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平成１９年９月１２日判決言渡
平成１８年(行ケ)第１０４２１号審決取消請求事件
口頭弁論終結日平成１９年８月８日
判決
原告株式会社ハイテック・プロダクト
訴訟代理人弁護士吉澤敬夫
同牧野知彦
訴訟代理人弁理士岡本啓三
被告ローツェ株式会社
訴訟代理人弁護士山下英樹
同仲卓也
訴訟代理人弁理士木村高久
同小幡義之
主文
１特許庁が無効２００４−８０１８１号事件について平成１８年８
月１５日にした審決中，「特許第２５８０４８９号の請求項１ない
し４，６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする。」と
の部分を取り消す。
２訴訟費用は被告の負担とする。
事実及び理由
第１請求
主文第１項と同旨
第２争いのない事実
１特許庁における手続の経緯
原告は，平成６年５月１３日，発明の名称を「多関節搬送装置，その制御
方法及び半導体製造装置」とする発明について特許出願（優先権主張・平成
５年１１月４日，特願平６−１０００６５号。以下「本件出願」という。）
をし，平成８年１１月２１日，特許庁から特許第２５８０４８９号（請求項
の数１０。以下「本件特許」という。）として特許権の設定登録を受けた。
本件特許に対し被告から特許無効審判請求がされ，特許庁はこれを無効２
００４−８０１８１号事件として審理し，平成１７年６月２８日，「特許第
２５８０４８９号の請求項１ないし４，６ないし１０に係る発明についての
特許を無効とする。特許第２５８０４８９号の請求項５に係る発明について
の審判請求は，成り立たない。」との審決（以下「第１次審決」という。）
をした。
原告は，第１次審決中，請求項１ないし４，６ないし１０に係る発明につ
いての特許を無効とする部分の取消しを求める審決取消訴訟（知財高裁平成
１７年（行ケ）第１０５９９号）を提起した後，同年８月２２日，本件特許
の特許請求の範囲の減縮等を目的とする訂正審判請求（訂正２００５−３９
１４８号事件）をした。
知的財産高等裁判所（第２部）は，同年１１月８日，特許法１８１条２項
に基づき，事件を審判官に差し戻すため，第１次審決中，請求項１ないし
４，６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする部分を取り消す旨
の決定をした。差戻し後の事件について，所定の期間内に訂正の請求がされ
なかったため，上記訂正審判請求の請求書に添付された訂正した明細書，特
許請求の範囲又は図面を援用した訂正（以下「本件訂正」という。）の請求
がされたものとみなされた（以下，本件訂正後の訂正明細書及び図面を併せ
て「本件明細書」という。）。
そして，特許庁は，審理の結果，平成１８年８月１５日，「訂正を認め
る。特許第２５８０４８９号の請求項１ないし４，６ないし１０に係る発明
についての特許を無効とする。特許第２５８０４８９号の請求項５に係る発
明についての審判請求は，成り立たない。」との審決をし，同審決は，同月
２４日，原告に送達された（以下，上記審決中，「特許第２５８０４８９号
の請求項１ないし４，６ないし１０に係る発明についての特許を無効とす
る。」との部分を「本件審決」という。）。
２特許請求の範囲
本件訂正後の特許請求の範囲の請求項１ないし１０の記載は，次のとおり
である（以下，請求項１に係る発明を「本件発明１」といい，請求項２ない
し１０に係る発明もこれに準じて「本件発明２」などという。なお，下線は
本件訂正による訂正箇所である。）。
「【請求項１】第１の搬送部（１５）と，
前記第１の搬送部（１５）の回転面に対して上又は下側に位置するよう
に高さを規定した第２の搬送部（１６）と，
前記第１の搬送部（１５）を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部（１
１）と，
前記第２の搬送部（１６）を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部（１
２）と，
前記第１の多関節駆動部（１１）の回動中心となる第１の固定軸（13
Ａ）と前記第２の多関節駆動部（１２）の回動中心となる第２の固定軸（1
3Ｂ）とを有し，かつ，前記第１の多関節駆動部（１１）に回転力を与える
第１の駆動軸（13Ｃ）と前記第２の多関節駆動部（１２）に回転力を与え
る第２の駆動軸（13Ｄ）とを有する共通駆動部（１３）と，
前記第１の多関節駆動部（１１），第２の多関節駆動部（１２）及び共
通駆動部（１３）を回動制御する駆動制御手段（１４）とを備え，
前記駆動制御手段（１４）が行う制御には，第１の搬送部（１５）又は
第２の搬送部（１６）を伸縮するために共通駆動部（１３）を回動させる
制御と，この共通駆動部（１３）を回動させる制御中，第２の搬送部（１
６）又は第１の搬送部（１５）が共通駆動部（１３）上に取り込まれた状
態であるようにする制御とが含まれるものであって，
前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬送部（１６）を前記共通駆動
部（１３）の上部に縮めたとき，前記第１の搬送部（１５）と第２の搬送
部（１６）とを高低差をもって重なるようにしたことを特徴とする多関節
搬送装置。
【請求項２】前記共通駆動部（１３）を高さ方向に移動する高さ調整手
段（１７）が設けられることを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装
置。
【請求項３】前記第１の搬送部（１５）及び第２の搬送部（１６）が共
通駆動部（１３）上に取り込まれる状態を有し，かつ，前記取り込まれた
第１の搬送部（１５）の載置面から第２の搬送部（１６）の載置面までの
間隔が，前記第２の搬送部（１６）に載置する被搬送物（２０）の厚み（
ｔ０）と，前記第１の搬送部（１５）の厚み（ｔ１）と隙間（ｇ）を加算
した載置間距離（Ｄｚ）に規定されることを特徴とする請求項１記載の多
関節搬送装置。
【請求項４】前記第１の駆動軸（13Ｃ），第２の駆動軸（13Ｄ）及び共
通駆動部（１３）を個別に回動制御する電動機（24Ａ，24Ｂ，24Ｃ）を有
する駆動制御装置（２４）が設けられ，前記駆動制御装置（２４）は，前
記第１の搬送部（１５）と同じ方向に前記第２の搬送部（１６）を伸縮す
るように前記電動機（24Ａ，24Ｂ，24Ｃ）を制御することを特徴とする請
求項１記載の多関節搬送装置。
【請求項５】前記共通駆動屈曲アーム（３３）を回動制御する電動機（3
4Ａ）と，前記電動機（34Ａ）の回転力に基づいて第１の駆動軸（23Ｃ）及
び第２の駆動軸（23Ｄ）を回動制御する動力伝達制御器（34Ｂ，34Ｃ）と
を有する駆動制御装置（３４）と，前記駆動制御装置（３４）を共通駆動
屈曲アーム（３３）の軸を中心にして回動する電動機（４４）が設けられ
ることを特徴とする請求項１記載の多関節搬送装置。
【請求項６】前記共通駆動部（１３）の回転軸を概略垂線とする平面に
おいて，該共通駆動部（１３）が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構
成することを特徴する請求項１記載の多関節搬送装置。
【請求項７】前記第１の駆動軸（13Ｃ）を固定し，前記第２の駆動軸（1
3Ｄ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求
項１∼６記載の多関節搬送装置の制御方法。
【請求項８】前記第２の駆動軸（13Ｄ）を固定し，前記第１の駆動軸（1
3Ｃ）及び共通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求
項１∼６記載の多関節搬送装置の制御方法。
【請求項９】前記第１の駆動軸（13Ｃ），第２の駆動軸（13Ｄ）及び共
通駆動部（１３）を同期させて回動することを特徴とする請求項１∼６記
載の多関節搬送装置の制御方法。
【請求項１０】被加工基板（１９）を各種加工処理するｎ個のプロセス
チャンバ（Ｐｎ，〔ｎ＝１，２，…ｎ〕）と，前記プロセスチャンバ（Ｐ
ｎ）に被加工基板（１９）を出し入れする基板搬送手段（１８）とを備
え，前記基板搬送手段（１８）が請求項１∼６記載の多関節搬送装置から
成ることを特徴とする半導体製造装置。」
３本件審決の内容
本件審決の内容は，別紙審決書写しのとおりである。
その理由の要旨は，本件発明１ないし４及び６ないし１０は，特開平５−
１０９８６６号公報（甲２）記載の発明（以下「甲２発明」という。），特
開平４−３０４４７号公報（甲１）及び特開昭６３−２８８６７７号公報（
甲３）記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたもので
あり，特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり，さらに，本件
発明６は，平成６年法律第１１６号による改正前の特許法３６条（以下「特
許法旧３６条」という。）４項に規定する要件を満たしていないというもの
である。
本件審決は，本件発明１ないし４，６ないし１０と甲２発明とを対比し，
次のとおりの一致点及び相違点があると認定した。
(1)本件発明１ないし４，６ないし１０と甲２発明との一致点
「第１の搬送部と，
前記第１の搬送部の回転面に対して下側に位置するように高さを規定し
た第２の搬送部と，
前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と，
前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と，
前記第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し，かつ前
記第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する駆動部と，
前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し，かつ前記
第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する駆動部と，
前記第１の多関節駆動部，第２の多関節駆動部及び駆動部を回動制御す
る駆動制御手段とを備え，
前記駆動制御手段が行う制御には，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸
縮するために駆動部を回動させる制御と，第１の搬送部又は第２の搬送部
が駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制御とが含まれるもので
あって，
前記第１の搬送部及び第２の搬送部を前記駆動部の上部に縮めたとき，
前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるようにした多
関節搬送装置。」である点。
なお，本件発明２と甲２発明とは，「駆動部を高さ方向に移動する高さ
調整手段が設けられる」点も一致すると認定した。
(2)相違点
ア相違点１
多関節駆動部と固定軸とを支持する駆動部が，本件発明１ないし４，
６ないし１０では第１の多関節駆動部及び第１の固定軸と，第２の多関
節駆動部及び第２の固定軸とについて共通の部材であるのに対し，甲２
発明では個別に回動可能な２部材からなる点。
イ相違点２
駆動制御手段が行う制御には，本件発明１ないし４，６ないし１０で
は，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために共通駆動部を回動
させる制御と，この共通駆動部を回動させる制御中，第２の搬送部又は
第１の搬送部が共通駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制御
とが含まれるのに対し，甲２発明では一方の搬送部を伸縮するために駆
動部を回動させる制御と，他方の搬送部が駆動部上に取り込まれた状態
であるようにする制御との間に関連がない点。
ウ相違点３
第１の搬送部の載置面から第２の搬送部の載置面までの間隔が，本件
発明３では第２の搬送部に載置する被搬送物の厚みと，第１の搬送部の
厚みと隙間を加算した載置間距離に設定されるのに対し，甲２発明では
載置間距離について特定されていない点。
エ相違点４
本件発明４は第１の駆動軸，第２の駆動軸及び単一の共通駆動部を個
別に駆動する電動機を有するのに対し，甲２発明は第１の駆動軸，第２
の駆動軸及び２つの駆動部を個別に駆動する電動機を有する点。
オ相違点５
多関節駆動部と固定軸を支持する駆動部が，本件発明６では「く」の
字形の屈曲された単一のアーム状を構成するのに対し，甲２発明では個
別に回動し得る第１の駆動部と第２の駆動部との２部材からなる点。
カ相違点６
本件発明７では第１の駆動軸を固定し，第２の駆動軸及び共通駆動部
を同期させて回動するのに対し，甲２発明ではこのような動作をさせる
ことについて特定がない点。
キ相違点７
本件発明８では第２の駆動軸を固定し，第１の駆動軸及び共通駆動部
を同期させて回動するのに対し，甲２発明ではこのような動作をさせる
ことについて特定がない点。
ク相違点８
本件発明９では第１の駆動軸，第２の駆動軸及び共通駆動部を同期さ
せて回動するのに対し，甲２発明ではこのような動作をさせることにつ
いて特定がない点。
ケ相違点９
本件発明１０は，「被加工基板を各種加工処理するｎ個のプロセスチ
ャンバと，前記プロセスチャンバに被加工基板を出し入れする基板搬送
手段とを備え，前記基板搬送手段が多関節搬送装置から成る半導体製造
装置」であるのに対し，甲２発明はプロセスチャンバを備える半導体製
造装置について記載されていない点。
第３当事者の主張
１原告主張の取消事由
本件審決には，以下のとおり，本件発明１の容易想到性の判断の誤り（取
消事由１），本件発明２ないし４，６ないし１０の容易想到性の判断の誤
り（取消事由２），本件発明６に関する明細書の記載不備の判断の誤り（取
消事由３）がある。
(1)取消事由１（本件発明１の容易想到性の判断の誤り）
ア本件発明１と甲２発明との一致点の認定の誤り
本件審決がした本件発明１と甲２発明との一致点の認定中，下線部分
は，以下のとおり誤りである。
「第１の搬送部と，
前記第１の搬送部の回転面に対して下側に位置するように高さを規定
した第２の搬送部と，
前記第１の搬送部を一方向に伸縮する第１の多関節駆動部と，
前記第２の搬送部を一方向に伸縮する第２の多関節駆動部と，
前記第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し，かつ
前記第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する駆動部
と，前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し，か
