の
位置と同じ位置になるように,第1層13Aの後端の位置を前方にシフトさせると,
第1層13Aの体積(磁束の収容可能量)がより減少するため,その第1層13A
では磁束の飽和現象がより発生しやすくなる。
(ウ)したがって,引用発明の構成を採用することにより,第1層13Aの体積
が最大となり,その第1層13Aにおける磁束の飽和現象が最も発生しにくくなる。
ウ小括
このように,引用発明にかかる垂直磁気記録用磁気ヘッドでは,第1層13Aの
体積(磁束の収容可能量)を十分に大きくするために,スロートハイトの範囲内に
ギャップ層14のうちの平坦な部分を含ませることを前提としており,言い換えれ
ば,スロートハイトの範囲内に含まれるギャップ層14のうちの前方ギャップ部分
を傾斜させないことを前提としている。
したがって,このスロートハイトの範囲内に含まれるギャップ層14のうちの前
方ギャップ部分を傾斜させないことを前提とする構成こそ,本願発明と対比すべき
構成である。
(2)本願発明と引用発明との相違点の看過
本願発明の構成は,スロートハイトの範囲内に記録ギャップ層のうちの傾斜した
部分を積極的に含ませようとしている点において,引用発明の構成とは全く異なっ
ている。
したがって,スロートハイトの範囲内に記録ギャップ層のうちの傾斜した部分を
積極的に含ませているか否かという相違点を看過した本件審決は誤りである。
(3)顕著な効果の看過
ア本件審決の認定
本願発明には,記録磁界の強度の増大とトレーリングシールド24における磁束
飽和の抑制とを両立させる観点から記録性能を向上させることができるという顕著
な効果がある。
しかし,本件審決は,本願発明のこのような顕著な効果を看過しているから誤り
である。
イ本願発明の顕著な効果
(ア)本願発明において,記録ギャップ層23のうち,ABS25-25に最も
近い部分を平坦にしていないのは,これにより,トレーリングシールド24におけ
る磁束の飽和が抑制されるからである。
すなわち,記録ギャップ層23のうち,ABS25-25に最も近い部分が平坦
であり,その平坦な部分の後方に傾斜した部分が存在していると,その記録ギャッ
プ層23の平坦及び傾斜を反映して,テーパ主磁極層23も同様にABS25-2
5に最も近い側では平坦になると共にその後方では傾斜する。この場合には,テー
パ主磁極層23の内部を磁束が流れる際に,傾斜した後方部分では磁束が絞り込ま
れることにより最大限に集中したのち,平坦な部分では磁束が最大限に集中した状
態を維持したまま流れるため,その最大限に集中した磁束の一部がトレーリングシ
ールド24に漏れやすくなり,そのため,トレーリングシールド24において磁束
が飽和しやすくなる。
これに対して,記録ギャップ層23のうち,ABS25-25に最も近い部分が
傾斜していると,その傾斜に応じてテーパ主磁極層23の内部において絞り込まれ
ることにより最大限に集中した磁束は,その最大限に集中した状態のままで直ちに
テーパ主磁極層23から外部に放出される。これにより,トレーリングシールド2
4に磁束が漏れにくくなり,磁束の飽和が抑制される。
(イ)一方,引用発明は,ギャップ層14のうち,媒体対向面30に最も近い部
分を意図的に平坦にしており,その平坦な部分よりも後方の部分を傾斜させてい
る。この場合には,磁極層12のうちの傾斜部分の内部において絞り込まれること
により最大に集中した磁束は,平坦部分の内部を流れる過程において第1層13A
に漏れやすくなり,そのため,第1層13Aにおいて磁束が飽和しやすくなる。し
かも,磁極層12から第1層13Aに磁束が漏れやすくなると,その磁極層12か
ら外部に放出される磁束の量が減少するため,記録磁界の強度も減少してしまう。
そして,引用発明では,単に,磁極層12と第1層13Aとの間に非磁性膜41
を設けることにより,磁極層12を第1層13Aから遠ざけているだけであり,磁
極層12の内部において最大限に集中した状態の磁束が第1層13Aに漏れること
を抑制しようとしていない。
また,そもそも,引用発明において,ギャップ層14の位置を前方にシフトさせ
すぎると,第1層13Aにおいて磁束の飽和現象が発生しやすくなるという阻害事
由も生じることにもなる。
(ウ)よって,本願発明では,記録磁界の強度の増大とトレーリングシールド2
4における磁束飽和の抑制とを両立させる観点から記録性能を向上させることがで
きるという顕著な効果が得られるのに対し,引用発明では,かかる本願発明の効果
が得られない。
ウ本願明細書の記載
本願明細書(【0061】,【0062】)は,テーパ主磁極層21の内部を磁
束が流れる過程において,傾斜面21sを利用して磁束が最大限に集中すること,
テーパ主磁極層21の内部を流れる磁束がトレーリングシールド24に漏洩するこ
とを抑制すること,最大限に集中した十分な量の磁束がテーパ主磁極層21から外
部に放出されることを説明している。
また,本願明細書(【0019】など)は,記録磁界の強度を増大させつつ,ト
レーリングシールド24における磁束の飽和を抑制することにより,記録性能が向
上することを説明している。
したがって,原告の主張にかかる本願発明の作用効果は,本願明細書に記載され
ているに等しい自明な事項であるというべきである。
エ小括
このように,本願発明は,記録ギャップ層23のうち,ABS25-25に最も
近い部分を積極的に傾斜させることにより,テーパ主磁極層21の内部において最
大限に集中した状態の磁束がトレーリングシールド24に著しく漏れやすいという
現象を抑制し,これにより記録性能を向上させるという顕著な効果を得られたもの
であり,この点を看過した本件審決は誤りである。
〔被告の主張〕
(1)引用発明の認定に誤りがないこと
ア本件審決における認定
本件審決は,引用発明について,磁極層が媒体対向面からの距離に応じて変化し
ない厚みを有する「第1の部分」を有することを認定し,さらに,ギャップ層が一
定の厚さで磁極層の上面に形成され,磁極層の上面に沿って屈曲していることを認
定している。
そして,一定の厚さで形成されるギャップ層には,磁極層の上面の形状(平坦及
び傾斜)がそのまま反映されるから,磁極層が媒体対向面からの距離に応じて変化
しない厚みを有する「第1の部分」を有することをもって,当該ギャップ層も磁極
層の「第1の部分」に対応して平坦な部分を有することが当然に導き出される。
したがって,本件審決は,引用発明について,ギャップ層が媒体対向面側に平坦
な部分を有する(前方ギャップ部分を傾斜させない)ことを実質的に認定している。
よって,本件審決における引用発明の認定に,原告が主張するような誤りはない。
イ原告の主張について
(ア)引用発明は,ギャップ層14のうちの媒体対向面側に平坦な部分を含ませ
る(前方ギャップ部分を傾斜させない)ことを必須の構成要件とするものではない。
すなわち,引用発明は,コイルが発生する熱によってシールドの媒体対向面側の
端部が突出することを抑制し,その結果,スロートハイトを正確に決めること,及
び広範囲隣接トラック消去の発生を抑制することを課題とするものである。そして,
引用発明は,当該課題を解決するために,磁極層12を間に挟むようにトレーリン
グ側にシールド第1層13Aを,リーディング側にシールド第2層13Bを設けた
こと,及びコイルの配置を,磁極層12から見て第1層13A側(トレーリング側)
ではなく,第2層13B側(リーディング側)としたことを技術的特徴とするもの
