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平成１３年（行ケ）第４７０号　特許取消決定取消請求事件
平成１５年４月８日判決言渡，平成１５年３月１８日口頭弁論終結
　　　　　　　　　　　判　　　決
　　　　　　　　原　　　告　　　　　　Ａ
　　　　　　　訴訟代理人弁理士　　　重信和男，清水英雄
　　　　　　　　被　　　告　　　　　　特許庁長官　太田信一郎
　　　　　　　　指定代理人　　　　　　小林武，加藤友也，大野克人，林栄二
　　　　　　　　　　　主　　　文
　原告の請求を棄却する。
　訴訟費用は原告の負担とする。
　　　　　　　　　　　事実及び理由
第１　原告の求めた裁判
　特許庁が異議２００１－７００４８号事件について平成１３年９月４日にした決
定中，請求項１，２に関する部分を取り消す。
第２　事案の概要
　本件は，後記本件特許の特許権者である原告が，特許異議の申立てを受けた特許
庁により，本件特許のうち請求項１，２に係る特許を取り消す旨の異議の決定がさ
れたため，決定の当該部分の取消しを求めたものである。
　１　前提となる事実等
　(１)　特許庁における手続の経緯
　(１－１)　本件特許
　　特許権者　　　　　旭栄研磨加工株式会社（原告）
　　発明の名称　　　　「ドーナツ状基板の円孔研削工具」
　　特許出願日　　　　平成６年８月２２日（同日出願の特願平６－２１９５２１
号の一部を平成１０年４月２８日に新たな出願としたもの）
　　特許設定登録日　　平成１２年４月２８日
　　特許番号　　　　　特許第３０６１６０５号
　(１－２)　本件手続
　　特許異議事件番号　異議２００１－７００４８号
　　異議の決定日　　　平成１３年９月４日
　　決定の結論　　　　「特許第３０６１６０５号の請求項１，２に係る特許を取
り消す。同請求項３に係る特許を維持する。」
　　決定謄本送達日　　平成１３年９月２１日（原告に対し）
　(２）　本件発明の要旨（請求項１に係る発明を「本件発明１」，請求項２に係る
発明を「本件発明２」，請求項３に係る発明を「本件発明３」という。）
【請求項１】　コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して，該ドーナツ状基板
を前記コアー部材の所定高さに位置する環状凹部に位置させ，回転状態の前記コア
ー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与え，前記所定高さの環状凹部
でドーナツ状基板の円孔の内周の粗仕上げ研削を行い，
　続いて前記コアー部材の中心軸とドーナツ状基板の中心軸とを接近させ，前記コ
アー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対移動して，ドーナツ状基板を前記使
用した環状凹部と異なる高さに位置する別の環状凹部に位置させ，
　再度，前記コアー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与えてドーナ
ツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行う研削工具であり，前記コアー部材の外周
部には上下位置に複数の環状凹部が形成されており，この一の環状凹部は，他の異
なる高さの環状凹部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥
石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
【請求項２】　コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して，該ドーナツ状基板
を前記コアー部材の所定高さに位置する環状凹部に位置させ，回転状態の前記コア
ー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与え，前記所定高さの環状凹部
でドーナツ状基板の円孔の内周の粗仕上げ研削を行い，
　続いて前記コアー部材の中心軸とドーナツ状基板の中心軸とを接近させ，前記コ
アー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対移動して，ドーナツ状基板を前記使
用した環状凹部と異なる高さに位置する別の環状凹部に位置させ，
　再度，前記コアー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与えてドーナ
ツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行う研削工具であり，前記コアー部材の外周
部には上下位置に複数の環状凹部が形成されており，この一の環状凹部は，他の異
なる高さの環状凹部に対して環状凹部の開放角が相異なるように形成されたダイヤ
モンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
【請求項３】　一の環状凹部は，他の異なる高さの環状凹部に対して粒度の異なる
ダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥石面である請求項２に記載のドーナツ状基
板の円孔研削工具。
　(３)　決定の理由
　本件決定の理由は，【別紙】の「異議の決定の理由」に記載のとおりである。要
するに，本件発明１は，刊行物１（特開昭５８－１６００５０号公報，甲３）及び
同２（実願昭６１－１５９４３３号（実開昭６３－６４４６０号）のマイクロフィ
ルム，甲４）に基づいて，本件発明２は，刊行物２及び５（特開平５－２４３１９
６号公報，甲５）に基づいて，いずれも当業者が容易に発明をすることができたも
のであり，請求項１及び２に係る特許は，特許法２９条２項の規定に違反してされ
たものであり，一方，本件発明３は，刊行物１ないし５に基づいても当業者が容易
に発明をすることができたものとはいえない，というものである。
　２　争点（決定取消事由）
　ａ　本件発明１に関する進歩性の判断の誤り
　ｂ　本件発明２に関する進歩性の判断の誤り
　（なお，①刊行物１では「ウエハー」，刊行物５では「ウエーハ」，甲６では
「ウェハ」と，②本件明細書（甲２）及び甲７では「ディスク」，刊行物１では