つ前記第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する駆動
部と，
前記第１の多関節駆動部，第２の多関節駆動部及び駆動部を回動制御
する駆動制御手段とを備え，
前記駆動制御手段が行う制御には，第１の搬送部又は第２の搬送部を
伸縮するために駆動部を回動させる制御と，第１の搬送部又は第２の搬
送部が駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制御とが含まれる
ものであって，
前記第１の搬送部及び第２の搬送部を前記駆動部の上部に縮めたと
き，前記第１の搬送部と第２の搬送部とを高低差をもって重なるように
した多関節搬送装置。」
(ア)甲２の搬送装置においては，第１（第３）中空シャフトは，これ
と一体の第１（第５）歯車上に第２（第４）モータが設けられている
ため，第１（第３）中空シャフトを回転させても，第２中空シャフト
及び第１アームも一体となって回転するため，第２（第５）アームは
第１（第４）アームに対して回転することはないのであるから，「第
１中空シャフト」は，「第２アームに回転力を与える駆動軸」ではな
く，本件発明１の「第１の駆動軸」に相当するものではなく，また，
甲２の搬送装置の「第３中空シャフト」は，「第５アームに回転力を
与える駆動軸」ではなく，本件発明１の「第２の駆動軸」に相当する
ものではない。
以上のとおり，甲２の搬送装置は，「第１の駆動軸」及び「第２の
駆動軸」を備えていないから，「前記第１の多関節駆動部の回動中心
となる第１の固定軸を有し，かつ前記第１の多関節駆動部に回転力を
与える第１の駆動軸を有する駆動部と，前記第２の多関節駆動部の回
動中心となる第２の固定軸を有し，かつ前記第２の多関節駆動部に回
転力を与える第２の駆動軸を有する駆動部と」の構成を具備しない。
したがって，本件審決が，上記構成を備えている点で本件発明１と
甲２発明とは一致すると認定した点には誤りがある。
(イ)本件発明１（請求項１）では，「前記駆動制御手段（１４）が行
う制御には，第１の搬送部（１５）又は第２の搬送部（１６）を伸縮
するために共通駆動部（１３）を回動させる制御と，この共通駆動
部（１３）を回動させる制御中，第２の搬送部（１６）又は第１の搬
送部（１５）が共通駆動部（１３）上に取り込まれた状態であるよう
にする制御とが含まれる」との構成における「この共通駆動部（１
３）を回動させる制御中」との要素により，一方の搬送部が搬送動作
を行っているときの他方の搬送部の動作を限定している点に技術的意
義を有する。
これに対し甲２発明は，そもそもが２つのアーム部（５１，５２）
を同時に別々に動かすことを目的とする発明であるから（甲２の段落
【００１３】），「第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために
駆動部を回動させる制御」と「第１の搬送部又は第２の搬送部が駆動
部上に取り込まれた状態であるようにする制御」動作を個別的に行う
ことはできるのであって，一方の搬送部が搬送動作を行っているとき
の他方の搬送部の動作を限定することはない。
したがって，本件審決が，本件発明１の「この共通駆動部（１３）
を回動させる制御中」という構成（要素）を無視し，「前記駆動制御
手段が行う制御には，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するため
に駆動部を回動させる制御と，第１の搬送部又は第２の搬送部が駆動
部上に取り込まれた状態であるようにする制御とが含まれる」点で，
一致すると認定した点に誤りがある。
イ相違点１についての容易想到性の判断の誤り
(ア)甲３の記載事項の認定の誤り
本件審決は，甲３には，「左右のウエハ保持部を用いて，同一方向
において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移動し
て，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換する運
動を行う搬送装置において，左右のアーム部材とそれらの回転軸とを
共通の第１のアーム部材に設けること」（審決書１７頁１２行∼１６
行）が記載されていると認定しているが，以下のとおり誤りである。
ａ甲３には，第１図ないし第３図に記載された搬送装置の実施例に
ついて，「左右のウエハ保持部材を用いて，一方のウエハ保持部材
が未処理基板を処理室に搬入し，その間他方のウエハ保持部材は，
処理済み基板を保持して待機し，他方のウエハ保持部材が処理済み
基板を搬出し，その間一方のウエハ保持手段は，未処理基板を保持
して待機する運動を行うこと」が記載されており，審決にいう「左
右のウエハ保持部を用いて，同一方向において，一方のウエハ保持
部に載置されたウエハを搬送先に移動して，それを他方のウエハ保
持部を用いて搬送先のウエハと交換する運動を行う」こと（以下「
記載事項ａ」ということがある。）が記載されている。
また，甲３には，第４図及び第５図に記載された搬送装置の実施
例について，「２つのウエハ保持部材を全く同期させて直線軌道に
沿って動かす場合には，第２のアーム部材とその回転軸及び第３の
アーム部材とその回転軸とを共通の第１アーム部材とその回転軸と
を共通の第１アーム部材に設けること」が記載されており，審決に
いう「左右のアーム部材とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム
部材を設けること」（以下「記載事項ｂ」ということがある。）が
記載されている。
ｂしかし，甲３の第４図及び第５図に記載された搬送装置は，「ウ
エハ保持部を全く同期させて直線軌道に沿って動かす」目的で（す
なわち，左右のアームを反対方向に同時に直線軌道に沿って動かす
目的で），「第２のアーム部材とその回転軸及び第３のアーム部材
とその回転軸とを共通の第１アーム部材とその回転軸とを共通の第
１アーム部材に設け」たものであるから，「同一方向において，一
方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移動して，それを
他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換する」ことを目
的とした搬送装置ではなく，したがって，その点で第１図ないし第
３図に記載された搬送装置とは異なる。
なお，甲３には，「また，他の実施例として，上記ウエハ保持
部（２８），（３３）はどちらか一方だけを動かすことも可能であ
る。」（３頁左下欄１２行∼１３行）との記載がされている。しか
し，ウエハ保持部（２８），（３３）は，第１図，第２図に記載さ
れた部材を示しており，第４図，第５図に記載された部材（ウエハ
保持部（５３），（５４））を示しているものではないこと，ま
た，第４図，第５図の実施例は，駆動軸を駆動させるモータが１つ
しかなく，ウエハ搬送部の「どちらか一方だけを動かす」ことは不
可能であるから，上記記載は，記載事項ａについての「他の実施
例」を示したものと理解すべきである。
ｃ以上のとおり，記載事項ａ及び記載事項ｂは，別の搬送装置に関
する相互に独立した事項であって，甲３において，両者を兼ね備え
た技術的事項が記載されているとはいえない。
したがって，本件審決が，「左右のウエハ保持部を用いて，同一
方向において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に
移動して，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交
換する運動を行う搬送装置において，左右のアーム部材とそれらの
回転軸とを共通の第１のアーム部材に設けること」が甲３に記載さ
れていると認定した点には誤りがある。
(イ)容易想到性の判断の誤り
本件審決は，相違点１について，「甲第３号証記載の事項は，甲第
２号証記載の発明と同じく，多関節搬送装置に係るから，前者の技術
を後者に適用して，相違点１に係る構成を本件発明１のものとするこ
とは，当業者であれば容易になし得る。」と判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
ａまず，前記(ア)のとおり，甲３には，「左右のウエハ保持部を用
いて，同一方向において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハ
を搬送先に移動して，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先の
ウエハと交換する運動を行う搬送装置において，左右のアーム部材
とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム部材に設けること」の記
載はない。
ｂ甲２には，「上述した従来のウェハ移載ロボットは，アーム部が
１本しかなかったので，第１ウェハカセットから第２ウェハカセッ
トにウェハを移載する場合には，ウェハ移載ロボットは例えば２５
スロットのウェハカセットでは２５往復ハンドリングする必要があ
り，ウェハの移載に時間がかかる欠点がある。」（段落【０００３
】）及び「ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１
と他方のアーム部５２は個々に，半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向
に動作可能である。よって，図４に示すように，第１ウェハカセッ
ト６０から第２ウェハカセット６１にウェハを移載する場合には，
ウェハカセット移載ロボット５０は例えば２５スロットのウェハカ
セットでは１２．５往復分でハンドリングすることができる。」（
段落【００１２】）との記載があることに照らすならば，甲２発明
は，「アーム部５１」（第４アーム２２，第５アーム２６及び第６
アーム３１で構成）と「アーム部５２」（第１アーム７，第２アー
ム１１及び第３アーム１６で構成）は，それぞれ，独立して動作す
ることができる点において技術的な意味が存在する。甲２発明は，
第１アームと第４アームが独立して回動することを前提として，第
１（第３）のモータを駆動したときには，アームの向き（θ）を変
え，第２（第４）のモータを駆動したときにはウォンドが伸縮（
Ｒ）運動をするという技術思想の下に，駆動系が設計された発明で
ある。
このような技術思想に基づく甲２の搬送装置について，仮に甲３
の記載事項ｂ（前記(ア)ａ）に従って，第１アーム７と第４アーム
２２を一体化した場合には，２つのアーム部５１と５２は，それぞ
れ，独立して動作することができなくなり，第１アーム７と第４ア
ーム２２を一体化することは，甲２発明の目的に反する構成をあえ
て採用することになるから，阻害事由があるといえるし，少なくと
も動機付けは存在しない。
すなわち，甲３の第４図及び第５図に示された連動型共通アーム
は，一対のウエハ保持部が互いに対称の動作をするものであり，そ
の駆動系の技術思想を，それぞれのウォンドが独立して動作する甲
２の搬送装置の駆動系に適用することは，不可能であるか，又は意
味がない。
ｃしたがって，甲２発明に，甲３記載の技術を適用して，相違点１
に係る本件発明１の構成を容易に想到し得たとの本件審決の判断は
誤りである。
ウ相違点２についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，相違点２について，「甲第２号証記載の発明では，第１
の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために駆動部を回動させる制御
と，第２の搬送部又は第１の搬送部が駆動部上に取り込まれた状態であ
るようにする制御とは，互いに干渉することなく，独立して別個に行う
ことができるが，左右の搬送部を用いて，同一方向において，一方の搬
送部に載置された被搬送物を搬送先に移動して，それを他方の搬送部を
用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を行う場合，一方の搬送部を伸
縮するために一方の駆動部を回動させている間，他方の搬送部を他方の
駆動部上に取り込まれた状態としておくことは，甲第２号証記載の発明
の使用法として，当業者が容易に選択し得るものである。甲第２号証記
載の発明をこのような使用法に適用するにあたり，駆動部を甲第３号証
記載の事項のように第１及び第２の駆動部を一体化した共通駆動部とし
た場合，一方の搬送部を伸縮するために共通駆動部を回動させる制御中
に，他方の搬送部を共通駆動部上に取り込まれた状態であるようにする
制御を行うことは，第１及び第２の駆動部を一体化した共通の駆動部と
することに伴う，当然の結果というべきである。」（審決書１７頁３０
行∼１８頁７行）と判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
(ア)前記ア(イ)のとおり，本件発明１（請求項１）の「前記駆動制御
手段（１４）が行う制御には，第１の搬送部（１５）又は第２の搬送
部（１６）を伸縮するために共通駆動部（１３）を回動させる制御
と，この共通駆動部（１３）を回動させる制御中，第２の搬送部（１
６）又は第１の搬送部（１５）が共通駆動部（１３）上に取り込まれ
た状態であるようにする制御とが含まれる」との構成は，「この共通
駆動部（１３）を回動させる制御中」という要素によって，一方の搬
送部が搬送動作を行っているときの他方の搬送部の動作を限定してい
る点に技術的意義を有する。しかし，本件審決は，上記の構成の技術
的意義に関する検討をすることなく，これ無視し，相違点２につい
て，漫然と第１及び第２の駆動部を一体化した共通の駆動部とするこ
とに伴う「当然の結果」であると判断したものであり，このような判
断手法は誤りである。
(イ)甲２の搬送装置は，アーム部５１と５２とを別々のウエハカセッ
トに交互に動かすことで，１つのアーム部からなる装置と比較して半
分の往復分でハンドリングすることをできるようにするための装置で
あるから（段落【００１２】等），一方のアーム部が稼働している時
に，あえて他方のアーム部を使わない（すなわち，「取り込まれた状
態であるようにする」）という方法を採用する動機付けはない。
また，甲２の搬送装置は，一方の搬送部のみが搬送を行い，他方の
搬送部は搬送を行わないという使用方法を行う場合，第１アームと第
４アームとを相互に独立して回転させて搬送部を別々に駆動すること
ができるのであるから，わざわざ，甲３に記載された左右の搬送部を
用いて反対方向に同時に搬送するための構成（第１アーム及び第４ア
ームを一体化する構成）を採用する動機付けもない。
以上のとおり，甲２の搬送装置において，審決がいう「一方の搬送
部を伸縮するために一方の駆動部を回動させている間，他方の搬送部