であって,これらを必須の構成要件とするものである。一方,上記課題は,ギャッ
プ層14が媒体対向面側に平坦な部分を含む(前方ギャップ部分を傾斜させない)
構成の場合に特有のものというわけではない。
これらのことは,引用例の特許請求の範囲において,独立形式で記載された請求
項1には,当然,前記技術的特徴は記載されているが,原告が主張するような,ギ
ャップ層14のうちの媒体対向面側に平坦な部分を含ませる(前方ギャップ部分を
傾斜させない)ことを実質的に特定するような記載はないことからしても明らかで
ある。
(イ)また,第1層13Aは,媒体対向面30から見て最初にギャップ層14が
屈曲する位置を超えて,それよりも媒体対向面30から遠い範囲にまで及んでいる
ことが読み取れるところ(図2,21),第1層13Aの体積が十分に大きくなり,
これにより磁束の飽和現象が発生しにくくなる理由は,平坦な前方ギャップ部分が
存在しているからではなく,第1層13Aが「媒体対向面30から遠い端部」にま
で及んでいるからである。また,第1層13Aが「媒体対向面30から遠い端部」
に及んでいる場合は,スロートハイトを小さくしても,それによる第1層13Aの
体積の減少分の第1層13A全体に占める割合を十分小さくすることができる。
したがって,スロートハイトとシールド第1層13Aの体積との間に関連性はな
い。
(2)本願発明と引用発明との相違点の看過がないこと
本件審決で認定した相違点1には,磁極層の上に一定の厚さで形成され,磁極層
の上面の形状をそのまま反映するギャップ層について,本願発明では,媒体対向面
(エアベアリング面)側に平坦な部分を有さない(前方ギャップ部分を傾斜させる)
ものであるのに対し,引用発明では,媒体対向面(エアベアリング面)側に平坦な
部分を有する(前方ギャップ部分を傾斜させない)ものである点で相違することも
実質的に含まれている。
(3)顕著な効果の看過がないこと
ア本願明細書の記載
(ア)原告が主張する,記録ギャップ層のうち媒体対向面に最も近い部分を平坦
にせずに傾斜させていることによって,トレーリングシールドにおける磁束の飽和
が抑制されるという作用効果については,そもそも本願明細書には記載されておら
ず,記載されているに等しい自明な事項であるともいえない。
したがって,相違点の判断において,上記作用効果は参酌することを要しないと
いうべきである。
(イ)具体的には,本願明細書には,トレーリングシールドにおける磁束の飽和
の抑制について,例えば「…また,トレーリングシールドとテーパ主磁極層との間
にテーパ非磁性上部形状層が挿入されているため,そのトレーリングシールドにお
いて磁束が飽和しにくくなる。…」と記載され(【0017】),また「この参考例
のPMRヘッド30では,テーパ主磁極層11がテーパ部(傾斜面11s)を有し
ており,そのテーパ主磁極層11中を流れる磁束がABS14-14近傍において
集中するため,記録磁界の強度が高くなる。しかしながら,トレーリングシールド
13がテーパ主磁極層11に近すぎて,そのテーパ主磁極層11からトレーリング
シールド13へ磁束が過剰に漏れやすいため,トレーリングシールド13において
磁束が飽和しやすくなる。これに対して,本実施の形態のPMRヘッド20では,
PMRヘッド30と同様に,テーパ主磁極層21中を流れる磁束がABS25-2
5近傍において集中するため,記録磁界の強度が高くなる。また,トレーリングシ
ールド24とテーパ主磁極層21との間に非テーパ非磁性上部形状層22が挿入さ
れており,テーパ主磁極層21からトレーリングシールド24へ磁束が過剰に漏れ
にくいため,そのトレーリングシールド24において磁束が飽和しにくくなる。」
と記載されている(【0061】,【0062】)。
このように,本願明細書には,トレーリングシールドにおける磁束の飽和を抑制
するための手段としては,トレーリングシールドとテーパ主磁極層との間に「非テ
ーパ非磁性上部形状層」を挿入するという構成が記載されているのみである。
イ本願発明の顕著な効果
仮に,原告が主張する,記録ギャップ層のうち媒体対向面に最も近い部分を平坦
にせずに傾斜させていることによって,トレーリングシールドにおける磁束の飽和
が抑制されるという作用効果が,本願明細書に記載されているに等しい自明な事項
であるとしても,それは引用発明及び周知の技術事項から当業者であれば容易に予
測し得る程度のものである。
すなわち,主磁極層を流れる磁束を集中させて記録磁界の強度を高くするために
主磁極の先端部の例えばトレーリング側に傾斜面(テーパ)を設ける際に,傾斜面
(テーパ)をエアベアリング面から始まるように設けることは周知の技術事項であ
る(特開2005-302281号公報,特開2002-133610号公報)。
そして,引用発明に対して,かかる周知の技術事項を採用した場合には,磁極層が
媒体対向面からの距離に応じて変化しない厚みを有する「第1の部分」を有しない
ものとなり,当該磁極層の上に一定の厚さで形成され,磁極層の上面の形状をその
まま反映するギャップ層は,媒体対向面(エアベアリング面)に最も近い部分にお
いて,平坦な部分を有さず傾斜したものとなる。
したがって,原告が主張する作用効果は,引用発明に周知の技術事項を採用すれ
ば,当然に得られる作用効果であるといえ,当業者であれば容易に予測し得る程度
のものである。
第4当裁判所の判断
1本願発明について
(1)本願明細書の記載
本願発明に係る特許請求の範囲は,前記第2の2【請求項1】のとおりであると
ころ,本願明細書(甲4,5)には,おおむね,次の記載がある(下記記載中に引
用する図1,6,13については,別紙本願明細書図面目録を参照。)。
ア技術分野
【0001】本発明は,主磁極層,記録ギャップ層およびトレーリングシールド
を備えた垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
イ背景技術
【0002】近年,ハードディスクドライブ(harddiskdrive:HDD)の記
録デバイスとして,垂直磁気記録(perpendicularmagneticrecording:PMR)
方式の記録ヘッドが広く用いられており,そのような方式の記録ヘッドは,垂直磁
気記録(PMR)ヘッドと呼ばれている。PMRヘッドは,長手磁気記録
(longitudinalmagneticrecording:LMR)方式の記録ヘッド(長手磁気記録
(LMR)ヘッド)に代わる記録デバイスであり,200ギガビット/インチ2

超える高密度記録用途の主流技術である。高密度記録用途では,ヘッドサイズの小
型化に伴い,22キロガウス超の高飽和磁束密度(Bs)を有する高モーメント軟
磁性薄膜が必要である。
【0003】垂直磁気記録方式では,PMRヘッド(単磁極)と二層記録媒体
(軟磁性下地層)とを組み合わせることにより,長手磁気記録方式を上回る利点が
得られる。この利点とは,高い記録磁界,良好な再生バック信号および高い面記録
密度などである。特に,トレーリングシールドを備えたシールド型のPMRヘッド
では,単磁極のトレーリング側において記録磁界の勾配が増大するため,記録性能
がさらに改善される。
【0004】図13は,従来のPMRヘッド(PMRヘッド1)の主要部の断面
構成を表している。PMRヘッド1は,記録媒体2に対向するエアベアリング面
(airbearingsurface:ABS)6-6を有しており,その記録媒体2に対して