「デイスク」，刊行物２では「デスク」と，③本件明細書では「ドーナツ状」，刊
行物２では「ドーナツ形」と，それぞれ表記が異なり，決定中ではこれが混在して
いるが，これらの表記は，①～③の各グループごとに同一のものを指すものと認め
られるので，以下，引用する場合を含め，①のものを「ウエハー」，②のものを
「ディスク」，③のものを「ドーナツ状」と統一して記載する。）
　(１)　原告の主張の要点
　(１－１)　取消事由１（本件発明１に関する進歩性の判断の誤り）
　(１－１－１)　本件発明１に関する相違点１についての決定の判断には根拠がな
く，この判断に基づく相違点２についての決定の判断は意味のないものであって，
決定は，本件発明１の進歩性を誤って否定したものである。
　(１－１－２)　決定は，「刊行物１…記載の発明は，…硬脆材料を用いて製造さ
れるドーナツ状基板の研削を行うためのものである」と認定した。しかし，刊行物
１に記載の被研削体はウエハーという円柱を切り出した円盤であって，中心に円孔
があるドーナツ状のものではない。決定は，刊行物１に記載のウエハーについての
認定を誤り，その誤った認定に基づいて容易性の判断をしたものであり，このこと
だけでも取消しを免れない。この誤りは，結論に影響を及ぼすものである。
　(１－１－３)　刊行物１記載の発明は，ディスク状ウエハー（以下，単に「ウエ
ハー」という。）の外周面の面取り加工に関するものであり，内外面の双方が研削
されるドーナツ状基板の研削技術が記載されている刊行物２記載の発明に刊行物１
記載の発明を適用する場合は，刊行物２記載のドーナツ状基板の外周面の研削に代
えて刊行物１記載の外周面の面取り加工を適用するのが当業者の予測の範囲であっ
て，ウエハーの外周面の面取り加工技術をドーナツ状基板の円孔の内面の研削に適
用することは当業者の予測の範囲を超えている。決定では，いかなる理由によっ
て，ドーナツ状ディスクの外側へ適用することなく，ドーナツ状基板の内周面に適
用することが当然であるのか合理的な説明がない。
　しかも，このような適用をした後に，さらに請求項１に記載されているように，
ドーナツ状基板の円孔の内周の粗仕上げ研削，コアー部材とドーナツ状基板との上
下方向への相対移動，上記円孔内周の仕上げ研削などということを技術的構成要件
として付加しなければ，本件発明１とならない。このような技術的構成要件の開示
がない刊行物１及び２の記載に基づいて，本件発明１を当業者が容易に発明をする
ことができたと判断することは，論理に飛躍があり，何ら合理的な根拠がない。
　(１－１－４)　決定は，ドーナツ状基板の円孔研削の特殊性（垂直方向の制約，
水平方向の制約）を考慮することなく，刊行物１及び２に基づいて当業者が容易に
発明することができたとするものであって，違法というべきである。
　すなわち，従来，研削工具を垂直方向に長く移動して使用するような発想はな
く，本件発明１のように，一本のコアに研削部を上下２段（複数段）に分けて，上
下に（垂直方向に）位置移動させながら２種類（複数類）の加工を行う技術思想は
どこにも存在していない斬新な発想である。それゆえ，円板の外面研削に用いるこ
とができる研削工具に上下２段の研削部を有するものが，刊行物１に記載されてい
るように公知であったとしても，直ちにドーナツ状基板の円孔研削に適用可能であ
るとする認定は，承服できない。
　また，本件発明１は，コアー部材がドーナツ状基板の円孔の範囲内でしか水平方
向に移動できないために，高さの異なる環状凹部を円孔に適用する場合には，請求
項１に記載の特異な移動手段を採用して，研削作業切り替え時に，コアー部材とド
ーナツ状基板とを確実に分離させて次の研削工程に移行していくものである。この
点，刊行物２に記載の発明は，一つの加工（面取り加工）が終了したときに工具を
上昇させて停止する方法を述べているだけであって，研削作業切り替え時における
移動手段までは開示するものでない。よって，刊行物２に記載の工具停止方法を研
削作業切り替え手段に適用することで，本件発明１の特異な移動手段となるのであ
って，相違点２に関しては，刊行物１に記載の発明を刊行物２記載の発明に適用を
行った場合に，刊行物２に記載の工具停止方法から容易に発明することができたと
するのが相当である。そうすると，相違点１において，「刊行物１に記載の発明を
刊行物２記載の発明に適用することは，当業者が容易に想到し得たものである」と
されることを前提として，さらに刊行物２から容易に発明することで本件発明１が
導かれるものであるから，結局，相違点２における判断は，容易の容易になるもの
である。本件発明１は，刊行物１及び２に基づいて当業者が容易に発明することが
できたものにはならない。
　(１－２)　取消事由２（本件発明２に関する進歩性の判断の誤り）
　(１－２－１)　本件発明２に関する相違点１についての決定の判断には根拠がな
く，この判断に基づく相違点２についての決定の判断は意味のないものであって，
決定は，本件発明１の進歩性を誤って否定したものである。
　(１－２－２)　刊行物５は，「ウエハー面取部の鏡面研磨方法及び装置」に関す
る発明，すなわち，ウエハーの外周面の加工に関するものであり，ドーナツ状基板
の円孔の内周の研削に関する技術は何ら開示されない。
　(１－２－３)　本件発明２の研削は，粗仕上げ研削で，最終の仕上げ形状に近い
ところまで削り落とし，その後仕上げ研削で，粗仕上げ研削で研削された面を平滑
にしながら最終寸法まで仕上げるものである。これに対して，刊行物５に記載の鏡
面研磨は，表面が鏡のようにつるつるになるまで研磨するものであり，最終の仕上
げ研削に属し，未研磨部分がないように多数の加工溝が設けられている。
　したがって，①研削方式が，本件発明２の研削が粗仕上げ研削と仕上げ研削の２
段階研削であるのに対して，刊行物５に記載の鏡面研磨は仕上げ研削であって，粗
仕上げ研削は行っていない点，②本件発明２の開放角は粗仕上げ研削用と仕上げ研
削用で開放角度が異なっているのに対して，刊行物５に記載の鏡面研磨に用いる加
工溝の挟角は，すべての部分が研磨されるように（未研磨部分が残らないように）
角度を異ならしている点で相異している。
　それゆえ，本件発明２と刊行物５記載の発明とは，研削方式が異なるだけでな
く，加工のために傾斜角度（本件発明２の開放角，刊行物５に記載の加工溝の挟角
に相当する。）を異ならせる目的が根本的に相違するものであり，刊行物５記載の