を駆動部上に取り込まれた状態としておく」ような使用法を適用する
際に，第１アームと第４アームを一体化して共通の駆動部とすること
は考えられない。
(ウ)前記ア(ア)のとおり，甲２の搬送装置は，「第２アームに回転力
を与える駆動軸」及び「第５アームに回転力を与える駆動軸」を備え
ておらず，本件発明１の構造とは異なり，「第１（第４）アームが回
転したとき，第２（第５）アームを第１（第４）アームの上に収納し
た状態とするため」に必要な「第２（第５）アームを第１（第４）ア
ームに対して回転させる駆動手段」がないのであるから，このような
甲２の構造に照らすならば，当業者が，甲２の第１アーム及び第４ア
ームを一体化させた場合に，相違点２に係る本件発明１のような動作
を行うことを想定するはずがない。
エ小括
以上によれば，本件発明１が容易想到であるとした本件審決の判断は
誤りである。
(2)取消事由２（本件発明２ないし４，６ないし１０の容易想到性の判断の
誤り）
ア本件発明２ないし４，６ないし１０に共通
前記(1)のとおり，本件発明１が容易想到であるとした本件審決の判断
は誤りであるから，請求項１（本件発明１）を引用する本件発明２ない
し４，６ないし１０が容易想到であるとした本件審決の判断も誤りであ
る。
イ相違点４の認定及び判断の誤り
(ア)相違点４の認定の誤り
前記(1)ア(ア)のとおり，甲２の搬送装置は，「第１の駆動軸」及
び「第２の駆動軸」を備えていないから，本件審決が相違点４におい
て「甲２発明は第１の駆動軸，第２の駆動軸及び２つの駆動部を個別
に駆動する電動機を有する」と認定した点は誤りである。
(イ)相違点４についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，「相違点４は，甲第２号証記載の発明における２つの
個別に回動する駆動部を，本件発明１において単一の共通駆動部にて
置き換えたことに伴い，共通駆動部を１つの電動機で駆動するように
したという，当業者にとって当然の設計変更にすぎない。」（審決書
１９頁１９行∼２２行）として，本件発明４は，甲２発明と甲１及び
甲３記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたと
判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
ａ甲２の搬送装置は，第２中空シャフトを回転させる「第２モー
タ」と第４シャフトを回転させる「第４モータ」とは，それぞれ第
１アームと第４アームを回転させ，アーム部５１と，アーム部５２
にそれぞれ半径（Ｒ）方向の動作（伸縮運動）を行わせるものであ
り，第１アームと第４アームを一体化すれば，一方のモータは不要
となるので，これを外すことは考えられる。また，第１中空シャフ
トを回転させる「第１モータ」と，第３中空シャフトを回転させ
る「第３モータ」とは，第１歯車と第５歯車とをそれぞれ回転させ
ることにより，アーム部５１と，アーム部５２にそれぞれ回転（
θ）方向の動作（旋回運動）を行わせるものであり，アーム部５１
と，アーム部５２のそれぞれの回転方向を定める第１アームと第４
アームを一体化すれば，一方のモータは不要となるので，当業者は
一方のモータを外すことも考えられる。
しかし，当業者であれば，「第２モータ」と「第４モータ」につ
いて一方を外したにもかかわらず，「第１モータ」と「第３モー
タ」について２つのモータを残すという構成を採用することは考え
られないから，甲２の搬送装置において，２つの駆動部を共通駆動
部にしたときに，「第１の駆動軸，第２の駆動軸及び単一の共通駆
動部を個別に駆動する電動機を有する」構成（相違点４に係る本件
発明４の構成）とすることは，当業者が当然に行う設計変更である
とはいえない。
ｂまた，前記のとおり，甲２発明は，第１アームと第４アームが独
立して回動することを前提として，第１（第３）のモータを駆動し
たときには，アームの向き（θ）を変え，第２（第４）のモータを
駆動したときにはウォンドが伸縮（Ｒ）運動をするという技術思想
の下に，駆動系が設計された発明であり，第１モータ及び第３モー
タは旋回運動用のモータとして，第２モータ及び第４モータは伸縮
運動用のモータとしてそれぞれ機能しており，それぞれのモータの
機能が異なっている。したがって，仮に，甲２の搬送装置におい
て，第１モータと第３モータを共通駆動部を駆動するとの機能を持
たせようとした場合には（第２モータと第４モータは，第１歯車又
は第５歯車の上にあるので両者を１つのモータで駆動するようにす
ることは簡単ではない。），それぞれのモータが固定されている第
２歯車と第６歯車の２つは不要であるので，それらの軸を共通の軸
とし，これを１つのモータで回転させるようにするのであろうが，
この場合には，共通駆動部を回転させ，一方のアーム部５１（５
２）を伸縮させつつ，他方のアーム部５２（５１）を，共通駆動部
上に取り込まれた状態とする動作をすることはできない。
以上のとおり，甲２の搬送装置において，第１アームと第４アー
ムを一体化した際に，第１ないし第４のモータのうちのいずれか１
つを取り除いても，単純に「第１の駆動軸，第２の駆動軸及び単一
の共通駆動部を個別に駆動する電動機を有する」との機能を持たせ
ることはできない。
ｃ被告は，甲２の搬送装置において，例えば，第１アームと第４ア
ームとを一体化すれば，第２モータ及び第２中空シャフトが省略で
き，モータは全体で４つから３つに減少することができると主張す
る。しかし，以下のとおり，被告の主張のとおり改造した甲２の搬
送装置は，本件発明４とは全く異なったものにしかならない。
すなわち，被告の主張のとおり改造した甲２の搬送装置におい
て，本件明細書記載の第１の制御方法（第２の搬送部１６を共通駆
動部上に取り込んだ状態で第１の搬送部１５を伸縮させる作動。段
落【００１９】及び【００２０】）に対応するように動作させるに
は，（第１中空シャフト用の）第１モータ（３５）を固定し，第４
モータ（４４）が駆動されて第４シャフト（５）を回転させ，同時
に第３モータ（４１）を駆動することが必要である。しかし，第２
ウォンドを第４アームに取り込んだ状態で第１アーム及び第４アー
ムを一体化した部材が回動，すなわち，本件明細書記載の「第１の
制御方法」に対応した回動をすることはない。また，第２モータ省
略後の第３モータ（４１）が本件明細書記載の「駆動軸１３Ｄ用の
モータ２４Ｂ」に対応するはずであるが，第３モータ（４１）を駆
動すると，第３中空シャフト（４）に連れて第４シャフトが回転
し，一体化した第１アームと第４アーム全体が回動するため，「駆
動軸１３Ｄ用のモータ２４Ｂ」とは全く異なることとなる。
また，被告の主張のとおり改造した甲２の搬送装置において，本
件明細書記載の第２の制御方法（第１の搬送部１５を共通駆動部上
に取り込んだ状態で第２の搬送部１６を伸縮させる作動。段落【０
０２０】及び【００２１】）に対応するように動作させるには，第
３モータ（４１）を固定し，第４モータ（４４）が駆動されて第４
シャフト（５）を回転させ，同時に第１モータ（３５）が同期して
駆動されると第１中空シャフトが（２）回転させられることになる
ので，第１アームと第４アームとが一体化された場合であっても，
第２ウォンド（３２）が伸縮し，第１ウォンド（１７）が第１アー
ム（７）上に取り込まれた状態で作動する。これは，甲２の搬送装
置は，もともと，第３モータが固定した状態で第４モータが回転す
ると第２ウォンド（「第２の搬送部１６」に対応）が伸縮し，第２
モータが固定された状態で第１モータが回転すると第１ウォン
ド（「第１の搬送部１５」に対応）を第１アームに取り込んだ状態
で第１アームが回動するように構成されていたから，その動作と全
く同一である。本件発明４と被告が主張する改造した甲２の「作
動」は同じではあるが，それぞれのモータの機能は本件発明４のも
のとは異なる。
さらに，被告の主張のとおり改造した甲２の搬送装置において，
本件明細書記載の第３の制御方法（第１の搬送部１５及び第２の搬
送部１６が取り込まれた状態で共通駆動部が旋回する作動。段落【
００２２】及び【００２３】）に対応するように，第１モータ（３
５），第３モータ（４１）及び第４モータ（４４）を駆動させた場
合には，どのような作動になるのかを特定することは困難であり，
本件明細書記載のようにこれらのすべてを駆動した場合には，少な
くとも，第２ウォンドを第４アームに取り込んだ状態で第１アーム
及び第４アームを一体化した部材が回動することはない。
ｄしたがって，本件発明４は，甲２発明と甲１及び甲３記載の事項
に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとの本件審決の
判断は誤りである。
ウ相違点５についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，①「個別に回動し得る２つの駆動部を単一の共通駆動部
とすることは，・・・（相違点１の判断）に示したとおり，当業者が容
易に想到し得る」（審決書１９頁末行∼２０頁１行），②「共通駆動部
を，直線状のものから，「く」の字型に屈曲されたアーム状のものに変
更することは，当業者が適宜に採用し得る設計上の事項にすぎない」（
同２０頁３行∼４行），③「甲第３号証記載の事項のように第１及び第
２の駆動部を一体化した共通駆動部とした場合でも，一方の駆動軸と共
通駆動部とが同期して回動する間，他方の駆動軸を固定して多関節駆動
部を伸縮させることは，当業者であれば容易に想到し得る。」（同２１
頁９行∼１２行），④本件明細書の発明の詳細な説明に「「収納角度」
が必要である理由が実質的に記載されているということはできず，被請
求人が主張する，共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状とする
ことの効果も認めることはできない。」（同２０頁２４行∼２７行）と
して，本件発明６は，甲２発明と甲１及び甲３記載の事項に基づいて当
業者が容易に発明をすることができたと判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
(ア)本件発明６の「く」の字型に屈曲されたアーム状の共通駆動部（
相違点５に係る本件発明６の構成）について，本件明細書（甲８の
２）に，「さらに，本発明の第２の実施例によれば，図１０（原告注
・「図９」とあるのは誤記）に示すように，「く」の字型に屈曲され
た共通駆動屈曲アーム３３が採用される。このため，共通駆動屈曲ア
ーム３３上に両フォーク３５及び３６を取り込んだ状態において，従
来例のような収納角度γを設けることなく，両フォーク３５及び３６
を重なった状態に揃えることが可能となる。このことで，被搬送物３
０を同一方向に伸縮させることが可能となる。これにより，第１の実
施例に比べて，各フォーク３５及び３６の伸縮方向を切り換える旋回
時間が無用となり，被搬送物３０の入れ替え時間の短縮化を図ること
が可能となる。」（段落【００７４】，【００７５】），「また，本
発明の他の装置によれば，共通駆動部が「く」の字型に屈曲されたア
ーム状に構成される。このため，共通駆動部上に第１，第２の搬送部
を取り込んだ状態において，両搬送部を揃えることが可能となる。こ
のことで，従来例に比べて装置の旋回半径を小さくすること，及び，
被搬送物を同一方向に伸縮させることが可能となる。また，両搬送部
の切り換え旋回時間が無用となり，被搬送物の入れ替え時間の短縮化
を図ることが可能となる。」（段落【０１０９】）と記載されている
とおりの技術的意義を有するのであるから，この技術的意義を考慮す
ることなく，当業者が適宜採用し得る設計上の事項であると判断する
ことはできない。
(イ)したがって，本件発明６は，甲２発明と甲１及び甲３記載の事項
に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとの本件審決の判
断は誤りである。
エ相違点６についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，「甲第２号証記載の発明では，第２又は第４モータを駆
動しない限り，第１の駆動軸と第１の駆動部及び第２の駆動軸と第２の
駆動部とはそれぞれ同期して回動し，また，第２又は第４モータだけを
駆動すると，対応する第１又は第２の駆動軸は固定されたまま，第１又
は第２の多関節駆動部が伸縮する。第２及び第４モータは個別に回動制
御されるものであるから，一方の駆動軸と駆動部とが同期して回動する
間，他方の駆動軸を固定して多関節駆動部を伸縮させることは，当業者
が容易になし得る。」（審決書２１頁２行∼８行）から，甲２発明にお
いて，「甲第３号証記載の事項のように第１及び第２の駆動部を一体化
した共通駆動部とした場合でも，一方の駆動軸と共通駆動部とが同期し
て回動する間，他方の駆動軸を固定して多関節駆動部を伸縮させること
は，当業者がであれば容易に想到し得る。」（同２１頁９行∼１２行）
として，本件発明７は，甲２発明と甲３記載の事項に基づいて当業者が
容易に発明をすることができたと判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
(ア)前記(1)ア(ア)のとおり，甲２の搬送装置は，「第１の駆動軸」及
び「第２の駆動軸」を備えていない。また，仮に，甲２の搬送装置
の「第１中空シャフト」及び「第３中空シャフト」がそれぞれ本件発
明７の「駆動軸１」及び「駆動軸２」に相当するとしても，２つの駆
動部を共通駆動部にしたとき「一方の駆動軸と駆動部とが同期して回
動する間，他方の駆動軸を固定して多関節駆動部を伸縮させる」もの
とすることは単なる設計変更とはいえない。
(イ)甲２の搬送装置では，第１（第２）の駆動軸と一体の第１（第
５）歯車上に第２（第４）モータが設けられているため，第２（第
４）モータを駆動しないときには，第１（第２）の駆動軸（第１中空
シャフト）が第１（第２）の駆動部（第１アーム）と一体となって回
転するのであり，第１（第２）の駆動軸（第１中空シャフト）が第
１（第２）の駆動部（第１アーム）と無関係に回転することができ，
それらの回転を同期させる構成は採用されていない。一方，甲２の搬
送装置において，アーム部５１，５２に回転（θ）方向の運動（旋回
運動）をさせる際には，第１の駆動軸と第１の駆動部及び第２の駆動
軸と第２の駆動部とはそれぞれ一体となって回動するので，第１駆動
部（第１アーム）又は第２駆動部（第４アーム）に回転（伸縮運動）
を与える第２モータ又は第４モータは停止させていなければならな
い。
(ウ)以上によれば，甲２の搬送装置において，「一方の駆動軸と駆動
部と自由に回転させ，これを同期して回動する間，他方の駆動軸を固
定して多関節駆動部を伸縮させること」は当業者が容易になし得ると
いうことはできず，相違点６に係る本件発明７の構成（「第１の駆動