ABS6-6に沿って-z方向(下方向)に移動する。
【0005】このPMRヘッド1は,主磁極層3,記録ギャップ層4およびトレ
ーリングシールド5がこの順に積層された構造を含んでおり,それらはいずれもA
BS6-6に沿っている。記録ギャップ層4は,平坦であり,ライトギャップ
(writegap:WG)を規定する一定の厚さを有している。主磁極層3およびトレ
ーリングシールド5は,記録ギャップ層4により隔てられている。トレーリングシ
ールド5の高さ,すなわちABS6-6に沿った側面とそれに対向する反対側の側
面との間の距離は,いわゆるスロートハイト(throatheight:TH)であり,一
般に,約0.1μm~0.3μmである。ABS6-6は,主磁極層3,記録ギャ
ップ層4およびトレーリングシールド5を形成したのち,それらを一側面側から一
括して研磨することにより形成される。
【0007】記録磁界の強度および勾配の双方を適正化するためには,THを小
さくすることが望ましい。ところが,PMRヘッド1では,THを小さくしようと
すると,製造上の要因(ABS6-6の形成時における研磨量の精度誤差)に起因
して,THを厳密に制御することが困難になる。この場合には,THが小さくなり
すぎると,トレーリングシールド5の体積(磁束の収容量)が不足するため,その
トレーリングシールド5において磁束が飽和しやすくなる。これにより,SN比
(signaltonoiseratio:SNR)が低下しやすくなる。
ウ発明が解決しようとする課題
【0009】上記したように多くの検討がなされているにもかかわらず,従来の
PMRヘッドでは,依然として,THを厳密に制御することが困難であるため,ト
レーリングシールドにおいて磁束が飽和しやすい状況にある。このため,高性能な
PMRヘッドを実現するためには,未だ改善の余地がある。
【0010】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので,その第1の目的は,
トレーリングシールドにおける磁束の飽和を抑制することにより,記録性能を向上
させることが可能な垂直磁気記録ヘッドを提供することである。
【0011】また,本発明の第2の目的は,上記した垂直磁気記録ヘッドの製造
方法を提供することである。
【0012】さらに,本発明の第3の目的は,有効スロートハイトを厳密に制御
することが可能な垂直磁気記録ヘッドの製造方法を提供することである。
エ課題を解決するための手段
【0013】本発明の垂直磁気記録ヘッドは,基体の上に形成されたテーパ主磁
極層と,テーパ主磁極層の上に形成されたテーパ非磁性上部形状層と,テーパ主磁
極層およびテーパ非磁性上部形状層の上に形成されると共に一定の厚さを有する記
録ギャップ層と,記録ギャップ層の上に形成されたトレーリングシールドとを備え
たものであり,(a)テーパ主磁極層は,下側部分および上側部分を有し,下側部
分は,エアベアリング面に磁極先端部を有すると共に,基体の表面に平行な上面を
有し,上側部分は,エアベアリング面における一端部と一端部よりもエアベアリン
グ面から離れた側に位置すると共に一端部よりも基体から離れた側に位置する他端
部との間における傾斜面と,他端部において傾斜面に連結されると共に基体の表面
に平行な上面とを有し,(b)テーパ非磁性上部形状層は,テーパ主磁極層の上側
部分の上に配置されていると共に,上側部分の他端部に一致する一端部と一端部よ
りもエアベアリング面から離れた側における所定の距離に位置すると共に一端部よ
りも基体から離れた側に位置する他端部との間における傾斜面と,他端部において
傾斜面に連結されると共に基体の表面に平行な上面とを有し,テーパ主磁極層の傾
斜面とテーパ非磁性上部形状層の傾斜面は,同一面内に位置し,(c)記録ギャッ
プ層は,テーパ主磁極層の傾斜面およびテーパ非磁性上部形状層の傾斜面の上に配
置された第1部分と,テーパ非磁性上部形状層の上面の上に配置された第2部分と
を有し,(d)トレーリングシールドは,記録ギャップ層の第1部分の上に配置さ
れていると共に,エアベアリング面に沿った第1側面と,エアベアリング面から離
れた側における所定の距離に位置すると共に第1側面に対向する第2側面と,記録
ギャップ層の第1部分に隣接した第3側面と,第3側面に対向すると共にエアベア
リング面に垂直な第4側面とを有するものである。
【0017】本発明の垂直磁気記録ヘッドまたはその製造方法では,テーパ部を
有するテーパ主磁極層を有しているため,記録磁界の強度が高くなる。また,トレ
ーリングシールドとテーパ主磁極層との間にテーパ非磁性上部形状層が挿入されて
いるため,そのトレーリングシールドにおいて磁束が飽和しにくくなる。さらに,
テーパ主磁極層だけでなくテーパ非磁性上部形状層もテーパ部を有するため,有効
スロートハイトを制御しやすくなる。
オ発明の効果
【0019】本発明の垂直磁気記録ヘッドまたはその製造方法によれば,傾斜面
を有するテーパ主磁極層と,そのテーパ主磁極層の傾斜面と同一面内に位置する傾
斜面を有するテーパ非磁性上部形状層と,記録ギャップ層と,トレーリングシール
ドとを含む構造が形成される。テーパ主磁極層は,下側部分と,傾斜面を有する上
側部分とを有している。テーパ非磁性上部形状層は,上側部分の上面の上に形成さ
れている。記録ギャップ層は,テーパ主磁極層の傾斜面およびテーパ非磁性上部形
状層の傾斜面の上に形成された第1部分と,テーパ非磁性上部形状層の上面の上に
形成された第2部分とを有している。トレーリングシールドは,記録ギャップ層の
第1部分の上に形成されている。したがって,記録磁界の強度を増大させつつ,ト
レーリングシールドにおける磁束の飽和を抑制することにより,記録性能を向上さ
せることができる。この場合には,スロートハイトを厳密に制御することもできる
ため,記録性能を著しく向上させることができる。
カ発明を実施するための最良の形態
【0023】図1は,本実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッド(PMRヘッド2
0)の主要部の断面構成を表している。以下では,図1中における上下方向をそれ
ぞれ上側および下側と呼称すると共に,同図中における左右方向をそれぞれ前側お
よび後側と呼称する。
【0056】最後に,化学機械研磨(chemicalmechanicalpolishing:CMP)
法を用いて,テーパ主磁極層21,記録ギャップ層23およびトレーリングシール
ド24を一側面側(基準面28-28側)から研磨することにより,図1に示した
ように,ABS25-25を形成する。上記したようにテーパ主磁極層21等を一
側面側から研磨すると共に,研磨後(ABS25-25の形成後)の状態において
テーパ非磁性上部形状層22がABS25-25よりも後退していることから明ら
かなように,ABS25-25は,基準面28-28とテーパ非磁性上部形状層2
2(傾斜面22sを規定する一端部)との間に形成される。このABS25-25
は,基体10の表面に対して垂直である。これにより,PMRヘッド20が完成す
る。
【0058】…この場合には,以下の理由により,記録磁界の強度を増大させつ
つ,トレーリングシールド24における磁束の飽和を抑制することにより,記録性
能を向上させることができる。この場合には,有効THを厳密に制御することもで
きるため,記録性能を著しく向上させることができる。