発明は，「粗仕上げから仕上げまでを短時間に行え，かつ，ダイヤモンド砥石の寿
命を大幅に延ばせる高精度のドーナツ状基板の円孔研削工具の提供」といった本件
発明２の技術的課題は何も有していない。
　(１－２－４)　本件発明２の環状凹部の外形的特徴のみ取り出し，刊行物５に記
載の加工溝と対比するのは，本件発明２の環状凹部の研削手順や操作方法を含めた
使用形態を無視するものである。
　本件発明２は，ドーナツ状基板の円孔の内周を仕上げるのに，粗仕上げから仕上
げまでを短時間に行え，かつ，ダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせるように，
コアー部材上で粗仕上げ研削用のダイヤモンド砥石面を有する環状凹部と仕上げ研
削用のダイヤモンド砥石面を有する環状凹部とを分けて設けたところに特徴があ
り，その具体化した一つの手段として，粗仕上げ研削用の環状凹部と仕上げ研削用
の環状凹部の開放角が相異なるように形成したものであり，開放角を異ならした理
由は，粗仕上げで研削した後の荒れている表面を更に削り取って平滑にする簡便な
方法として採用したものである。
　これに対して，刊行物５に記載のバフは，開放角が異なる加工溝はあるが，これ
らすべてが鏡面仕上げ用であり，個々の加工溝が受け持つ研磨部分はそれぞれ異な
っており，一つの加工溝がある部分を鏡面仕上げした場合，他の加工溝はその鏡面
仕上げした部分は研磨することなく，他の箇所を鏡面仕上げして未研磨部分が残ら
ないようにしたものである。
　したがって，本件発明２の研削手順は，必ず粗仕上げ研削を先に行い仕上げ研削
をその後に行う手順を踏まなければならないのに対して，刊行物５記載の発明は，
どの加工溝から研削を始めてもよく，すべての加工溝を使うことにより未研磨部分
が残らないようすることが重要であり，段階的に研削する手順に差異があるという
べきである。
　ところで，最初から細かい粒度の砥石を用いれば，平滑な表面性状は確保される
ものの最終仕上げ寸法まで仕上げるのに時間が掛かるので，平滑な表面性状は犠牲
にしても途中まで短時間で粗仕上げ研削して（単位時間当たりの研削量が多いこ
と），その後は細かい粒度の砥石を用いて最終仕上げ寸法に仕上げれば，短時間で
平滑な表面性状のものが得られることは従来から当業者間においてよく知られた研
削技術である。そして，粗仕上げ研削として粒度の荒い砥石を用いることは当然の
ことであり，本件発明２でいう粗仕上げ研削とは，格別な研削手法を意味するので
なく，粒度の荒い砥石を用いることを含め平滑な表面性状は犠牲にしても単位時間
当たりの研削量を多くすることができる従来の研削手法を意味している。
　本件発明２の複数の環状凹部の砥石面の粒度が異なるものであることが請求項に
記載がないからといって，鏡面仕上げしか行わない刊行物５記載の加工溝と本件発
明２の複数の環状凹部とを同一視することは，ある環状凹部で粗仕上げ研削を行
い，別の環状凹部で仕上げ研削を行う本件発明２の構成要件を無視する認定であ
る。
　請求項２に記載の環状凹部による粗仕上げ研削と，そのあとに続いて行う別の環
状凹部による仕上げ研削は，重要な技術上の構成要件であって，粗仕上げと仕上げ
では上述のごとく研削作用は異なるし，研削順序も仕上げ研削が先で粗仕上げ研削
が後では無意味な研削であることは当業者間における技術常識である。それにもか
かわらず，「研削順序を変えることに格別な技術的意味はない」とする被告の主張
は，本件発明２の上記した粗仕上げ研削と仕上げ研削に関する構成要件を見落とす
か，あるいは誤って解釈したものといわざるを得ない。
　(１－２－５)　決定は，相違点１の検討において，「該適用により，１つの加工
溝に係る研削負担が小さくなることは，刊行物２記載の発明に刊行物５記載の発明
を適用した際に，必然的に生じる効果に過ぎない。」とするが，誤っている。
　本件発明２の研削は，最初から最後まで仕上げ研削で行うと仕上げ面は平滑に仕
上げられるが，研削時間と研削負担が大きいので，前もって所定開放角の砥石面で
粗研削を行って仕上げ寸法に近い形状にしておき，その後仕上げに適した開放角の
砥石面で仕上げ研削を行えば，後者の砥石面にかかる研削負荷は少なくなるという
意味である。これに対して，刊行物５に記載の発明は，すべての加工溝を使用して
未研磨部分が残らないような研磨を実現するようにしたものであって，多数の加工
溝が同じ部分を研削するものではないから，ある加工溝が研削に多くの負荷を費や
したからといって，そのことが他の加工溝の研削負担を小さくできるものではな
い。
　(２)　被告の主張の要点
　(２－１)　取消事由１（本件発明１に関する進歩性の判断の誤り）に対して
　(２－１－１)　原告が主張するように，刊行物１に記載の発明に関する決定の認
定に必ずしも正確でない点があったとしても，刊行物１，２記載の発明が極めて近
接した技術分野であるとした点に誤りはなく，刊行物１記載の発明を刊行物２記載
の発明に適用することは，当業者であれば容易に想到したことであるので，決定の
結論に影響を及ぼすものではない。　
　(２－１－２)　刊行物１には，被研削体であるウエハーの形状がドーナツ状であ
ることは記載されていないものの，円板状のウエハーを面取りするための研削技術
に関して記載されており，研削対象のウエハーの材質はシリコンという硬脆材料で
ある。そして，刊行物２記載の発明も，硬脆材料からなるドーナツ状ディスクを面
取りするための研削技術に関するものである。すなわち，刊行物１，２記載の発明
は，いずれも，硬脆材料からなる円板状部材を面取りするための研削を行うもので
ある点で同一であり，極めて近接した技術分野に属するものである。また，刊行物
１，２のいずれにも，両者の発明を組み合わせることを妨げる記載はない。したが
って，刊行物１記載の発明がウエハーの周縁部の面取りに関するものであるとして
も，刊行物１記載の発明を刊行物２記載の発明に適用し，コアー部に上下複数の凹
溝を設け，一の凹溝を他方の凹溝に対してダイヤモンド砥粒の目の細かさが異なる
ようにすることは，当業者が通常行う創作能力の発揮であり，当業者であれば容易
に想到したことである。
　なお，刊行物１記載の発明を刊行物２記載の発明に適用する場合に，刊行物２記
載の発明はドーナツ状ディスクの内側の研削に関するものであるから，ドーナツ状