軸を固定し，第２の駆動軸及び共通駆動部を同期させて回動する」構
成）を採用することに容易に想到し得るものではないから，本件発明
７は，甲２発明と甲３記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をす
ることができたとの本件審決の判断は誤りである。
オ相違点７についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，相違点７について，「本件発明８は，固定する駆動軸
と，共通駆動部と同期させて回動する駆動軸を本件発明７のそれらと入
れ換えただけのものである」（審決書２１頁２４行∼２５行）ので，相
違点６の判断と同様の理由により，本件発明８は，甲２発明と甲３記載
の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたと判断した。
しかし，前記エと同様の理由により，甲２の搬送装置において，相違
点７に係る本件発明８の構成（「第２の駆動軸を固定し，第２の駆動軸
及び共通駆動部を同期させて回動する」構成）を採用することに容易に
想到し得るものとはいえないから，本件審決の上記判断は誤りである。
カ相違点８についての容易想到性の判断の誤り
本件審決は，「甲第２号証記載の発明では，第２又は第４モータを駆
動しない限り，第１の駆動軸と第１の駆動部及び第２の駆動軸と第２の
駆動部とはそれぞれ同期して回動する」（審決書２２頁２行∼４行）か
ら，甲２発明において，甲３記載の事項のように第１及び第２の駆動部
を一体化した共通駆動部とした場合に，「第１の駆動軸，第２の駆動軸
及び共通駆動部を同期して回動すること」（相違点８に係る本件発明９
の構成）は当業者であれば容易に想到し得るとして，本件発明９は，甲
２発明と甲３記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることがで
きたと判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
(ア)前記エ(イ)のとおり，甲２の搬送装置において，アーム部５１，
５２に回転（θ）方向の運動（旋回運動）をさせる際には，第１の駆
動軸と第１の駆動部及び第２の駆動軸と第２の駆動部とはそれぞれ一
体となって回動し，第１駆動部（第１アーム）又は第２駆動部（第４
アーム）に回転（伸縮運動）を与える第２モータ又は第４モータは停
止させていなければならないことに照らすならば，甲２の搬送装置に
おいて，第１及び第２の駆動部を一体化した共通駆動部とした場合，
アーム部５１，５２に回転（θ）方向の運動をさせる際に，第１の駆
動軸（又は第２の駆動軸）を回転させる第３のモータ（第１のモー
タ）を，第１の駆動部（又は第２の駆動部）と同期するよう回転させ
ればよいと考えることが容易に想到し得るとはいえない。
(イ)したがって，本件発明９は，甲２発明と甲３記載の事項に基づい
て当業者が容易に発明をすることができたとの本件審決の判断は誤り
である。
(3)取消事由３（本件発明６に関する明細書の記載不備の判断の誤り）
本件審決は，①「本願の発明の詳細な説明には，共通駆動部が直線状で
ある場合に「収納角度」が必要である理由が，実質的に記載されていない
ため，両搬送部を同じ方向に伸縮させるために共通駆動部を回転させなけ
ればならない理由が不明である」（審決書２０頁６行∼９行），②「搬送
部が向きを変えずに一直線上を移動するためには，共通駆動部の回動中心
軸から第１又は第２の固定軸までの距離と，多関節駆動部の第１又は第２
の固定軸から第１又は第２の搬送部までの距離との関係，並びに共通駆動
部の旋回角度と共通駆動部に対する多関節駆動部の旋回角度の比率を特定
することが必要であるところ，本願の明細書にも図面にもこれらの距離の
関係や比率については記載されていないため，本件発明６が上記課題を満
たすことを目的としていると理解することはできず，本件明細書の発明の
詳細な説明に「収納角度」が必要である理由が実質的に記載されていると
いうことはできない」（同２０頁１７行∼２４行）と指摘し，「共通駆動
部が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構成することの技術的意義は，
・・・当業者が理解しうる程度に記載されているということはできない。
よって，本件発明６は，特許法第３６条第４項に規定する要件を満たさな
い。」（同２３頁２８行∼３２行）と判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
ア(ア)本件明細書（甲８の２）の発明の詳細な説明及び図面（甲７）に
は，共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状にした場合におけ
る，共通駆動部の回動中心軸から第１又は第２の固定軸までの距離
と，多関節駆動部の第１又は第２の固定軸から第１又は第２の搬送部
までの距離との関係，並びに共通駆動部の旋回角度と共通駆動部に対
する多関節駆動部の旋回角度の比率が実質的に記載されているから，
当業者が本件明細書に接すれば容易に本件発明６の搬送装置を設計す
ることができる。
(イ)本件明細書には，共通駆動部を「く」の字型に屈曲されたアーム
状に構成した効果について，「共通駆動部上に第１，第２の搬送部を
取り込んだ状態において，両搬送部を揃えることが可能となる。この
ことで，従来例に比べて装置の旋回半径を小さくすること，及び，被
搬送物を同一方向に伸縮させることが可能となる。また，両搬送部の
切り換え旋回時間が無用となり，被搬送物の入れ替え時間の短縮化を
図ることが可能となる。」（段落【０１０９】）と記載されているか
ら，効果を奏する理由の説明が不十分であるということはない。
(ウ)共通駆動部が直線状である場合に，同じ搬送ストロークを確保し
つつ，搬送装置の占有面積を小さくするために，「収納角度」が必要
であることは，本件特許明細書の記載に基づいて当業者が容易に理解
をすることができる。また，本件特許明細書の図３，図６，図７（と
りわけ図６，図７の（Ｂ）図では直線に移動する矢印が記載されてい
る。），図１３，図１４，図１９，図２１を見れば，いずれも，「搬
送部が向きを変えずに直線上に移動していること」が示されており，
かつ，このような事項は正に技術常識であるから，本件明細書に接し
た当業者であれば，本件明細書から「搬送部が向きを変えずに直線上
に移動」するとの技術事項を当然に認識できる。
したがって，本件明細書の発明の詳細な説明には，共通駆動部が直
線状である場合に「収納角度」が必要である理由が，実質的に記載さ
れていないとはいえず，記載不備に関する前記①の指摘は理由がな
い。
イ本件明細書の図面（甲７）に，共通駆動部の回動中心軸から第１又は
第２の固定軸までの距離と，多関節駆動部の第１又は第２の固定軸から
第１又は第２の搬送部までの距離との関係，並びに共通駆動部の旋回角
度と共通駆動部に対する多関節駆動部の旋回角度の比率については，実
質的に記載されているのであるから，記載不備に関する前記②の指摘も
理由がない。
ウ以上のとおり，本件発明６は，特許法旧３６条４項に規定する要件を
満たさないとの本件審決の判断は誤りである。
２被告の反論
(1)取消事由１に対し
ア一致点の認定の誤りに対し
(ア)本件発明１（請求項１）の「前記第１の多関節駆動部（１１）に
回転力を与える第１の駆動軸（１３Ｃ）」及び「前記第２の多関節駆
動部（１２）に回転力を与える第２の駆動軸（１３Ｄ）」中の「回転
力を与える」について，駆動軸の回転は，アームの「旋回運動」だけ
に関与するのであって，「伸縮運動」に関与することはなく，「伸縮
運動」をするときには，駆動軸は固定されている。このことは，請求
項１の文言及び本件明細書の段落【００４２】，【００４３】，【０
０４５】，【００４６】，図６及び図７の記載から明らかである。
ところで，甲２には，第１モータ３５が回転すると，その回転力が
第１中空シャフト２に伝達されて第２アーム１１が回転θ方向に回転
されるという発明が記載されており（４頁５欄１行∼４行），第１モ
ータ３５の回転力が第１中空シャフト２に伝達されて第２アーム１１
が回転されている以上，「第１中空シャフト２」は，「第２アーム１
１に回転力を与える駆動軸」であるといえる。同様に，甲２には，第
３モータ４１が回転すると，その回転力が第３中空シャフト４に伝達
されて第５アーム２６が回転θ方向に回転されるという発明が記載さ
れており（４頁５欄８行∼１０行），第３モータ４１の回転力が第３
中空シャフト４に伝達されて第５アーム２６が回転されている以
上，「第３中空シャフト４」は，「第５アーム２６に回転力を与える
駆動軸」であるといえる。
したがって，甲２の搬送装置は，「第１の多関節駆動部に回転力を
与える第１の駆動軸」（「第１中空シャフト２」）及び「第２の多関
節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸」（「第３中空シャフト
４」）を備えているから，これらを備えていないことを前提に，本件
審決の一致点の認定の誤りをいう原告の主張は失当である。
(イ)原告は，本件発明１の「この共通駆動部（１３）を回動させる制
御中」という構成（要素）を無視し，「前記駆動制御手段が行う制御
には，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために駆動部を回動
させる制御と，第１の搬送部又は第２の搬送部が駆動部上に取り込ま
れた状態であるようにする制御とが含まれる」点で，本件発明１と甲
２発明とが一致するとした本件審決の認定は誤りであると主張する。
しかし，本件審決は，「この共通駆動部を回動させる制御中」と
いう構成については，相違点２で実質的に考慮した上で，その容易想
到性についての判断をしているから，本件審決の一致点の認定には，
実質的な誤りはない。
イ相違点１についての容易想到性の判断の誤りに対し
(ア)甲３の記載事項
ａ本件審決は，甲３の第３図（ｂ），（ｃ）に示されるように，ウ
エハ保持部２８，３３を備えた搬送装置が同一方向（シャッター３
８の方向）において，一方のウエハ保持部３３に載置されたウエハ
を搬送先に移動して，それを他方のウエハ保持部２８を用いて搬送
先のウエハと交換する運動を順次行っている点，甲３の第３図（
ｅ），（ｆ）に示されるように，ウエハ保持部２８，３３を備えた
搬送装置が同一方向（シャッター３９の方向）において，一方のウ
エハ保持部３３に載置されたウエハを搬送先に移動して，それを他
方のウエハ保持部２８を用いて搬送先のウエハと交換する運動を，
順次行っている点を指摘するとともに，この動作が甲３の第４図，
第５図に示す，ウエハ保持部５３，５４を備えた搬送装置にも同様
に適用される点を指摘する（審決書１４頁５行∼３５行）。
ｂ甲３には，第４図，第５図に示す，ウエハ保持部５３，５４（第
３図に示す，ウエハ保持部２８，３３に対応）を備えた搬送装置が
同一方向（シャッタ３８ーの方向）において，一方のウエハ保持部
５４（ウエハ保持部３３に対応）に載置されたウエハを搬送先に移
動して，それを他方のウエハ保持部５３（ウエハ保持部２８に対
応）を用いて搬送先のウエハと交換する運動を，順次行っている
点（第３図（ｂ），（ｃ）），あるいは，第４図，第５図に示す，
ウエハ保持部５３，５４（第３図に示す，ウエハ保持部２８，３３
に対応）を備えた搬送装置が同一方向（シャッタ３９ーの方向）に
おいて，一方のウエハ保持部５４（ウエハ保持部３３に対応）に載
置されたウエハを搬送先に移動して，それを他方のウエハ保持部５
３（ウエハ保持部２８に対応）を用いて搬送先のウエハと交換する
運動を，順次行っている点（第３図（ｅ），（ｆ））が記載されて
いるといえる。また，甲３の第４図，第５図に示す搬送装置は，左
右のアーム部材５１，５２とそれらの回転軸４９，５０とを共通の
第１アーム部材４２に設けた構成を備えた装置である。
また，甲３には，第１図ないし第３図に記載された搬送装置の実
施例の説明の後に，「また他の実施例として，上記ウエハ保持部（
２８），（３３）を全く同期させて直線軌道に沿って動かす場合に
は，第４図及び第５図に示すような構造にしてもよい。つまり・・
・この第２および第３アーム部材（５１），（５２）の他端にはウ
エハ保持部（５３），（５４）が形成されている。ここで，ウエハ
保持部（５３），（５４）を直線軌道に沿って動かすための条件
は，上記第１の実施例で述べた条件と同じである。」（３頁右上欄
１３行∼左下欄１１行）との記載がある。上記記載は，第３図に示
す「第１の実施例」の動作を，第４図及び第５図に示すウエハ保持
部（５３），（５４）を備えた搬送装置が同様に行い得ることを示
すものと理解することができる。
ｃしたがって，甲３には，「左右のウエハ保持部を用いて，同一方
向において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移
動して，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換
する運動を行う搬送装置において，左右のアーム部材とそれらの回
転軸とを共通の第１アーム部材に設けること」が記載されていると
の本件審決の認定に誤りはない。
(イ)容易想到性
ａ本件審決は，「一対の搬送部を用いて，同一方向において，一対
の搬送部の一方に載置された被搬送物を搬送先に移動して，それを
他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を行うこと
は，甲第１号証や甲第３号証に例示されるように，従来周知の技術
である。甲第２号証記載の発明も，一対の搬送部を有するものであ
るから，前記運動を行う目的に使用することは，当業者が容易に想
到し得る」（審決書１７頁６行∼１１行）とし，その上で，「甲第
３号証記載の事項は，甲第２号証記載の発明と同じく，前者の技術
を後者に適用して，相違点１にかかる構成を本件発明１のものとす
ることは，当業者であれば容易になし得る。」（同１７頁２６行∼
２８行）と判断している。
すなわち，甲１や甲３に例示されるように，本件発明１の共通駆
動部に相当する部分が，個別に回動可能な２部材となっているもの
であれ，共通の部材となっているものであれ，「一対の搬送部を用
いて，同一方向において，一対の搬送部の一方に載置された被搬送
物を搬送先に移動して，それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬
送物と交換する運動」を行う点は周知技術であるから，個別に回動
可能な２部材からなる甲２に接した当業者は，上記周知技術を用い
て，上記運動を行う目的の下に，甲２の個別に回動可能な２部材
を，甲３の共通の部材に置換する変更は容易であると述べているの
であって，甲２と甲３のみから相違点１の容易想到性を判断したも