【0059】図6は,本実施の形態のPMRヘッド20に対する参考例のPMR
ヘッド30の断面構成を表しており,図1に対応する断面を示している。このPM
Rヘッド30は,図13に示したPMRヘッド1の改良型であり,本発明の発明者
によりPMRヘッド20よりも以前に設計されたものである。確認までに説明して
おくと,PMRヘッド30は,あくまで本発明の発明者によりなされた設計の過程
においてPMRヘッド20と比較されるものである。このため,本願の出願時点に
おいてPMRヘッド30の構成が既に公知であることを自ら認めているわけではな
い。
【0061】この参考例のPMRヘッド30では,テーパ主磁極層11がテーパ
部(傾斜面11s)を有しており,そのテーパ主磁極層11中を流れる磁束がAB
S14-14近傍において集中するため,記録磁界の強度が高くなる。しかしなが
ら,トレーリングシールド13がテーパ主磁極層11に近すぎて,そのテーパ主磁
極層11からトレーリングシールド13へ磁束が過剰に漏れやすいため,トレーリ
ングシールド13において磁束が飽和しやすくなる。
【0062】これに対して,本実施の形態のPMRヘッド20では,PMRヘッ
ド30と同様に,テーパ主磁極層21中を流れる磁束がABS25-25近傍にお
いて集中するため,記録磁界の強度が高くなる。また,トレーリングシールド24
とテーパ主磁極層21との間に非テーパ非磁性上部形状層22(判決注:ママ)が
挿入されており,テーパ主磁極層21からトレーリングシールド24へ磁束が過剰
に漏れにくいため,そのトレーリングシールド24において磁束が飽和しにくくな
る。さらに,テーパ主磁極層21だけでなくテーパ非磁性上部形状層22もテーパ
部を有しており,そのテーパ部を有していない場合と比較して,ABS25-25
を形成するための研磨量マージンが大きくなるため,有効THを制御しやすくなる。
したがって,有効THを厳密に制御しながら,記録磁界の強度を増大させると共に,
トレーリングシールド24における磁束の飽和を抑制することができるため,記録
性能を向上させることができるのである。
(2)本願発明の特徴
前記(1)によれば,本願発明の特徴は,以下のとおりである。
ア本願発明は,主磁極層,記録ギャップ層及びトレーリングシールドを備えた
垂直磁気記録ヘッドに関するものである。
イ従来の垂直磁気記録ヘッドでは,トレーリングシールドを備えることで,垂
直磁気記録ヘッドのトレーリング側において記録磁界の勾配を増大させ,記録性能
の改善を行っていた。
しかし,トレーリングシールドのうちエアベアリング面に沿った側面と,それに
対向する側面との間の距離により規定されるスロートハイトについて,記録磁界の
強度及び勾配の双方を適正化するためにはスロートハイトを小さくすることが望ま
しいが,スロートハイトが小さくなりすぎるとトレーリングシールドの体積(磁束
の収容量)が不足してトレーリングシールドにおいて磁束が飽和しやすくなるとい
う問題があった。
また,これに対処するためには適切なスロートハイトを有する垂直磁気記録ヘッ
ドを製造する必要があるが,エアベアリング面を形成する際の研磨には精度誤差が
存在することから,適切なスロートハイトを形成することが困難であるという問題
があった。
ウ本願発明は,上記イの問題に鑑み,①記録磁界の強度を増大させ,②トレー
リングシールドにおける磁束の飽和を抑制するとともに,③研磨時に精度誤差があ
っても,適切なスロートハイトを形成できる垂直磁気記録ヘッドを提供することを
課題とし,かかる課題の解決手段として,特許請求の範囲請求項1に記載の構成を
採用したものである。
特に,①テーパ部を有するテーパ主磁極層を有するという構成を採用することに
より,テーパ主磁極層中を流れる磁束をエアベアリング面近傍において集中させて,
記録磁界の強度を増大させ,②トレーリングシールドとテーパ主磁極層との間にテ
ーパ非磁性上部形状層を挿入するという構成を採用することにより,テーパ主磁極
層からトレーリングシールドへの過剰な磁束の漏れを防ぎ,トレーリングシールド
における磁束の飽和を抑制し,③テーパ主磁極層に加えテーパ非磁性上部形状層も
テーパ部を有するという構成を採用することにより,エアベアリング面を形成する
ための研磨量マージンを大きくし,研磨時に精度誤差があっても,適切なスロート
ハイトを形成しやすくするようにしたものである。
エ本願発明によれば,記録磁界の強度が増大するとともに,トレーリングシー
ルドにおける磁束の飽和が抑制され,また,研磨時の精度誤差にかかわりなく適切
なスロートハイトを形成できることになり,垂直磁気記録ヘッドの記録性能を向上
させることができるという効果がある。
2引用発明について
(1)引用例の記載内容
引用発明は,引用例に記載された実施例のうち,第1の実施の形態の第1の変形
例に係るものである。そして,引用例には,おおむね,以下のとおり記載がある
(甲1。下記記載中に引用する図2,21,43については,別紙引用例図面目録
参照)。
ア特許請求の範囲
【請求項1】記録媒体に対向する媒体対向面と,/前記記録媒体に記録する情報
に応じた磁界を発生するコイルと,/前記媒体対向面に配置された端面を有し,前
記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に,垂直磁気記
録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極
層と,/シールドとを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって,/前記シールド
は,前記媒体対向面において前記磁極層の前記端面に対して記録媒体の進行方向の
前側に配置された端面を有する第1層と,前記磁極層を前記第1層との間で挟む位
置に配置された第2層と,前記磁極層に接触せずに前記第1層と第2層とを連結す
る第1の連結部と,前記第1の連結部よりも前記媒体対向面から遠い位置において
前記磁極層と前記第2層とを連結する第2の連結部とを有し,/垂直磁気記録用磁
気ヘッドは,更に,非磁性材料よりなり,前記磁極層と前記第1層との間に設けら
れたギャップ層を備え,/前記媒体対向面において,前記第1層の前記端面は,前
記磁極層の前記端面に対して,前記ギャップ層の厚みによる所定の間隔を開けて配
置され,/前記磁極層の前記端面は,前記ギャップ層に隣接する辺を有し,この辺
はトラック幅を規定し,/前記コイルの一部は,前記磁極層,第2層,第1の連結
部および第2の連結部によって囲まれた空間を通過していることを特徴とする垂直
磁気記録用磁気ヘッド。
イ技術分野
【0001】本発明は,垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するた
めに用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
【0008】また,垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては,例えば特許文献3に
記載されているように,磁極層とシールドとを備えた磁気ヘッドも知られている。
この磁気ヘッドでは,媒体対向面において,シールドの端面は,磁極層の端面に対
して,所定の小さな間隔を開けて記録媒体の進行方向の前側に配置されている。以
下,このような磁気ヘッドをシールド型ヘッドと呼ぶ。このシールド型ヘッドにお