ディスクの外側へ適用することだけではなく，内側へ適用することも想到するのが
当然である。
　仮に，ドーナツ状基板の円孔研削において，一本のコアに研削部を上下２段（複
数段）に分けて，上下に（垂直方向に）位置移動させながら２種類（複数類）の加
工を行う技術思想が存在しなかったとしても，硬脆材料からなる円板状部材を面取
りするための研削技術において，研削部を上下２段（複数段）に分けて，上下に
（垂直方向に）位置移動させながら２種類（複数類）の加工を行うことが刊行物１
に記載されており，当該技術を極めて近接した技術分野に属する刊行物２記載の発
明に適用することを妨げる事情も存在しないのであるから，刊行物１記載の発明を
刊行物２記載の発明に適用することは，当業者であれば容易に想到したことであ
る。
　また，刊行物１記載の発明を刊行物２記載の発明に適用した際に，研削工具の上
下に位置する複数の凹溝と被研削体の相対的移動を本件発明１のそれと同様に行わ
なければ，研削工具と被研削体に干渉が生じ相対移動が不可能となることは，当業
者に自明の技術事項である。したがって，刊行物２記載の発明に刊行物１記載の発
明を適用した際に，研削工具と被研削体であるドーナツ状ディスクの相対的移動を
本件発明１のそれと同様のものとすることは，当業者が当然行うことにすぎず，容
易の容易というものではない。
　以上のとおり，本件発明１は，刊行物１及び２記載の発明に基づいて当業者が容
易に発明をすることができたものであり，決定に誤りはない。
　(２－２)　取消事由２（本件発明２に関する進歩性の判断の誤り）に対して
　(２－２－１)　刊行物２，５記載の発明は，いずれも，硬脆材料からなる円板状
部材の研削に関するものであり，極めて近接した技術分野に属するものである。し
かも，刊行物２記載の発明は，ドーナツ状ディスクの内径部を仕上げるための工具
に関するものである。また，刊行物２，５のいずれにも，両者の発明を組み合わせ
ることを妨げる記載はない。したがって，刊行物５記載の発明が，ウエハーの外周
部の加工に関するものであるとしても，刊行物５記載の発明を，刊行物２記載の発
明に適用し，コアー部に上下複数の凹溝を設け，一の凹溝を他方の凹溝に対して溝
の開放角が相異なるようにすることは，当業者が通常行う創作能力の発揮であり，
当業者であれば容易に想到したことである。
　(２－２－２)　確かに，刊行物５には，粗仕上げ研削された箇所を次に仕上げ研
削するとは明記されていないが，本件発明２は工具の発明であって，請求項２に
は，工具の構成として，「前記コアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部
が形成されており，この一の環状凹部は，他の異なる高さの環状凹部に対して環状
凹部の開放角が相異なるように形成された」と記載されているのみであって，この
構成は，刊行物５に記載された構成と異なるところはない。構成が同一であれば，
必然的にその作用効果も同一となるものである。
　請求項２の記載には，複数の環状凹部の開放角を相異ならせ，粗仕上げ研削，仕
上げ研削を行う旨の記載はあるが，複数の環状凹部の面を粒度の異なるものにより
構成することについては記載がない。本件発明２に対応する本件明細書の段
落【0024】前段においても，粗仕上げ用及び仕上げ用の砥石面について，上部傾斜
面と下部傾斜面とのなす開放角が異なること以外，研削能力の異なる砥石面，又
は，異なる性状の砥石面とすることについては，何ら記載されていない。なお，段
落【0024】最終文において，開放角の小さい砥石面を滑らかな研削能力を有する砥
石面表面とすることの記載があるが，これは，本件発明３に対応する記載である。
　被研削面の平滑度を決定するものは，砥石面の粒度であるから，それに違いがな
い以上，本件発明２の複数の環状凹部の作用は，砥石面の加工能力，加工精度が同
じである。すなわち，本件発明２の環状凹部によって行う粗仕上げ研削，仕上げ研
削は単に複数の開放角の異なる環状凹部で行う研削にすぎず，その作用は，複数の
開放角のみが異なる加工溝で順次加工するものである刊行物５記載の発明の円形総
形バフの複数の加工溝と異なることはない。
　このように，本件発明２の粗仕上げ研削を行う環状凹部と仕上げ研削を行う環状
凹部は，請求項２に記載されているとおり，開放角が相異なるのみで，その砥石面
の粒度については同じものを含むものである。砥石面の粒度が同じである以上，個
々の環状凹部の適用順序が異なるとしても，最終的な表面の性状は同じである。ま
た，個々の環状凹部による研削量が増減するだけで，研削の全工程を粒度の同じ砥
石で研削し，研削量の総量には変わりがないので，研削時間が短縮されたり，砥石
への負担が少なくなり砥石の寿命が延びるということはない。
　原告は，「粗仕上げ研削」と「仕上げ研削」が重要な技術上の構成要件である旨
の主張をしているが，粒度の同じ砥石で研削を行っている以上，「粗仕上げ研削」
と「仕上げ研削」という表現の違いに技術的意味はない。
　また，本件発明２と刊行物５記載の発明における研削は，開放角の異なる複数の
環状凹部の適用順序が異なっているにすぎない。環状凹部による研削の順序を変え
ることに格別な技術的意味はなく，当業者が適宜決めるべき設計事項である。
　なお，本件発明２と刊行物５記載の発明とで，複数の環状凹部の開放角を異なら
せる目的に違いがあるとしても，両発明はいずれも，複数の環状凹部により研削を
行うものであり，結局，その使用形態に違いはない。
　研削負担の点についても，本件発明２の効果と，刊行物５記載の発明を刊行物２
記載の発明に適用した際に必然的に生じる効果との間に差はない。
第３　当裁判所の判断
　１　取消事由１（本件発明１に関する進歩性の判断の誤り）について
　(１)　決定中には，「刊行物１及び２記載の発明は，どちらも，硬脆材料を用い
て製造されるドーナツ状基板の研削を行うためのものであるから」と説示した部分
がある。
　確かに，刊行物２がドーナツ状基板の研削を行うためのものであるのに対し，刊
行物１は，ウエハーを被研削体とするもので，しかも，ウエハー「周縁」の研削に
関するものであり，この限りにおいて，決定中の上記説示部分は正確ではない。
　しかしながら，決定が刊行物１記載の発明の被研削体について説示したその余の
部分からすれば，決定の上記説示部分は誤記のたぐいであることが明らかであっ