のではない。このように本件審決は，甲２と甲３とを結びつける動
機，起因として，「周知技術」の存在を指摘するとともに，本件発
明１の作用効果が「周知技術」の作用効果の範疇であるとして，両
者を結びけることに困難はないと判断したものであって，その判断
手法に誤りはない。
ｂ甲２には，「図４に示すように，第１ウエハカセット６０から第
２ウエハカセット６１にウエハを移載する場合には，ウエハカセッ
ト移載ロボット５０は例えば２５スロットのウエハカセットでは１
２．５往復分でハンドリングすることができる。」（段落【００１
２】）との記載があり，共通駆動部に相当する各アームを別個に動
作させることを目的とする発明であることが記載され，処理済又は
未処理のウエハをウエハカセット６０から第２ウエハカセット６１
に移載するという用途が記載されているものの，本件発明１のよう
に，ウエハカセット６０又はウエハカセット６１のいずれか一つと
の間で処理済みウエハと未処理ウエハを移載する用途に使用しない
との明確な記載やそれを示唆する記載はない。また，甲２には，「
ウエハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１と他方のア
ーム部５２は個々に，半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向に動作可能
である。」（段落【００１２】）との記載があり，第１アーム７と
第４アーム２２をあたかも単一部材であるかのように同期させて半
径方向および伸縮方向に回動させることが可能であるので，回転方
向（旋回方向）及び半径方向（伸縮方向）において，それぞれ同期
させる制御を行った場合には，第１ウォンドと第２ウォンドとは，
ウエハカセット６０（及び６１）に向かって同一方向に伸縮してお
り，第１アームと第４アームとがは固定されていても何ら問題もな
く，本件発明１と同じ目的を達成することができ，本件発明１と実
質的に同一の装置として用いることができる。
また，甲３記載の発明についても，甲２，本件発明１と技術分野
を同じくし，共通駆動部に相当する部分が一体となって回動する
か，回動し得る点で共通するといえる。
以上のとおり，本件発明１と技術分野において共通し作用，機能
において共通している甲２と甲３の技術文献があった場合に，当業
者が，上記(ア)の周知技術を適用して，この周知技術の運動を行う
ことを目的として，甲２の別部材のアームを，甲３の一体となった
共通駆動部に置換して本件発明１を想到することに格別困難な事情
はない。
ウ相違点２についての容易想到性の判断の誤りに対し
前記イのとおり，「一対の搬送部を用いて，同一方向において，一対
の搬送部の一方に載置された被搬送物を搬送先に移動して，それを他方
の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動」を行うという周知
技術が存在し，甲２に接した当業者は，上記運動を行うために，一方の
搬送部を伸縮するために一方の駆動部を回動させている間，他方の搬送
部を他方の駆動部上に取り込まれた状態にしておく使用法を，甲２発明
の一使用法として容易に選択し得る。そもそも，甲２発明は，第１の搬
送部又は第２の搬送部を伸縮するために駆動部を回動させる制御と，第
２の搬送部又は第１の搬送部が駆動部上に取り込まれた状態であるよう
にする制御とを，互いに干渉することなく，独立して別個に行うことが
できる自由度，汎用性をもっているのであるから，「一方の搬送部を伸
縮するために一方の駆動部を回動させている間，他方の搬送部を他方の
駆動部上に取り込まれた状態にしておく」という形態は甲２発明の一使
用法にすぎない。
したがって，甲３に接した当業者は，甲２の個別に回動可能な２部材
を，甲３の共通の部材に置換した上で，一方の搬送部を伸縮するために
一方の駆動部を回動させている間，他方の搬送部を他方の駆動部上に取
り込まれた状態にしておく使用法を，当然の結果として行い得るといえ
るから，相違点２の容易想到性についての本件審決の判断に原告主張の
誤りはない。
(2)取消事由２に対し
ア相違点４についての容易想到性の判断の誤りに対し
本件発明４（請求項４）は，本件発明１（請求項１）の従属項であ
り，前記のとおり，甲２発明における２つの個別に回動する駆動部を，
本件発明１における単一の共通駆動部に置き換えることは，当業者が容
易になし得るものである。
そして，２つの個別に回動する駆動部を駆動する２つの電動機を，単
一の共通駆動部に置換したことに伴い，１つの電動機で駆動するように
変更することは，モータの数が減るだけの作用効果が得られるだけで，
発明として特段の作用効果もない当業者が当然に行い得る設計事項であ
る。
すなわち，甲３には，第１図，第２図に示す，個別のアーム部材（１
４），（２１）を，第４図，第５図に示す一体のアーム部材（４２）に
するときに，個別のアーム部材（１４），（２１）を個別に回動させて
いた２つのモータ（１２），（１５）を，１つのモータ（４０）にする
という技術思想が明確に記載されている。そして，甲３の個別のアーム
部材（１４），（２１）は，これらアーム部材が回転駆動することで搬
送部の伸縮に寄与するという点で，本件発明４の共通駆動部に相当し，
一方，甲２の第１アーム，第４アームも，これらアーム部材が回転駆動
することで搬送部の伸縮に寄与するという点で，本件発明１の共通駆動
部に相当するので，甲３の個別のアーム部材（１４），（２１）は，甲
第２の第１アーム，第４アームに相当する。甲３に接した当業者は，甲
３に開示された上記技術思想にかんがみ，甲２の第１アーム，第４アー
ムを一体の部材にするときに，第１アーム，第４アームを個別に回動さ
せていた個別の第２モータ，第４モータを，１つのモータで駆動するよ
うに当然になし得るといえる。
したがって，「相違点４は，甲第２号証記載の発明における２つの個
別に回動する駆動部を，本件発明１において単一の共通駆動部にて置き
換えたことに伴い，共通駆動部を１つの電動機で駆動するようにしたと
いう，当業者にとって当然の設計変更にすぎない。」の本件審決の判断
に誤りはない。
イ相違点５についての容易想到性の判断の誤りに対し
本件明細書には，「両搬送部を揃えることによる効果」（段落【００
７４】，【００７５】，【０１０９】）が記載されているにとどまり，
共通駆動部が直線状である場合には両搬送部を揃えることができなく
て，共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状（相違点５に係る本
件発明６の構成）にしたことで両搬送部を揃えることができたとする理
由は何ら記載されておらず，「共通駆動部を「く」の字型に屈曲したア
ーム状にしたことの効果も認めることはできない。」と判断した本件審
決に誤りはない。
また，共通駆動部が直線上である場合に「収納角度」が必要である理
由は，第１次審決における指摘を受けて提出された訂正審判請求書（甲
８の１）において初めて明らかにされた事項であり，本件明細書の記載
に基づくものではなく，本件明細書には，共通駆動部が「く」の字型に
屈曲されたアーム状を構成することの技術的意義の実質的な記載はな
い。
したがって，相違点５に係る本件発明６の構成は，「当業者が適宜に
採用し得る設計上の事項にすぎない」とした本件審決の判断に誤りはな
い。
ウ相違点６についての容易想到性の判断の誤りに対し
前記のとおり，甲２の搬送装置は，「第１中空シャフト」は「第２ア
ームに回転力を与える駆動軸」，甲２の「第３中空シャフト」は「第５
アームに回転力を与える駆動軸」であり，本件発明の第１の駆動軸，第
２の駆動軸を備えている。
そして，甲２には，第３中空シャフト４（第２駆動軸に対応）及び第
４アーム２２（共通駆動アームに対応）が「同期」して回動すること
で，第４アーム２２（共通駆動アームに対応）と第５アーム２６（搬送
アームに対応）からなるアーム５１全体が見かけ上静止した状態で回転
θ方向に旋回するという発明（４頁５欄７行∼１０行）が記載されてお
り，これは，本件明細書の【００４２】，【００４３】及び図６に記載
された，第２駆動軸１３Ｄ及び共通駆動アーム２３が「同期」して回動
することで，共通駆動アーム２３と搬送アーム２２からなるアーム全体
が見かけ上静止した状態で旋回することと全く同じであり，本件明細書
中で定義されているのと同じ「同期」の動きが甲２においても実現され
ている。
また，甲２には，第１中空シャフト２（第１駆動軸に対応）が回転さ
れず固定されることで，第１アーム７（共通駆動アームに対応）に対し
て第２アーム１１（搬送アームに対応）が相対的に回転して，アーム５
２が半径Ｒ方向に伸縮するという発明（４頁５欄１行∼４行）が記載さ
れている。
そして，甲２の搬送装置では，片方のアーム部５１と他方のアーム５
２がそれぞれ同時に「同期」によるアーム旋回動作及び「固定」による
アーム伸縮動作を個別に行うができること（４頁５欄１５行∼１６行）
に照らすならば，甲３と甲２を結びつけ，甲２の第１アーム７と第４ア
ーム２２を一体の共通駆動部に置換すれば，一方の駆動軸と駆動部が同
期して回動する間（「同期」によるアーム旋回動作），他方の駆動軸を
固定して多関節駆動部を伸縮させる動き（「固定」によるアーム伸縮動
作）が実現されることになるから，相違点６に係る本件発明の７の構成
を容易に想到し得たとの本件審決の判断に誤りはない。
エ相違点７についての容易想到性の判断の誤りに対し
前記ウと同様の理由により，相違点７に係る本件発明の８の構成を容
易に想到し得たとの本件審決の判断に誤りはない。
オ相違点８についての容易想到性の判断の誤りに対し
前記ウと同様の理由により，甲２には，本件明細書中で定義されてい
るのと同じ「同期」の動きが実現されている。
したがって，甲３と甲２を結びつけ，甲２の第１アーム７と第４アー
ム２２を一体の共通駆動部に置換すれば，第１の駆動軸，第２の駆動軸
及び共通駆動部を同期して回動させる動きが実現されることになるか
ら，相違点８に係る本件発明の９の構成を容易に想到し得たとの本件審
決の判断に誤りはない。
(3)取消事由３に対し
ア本件明細書には，「共通駆動部を「く」の字型に屈曲したアーム状に
したことの効果」及び共通駆動部が直線上である場合に「収納角度」が
必要である理由の実質的な記載はない。
したがって，本件明細書に接した当業者において，直線状の共通駆動
部を用いても，各回動部の軸間距離や旋回角度の組合せによっては収納
角度を設けることなく，占有面積を最小化し得る可能性を排除すること
ができない。
また，「搬送部が向きを変えずに直線状に移動する」ことを前提とし
て「収容角度」が不要となるという課題は，訂正審判請求書（甲８の
１）で初めて明らかにされた。本件明細書に「搬送部が向きを変えずに
直線状に移動している」ことが直接記載されていない以上，「距離や比
率」のすべてを特定することによってことを明らかにさせる必要があ
る。しかし，本件明細書には，「距離や比率」のすべてが特定がされて
いないので，本件明細書に接した当業者は，本件発明６が「搬送部が向
きを変えずに直線状に移動している」ことを理解することができない。
なお，本件明細書の発明の詳細な説明の欄では，図３，図６，図７，
図１３，図１４，図１９，図２１に関して「フォークが一方向に伸縮す
る」，「共通駆動アームの最大回動時には，フォーク，搬送アームおよ
び共通駆動アームが一直線状に並んだ状態となる」と記載されているの
みであり，「フォーク（搬送部）が向きを変えない」，「フォーク（搬
送部）が一直線上に移動する」という説明は一切されていない。特許明
細書における添付図面は，あくまでも明細書の理解の補助の位置付けに
あり，当業者は，本件明細書に記載された「フォークが一方向に伸縮
し，共通駆動アームの最大回動時には，フォーク，搬送アームおよび共
通駆動アームが一直線状に並んだ状態となる」という動きを理解するた
めに図面を参照することができるにすぎない。また，いかに正確に線図
が描かれた設計図面といえども寸法等の情報が明示されていない部分に
定規をあてて情報を取得できないのと同様に，特許図面に定規をあて
て，「フォーク（搬送部）が向きを変えない」ことや，「フォーク（搬
送部）が一直線上に移動する」が記載されているとすることはできな
い。
イ以上によれば，共通駆動部が「く」の字型に屈曲されたアーム状を構
成することの技術的意義が，本件明細書に当業者が理解し得る程度に記
載されているということはできず，本件発明６は特許法旧３６条４項の
要件を満たさないとした本件審決の判断に誤りはない。
第４当裁判所の判断
１取消事由１（本件発明１の容易想到性の判断の誤り）について
(1)一致点の認定について
ア原告は，甲２の搬送装置の「第１中空シャフト」は，「第２アームに
回転力を与える駆動軸」ではないので，本件発明１の「第１の駆動軸」
に相当するものではなく，また，甲２の搬送装置の「第３中空シャフ
ト」は，「第５アームに回転力を与える駆動軸」ではないので，本件発
明１の「第２の駆動軸」に相当するものではなく，甲２の搬送装置
は，「第１の駆動軸」及び「第２の駆動軸」を備えていないから，「前
記第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し，かつ前記
第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する駆動部と，
前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し，かつ前
記第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する駆動部
と」の構成を備えていないので，上記構成を備えている点で本件発明１
と甲２発明とが一致するとした本件審決の認定は誤りであると主張す
る。
(ア)甲２には，次のとおりの記載がある。
ａ「【産業上の利用分野】本発明は半導体シリコンウェハの移載に
用いるロボットに関し，特に移載用のアームを２本，ウォンドを２
個備えたウェハ移載ロボットに関する。」（段落【０００１】）
ｂ「【従来の技術】従来，この種のウェハ移載ロボットは，図５に
示すように，第１ウェハカセット６０から第２ウェハカセット６１
にウェハを移載するのに対し，ウェハカセット移載ロボット６２に
は１個のウォンドを持つ１本のアーム部６３のみしか有していなか
った。」（段落【０００２】），「【発明が解決しようとする課題
】上述した従来のウェハ移載ロボットは，アーム部が１本しかなか
ったので，第１ウェハカセットから第２ウェハカセットにウェハを
移載する場合には，ウェハ移載ロボットは例えば２５スロットのウ
ェハカセットでは２５往復ハンドリングする必要があり，ウェハの
移載に時間がかかる欠点がある。」（段落【０００３】）
ｃ「【課題を解決するための手段】本発明のウェハ移載ロボット
は，上下方向に移動可能なＺ軸可動ベースと，前記Ｚ軸可動ベース