いて,シールドは,磁極層の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の
方向に広がる磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また,シ
ールドは,磁極層の端面より発生されて,記録媒体を磁化した磁束を還流させる機
能も有している。このシールド型ヘッドによれば,線記録密度のより一層の向上が
可能になる。
ウ発明が解決しようとする課題
【0014】図43に示したヘッドでは,磁極層102の上にギャップ層104
が配置され,ギャップ層104の上にコイル101が配置されている。コイル10
1は,絶縁層105によって覆われている。絶縁層105の媒体対向面100側の
端部は,媒体対向面100から離れた位置に配置されている。絶縁層105の媒体
対向面100側の端部から媒体対向面100までの領域において,シールド層10
3はギャップ層104を介して磁極層102と対向している。磁極層102とシー
ルド層103がギャップ層104を介して対向する部分の,媒体対向面100側の
端部から反対側の端部までの長さ(高さ)THは,スロートハイトと呼ばれる。こ
のスロートハイトTHは,媒体対向面100において磁極層102から発生される
磁界の強度や分布に影響を与える。
【0015】例えば図43に示したようなシールド型ヘッドにおいて,オーバー
ライト特性を向上させるためには,スロートハイトTHを小さくすることが好まし
い。スロートハイトTHの値としては,例えば0.1~0.3μmが要求される。
このようにスロートハイトTHの値として小さな値が要求される場合,図43に示
したヘッドでは,以下のような2つの問題が発生する。
【0016】図43に示したヘッドにおける第1の問題は,スロートハイトTH
を正確に決めることが難しいということである。以下,この第1の問題について詳
しく説明する。図43に示したヘッドでは,スロートハイトTHは,シールド層1
03のうちの絶縁層105と媒体対向面100との間に存在する部分の厚みによっ
て決まる。また,スロートハイトTHは,媒体対向面100を研磨する際の研磨量
によって制御される。ところが,絶縁層105を構成するフォトレジストは,比較
的熱膨張率が大きいと共に比較的柔らかい。そのため,例えば研磨時の熱によって
絶縁層105は膨張する。また,特にスロートハイトTHが小さい場合には,シー
ルド層103のうちの絶縁層105と媒体対向面100との間に存在する部分は薄
くなっている。更に,媒体対向面において,シールド層103の端面は広い範囲に
わたって露出している。これらのことから,特にスロートハイトTHが小さい場合
には,媒体対向面100の研磨時に,絶縁層105が膨張して,シールド層103
の媒体対向面100側の端部が突出しやすくなる。そのため,媒体対向面100の
研磨時に,シールド層103のうちの絶縁層105と媒体対向面100との間に存
在する部分の厚みが変動して,その結果,媒体対向面100の研磨後におけるスロ
ートハイトTHにばらつきが生じてしまう。
【0017】図43に示したヘッドにおける第2の問題は,ヘッドの使用時に,
コイル101が発生する熱によって絶縁層105が膨張し,その結果,シールド層
103の媒体対向面100側の端部が突出するということである。ヘッドの使用時
におけるシールド層103の端部の突出は,スライダと記録媒体との衝突を生じや
すくする。
【0018】また,例えば図43に示したようなシールド型ヘッドでは,トラッ
ク幅方向の広い範囲にわたって,記録または再生の対象となっているトラックに隣
接する1以上のトラックに記録された信号が減衰する現象(以下,広範囲隣接トラ
ック消去という。)が顕著に生じる場合があった。シールド型ヘッドにおいて広範
囲隣接トラック消去が生じる原因の一つとしては,以下で説明するように,磁極層
102の端面に対して記録媒体の進行方向Tの後側(磁極層102の端面に対して
シールド層103の端面とは反対側)にはシールド層が存在していないことが考え
られる。
【0022】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので,その目的は,媒体
対向面において磁極層の端面とシールドの端面がギャップ層を介して隣接する構造
の垂直磁気記録用磁気ヘッドであって,スロートハイトを正確に決めることができ,
コイルが発生する熱によってシールドの媒体対向面側の端部が突出することを抑制
でき,且つ広範囲隣接トラック消去の発生を抑制することができるようにした垂直
磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
エ発明の効果
【0037】本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドまたはその製造方法では,シー
ルドの第1層と第2層は,磁極層を間に挟む位置に配置される。これにより,本発
明によれば,広範囲隣接トラック消去の発生を抑制することができるという効果を
奏する。また,本発明では,コイルの一部は,磁極層,第2層,第1の連結部およ
び第2の連結部によって囲まれた空間を通過する。そのため,本発明によれば,コ
イルの周囲に配置された絶縁層の膨張に伴って第1層の媒体対向面側の端部が突出
することが抑制される。その結果,本発明によれば,スロートハイトを正確に決め
ることができ,且つコイルが発生する熱によってシールドの媒体対向面側の端部が
突出することを抑制することができるという効果を奏する。
オ発明を実施するための最良の形態
【0038】[第1の実施の形態]以下,本発明の実施の形態について図面を参
照して詳細に説明する。…図2は本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの
構成を示す断面図である。…
【0058】以上説明したように,本実施の形態に係る磁気ヘッドは,記録媒体
に対向する媒体対向面30と再生ヘッドと記録ヘッドとを備えている。再生ヘッド
と記録ヘッドは,基板1の上に積層されている。再生ヘッドは記録媒体の進行方向
Tの後側(スライダにおける空気流入端側)に配置され,記録ヘッドは記録媒体の
進行方向Tの前側(スライダにおける空気流出端側)に配置されている。
【0062】磁極層12は,媒体対向面30に配置された端面を有する第1の部
分と,この第1の部分よりも媒体対向面30から遠い位置に配置され,第1の部分
よりも大きな厚みを有する第2の部分とを有している。第1の部分は,媒体対向面
30からの距離に応じて変化しない厚みを有している。第1の部分における上面は,
第2の部分における上面よりも基板1に近い位置に配置されている。そのため,ギ
ャップ層14に接する磁極層12の上面は屈曲している。第1の部分における上面
と第2の部分における上面との間の段差は,例えば0.1~0.3μmの範囲内で
ある。また,第1の部分の厚みは,例えば0.03~0.3μmの範囲内である。
【0063】シールド13は,媒体対向面30において磁極層12の端面に対し
て記録媒体の進行方向Tの前側に配置された端面を有する第1層13Aと,磁極層
12を第1層13Aとの間で挟む位置に配置された第2層13Bと,磁極層12に
接触せずに第1層13Aと第2層13Bとを連結する第1の連結部13Cと,第1
の連結部13Cよりも媒体対向面30から遠い位置において磁極層12と第2層1