て，しかも，決定の上記説示部分の趣旨は，刊行物１及び２記載の発明は，ウエハ
ー及びドーナツ状基板に共通するものであることを前提として，硬脆材料に精密な
研削をすることを必要とする技術であるから，精密な研削を行う技術として近接す
る技術分野と位置付けられるものであって，同様に円板形態の対象物を研削する工
具形態である以上，その適用を容易に想起し得る旨を説示しているものと解するこ
とができる。
　検討するに，ウエハー及びドーナツ状基板は，いずれも板ガラス等の硬脆材料を
用いるものである点で共通するとともに，高密度な回路作成あるいは高密度な記憶
領域作成を行うものであって，精密な加工を要するものであることで共通するもの
である。よって，ウエハー及びドーナツ状基板の加工，研削を行う工具は，精密な
加工，研削を行うための工具として，同様の精度を要する技術分野として認識され
るものといえる。したがって，ウエハーを研削する工具とドーナツ状基板を研削す
る工具とは，両者間で工具構成の適用が，容易に想到あるいは考慮される近接した
技術分野であると理解し，この趣旨を説示した決定の上記説示部分は，誤りとはい
えない。
　(２)　原告は，刊行物２記載の発明に刊行物１記載の発明を適用する場合には，
刊行物２記載のドーナツ状基板の外周面の研削に代えて刊行物１記載の外周面の面
取り加工を適用するのが当業者の予測の範囲であって，ウエハーの外周面の面取り
加工技術をドーナツ状基板の円孔の内周面の研削に適用することは当業者の予測の
範囲を超えている旨主張する。
　しかし，刊行物２記載の発明において，一つの工具に複数の研削部位を与えるこ
とが提起されていることを理解した場合に，当業者であれば，各種のものを想定し
得るとしても，各種の適用パターンは並列的に想起されるものであって，これらの
うちのいずれかしか想起し得ず，残りのパターンを想起することが困難とすること
は不自然である。また，もともと同時に使用される研削部位の周縁部分あるいは内
周部分のうちの一方のみを複数として，残る他方を単一の研削部位とすること自体
が不自然といえる。
　したがって，刊行物１，２記載の発明から，本件発明１のものを予測し得ない旨
をいう原告の主張は，採用することができない。
　(３)　原告は，決定が，本件発明１のドーナツ状基板の円孔研削の特殊性（垂直
方向の制約，水平方向の制約）を考慮することなく，刊行物１及び２に基づいて当
業者が容易に発明することができたとするものであって，違法である旨主張する。
　(３－１)　検討するに，決定は，本件出願の分割の適否に対する判断において，
次のように説示し，原告もこの点は認めて争わない。
　「本件発明１ないし３は，ドーナツ状基板の円孔研削工具として，コアー部材の
構成のみを特定し，ドーナツ状基板の周縁部を研削する工具部分をその構成要件と
しないものである。
　これに対し，原特許出願の出願当初の明細書には，上記のとおりドーナツ状基板
の内周部と周縁部を同時に研削する工具に関する課題が記載されており，明細書及
び図面のその余の記載を見ても，ドーナツ状基板の内周部と周縁部を同時に研削す
る研削工具の種々の態様が記載されているのみであって，コアー部材のみで構成さ
れる発明を示唆する記載はない。
　しかし，本件発明１ないし３の目的及び作用効果は，原特許出願の出願当初の明
細書に記載された目的及び作用効果と同一であって，その目的及び作用効果は，ド
ーナツ状基板の内周部と周縁部を同時に研削する研削工具特有の問題とは認められ
ない。そしてこの点は，当業者が原出願の明細書及び図面の記載をみることにより
認識し得るものである。したがって，本件発明１ないし３は，原特許出願の出願当
初の明細書及び図面の記載から，自明な発明であると認める。」
　(３－２)　上記説示は，要するに，「本件発明１ないし３は，ドーナツ状基板の
円孔研削工具として，コアー部材の構成のみを特定し，ドーナツ状基板の周縁部を
研削する工具部分をその構成要件としないものである」ものの，ドーナツ状基板の
内周部と周縁部を同時に研削する研削工具の種々の態様を当業者が参照すれば，コ
アー部材のみで構成される発明を認識することは容易であって自明なものといえる
とし，これら本件発明１ないし３の目的及び作用効果は，「ドーナツ状基板の内周
部と周縁部を同時に研削する研削工具特有の問題」とは認められない（結果とし
て，本件発明１ないし３の内周部を研削する工具にも共通する問題として扱われて
いることとなる。）というものである。
　そして，具体的には，次のことを指すものと解される。すなわち，ドーナツ状基
板内周部を研削する場合に，砥石面からなる環状凹部をドーナツ状基板内周部に研
削させるべく接触させるには，ドーナツ状基板内周部の円孔が，環状凹部を構成し
ていないコアー部材（環状凹部よりも必然的に大径となっている）を通過する段階
が必要となる。一方，ドーナツ状基板周縁部を研削する場合には，本件明細書及び
図面に記載される種々の態様のうち【図９】に示されるもの以外は，研削工具の天
板２からコアー部材４を包囲するように垂設されたフレアー部材５の内面側に環状
凹部８が設けられているので，砥石面からなる環状凹部がドーナツ状基板周縁部を
研削できるように接触させるには，ドーナツ状基板周縁部が，環状凹部を構成して
いないフレアー部材５の内面部（環状凹部よりも必然的に小径となっている。）を
通過する段階が必要となる。いずれの場合にも，ドーナツ状基板と研削工具の軸心
を合わせて両者の軸方向への移動を行う段階が必然的に見込まれる。
　(３－３)　そこで，刊行物２（甲４）をみると，工具Ｔのコア部の砥石面５と外
周リブの砥石面６等の寸法関係をｒ１＋ｒ２＝ｒ３＋ｒ４となるように構成した
上，テーブル10を水平送りして，切り出しディスク20の中心と工具Ｔの軸線とを合
うようにし，その後に工具Ｔを上下させて研削を開始，終了する作業が行われる。
その作業において，工具Ｔ及びテーブル10を送り操作させることによって，工具Ｔ
とテーブル10との相対移動関係が行われている。この刊行物２の相対移動関係と，
本件発明１ないし３における研削工具１とドーナツ状基板６との相対移動関係と
は，工具とそれにより加工されるワークとを離間させるべく移動させる点におい
て，実質的に同じものであるというべきである。
　(３－４)　原告は，刊行物２に記載の発明は，一つの加工（面取り加工）が終了