に回転保持される第１中空シャフトと，前記第１中空シャフト内で
回転可能な第２中空シャフトと，前記第２中空シャフト内で回転可
能な第３中空シャフトと，前記第３中空シャフト内で回転可能な第
４シャフトと，前記第１中空シャフトに固定される第１プーリと，
前記第２中空シャフトに固定される第１アームと，前記第１アーム
に回転保持される第５シャフトと，前記第５シャフトと同軸で第１
タイミングベルトにより前記第１プーリと連結され前記第１プーリ
の半分の歯数の第２プーリと，前記第５シャフトに固定される第２
アームと，前記第２アーム内で前記第５シャフトに固定され前記第
２プーリと同歯数の第３プーリと，前記第５シャフトに対し前記第
１中空シャフトとの軸間距離に等しく第２アーム内に回転保持され
る第６シャフトと，前記第６シャフトと同軸で前記第３プーリと第
２タイミングベルトで連結され前記第１プーリと同歯数の第４プー
リと，前記第６シャフトに固定される第３アームと，前記第３アー
ムに固定される第１ウォンドと，前記第３中空シャフトに固定され
る第５プーリと，前記第４シャフトに固定される第４アームと，前
記第４アームに回転保持される第７シャフトと，前記第７シャフト
と同軸で第３タイミングベルトにより前記第５プーリと連結され前
記第５プーリの半分の歯数の第６プーリと，前記第７シャフトに固
定される第５アームと，前記第５アーム内で前記第７シャフトに固
定され前記第６プーリと同歯数の第７プーリと，前記第７シャフト
に対し前記第３中空シャフトとの軸間距離に等しく第５アーム内に
回転保持される第８シャフトと，前記第８シャフトと同軸で前記第
７プーリと第４タイミングベルトで連結され前記第５プーリと同歯
数の第８プーリと，前記第８シャフトに固定される第６アームと，
前記第６アームに固定される第２ウォンドと，前記第１中空シャフ
トの下部に固定される第１歯車と，前記第１歯車とかみ合う第２歯
車と，前記Ｚ軸可動ベースに固定され前記第２歯車を駆動する第１
モータと，前記第２中空シャフトの下部に固定される第３歯車と，
前記第３歯車とかみ合う第４歯車と，前記第１歯車に固定され前記
第４歯車を駆動する第２モータと，前記第３中空シャフトの下部に
固定される第５歯車と，前記第５歯車とかみ合う第６歯車と，前記
Ｚ軸可動ベースに固定され前記第６歯車を駆動する第３モータと，
前記第４シャフトの下部に固定される第７歯車と，前記第７歯車と
かみ合う第８歯車と，前記第５歯車に固定され前記第８歯車を駆動
する第４モータと，前記Ｚ軸可動ベースが摺動する固定ベースと，
前記固定ベースに固定され前記Ｚ軸可動ベースを駆動するボールね
じおよび第５モータとを備えている。」（段落【０００４】）
ｄ「次に，本実施例の動作を説明する。・・・ウェハカセット移載
ロボット５０の半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向の動作について
は，ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部５１（第４
アーム２２と第５アーム２６と第６アーム３１）を示した図３と本
実施例の断面図の図２を用いて説明する。先に，半径（Ｒ）方向の
動作について説明する。第５プーリ２１の中心と第８プーリ３０の
中心を結んだ直線をＬとする。第４モータ４４が回転し，第８歯車
４３及び第７歯車４２により，第４アーム２２が直線Ｌよりα度回
転したとき，第５プーリ２１と第６プーリ２５の歯数比は２：１な
ので第５アーム２６は第４アーム２２に対し−２α度回転する。ま
た，第６アーム３１は第７プーリ２７と第８プーリ３０の歯数比が
１：２なのでα度回転する。よって，第６アーム３１は，第４モー
タ４４の回転により，直線Ｌ上を動き，ウェハカセット移載ロボッ
ト５０の片方のアーム部５１の半径（Ｒ）方向の動作となる。同様
に，他方のアーム部５２（第１アーム７と第２アーム１１と第３ア
ーム１６）も，第２モータ３８の回転により，半径（Ｒ）方向の動
作を行なう。」（段落【００１０】）
ｅ「次に，回転（θ）方向の動作について説明する。第１モータ３
５が回転すると，第１歯車３３と第２歯車３４により，第１アーム
７が回転し，これが，ウェハカセット移載ロボット５０の他方のア
ーム部５２の回転（θ）方向の動作となる。なお，第２モータ３８
は第１歯車３３に固定されているので第１モータ３５が回転して
も，半径（Ｒ）方向に他方のアーム部５２は動作しない。第３モー
タ４１が回転すると，第５歯車３９と第６歯車４０により，第４ア
ーム２２が回転し，これが，ウェハカセット移載ロボット５０の片
方のアーム部５１の回転（θ）方向の動作となる。なお，第４モー
タ４４は第５歯車３９に固定されているので第３モータ４１が回転
しても，半径（Ｒ）方向に片方のアーム部５１は動作しない。」（
段落【００１１】）
ｆ「以上により，ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム
部５１と他方のアーム部５２は個々に，半径（Ｒ）方向と回転（
θ）方向に動作可能である。よって，図４に示すように，第１ウェ
ハカセット６０から第２ウェハカセット６１にウェハを移載する場
合には，ウェハカセット移載ロボット５０は例えば２５スロットの
ウェハカセットでは１２．５往復分でハンドリングすることができ
る。」（段落【００１２】）
ｇ「【発明の効果】以上説明したように本発明は，移載用のアーム
部を２本とウォンドを２個設けることにより，ウェハを移載する場
合に，ウェハカセットのスロット数の２分の１の往復分でハンドリ
ングすることができ，ウェハの移載が迅速に行える効果があ
る。」（段落【００１３】）
(イ)上記(ア)の認定事実及び図面（甲２）を総合すれば，①甲２の搬
送装置（ウェハ移載ロボット）は，移載用のアーム部２本（アーム部
５１，アーム部５２）及びモータ４つ（第１モータ３５，第２モータ
３８，第３モータ４１，第４モータ４４）を備え，アーム部５１及び
アーム部５２は，個々に，伸縮（半径（Ｒ）方向）及び旋回（回転（
θ）方向）の動作を可能とし，アーム部５１の伸縮動作は第４モータ
４４の駆動により，アーム部５１の旋回動作は第３モータ４１の駆動
により，アーム部５２の伸縮動作は第２モータ３８の駆動により，ア
ーム部５２の旋回動作は第１モータ３５の駆動により，それぞれ行わ
れること，②アーム部５２（第１アーム７，第２アーム１１，第１ウ
ォンド１７を固定した第３アーム１６）は，第１中空シャフト２に第
１プーリ６が固定され，第１アーム７に回転保持される第５シャフト
８に第２アーム１１が固定され，第５シャフト８に同軸で第１タイミ
ングベルト９により第１プーリ６と連結された第１プーリ６の半分の
歯数の第２プーリ１０が設けられている構造を有し，第５シャフト８
が，第１プーリ６から第１タイミングベルト９により第２プーリ１０
に伝達される回転力によって回転することで第２アーム１１が回動
し，その際，第５シャフト８の回転中心が，第２アーム１１の回動中
心となること，一方，アーム部５１（第４アーム２２，第５アーム２
６，第２ウォンド３７を固定した第６アーム３１）は，第３中空シャ
フト４に第５プーリ２１が固定され，第４アーム２２に回転保持され
る第７シャフト２３に第５アーム２６が固定され，第７シャフト２３
に同軸で第３タイミングベルト２４により第５プーリ２１と連結され
た第５プーリ２１の半分の歯数の第６プーリ２５が設けられている構
造を有し，第７シャフト２３が，第５プーリ２１から第３タイミング
ベルト２４により第６プーリ２５に伝達される回転力によって回転す
ることで第５アーム１１が回動し，その際，第７シャフト２３の回転
中心が，第５アーム１１の回動中心となること，③アーム部５１の半
径Ｒ方向の動作（伸縮動作）は，第４モータ４４の駆動（回転）によ
り第４シャフト５が回転し，第４シャフト５に固定された第４アーム
２２が回動することにより，第３中空シャフト４に固定された第５プ
ーリ２１が第４アーム２２に対して相対的に回転し，その第５プーリ
２１の回転力が第６プーリ２５に伝達されて，第５アーム２６が第７
シャフト２３の回転に伴い回動し，同様に第７プーリの回転力が第８
プーリ及び第８シャフトに伝達されて，第６アームは，図３の直線Ｌ
上を動き，一方で，アーム部５２の半径Ｒ方向の動作（伸縮動作）
は，第２モータ３８の駆動（回転）により第２中空シャフト３が回転
し，第２中空シャフト３に固定された第１アーム７が回転することに
より，第１中空シャフト２に固定された第１プーリ６が第１アーム２
２に対して相対的に回転し，その第１プーリ６の回転力が第２プーリ
１０に伝達されて，第２アーム１１が第５シャフト８の回転に伴い回
動し，同様に第３プーリ１７の回転力が第４プーリ１５及び第６シャ
フト１４に伝達されて，第３アーム１６が，半径Ｒ方向に動くこと，
④アーム部５２のθ方向の動作は，第１モータ３５を駆動（回転）さ
せると，第２歯車３４，第１歯車３３を介して，第１アーム７がθ方
向に回転するが，第２モータ３８が第１歯車３３に固定されているた
め，第１歯車３３と共に回転し（なお，第２モータ３８は駆動しな
い。），これにより第２モータ３８に固定された第３歯車３６と第１
歯車３３が同時に回転する結果，第１アーム７と第１中空シャフト２
に固定された第１プーリ６が共に回転し，そのため第１プーリ６は第
１アームに対して相対的に回転せず，第１プーリ６の回転力が発生し
ないので，アーム部５２は半径Ｒ方向の動作をしないこと，一方，ア
ーム部５１のθ方向の動作は，第３モータを駆動（回転）させると，
第６歯車４０，第５歯車３９を介して，第４アーム２２がθ方向に回
転するが，第４モータ４４が第５歯車３９に固定されているため，第
５歯車３９と共に回転し（なお，第４モータ４４は駆動しない。），
これにより第４モータ４４に固定された第７歯車４２と第５歯車３９
が同時に回転する結果，第４アーム２２と第３中空シャフト４に固定
された第５プーリ２１が共に回転し，上記と同様に，アーム部５１は
半径Ｒ方向の動作をしないことが認められる。
以上の認定事実に照らすならば，甲２の搬送装置において，アーム
部５２，５１のＲ方向の動作（伸縮動作）は，第２モータを駆動させ
ることにより，第２中空シャフトを回転させて，第１アームが第２中
空シャフトを中心に回動する結果，第１中空シャフトに固定された第
１プーリが第１アームと相対的に回転し，その第１プーリの回転力が
第２プーリに伝達されて第２アームが（第５シャフトの回転中心を回
動中心として）回動するのであるから，「第１中空シャフト」は，第
１プーリを介して，「第２アームに回転力を与える駆動軸」であるも
のと解され，同様に，第４モータを駆動させることにより，第４シャ
フトを回転させて，第４アームが第３中空シャフトを中心に回動する
結果，第３中空シャフトに固定された第５プーリが第４アームと相対
的に回転し，その第５プーリの回転力が第６プーリに伝達されて第５
アームが（第７シャフトの回転中心を回動中心として）回動するので
あるから，「第３中空シャフト」は，第５プーリを介して，「第５ア
ームに回転力を与える駆動軸」であるものと解される。
そうすると，甲２の搬送装置の「第１中空シャフト」及び「第３中
空シャフト」は，本件発明１の「第１多関節駆動部に回転力を与える
第１の駆動軸」及び「第２多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動
軸」にそれぞれ相当するものと認められ，甲２の搬送装置は，「前記
第１の多関節駆動部の回動中心となる第１の固定軸を有し，かつ前記
第１の多関節駆動部に回転力を与える第１の駆動軸を有する駆動部
と，前記第２の多関節駆動部の回動中心となる第２の固定軸を有し，
かつ前記第２の多関節駆動部に回転力を与える第２の駆動軸を有する
駆動部と」の構成を備えているといえるから，上記構成を備えている
点で本件発明１と甲２発明とが一致するとした本件審決の認定に誤り
はない。
イこれに対し，原告は，本件発明１（請求項１）の「前記駆動制御手
段（１４）が行う制御には，第１の搬送部（１５）又は第２の搬送部（
１６）を伸縮するために共通駆動部（１３）を回動させる制御と，この
共通駆動部（１３）を回動させる制御中，第２の搬送部（１６）又は第
１の搬送部（１５）が共通駆動部（１３）上に取り込まれた状態である
ようにする制御とが含まれる」との構成は，「この共通駆動部（１３）
を回動させる制御中」という要素によって，一方の搬送部が搬送動作を
行っているときの他方の搬送部の動作を特定しているところに技術的意
義があるにもかかわらず，「この共通駆動部（１３）を回動させる制御
中」という構成（要素）を無視し，「前記駆動制御手段が行う制御に
は，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために駆動部を回動させ
る制御と，第１の搬送部又は第２の搬送部が駆動部上に取り込まれた状
態であるようにする制御とが含まれる」点で，本件発明１と甲２発明と
が一致するとした本件審決の認定は誤りであると主張する。
しかし，本件審決は，上記の点を一致点と認定した上で，請求項１
の「この共通駆動部（１３）を回動させる制御中」との構成について
は，相違点２において「駆動制御手段が行う制御には，本件発明１で
は，第１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために共通駆動部を回動
させる制御と，この共通駆動部を回動させる制御中，第２の搬送部又は
第１の搬送部が共通駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制御
とが含まれるのに対し，甲２発明では一方の搬送部を伸縮するために駆
動部を回動させる制御と，他方の搬送部が駆動部上に取り込まれた状態
であるようにする制御との間に関連がない点。」で相違することを認定
し，その相違点の容易想到性の検討をしていることに照らすならば，請
求項１の「この共通駆動部（１３）を回動させる制御中」との構成を無
視したものとはいえないから，この点についての原告の上記主張は失当
である。
ウ以上のとおり，本件審決の一致点の認定の誤りをいう原告の主張は，
理由がない。
(2)相違点１及び２についての容易想到性について
原告は，本件審決がした甲３の記載事項の認定に誤りがあること，甲２
の搬送装置について，甲３の記載事項に従って，第１アーム７と第４アー
ム２２を一体化した場合には，２つのアーム部５１と５２は，それぞれ，
独立して動作することができなくなるのであるから，第１アーム７と第４
アーム２２を一体化する構成を採用することは，甲２発明の目的に反する
構成として阻害事由があり，また，仮に，それが阻害事由とまでいえない
としても，少なくとも，第１アーム７と第４アーム２２を一体化する構成
を採用することにつき何らの動機付けがないことに照らすならば，甲２発
明に，甲３記載の技術を適用して，相違点１に係る本件発明１の構成（多