3Bとを連結する第2の連結部13Dとを有している。
【0067】第1層13Aの下面は,ギャップ層14を介して磁極層12の上面
に対向するように屈曲している。ギャップ層14も,磁極層12の上面に沿って屈
曲している。…
【0071】次に,図6ないし図17を参照して,本実施の形態に係る磁気ヘッ
ドの製造方法について説明する。…
【0098】この工程では,まず,積層体の上面全体の上に,ギャップ層14を
形成する。ギャップ層14は,例えば,スパッタ法またはCVDによって形成され
る。CVDを用いてギャップ層14を形成する場合には,特にALCVDを用いる
ことが好ましい。また,ALCVDを用いてギャップ層14を形成する場合には,
ギャップ層14の材料としては,絶縁材料では特にアルミナが好ましく,導電材料
では特にTaまたはRuが好ましい。ALCVDを用いて形成されるギャップ層1
4は,ステップカバレージがよい。従って,ALCVDを用いてギャップ層14を
形成することにより,屈曲した磁極層12の上面の上に薄く且つ均質なギャップ層
14を形成することができる。
【0104】次に,本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説
明する。…
【0110】また,本実施の形態では,スロートハイトTHは,第1層13Aの
媒体対向面30から遠い端部ではなく,媒体対向面30から見て最初にギャップ層
14が屈曲する位置,すなわち媒体対向面30から見て最初に第1層13Aの下面
が屈曲する位置によって規定される。従って,第1層13Aの体積を十分に大きく
しながら,スロートハイトTHを小さくすることができる。これにより,オーバー
ライト特性を向上させることができる。
【0113】[変形例]以下,本実施の形態における第1および第2の変形例に
ついて説明する。始めに,図18ないし図21を参照して,第1の変形例の磁気ヘ
ッドの製造方法について説明する。図18ないし図21は,それぞれ,磁気ヘッド
の製造過程における積層体の,媒体対向面および基板に垂直な断面を示している。
なお,図18ないし図21では,上部シールド層7よりも基板1側の部分を省略し
ている。
【0116】図21は,次の工程を示す。この工程では,まず,第1の部分13
C1,第2の部分13C2およびギャップ層14の上に第1層13Aを形成すると
共に,磁極層12の上にヨーク層15を形成する。次に,積層体の上面全体の上に,
非磁性層16を形成する。次に,例えばCMPによって,第1層13Aおよびヨー
ク層15が露出するまで非磁性層16を研磨して,第1層13A,ヨーク層15お
よび非磁性層16の上面を平坦化する。次に,図示しないが,積層体の上面全体を
覆うように保護層17を形成する。次に,保護層17の上に配線や端子等を形成し,
スライダ単位で基板を切断し,媒体対向面30の研磨,浮上用レールの作製等を行
って,磁気ヘッドが完成する。
【0117】第1の変形例の磁気ヘッドでは,媒体対向面30から見て最初にギ
ャップ層14が屈曲する位置よりも,媒体対向面30から遠い領域において,磁極
層12と第1層13Aとの間にギャップ層14および非磁性膜41が配置されてい
る。従って,この領域における磁極層12と第1層13Aとの間における磁束の漏
れは,非磁性膜41がない場合に比べて少なくなる。これにより,より多くの磁束
を媒体対向面30まで導くことができ,その結果,オーバーライト特性を向上させ
ることができる。第1の変形例の磁気ヘッドのその他の構成,作用および効果は,
図1ないし図5に示した磁気ヘッドと同様である。
(2)引用発明について開示されている事項
前記(1)によれば,引用例には,引用発明に関し,以下の点が開示されているも
のと認められる。
ア引用発明は,垂直磁気記録用磁気ヘッドに関するものである。
イ従来の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは,シールドを備えることで,磁極層の
端面から発生する磁束のうち,記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束
が記録媒体に達することを阻止し,線記録密度を向上させることが可能である。
しかし,磁極層とシールド層がギャップ層を介して対向する部分であって,媒体
対向面側の端部から反対側の端部までの長さであるスロートハイトについて,オー
バーライト特性を向上させるために,これを小さくした場合,①媒体対向面におい
てシールド層の端面が広い範囲にわたって露出しているため,研磨時の熱によって
絶縁層が膨張すると,シールド層の媒体対向面側の端部が突出し,シールド層の厚
みが変動してスロートハイトにばらつきが生じてしまい,一定の精度を有するスロ
ートハイトを形成できない,また,ヘッドの使用時に,コイルが発生する熱によっ
て絶縁層が膨張すると,シールド層の媒体対向面側の端部が突出し,スライダと記
録媒体との衝突を生じやすくなる,②磁極層の端面に対して記録媒体の進行方向の
後側(磁極層の端面に対してシールド層の端面とは反対側)にはシールド層が存在
していないため,記録または再生の対象となっているトラックに隣接する1以上の
トラックに記録された信号が減衰する現象(広範囲隣接トラック消去)が顕著に生
じるという問題があった。
ウ引用発明は,前記イの問題に鑑み,①研磨時やヘッドの使用時の熱による絶
縁層の膨張にかかわらず,シールド層の媒体対向面側の端部が突出することを抑制
し,また,②広範囲隣接消去が発生することを抑制することのできる垂直磁気記録
用磁気ヘッドを提供することを課題とし,かかる課題の解決手段として,引用例の
特許請求の範囲請求項1に記載の構成を採用したものである。また,オーバーライ
ト特性を向上させるために,③媒体対向面から見て最初にギャップ層が屈曲する位
置よりも,媒体対向面から遠い領域において,磁極層とシールドの第1層との間に
非磁性膜を配置する構成を採用したものである。
すなわち,①の課題について,コイルの一部を磁極層,並びに,シールドの第2
層,第1の連結部及び第2の連結部によって囲まれた空間を通過させることで,コ
イルの周囲に配置された絶縁層の膨張に伴ってシールドの第1層の媒体対向面側の
端部が突出することを抑制し,②の課題について,シールドの第1層と第2層を,
磁極層を間に挟む位置に配置することで,広範囲隣接トラック消去が発生すること
を抑制し,さらに,③オーバーライト特性を向上させるために,上記のとおり非磁
性膜を配置することにより,非磁性膜を配置した領域における磁極層とシールドの
第1層との間における磁束の漏れを少なくし,これにより,より多くの磁束を媒体
対向面まで導くようにしたものである。
エ引用発明には,研磨時やヘッドの使用時におけるシールド層の端部の突出を
抑制することで一定の精度を有するスロートハイトを形成するとともに,スライダ
と記録媒体との衝突を防ぎ,また,広範囲隣接トラック消去の発生を抑制し,さら
に,オーバーライト特性を向上させることができるという効果がある。
オなお,引用例には,引用発明に関し,非磁性膜を配置することにより,非磁
性膜を配置した領域における磁極層からシールドの第1層への磁束の漏れを抑制す
る効果を得られるという事項は開示されているものの,磁極層の内部において最大
限に集中した状態の磁束が漏れやすいという現象を抑制することについては,何ら
開示されていない。
3本願発明の容易想到性について