したときに工具を上昇させて停止する方法を述べているだけであって，研削作業切
り替え時における移動手段までは開示するものでない旨主張する。
　しかし，前記のように，両者間には工具とそれにより加工されるワークとを離間
させるべく移動させる点において，実質的な差異があるものとはいえないのである
から，原告の主張は，採用することができない。
　(４)　以上のとおり，決定には，刊行物１記載の発明の研削対象に関し，前記の
ような正確でない点はあるものの，誤りであるとはいえず，決定における本件発明
１と刊行物１，２記載の発明との対比判断は，妥当なものであって，取り消すべき
瑕疵があるものとはいえない。
　２　取消事由２（本件発明２に関する進歩性の判断の誤り）について
　(１)　原告は，刊行物２と刊行物５記載の発明についても，構成適用が可能な近
接した技術分野とはいえない旨主張する。
　しかし，既に，刊行物１記載の発明と刊行物２記載の発明との関係について検討
したように，中心孔を有していないディスク様のウエハーの研削とドーナツ状基板
の研削とは，近接する技術分野として認識し得るものである。そして，刊行物５記
載の発明は，ウエハー面取りに係るもので，刊行物１と等しい技術分野に属するも
のであるから，前記と同様に，刊行物２と刊行物５記載の発明は，構成適用が可能
な近接した技術分野であるといえる。
　(２)　原告は，本件発明２と刊行物５記載の発明とでは，研削方式のみならず，
傾斜角度を変えた目的が根本的に相違するものであり，本件発明２の複数の環状凹
部の砥石面の粒度が異なるものであることが請求項に記載がないからといって，鏡
面仕上げしか行わない刊行物５記載の加工溝と本件発明２の複数の環状凹部とを同
一視することは，本件発明２の構成要件を無視するものであるなどと主張し，本件
発明２が刊行物２及び刊行物５に基づいて当業者が容易に発明をすることができた
とする決定の認定判断は誤りである旨主張する。
　(２－１)　本件発明２に関する本件明細書の特許請求の範囲請求項２の記載によ
れば，(ａ)コアー部材の外周部に上下位置に複数の環状凹部が形成され，(ｂ)その
複数の環状凹部は，開放角が相異なるように形成されたダイヤモンド砥石面であ
り，(ｃ)所定高さに位置する環状凹部でドーナツ状基板の円孔内周の粗仕上げ研削
を行い，続いて異なる高さに位置する別の環状凹部で上記円孔内周の仕上げ研削を
行う研削工具であることなどが記載されていることが認められる。
　ところで，「粗仕上げ研削」と「仕上げ研削」とでは，表面性状の平滑性など異
なる研削仕上げ状態を得ようとするものであると解されるが，本件明細書の特許請
求の範囲請求項２においては，単に，複数の環状凹部の「開放角」を異ならせるこ
とが記載されているのみで，複数の環状凹部でダイヤモンドの「粒度」を異ならせ
ることは，構成要件とされていない。異なる「開放角」を備える環状凹部を用いた
研削を行ったとしても，それらの砥石面のダイヤモンドの「粒度」が異なるなどの
構成がない限りは，研削仕上げ状態自体に差異は生じないこととなることは，自明
である。結局，本件発明２においては，「粗仕上げ研削」，「仕上げ研削」と環状
凹部の「開放角」との関係が特定されてはおらず（ダイヤモンド「粒度」の点は記
載すらない。），「粗仕上げ研削」，「仕上げ研削」に関連して環状凹部の「開放
角」を異ならせているものとは理解し得ない（前掲原告の主張でも「平滑な表面性
状は犠牲にしても途中まで短時間で粗仕上げ研削して…その後は細かい粒度の砥石
を用いて最終仕上げ寸法に仕上げれば，短時間で平滑な表面性状のものが得られる
ことは従来から当業者間においてよく知られた研削技術である。そして，粗仕上げ
研削として粒度の荒い砥石を用いることは当然のことであり，本件発明２でいう粗
仕上げ研削とは，格別な研削手法を意味するのでなく，粒度の荒い砥石を用いるこ
とを含め平滑な表面性状は犠牲にしても単位時間当たりの研削量を多くすることが
できる従来の研削手法を意味している。」とされている。このように，ダイヤモン
ド「粒度」を異ならせるなど単位時間当たりの研削量を多くすることと，「粗仕上
げ研削」，「仕上げ研削」との関係をいうが，ダイヤモンド「粒度」の構成がない
状況下で，環状凹部の「開放角」を異ならせることと，「粗仕上げ研削」，「仕上
げ研削」との関係は，明らかにされていない。本件明細書の記載からも不明であ
る。）。
　(２－２)　この点に関連して，原告は，粗仕上げ研削として「粒度」の荒い砥石
を用いることは当然のことであり，本件発明２でいう粗仕上げ研削とは，格別な研
削手法を意味するのでなく，粒度の荒い砥石を用いることを含め平滑な表面性状は
犠牲にしても単位時間当たりの研削量を多くすることができる従来の研削手法を意
味している旨主張する。
　確かに，一般に，ドーナツ状基板の円孔研削にあたっては，所望の研削仕上げ状
態を得るべく，環状凹部に構成する砥石面のダイヤモンド「粒度」，環状凹部の
「開放角」などの要素の種々の組み合わせが考慮されるであろうことが推察され
る。しかし，本件明細書の特許請求の範囲請求項２に砥石面の「粒度」に関する記
載がないことは前記のとおりであり，しかも，「開放角」が異なる構成に加えて，
「粒度」の異なるダイヤモンドを使用した砥石面とする構成を付加したものは，請
求項３には明記されている。ダイヤモンドの「粒度」を異ならせることが記載され
ていないにもかかわらず，本件発明２についてのみ，当然にその構成を有するもの
と理解することは困難である（その他，開放角以外の要素について，単位時間当た
りの研削量を多くすべき構成が特定されて記載されていることも認められな
い。）。原告の上記主張は，採用することができない。
　念のため，本件明細書の発明の詳細な説明欄の記載を精査しても，以上の解釈を
覆すべき事情をうかがわせる記載は見当たらない。
　(２－３)　以上によれば，本件発明２は，「粗仕上げ研削」，「仕上げ研削」と
関連せず，かつ，砥石面のダイヤモンド粒度が異なるとの構成も有しない，開放角
のみが異なる構成による研削が行われるものであると解するほかないのであって，
刊行物５（甲５）に異なる開放角度を用意しておく技術思想が既に存在している以
上，これを刊行物２記載の発明に適用し，当業者がこれらに基づいて本件発明２を
想起することに，困難性はないものといわざるを得ず，本件発明２の容易推考性に