関節駆動部と固定軸とを支持する駆動部を，「第１の多関節駆動部及び第
１の固定軸と，第２の多関節駆動部及び第２の固定軸とについて共通の部
材」とする構成）を採用することが容易に想到し得たとした本件審決の判
断は誤りであり，さらに，甲２発明について第１及び第２の駆動部を一体
化した共通駆動部とした場合，相違点２に係る本件発明１の構成（「一方
の搬送部を伸縮するために共通駆動部を回動させる制御中に，他方の搬送
部を共通駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制御を行うこ
と」）は，「第１及び第２の駆動部を一体化した共通の駆動部とすること
に伴う，当然の結果」であるとした本件審決の判断も誤りであると主張す
る。
ア甲３の記載事項
(ア)甲３には，次のとおりの記載がある。
ａ「（発明が解決しようとする問題点）・・・本発明は，真空チャ
ンバー内でウエハ処理中に，次のウエハをローダ−，アンローダ−
室内の真空状態中で待機させることで一連のウエハ処理工程に要す
る時間を短くすることのできるウエハ搬送装置を提供することを目
的とする。」（１頁右欄１４行∼２頁左上欄９行）
ｂ「（問題点を解決するための手段）上記問題点を解決するため
に本発明は，リンク機構によって複数のウエハを直線軌道に沿って
別個に搬送するウエハ搬送装置において，リンク機構の先端部に設
けられた少なくとも２個のウエハ保持部と，リンク機構の回転中心
部を外部から回転駆動させる駆動軸と，上記駆動軸の回転駆動によ
って上記少なくとも２個のウエハ保持部が異なる２方向から互いに
干渉することなく所定の直線軌道に沿って移動させるリンク機構と
を有することを特徴とするウエハ搬送装置を提供する。」（２頁左
上欄１１行∼右上欄１行），「（作用）上記のように構成された
本発明の装置を用いれば，ウエハ処理工程中におけるウエハの搬送
時間を大幅に短縮することが可能となる。」（２頁右上欄２行∼５
行）
ｃ「第１図および第２図は，本発明一実施例ウエハ搬送装置の構成
を示す図で，(12)は駆動モータで，この回転駆動は駆動モータ(12)
に連結された駆動軸(13)に伝達され，この駆動軸(13)の先端には第
１のアーム部材(14)が取付けられ，駆動軸(13)の回転に応じて旋回
するようにリンク機構に構成されている。また，(15)は駆動モータ
で，この回転駆動は，駆動モータ(15)の駆動軸(16)に取付けられた
回転プーリ(17)から，上記駆動軸（13)と同軸に取付けられた駆動軸
(18)の下端に取付けられた回転プーリ(19)にベルト(20)によって伝
達される。また，駆動軸(18)の上端には第２のアーム部材(21)が取
付けられ，駆動軸(18)の回転に応じて旋回するようにリンク機構に
構成されている。また，駆動軸(13)，(18)に同軸に固定プーリ(22)
が支持板(23)に固定されている。また上記第１のアーム部材(14)の
一端には回転プーリ（24)が回転自在に支持されており，上記固定プ
ーリ(22)とワイヤベルト(25)によって回転を伝達するように連結さ
れている。回転プーリ(24)の回転軸(26)には第３のアーム部材(27)
の一端が取付けられ，この第３のアーム部材(27)の他端には，ウエ
ハ保持部(28)が形成されている。一方，上記第２のアーム部材(21)
の一端には回転プーリ(29)が回転自在に支持されており，上記固定
プーリ(22)とワイヤベルト(30)によって回転を伝達するように連結
されている。回転プーリ(29)の回転軸(31)には第４のアーム部材(32
)の一端が取付けられ，この第４のアーム部材(32)の他端には，ウェ
ハ保持部(33)が形成されている。」（２頁右上欄９行∼左下欄１６
行）
ｄ「次に上記構成のウエハ搬送装置を用いた実施例を第３図に基づ
いて説明する。・・・まず（ａ）図のように，真空処理室(34)内で
はウエハ(W)を処理中で，真空状態下のローダ−，アンローダー室(31
7)内には第３のアーム部材(27)と処理済のウエハ(W)を載置した第４2
のアーム部材(32)が待機しており，大気圧下のウエハキャリア(35)
上には未処理のウエハ(W)が待機している。その後（ｂ）図のように3
ローダー・アンローダー室(37)内を大気圧下と同じ状態にした後シ
ャッター(38)が開き第４のアーム部材(32)が処理済ウエハ(W)をウエ2
ハキャリア(36)に移載し，その後（ｃ）図のように第３のアーム部
材(27)が未処理ウエハ(W)を保持した後（ｄ）図のようにローダ−・3
アンローダー室(37)内に戻り，その後シャッター(38)が閉じてロー
ダ−・アンローダー室(37)内は真空に引かれる。次に（ｅ）図のよ
うに，シャッター(39)が開き真空処理室(34)内から処理を終了した
ウエハ(W)を第４のアーム部材(32)によって搬出し，さらに（ｆ）図1
のようにそれに代り未処理ウエハ(W)を第３のアーム部材(27)が真空3
処理室(34)内に搬入し，搬入を終えると再び（ａ）図の状態にもど
る。」（３頁左上欄４行∼右上欄８行）
ｅ「また他の実施例として，上記ウエハ保持部(28)，(33)を全く同
期させて直線軌道に沿って動かす場合には，第４図および第５図に
示すような構造にしてもよい。つまり，(40)は駆動モータで，この
回転駆動は駆動モ一タ(40)に連結された駆動軸(41)に伝達され，こ
の駆動軸(41)の先端には第１のアーム部材(42)が取付けられ，駆動
軸(41)の回転に応じて旋回するようにされている。また，駆動軸(41
)に同軸に固定プーリ(43)が支持板(44)に固定されている。また，上
記第１のアーム部材(42)の両端には回転プーリ(45)，(46)が回転自
在に支持されており，上記固定プーリ(43)とワイヤベルト(47)，(48
)によって回転を伝達するように連結されている。上記回転プーリ(4
5)，(46)の回転軸(49)，(50)には第２および第３のアーム部材(51
)，(52)の一端が取付けられ，この第２および第３のアーム部材(51
)，(52)の他端にはウエハ保持部(53)，(54)が形成されている。ここ
で，ウェハ保持部(53)，(54)を直線軌道に沿って動かすための条件
は，上記第１の実施例で述べた条件と同じである。」（３頁右上欄
１３行∼左下欄１１行）
ｆ「また，他の実施例として，上記ウエハ保持部(28)，(33)はどち
らか一方だけを動かすことも可能である。」（３頁左下欄１２行∼
１３行）
ｇ「〔発明の効果〕本発明によれば，真空チャンバー内でウエハ
処理中に，次のウエハをローダ−・アンローダ−室内の真空状態中
で待機させることで一連のウエハ処理工程に要する時間を短縮する
ことができる。また，ウエハ保持部は所定の方向に直線運動するよ
うに構成されているので，ウエハ保持部の移動範囲を最少にするこ
とができ，それによりウエハ処理装置を小型化することも可能とな
る。さらに，本発明の装置はその構造が簡単であり，従って発埃源
も少なくなるため，ウエハ処理工程中の使用にも適する。」（３頁
右下欄３行∼１４行）
(イ)上記(ア)の記載及び図面（甲３）を総合すれば，甲３には，以下
の技術が開示されている。
ａ①甲３には，第１図ないし第３図に記載の搬送装置の実施例とし
て，第１のアーム部材(14)と，第３のアーム部材(27)と，第３のア
ーム部材に設けられたウエハ保持部(28)からなる「第１の部材」
と，第２のアーム部材(21)と，第４のアーム部材(32)と，第４のア
ーム部材に設けられたウエハ保持部(33)からなる「第２の部材」
と，駆動モータ(12)及び駆動モータ(15)とを備え，第１のアーム部
材(14)が駆動モータ(12)に連結された駆動軸(13)の回転に応じて旋
回するようにリンク機構に構成され，第２のアーム部材(21)が駆動
モータ(15)に連結された駆動軸(18)の回転に応じて旋回するように
リンク機構に構成され，駆動モータ(12)又は駆動モータ(15)を駆動
することにより，「第１の部材」及び「第２の部材」を個別に直線
軌道に沿って移動させるように構成されたウエハ搬送装置が記載さ
れており（上記(ア)ｃ，ｄ），上記搬送装置は，本件審決にいう「
左右のウエハ保持部を用いて，同一方向において，一方のウエハ保
持部に載置されたウエハを搬送先に移動して，それを他方のウエハ
保持部を用いて搬送先のウエハと交換する運動を行う」こと（審決
書１７頁１２行∼１４行）ができること，また，②甲３には，第４
図及び第５図に記載の搬送装置の実施例として，ウエハ保持部(53)
を備えた第２のアーム部材(51)と，ウエハ保持部(54)を備えた第３
のアーム部材(52)とを，回転プーリ(45)，(46)の回転軸(49)，(50)
を介して両端に取り付けた第１のアーム部材(42)を設け，第１のア
ーム部材(42)が駆動モ一タ(40)に連結された駆動軸(41)の回転に応
じて旋回するように構成され，駆動モ一タ(40)を駆動することによ
り，ウエハ保持部(53)，(54)を全く同期させて直線軌道に沿って動
かすようにして，ウエハ保持部(53)，(54)が互いに反対方向で対称
の動作をするように構成されたウエハ搬送装置が記載されており（
上記(ア)ｅ），上記搬送装置は，本件審決にいう「左右のアーム部
材とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム部材を設け」たもの（
審決書１７頁１５行∼１６行）であることが示されている。
ｂしかし，甲３には，本件審決にいう「左右のウエハ保持部を用い
て，同一方向において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを
搬送先に移動して，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウ
エハと交換する運動を行う搬送装置において，左右のアーム部材と
それらの回転軸とを共通の第１のアーム部材に設けること」（審決
書１７頁１２行∼１６行）の技術的事項が開示されていると認める
ことはできない。
確かに，「また，他の実施例として，上記ウエハ保持部(28)，(33
)はどちらか一方だけを動かすことも可能である。」（上記(ア)ｆ）
との記載によれば，「左右のアーム部材とそれらの回転軸とを共通
の第１のアーム部材を設け」た第４図及び第５図に記載の搬送装置
において，左右のウエハ保持部は「どちらか一方だけを動かすこと
も可能である」ことを一応示唆するものといえる。しかし，甲３に
は，単に上記の記載がされているだけであって，「左右のアーム部
材とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム部材を設け」た搬送装
置において，「どちらか一方だけを動かす」ための構成及び手段に
ついて何ら具体的な記載や示唆はない。また，甲３の他の記載事項
部分を参酌しても，上記搬送装置において「どちらか一方だけを動
かす」ことを実現することが自明であるともいえない。
(ウ)したがって，本件審決が，甲３に，「左右のウエハ保持部を用い
て，同一方向において，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬
送先に移動して，それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハ
と交換する運動を行う搬送装置において，左右のアーム部材とそれら
の回転軸とを共通の第１のアーム部材に設けること」の技術的事項が
記載されていると認定した点には誤りがある。
イ容易想到性の判断について
本件審決は，(ａ)相違点１についての容易想到性について，「一対の
搬送部を用いて，同一方向において，一対の搬送部の一方に載置された
被搬送物を搬送先に移動して，それを他方の搬送部を用いて搬送先の被
搬送物と交換する運動を行うことは，甲第１号証や甲第３号証に例示さ
れるように，従来周知の技術である。甲第２号証記載の発明も，一対の
搬送部を有するものであるから，前記運動を行う目的に使用すること
は，当業者が容易に想到し得るものである。」（審決書１７頁６行∼１
１行），「甲第３号証には，左右のウエハ保持部を用いて，同一方向に
おいて，一方のウエハ保持部に載置されたウエハを搬送先に移動して，
それを他方のウエハ保持部を用いて搬送先のウエハと交換する運動を行
う搬送装置において，左右のアーム部材とそれらの回転軸とを共通の第
１のアーム部材に設けることが記載されている。」（同１７頁１２行∼
１６行），「甲第３号証には，第１の多関節駆動部及び第１の固定軸
と，第２の多関節駆動部及び第２の固定軸とを共通駆動部に載置するこ
とが記載されていると認められる。」（同１７頁２３行∼２５行），「
甲第３号証記載の事項は，甲第２号証記載の発明と同じく，多関節搬送
装置に係るから，前者の技術を後者に適用して，相違点１に係る構成を
本件発明１のものとすることは，当業者であれば容易になし得る。」（
同１７頁２６行∼２８行），(ｂ)相違点２についての容易想到性につい
て，「甲第２号証記載の発明では・・・左右の搬送部を用いて，同一方
向において，一方の搬送部に載置された被搬送物を搬送先に移動して，
それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を行う場
合，一方の搬送部を伸縮するために一方の駆動部を回動させている間，
他方の搬送部を他方の駆動部上に取り込まれた状態としておくことは，
甲第２号証記載の発明の使用法として，当業者が容易に選択し得るもの
である。甲第２号証記載の発明をこのような使用法に適用するにあた
り，駆動部を甲第３号証記載の事項のように第１及び第２の駆動部を一
体化した共通駆動部とした場合，一方の搬送部を伸縮するために共通駆
動部を回動させる制御中に，他方の搬送部を共通駆動部上に取り込まれ
た状態であるようにする制御を行うことは，第１及び第２の駆動部を一
体化した共通の駆動部とすることに伴う，当然の結果というべきであ
る。」（同１７頁３０行∼１８頁７行）と判断した。
しかし，本件審決の判断には，以下のとおり誤りがある。
(ア)まず，前記ア(イ)ｂのとおり，甲３には，本件審決にいう「左右
のウエハ保持部を用いて，同一方向において，一方のウエハ保持部に
載置されたウエハを搬送先に移動して，それを他方のウエハ保持部を
用いて搬送先のウエハと交換する運動を行う搬送装置において，左右
のアーム部材とそれらの回転軸とを共通の第１のアーム部材に設ける
こと」の技術的事項が記載されていると認めることはできない。した
がって，相違点１に係る本件発明１の構成の容易想到性の判断に際
し，甲２発明に，上記技術的事項を適用した点において，本件審決に
は誤りがある。
(イ)次に，前記ア(イ)ａのとおり，甲３には，第４図及び第５図に記
載の搬送装置の実施例として，「左右のアーム部材とそれらの回転軸
とを共通の第１のアーム部材を設け」たものが記載されており，本件