(1)引用発明の認定の誤りについて
ア引用発明の認定
(ア)引用発明は,引用例の実施例のうち,第1の実施の形態の第1の変形例に
係る垂直磁気記録用磁気ヘッドであるところ,これについて,引用例には,前記2
(1)の【請求項1】,【0058】,【0062】,【0067】,【0098】,【011
3】,【0117】,図2及び図21のとおり記載されている。
(イ)特に,引用例には,磁極層12は,媒体対向面30に配置された端面を有
し,媒体対向面30からの距離に応じて変化しない厚みを有する第1の部分と,こ
の第1の部分よりも媒体対向面30から遠い位置に配置され,媒体対向面30から
の距離に応じて第1の部分よりも徐々に厚みが大きくなり,その後変化しない厚み
を有する第2の部分とを有しており,ギャップ層14に接する上面は屈曲している
ことが記載されている(【0062】及び図21)。
また,引用例には,磁極層12の上面が屈曲していることに伴い,ギャップ層1
4も磁極層12の上面に沿って屈曲しており,第1層13Aの下面もギャップ層1
4を介して磁極層12の上面に対向するように屈曲していることが記載されている
(【0067】及び図21)。
さらに,ギャップ層14は,好ましくはALCVD法を用いて形成され一定の厚
さを有することが記載されている(【0098】及び図21)。
したがって,引用例には,①磁極層の形状については,媒体対向面に配置された
端面を有し,媒体対向面からの距離に応じて変化しない厚みを有する第1の部分と,
当該第1の部分よりも媒体対向面から遠い位置に配置され,媒体対向面からの距離
に応じて第1の部分よりも徐々に厚みが大きくなり,その後変化しない厚みを有す
る第2の部分とを有していて,その上面は屈曲し,②ギャップ層の形状については,
磁極層の上面が屈曲していることに伴い,ギャップ層も磁極層の上面に沿って屈曲
し,またギャップ層は一定の厚さを有するという垂直磁気記録用磁気ヘッドが記載
されているものと認められる。
(ウ)以上によれば,引用例には,本件審決が認定したとおりの引用発明(前記
第2の3(2)ア)が記載されていることが認められる。
イ原告の主張について
(ア)原告は,引用発明の認定に関して,スロートハイトの範囲内にギャップ層
14のうちの平坦な部分を含ませること,言い換えれば,スロートハイトの範囲内
に含まれるギャップ層14のうちの前方ギャップ部分を傾斜させないことは,第1
層13Aの体積を最大とし,その第1層13Aにおいて磁束の飽和現象をもっとも
発生させにくくするという意義を有するので,引用発明の認定に当たり,この構成
を認定すべきであると主張する。
(イ)しかし,引用発明のシールドの第1層13Aの断面は,媒体対向面30側
の端面,ギャップ層14の上面に対応するように屈曲する下面,非磁性層16に接
する端面,保護層17に接する上面の4つの面によって形状が特定されるから
(【0063】,【0067】,【0116】,図21),第1層13Aの体積は,上記
4つの面の位置や形状を調整することで増減されるものである。
一方,引用発明におけるスロートハイトは,「第1層13Aの媒体対向面30か
ら遠い端部ではなく,媒体対向面30から見て最初にギャップ層14が屈曲する位
置,すなわち媒体対向面30から見て最初に第1層13Aの下面が屈曲する位置に
よって規定される。」(【0110】)ものである(以下,引用発明で規定されるスロ
ートハイトを「甲1スロートハイト」という。)ところ,甲1スロートハイトの範
囲内に含まれるギャップ層14のうちに平坦な部分を含ませることは,第1層13
Aの形状を特定する上記4つの面のうち,ギャップ層14の上面に対応するように
屈曲する下面の一部に相当する部分を平坦にすることにすぎない。
そして,原告が主張するとおり,甲1スロートハイトを維持したまま,その範囲
内に,ギャップ層のうち平坦な部分だけでなく,傾斜した部分まで存在させようと
すると,媒体対向面30から見てギャップ層14が最初に屈曲する位置は前方にシ
フトすることにはなるが,第1層13Aの面の位置や形状を調整すれば,第1層1
3Aの体積を減少させることにはならない。また,本願発明におけるトレーリング
シールド24の後端(第2側面24c)の位置と同じ位置になるように,第1層1
3Aの後端の位置を前方にシフトさせると,第1層13Aの体積は減少する場合も
あるが,この体積の減少は,甲1スロートハイトの範囲内にギャップ層14のうち
の平坦な部分を含ませたことから生じるものではない。
そうすると,甲1スロートハイトの範囲内におけるギャップ層14の形状は,シ
ールドの第1層13Aの体積に影響を与えるものではない。
(ウ)また,引用例には,「スロートハイトTHは,第1層13Aの媒体対向面
30から遠い端部ではなく,媒体対向面30から見て最初にギャップ層14が屈曲
する位置,すなわち媒体対向面30から見て最初に第1層13Aの下面が屈曲する
位置によって規定される。従って,第1層13Aの体積を十分に大きくしながら,
スロートハイトTHを小さくすることができる。」(【0110】)と記載されている
ところ,これは,第1層13Aの体積に影響を与える非磁性層16に接する端面
(媒体対向面30から遠い端部)の位置に関係なく,甲1スロートハイトを規定す
ることを示すものである。
そうすると,引用発明は,甲1スロートハイトを小さく維持しつつ,第1層13
Aの媒体対向面30から遠い端部の位置を調整することで,第1層13Aの体積を
十分に大きくするに至ったものということができる。
(エ)したがって,甲1スロートハイトの範囲内に平坦な前方ギャップ部分を含
ませることと,第1層13Aの体積を大きくすることとの間には,関連性はないか
ら,両者に関連性があることを根拠に,甲1スロートハイトの範囲内に平坦な前方
ギャップ部分が含まれる構成を前提として,引用発明を認定すべきであるとの原告
の主張は,採用することができない。
(オ)なお,前記ア(イ)のとおり,引用例には,①磁極層の形状については,媒
体対向面に配置された端面を有し,媒体対向面からの距離に応じて変化しない厚み
を有する第1の部分と,当該第1の部分よりも媒体対向面から遠い位置に配置され,
媒体対向面からの距離に応じて第1の部分よりも徐々に厚みが大きくなり,その後
変化しない厚みを有する第2の部分とを有していて,その上面は屈曲し,②ギャッ
プ層の形状については,磁極層の上面が屈曲していることに伴い,ギャップ層も磁
極層の上面に沿って屈曲し,またギャップ層は一定の厚さを有するという垂直磁気
記録用磁気ヘッドが記載されており,本件審決も,同記載のとおり引用発明を認定
している。
このように,本件審決は,引用発明のギャップ層について,一定の厚さを有し,
かつ,磁極層のうち,媒体対向面からの距離に応じて変化しない厚みを有する第1
の部分の上面に形成されていることを認定するところ,前記のとおり,甲1スロー
トハイトは,媒体対向面30から見て最初にギャップ層14が屈曲する位置と規定
されるものであるから,本件審決では,引用発明について,甲1スロートハイトの
範囲内にギャップ層14のうちの平坦な部分が含まれることが実質的に認定されて
いるということができる。
ウ小括
よって,本件審決の引用発明の認定に誤りはない。
(2)本願発明と引用発明との相違点の看過について
ア本願発明と引用発明との相違点
本願発明と引用発明との間には,本件審決が認定したとおりの相違点(前記第2