関する決定の判断に誤りがあるとはいえない。
　(３)　原告は，決定の研削負担に関する作用効果の認定は誤っているなどとも主
張する。
　しかしながら，前記のとおり，本件発明２は，異なる高さに環状凹部を複数有す
るものであって，これらがすべて異なる開放角のものであるとしても，粗仕上げ研
削と仕上げ研削とで，開放角の点以外に，砥石面のダイヤモンド粒度を異ならせる
ことなどを構成要件として特定しているわけではない。原告の主張は，本件発明２
に関する明細書の記載に基づかないものであるから，採用の限りではない。
　(４)　以上のとおり，決定における本件発明２と刊行物２，５記載の発明との対
比判断は，妥当なものであって，取り消すべき瑕疵があるものとはいえない。
　３　結論
　以上のとおり，原告主張の決定取消事由はいずれも理由がないので，原告の請求
は棄却されるべきである。
東京高等裁判所第１８民事部
　　　　裁判長裁判官　　　塚　　原　　朋　　一
　　　　　　　　　　裁判官　　　塩　　月　　秀　　平
　　　　　　　　　　裁判官　　　田　　中　　昌　　利
【別紙】　異議の決定の理由
異議２００１－７００４８号事件，平成１３年９月４日付け決定
（下記は，上記決定の理由部分について，文書の書式を変更したが，用字用語の点
を含め，その内容をそのまま掲載したものである。）
理　由
１　手続の経緯
　本件特許第３０６１６０５号の請求項１ないし３に係る発明についての出願は、
平成６年８月２２日に出願された特願平６－２１９５２１号（以下「原特許出願」
という。）の一部を、特許法第４４条第１項の規定により平成１０年４月２８日に
新たな出願として特許出願され、平成１２年４月２８日にその発明について特許権
の設定登録がなされ、その後、平成１３年１月１０日に特許異議申立人斎藤順一よ
り請求項１ないし３に係る特許について特許異議の申立てがなされ、平成１３年３
月１６日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年５月２
５日に特許異議意見書が提出されたものである。
　
２　本件発明
　本件特許第３０６１６０５号の請求項１ないし３に係る発明（以下、それぞれ
「本件発明１」、「本件発明２」及び「本件発明３」という。）は、登録時の明細
書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された
次の事項によって特定されるとおりのものと認める。
「【請求項１】　コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して、該ドーナツ状基
板を前記コアー部材の所定高さに位置する環状凹部に位置させ、回転状態の前記コ
アー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与え、前記所定高さの環状凹
部でドーナツ状基板の円孔の内周の粗仕上げ研削を行い、
　続いて前記コアー部材の中心軸とドーナツ状基板の中心軸とを接近させ、前記コ
アー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対移動して、ドーナツ状基板を前記使
用した環状凹部と異なる高さに位置する別の環状凹部に位置させ、
　再度、前記コアー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与えてドーナ
ツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行う研削工具であり、前記コアー部材の外周
部には上下位置に複数の環状凹部が形成されており、この一の環状凹部は、他の異
なる高さの環状凹部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥
石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
【請求項２】　コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して、該ドーナツ状基板
を前記コアー部材の所定高さに位置する環状凹部に位置させ、回転状態の前記コア
ー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与え、前記所定高さの環状凹部
でドーナツ状基板の円孔の内周の粗仕上げ研削を行い、
　続いて前記コアー部材の中心軸とドーナツ状基板の中心軸とを接近させ、前記コ
アー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対移動して、ドーナツ状基板を前記使
用した環状凹部と異なる高さに位置する別の環状凹部に位置させ、
　再度、前記コアー部材とドーナツ状基板との間に相対的水平運動を与えてドーナ
ツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行う研削工具であり、前記コアー部材の外周
部には上下位置に複数の環状凹部が形成されており、この一の環状凹部は、他の異
なる高さの環状凹部に対して環状凹部の開放角が相異なるように形成されたダイヤ
モンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
【請求項３】　一の環状凹部は、他の異なる高さの環状凹部に対して粒度の異なる
ダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥石面である請求項２に記載のドーナツ状基
板の円孔研削工具。」
　
３　当審が通知した取消しの理由の通知の概要
　当審が通知した取消しの理由は、特許異議申立人Ｂが提示した甲第１ないし５号
証であって、原特許出願の前に頒布された次の刊行物１ないし５を引用し、本件の
請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明であって特許法第２９条第１項
の規定により特許を受けることができないものであるか、又は刊行物１ないし４に
記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって特
許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件の