審決にいう「第１の多関節駆動部及び第１の固定軸と，第２の多関節
駆動部及び第２の固定軸とを共通駆動部に載置すること」についての
技術事項が示されているものと認められる。
しかし，甲３の第４図及び第５図に記載の搬送装置は，共通駆動部
に相当する第１のアーム部材(42)の両端に，ウエハ保持部(53)を備え
た第２のアーム部材(51)と，ウエハ保持部(54)を備えた第３のアーム
部材(52)を取り付け，第１のアーム部材(42)を旋回させる駆動モ一タ(
40)を駆動することにより，ウエハ保持部(53)，(54)を完全に同期させ
て直線軌道に沿って動かすようにして，ウエハ保持部(53)，(54)が互
いに反対方向で対称の動作をするように構成されたものであり，ウエ
ハ保持部(53)，(54)は上記以外の個別の動作をせず，本件審決にい
う「同一方向において，一対の搬送部の一方に載置された被搬送物を
搬送先に移動して，それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と
交換する運動を行うこと」を可能とする構成は，そもそも採用してい
ない。
これに対し，甲２記載の搬送装置は，ウエハの移載を迅速に行うこ
とを目的として，移載用のアーム部２本及びモータ４つを備え，複数
の歯車を組み合わせたり，歯車にモータを固定するなどの構成を採用
することにより，モータの一つのみの駆動により，各アーム部（アー
ム部５１，アーム部５２）が個々に伸縮（半径（Ｒ）方向）又は旋
回（回転（θ）方向）の動作をできるようにしたものである。
したがって，甲２の搬送装置に，甲３の第４図及び第５図に記載の
搬送装置の技術を適用する動機付けは存在しないというべきであり，
また，甲２の搬送装置に，甲３の第４図及び第５図に記載の搬送装置
の技術を適用したとしても，本件発明１のように一対の搬送部のどち
らか一方のみを伸縮する動作をすることはできない。
(ウ)さらに，前記ア(ア)ｆのとおり，甲３には，「また，他の実施例
として，上記ウエハ保持部(28)，(33)はどちらか一方だけを動かすこ
とも可能である。」との記載がある。しかし，同記載部分について
は，前記ア(イ)ｂのとおり，「どちらか一方だけを動かす」ための構
成及び手段について何ら具体的な記載や示唆がなく，また，上記の甲
２と甲３の発明相互における目的，構成の相違に照らすならば，甲２
及び甲３に接した当業者が，甲２の搬送装置において，甲３記載の「
第１の多関節駆動部及び第１の固定軸と，第２の多関節駆動部及び第
２の固定軸とを共通駆動部に載置すること」の技術的思想を適用して
共通駆動部（相違点１に係る本件発明１の構成）を設け，かつ，「第
１の搬送部又は第２の搬送部を伸縮するために共通駆動部を回動させ
る制御と，この共通駆動部を回動させる制御中，第２の搬送部又は第
１の搬送部が共通駆動部上に取り込まれた状態であるようにする制
御」（相違点２に係る本件発明１の構成）を行うための構成を採用す
ることが容易であったということはできない。
(エ)これに対し被告は，本件発明１と技術分野，作用，機能において
共通している甲２と甲３の技術文献があった場合に，当業者が，本件
審決が認定した周知技術（「一対の搬送部を用いて，同一方向におい
て，一対の搬送部の一方に載置された被搬送物を搬送先に移動して，
それを他方の搬送部を用いて搬送先の被搬送物と交換する運動を行う
こと」）を適用して，この周知技術の運動を行うことを目的として，
甲２の別部材のアームを，甲３の一体となった共通駆動部に置換して
本件発明１を想到することに格別困難な事情はないと主張する。
しかし，前記(イ)及び(ウ)で説示したとことに照らすならば，上記
周知技術を勘案しても，甲２の別部材のアームを，甲３の一体となっ
た共通駆動部に置換して本件発明１を想到することは容易ではないと
いえるから，被告の上記主張は採用することができない。
(3)小括
以上のとおり，相違点１及び２について本件発明１の構成が容易想到で
あるとした審決の判断には誤りがある。したがって，原告主張の取消事由
１は理由がある。
２取消事由２（本件発明２ないし４，６ないし１０の容易想到性の判断の誤
り）について
前記１のとおり，本件発明１（請求項１）が容易想到であるとした本件審
決の判断は誤りであるから，請求項１を引用する請求項２ないし４，６ない
し１０に係る本件発明２ないし４，６ないし１０が容易想到であるとした本
件審決の判断も誤りである。
したがって，原告主張の取消事由２アは理由がある。
３取消事由３（本件発明６に関する明細書の記載不備の判断の誤り）につい
て
(1)原告は，本件審決が，「共通駆動部が「く」の字型に屈曲されたアーム
状を構成することの技術的意義は，・・・当業者が理解しうる程度に記載
されているということはできない」として，本件発明６が特許法旧３６条
４項に規定する要件を満たさないと判断したのは誤りであると主張する。
ア本件発明６（請求項６）は，「前記共通駆動部（１３）の回転軸を概
略垂線とする平面において，該共通駆動部（１３）が「く」の字型に屈
曲されたアーム状を構成することを特徴する請求項１記載の多関節搬送
装置。」というものである。
ところで，本件明細書（甲８の２）の発明の詳細な説明には，①「さ
らに，本発明の第２の実施例によれば，図９に示すように，「く」の字
型に屈曲された共通駆動屈曲アーム３３が採用される。このため，共通
駆動屈曲アーム３３上に両フォーク３５及び３６を取り込んだ状態にお
いて，従来例のような収納角度γを設けることなく，両フォーク３５及
び３６を重なった状態に揃えることが可能となる。このことで，被搬送
物３０を同一方向に伸縮させることが可能となる。」（段落【００７４
】），「これにより，第１の実施例に比べて，各フォーク３５及び３６
の伸縮方向を切り換える旋回時間が無用となり，被搬送物３０の入れ替
え時間の短縮化を図ることが可能となる。」（段落【００７５】），
③「・・・また，本発明の他の装置によれば，共通駆動部が「く」の字
型に屈曲されたアーム状に構成される。このため，共通駆動部上に第
１，第２の搬送部を取り込んだ状態において，両搬送部を揃えることが
可能となる。このことで，従来例に比べて装置の旋回半径を小さくする
こと，及び，被搬送物を同一方向に伸縮させることが可能となる。ま
た，両搬送部の切り換え旋回時間が無用となり，被搬送物の入れ替え時
間の短縮化を図ることが可能となる。」（段落【０１０９】）との記載
がある。
上記記載と図９及び図１０（甲７）によれば，本件明細書には，共通
駆動部を特定の角度の「く」の字型に屈曲されたアーム状に構成するこ
とにより，「共通駆動部上に第１，第２の搬送部を取り込んだ状態にお
いて，両搬送部を揃えることが可能となる」の効果を奏することが記載
されており，この点において共通駆動部が「く」の字型に屈曲されたア
ーム状を構成することの技術的意義があるものと認められる。もっと
も，本件明細書には，この特定の角度をどのように設定するかについて
具体的な記載はないが，当業者であれば，「共通駆動屈曲アーム３３上
に両フォーク３５及び３６を取り込んだ状態において，従来例のような
収納角度γを設けることなく，両フォーク３５及び３６を重なった状態
に揃える」ことができるように，特定の角度を設定すればよいことを理
解することができるものと認められる。
そうすると，本件明細書には，本件発明６について，当業者が「容易
に発明を実施することができる程度に，その目的及び効果」（特許法旧
３６条４項）の記載があるものと解される。
イこれに対し被告は，本件明細書に接した当業者において，直線状の共
通駆動部を用いても，各回動部の軸間距離や旋回角度の組合せによって
は収納角度を設けることなく，占有面積を最小化し得る可能性を排除す
ることができないなどとして，共通駆動部が「く」の字型に屈曲された
アーム状を構成することの技術的意義が，本件明細書に当業者が理解し
得る程度に記載されているということはできず，本件発明６は特許法旧
３６条４項の要件を満たさないと主張する。
しかし，前記ア認定のとおり，共通駆動部が「く」の字型に屈曲され
たアーム状を構成することの技術的意義が本件明細書に当業者が理解し
得る程度に記載されているものと認められるから，被告の上記主張は採
用することができない。
(2)以上によれば，本件発明６について特許法旧３６条４項の要件違反があ
るとした本件審決の判断は誤りである。したがって，原告主張の取消事由
３は理由がある。
４付言
本判決により審決が取り消された事件について，今後行われる審判の審理
に資するため，確定効の範囲等に関し，以下のとおり補足して述べる。
(1)はじめに
ア特許が２以上の請求項に係るものであるときには，その無効審判は請
求項ごとに請求することができるものとされていること（特許法１２３
条１項柱書）に照らすならば，２以上の請求項に係る特許無効審判の請
求に対してされた審決は，各請求項に係る審決部分ごとに取消訴訟の対
象となり，各請求項に係る審決部分ごとに形式的に確定する。審決の形
式的な確定は，当該審決に対する審決取消訴訟の原告適格を有するすべ
ての者について，出訴期間が経過し，当該審決を争うことができなくな
ることによって生ずる（特許法１７８条３項）。そうすると，２以上の
請求項に係る特許についての無効審判において，一部の請求項に係る特
許について無効とし，残余の請求項に係る特許について審判請求を不成
立とする審決がされた場合には，それぞれ原告適格を有する者（審決に
よって不利益を受けた者）が異なるため，各請求項に係る審決部分ごと
に，形式的確定の有無及び確定の日等が異なる場合が生じ得る。無効審
判請求を不成立とした審決部分は，請求人側のみが取消訴訟を提起する
原告適格を有するのであるから，請求人側に係る出訴期間の経過によっ
て，審決部分もまた形式的に確定することになる。
イ審決の取消しの判決又は決定の確定により，審判手続が再開され，特
許法１３４条の３第１項又は２項の規定により指定された期間内に訂正
請求がされ又は同条５項の規定により同期間の末日に訂正請求がされた
ものとみなされる場合があるが，その場合には，特許法１３４条の２第
４項の規定による先にした訂正の請求のみなし取下げの効果もまた，請
求項ごとに生じる（知財高裁平成１９年６月２０日決定・平成１９年（
行ケ）第１００８１号審決取消請求事件，知財高裁平成１９年７月２３
日決定・平成１９年（行ケ）第１００９９号審決取消請求事件参照）。
そして，特許無効審判請求の審決について，審判請求を不成立とした請
求項に係る審決部分については取消訴訟が提起されず，特許を無効とし
た請求項に係る審決部分についてのみ取消訴訟が提起され，かつ，所定
の期間内に訂正審判請求がされ，特許法１８１条２項の規定に基づき，
特許を無効とした請求項に係る審決部分が取り消された後，再開された
審判手続において，特許法１３４条の２第４項の規定により特許を無効
とした請求項に係る先にした訂正の請求は取り下げられたものとみなさ
れる場合がある。これに対して審判請求を不成立とした請求項に係る審
決部分は形式的に確定しているので，当該請求項に係る先にした訂正の
請求は特許法１３４条の２第４項の規定により取り下げられたものとみ
なされることはなく，再開された審判手続において，当該請求項に係る
新たな訂正の請求がされているときは，当該請求項に係る特許無効審判
請求を不成立とした確定審決が存在することを前提として，いわゆる独
立特許要件の有無についても判断すべきことになる（特許法１３４条の
２第５項の規定により読み替えて準用される１２６条５項）。
(2)本件手続の経緯
ア本件手続の経緯は，前記第２の１のとおりであり，特許庁は，平成１
７年６月２８日，「特許第２５８０４８９号の請求項１ないし４，６な
いし１０に係る発明についての特許を無効とする。特許第２５８０４８
９号の請求項５に係る発明についての審判請求は，成り立たない。」と
の審決（第１次審決）をし，これに対して，原告が，第１次審決中の請
求項１ないし４，６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする
部分の取消しを求めて審決取消訴訟を提起し，併せて，本件特許の特許
請求の範囲の減縮等を目的とする訂正審判請求をした。なお，第１次審
決中の審判請求不成立部分について，被告（審判請求人）からの審決取
消訴訟の提起はなかった。知的財産高等裁判所（第２部）は，特許法１
８１条２項に基づき，事件を審判官に差し戻すため，第１次審決中の請
求項１ないし４，６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする
部分を取り消す旨の決定をした。差戻し後の事件について，所定の期間
内に訂正の請求がされなかったため，上記訂正審判請求の請求書に添付
された訂正した明細書，特許請求の範囲又は図面を援用した本件訂正の
請求がされたものとみなされた。そして，特許庁は，平成１８年８月１
５日，「訂正を認める。特許第２５８０４８９号の請求項１ないし４，
６ないし１０に係る発明についての特許を無効とする。特許第２５８０
４８９号の請求項５に係る発明についての審判請求は，成り立たな
い。」との審決（本件審決はその一部）をした。
イ本件手続について見ると，第１次審決中「特許第２５８０４８９号の
請求項５に係る発明についての審判請求は，成り立たない。」との審決
部分については，被告（審判請求人）において取消訴訟を提起すること
なく出訴期間が経過したのであるから，同審決部分は形式的に確定し
た。しかるに，特許庁は，本件特許の請求項５に係る無効審判請求が形
式的に確定していないとの前提に立った上で，当該請求項についても審
判手続で審理し，「特許第２５８０４８９号の請求項５に係る発明につ
いての審判請求は，成り立たない。」旨の判断をした。上記審判手続の
あり方は，著しく妥当を欠くというべきである。けだし，本件特許の請
求項５については，無効審判請求に係る無効理由が存在しないものとす
る審決部分が確定したことにより，原告は，形式的確定の利益を享受で
きる地位を得ているのであるから，それにもかかわらず，他の請求項に
係る特許を無効とした審決部分について取消訴訟を提起して，当該請求
項について有利な結果を得ようとしたことにより，かえって無効審判請
求を不成立とする請求項５についてまで，不安定な地位にさらされるこ
とになることは著しく不合理だからである。
(3)まとめ
本判決により審決が取り消された事件について，今後行われる審判にお
いては，上記の点を踏まえた審理，判断がされるべきである。
５結論
以上のとおり，原告主張の取消事由１，取消事由２ア及び取消事由３は理
由があるから，本件審決は取消しを免れない。
よって，原告の本訴請求は理由があるから，これを認容することとし，主
文のとおり判決する。
知的財産高等裁判所第３部
裁判長裁判官飯村敏明
裁判官大鷹一郎
裁判官嶋末和秀

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