の3(2)イの(イ)ないし(エ))があることは当事者間に争いがない。
イ原告の主張について
(ア)原告は,本願発明と引用発明との間には,上記相違点のほか,スロートハ
イトの範囲内に記録ギャップ層のうちの傾斜した部分を積極的に含ませているか否
かという相違点がある旨主張する。
そもそも,本願発明は,前記第2の2のとおり認定されるべきであり,したがっ
て,本願発明の構成ではない「スロートハイト」との概念を入れ,その上で,本願
発明と引用発明とが,「スロートハイト」の範囲内に記録ギャップ層のうちの傾斜
した部分を積極的に含ませているか否かの点で相違するなどと認定する余地はない。
もっとも,本願明細書には,スロートハイトについて,「トレーリングシールド
5の高さ,すなわちABS6-6に沿った側面とそれに対向する反対側の側面との
間の距離」である旨規定されている(【0005】)。そして,本願発明の特許請求
の範囲には,「前記記録ギャップ層は,前記テーパ主磁極層の傾斜面および前記テ
ーパ非磁性上部形状層の傾斜面の上に配置された第1部分…を有し」,「前記トレー
リングシールドは,前記記録ギャップ層の第1部分の上に配置されていると共に,
前記エアベアリング面に沿った第1側面と,前記エアベアリング面から離れた側に
おける前記所定の距離に位置すると共に前記第1側面に対向する第2側面と,前記
記録ギャップ層の第1部分に隣接した第3側面と,…を有する」との記載があるこ
とからすれば,原告の上記主張は,「テーパ主磁極層の上側部分の前方端部が平坦
であるか否か」という相違をいう趣旨と善解することができる。
(イ)本件審決は,前記第2の3(2)イ(イ)のとおり,本願発明と引用発明との
間には,「テーパ主磁極層(の上側部分)における傾斜面の一端部について,本願
発明では,「前記エアベアリング面における」ものである,つまり,エアベアリン
グ面に位置している旨特定するのに対し,引用発明では,そのような構成を有して
いない点。」という相違点1がある旨認定するところ,これはテーパ主磁極層の上
側部分の前方端部が平坦であるか否かという相違を含むものである。
(ウ)そうすると,本件審決は,原告主張に係る相違を含んで相違点1を認定し
ているものということができる。
ウ小括
よって,本件審決における本願発明と引用発明との相違点の認定に誤りはない。
(3)顕著な効果の看過について
ア原告が主張する顕著な効果
原告は,引用発明について,相違点1ないし3に係る本願発明の構成を備えるこ
とは容易に想到することができたとする本件審決の判断を特段争っていないものの,
本願発明には,記録ギャップ層23のうち,ABS25-25に最も近い部分を積
極的に傾斜させることにより,テーパ主磁極層21の内部において最大限に集中し
た状態の磁束がトレーリングシールド24に著しく漏れやすいという現象を抑制し,
これにより,記録性能を向上させることができるという顕著な効果があるとして,
これを看過した本件審決は誤りである旨主張する。
イ本願明細書の記載
(ア)原告が主張する本願発明の顕著な効果について,本願明細書に接した当業
者が認識することができるかについて検討する。
(イ)まず,本願明細書には,「この参考例のPMRヘッド30では,テーパ主
磁極層11がテーパ部(傾斜面11s)を有しており,そのテーパ主磁極層11中
を流れる磁束がABS14-14近傍において集中するため,記録磁界の強度が高
くなる。しかしながら,トレーリングシールド13がテーパ主磁極層11に近すぎ
て,そのテーパ主磁極層11からトレーリングシールド13へ磁束が過剰に漏れや
すいため,トレーリングシールド13において磁束が飽和しやすくなる。」(【00
61】)との記載があることから,本願明細書に接した当業者は,テーパ主磁極層
21内部のエアベアリング面近傍において最大限に集中した状態の磁束がトレーリ
ングシールド24に著しく漏れやすい現象が発生することは認識することができる。
(ウ)もっとも,本願明細書には,「本発明の垂直磁気記録ヘッドまたはその製
造方法では,テーパ部を有するテーパ主磁極層を有しているため,記録磁界の強度
が高くなる。また,トレーリングシールドとテーパ主磁極層との間にテーパ非磁性
上部形状層が挿入されているため,そのトレーリングシールドにおいて磁束が飽和
しにくくなる。さらに,テーパ主磁極層だけでなくテーパ非磁性上部形状層もテー
パ部を有するため,有効スロートハイトを制御しやすくなる。」(【0017】),「こ
れに対して,本実施の形態のPMRヘッド20では,PMRヘッド30と同様に,
テーパ主磁極層21中を流れる磁束がABS25-25近傍において集中するため,
記録磁界の強度が高くなる。また,トレーリングシールド24とテーパ主磁極層2
1との間に非テーパ非磁性上部形状層22(判決注:ママ)が挿入されており,テ
ーパ主磁極層21からトレーリングシールド24へ磁束が過剰に漏れにくいため,
そのトレーリングシールド24において磁束が飽和しにくくなる。さらに,テーパ
主磁極層21だけでなくテーパ非磁性上部形状層22もテーパ部を有しており,そ
のテーパ部を有していない場合と比較して,ABS25-25を形成するための研
磨量マージンが大きくなるため,有効THを制御しやすくなる。したがって,有効
THを厳密に制御しながら,記録磁界の強度を増大させると共に,トレーリングシ
ールド24における磁束の飽和を抑制することができるため,記録性能を向上させ
ることができるのである。」(【0062】)と記載されている。
これらの記載によれば,本願明細書に接した当業者は,記録ギャップ層23のう
ち,ABS25-25に最も近い部分を積極的に傾斜させること,すなわちテーパ
主磁極層について,エアベアリング面まで傾斜部を有するという構成を採用したこ
とによる効果を,テーパ主磁極層中を流れる磁束をエアベアリング面近傍において
集中させて記録磁界の強度を増大させるという効果,及び,エアベアリング面を形
成するための研磨量マージンを大きくし,研磨時に精度誤差があっても,適切なス
ロートハイトを形成しやすくするようにしたという効果を生じさせるという限度で
認識できるにすぎない。
そして,本願明細書に接した当業者は,本願発明は,トレーリングシールド24
における磁束の飽和を抑制する課題解決手段として,トレーリングシールドとテー
パ主磁極層との間にテーパ非磁性上部形状層を挿入するという構成を採用したと認
識できるにとどまり,テーパ主磁極層について,エアベアリング面まで傾斜部を有
するという構成を採用したことが,トレーリングシールド24における磁束の飽和
を抑制する課題解決手段となっていることを認識することはできないというべきで
ある。
(エ)したがって,本願明細書に接した当業者は,原告が主張する本願発明の効
果について,認識することはできない。
ウ小括
よって,原告が主張する本願発明の効果は,本願明細書の記載に基づくものでは
ないから,本件審決に顕著な効果を看過した誤りはない。
(4)まとめ
以上のとおり,原告の主張に理由はない。そして,原告は,本件審決の相違点1
ないし3の判断について特段争っていないことは,前記のとおりである。
4結論
以上によれば,原告の請求は理由がないから棄却することとし,主文のとおり判
決する。
知的財産高等裁判所第4部
裁判長裁判官髙部眞規子
裁判官柵木澄子
裁判官片瀬亮
別紙
本願明細書図面目録
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