請求項２及び３に係る発明は、刊行物１ないし５に記載された発明に基づいて当業
者が容易に発明をすることができたものであって特許法第２９条第２項の規定によ
り特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１ないし３に係る特
許は取り消されるべきであるというものである。
　刊行物１：特開昭５８－１６００５０号公報
　刊行物２：実願昭６１－１５９４３３号（実開昭６３－６４４６０号）のマイク
ロフィルム
刊行物３：実願昭６２－９００４７号（実開昭６３－２０１０４８号）のマイク
ロフィルム
刊行物４：実願平２－６８７６２号（実開平４－２８９５５号）のマイクロフィ
ルム
刊行物５：特開平５－２４３１９６号
また、当審が通知したもう一つの取消しの理由は、上記特許異議申立人が提示し
た甲第６号証であって、原特許出願の公開公報である次の刊行物６を引用し、本件
特許に係る出願は、特許法第４４条第１項に規定された要件を満たさないから、原
特許出願の時に出願したものと見なすことはできず、本件発明１ないし３は、本件
特許に係る出願の現実の出願日である平成１０年４月２８日より前に頒布された刊
行物６に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項の規定により特許を受
けることができないものであり、本件の請求項１ないし３に係る特許は取り消され
るべきであるというものである。
刊行物６：特開平８－５７７５６号
４　原特許出願の出願当初の明細書及び図面の記載
　原特許出願の出願当初の明細書を掲載した上記刊行物６には、次の記載がある。
「【０００４】　そのため、従来は、例えば、実開昭６３－２０１０４８号公報お
よび実開昭６３－６４４６０号公報に示されるように、ガラスを図１０（イ）のよ
うにドーナツ状に切出し、この切出したドーナツ状基板を真空吸着テーブルの上に
吸着固定し、その後内外周研削具内に前記ドーナツ状基板を収納し、周壁部とコア
ー部の内外周にそれぞれ形成された環状凹部に前記ドーナツ状基板の内周部と周縁
部とを当接させ、内外周研削具と真空吸着テーブルとをそれぞれを回転させるとと
もに、内外周研削具とドーナツ状基板との間に水平運動を与え、ドーナツ状基板の
内周部と周縁部とを研削し、図１０（ロ）のような研削仕上げ加工を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】　しかしながら、上記従来のドーナツ状基板の研
削工程にあっては、周壁部とコアー部の内外周にそれぞれ形成された一対の環状凹
部で一気にドーナツ状基板の研削を行うようにすると種々の問題が発生する。
【０００６】　即ち、環状凹部のダイヤモンド砥石面には仕上げ研削に適した粒度
のダイヤモンドが使用されているため、ドーナツ状基板が図１０（イ）から図１０
（ロ）に変化するまで、言い換えると粗加工から仕上げ加工まで同じ粒度のダイヤ
モンドが使用されることになり、研削時間が長時間となる。
【０００７】　また、仕上げ研削に適した細かい粒度のダイヤモンドで粗加工を行
うとすると、ダイヤモンド砥石面の寿命が短くなり、工具の取り換えを頻繁に行わ
なければならなくなる。
【０００８】　そこで、粗仕上げ加工と仕上げ加工とを別々の工具を用いて同一の
装置で２工程で行うとすると、工具取り換えが必要になり、手間を要する。そこ
で、別々の複数の装置で上述の２工程を行うとすると、ドーナツ状基板を固定テー
ブルに設置する際、軸合せが煩雑になるばかりか、軸の中心が狂ってしまうとドー
ナツ状基板の精度が落ちるといった問題がある。
【０００９】　本発明は、上記のような問題に着目してなされたもので、粗仕上げ
から仕上げまでを短時間に行え、かつダイヤモンド砥石の寿命を大幅に延ばせる高
精度のドーナツ状基板の研削工具およびこの工具を利用した研削方法を提供するこ
とである。」
５　分割の適否に対する判断
　本件発明１ないし３は、ドーナツ状基板の円孔研削工具として、コアー部材の構
成のみを特定し、ドーナツ状基板の周縁部を研削する工具部分をその構成要件とし
ないものである。
　これに対し、原特許出願の出願当初の明細書には、上記のとおりドーナツ状基板
の内周部と周縁部を同時に研削する工具に関する課題が記載されており、明細書及
び図面のその余の記載を見ても、ドーナツ状基板の内周部と周縁部を同時に研削す
る研削工具の種々の態様が記載されているのみであって、コアー部材のみで構成さ
れる発明を示唆する記載はない。
　しかし、本件発明１ないし３の目的及び作用効果は、原特許出願の出願当初の明
細書に記載された目的及び作用効果と同一であって、その目的及び作用効果は、ド
ーナツ状基板の内周部と周縁部を同時に研削する研削工具特有の問題とは認められ
ない。そしてこの点は、当業者が原出願の明細書及び図面の記載をみることにより
認識し得るものである。したがって、本件発明１ないし３は、原特許出願の出願当
初の明細書及び図面の記載から、自明な発明であると認める。
　よって、本件特許１ないし３に係る出願は、適法な分割出願であるとは認めら
れ、特許法第４４条第２項の規定により、原特許出願の出願日である平成６年８月
２２日にしたものとみなされる。
６　刊行物６に基づく異議申立理由に対する判断
　刊行物６は、平成８年３月５日に発行された刊行物であるから、本件発明１ない
し３に係る出願前に頒布された刊行物ではない。したがって、刊行物６に基づい
て、本件発明１ないし３に係る特許が特許法第２９条第１項に違反してされたもの
であるとすることはできない。
　
７　刊行物１、２及び５記載の発明
（１）刊行物１記載の発明
　刊行物１には、次の記載がある。
ａ　第１頁右下欄第８行から第２頁左上欄第７行
「　本発明は、新規かつ改良されたウエハーの面取り加工法およびこれに使用する
砥石の構造に関するものである。
　従来、半導体シリコンとかＧＧＧのウエハー周縁部の面取り加工は、第１図に示
すように、デイスク状砥石１の周囲に被加工ウエハー２の周縁部に得ようとする彎
曲面２ａに合致する内周面３ａを持つ凹溝３を形成した、いわゆる総形砥石を使用
し、最初は目のあらい総形砥石を用いて荒研削し、ついで目の細い総形砥石を用い
て仕上げ研削するというように、少なくとも２個の砥石を用いて面取り加工を行っ
ていた。
　しかしながら、かかる従来法では砥石、特には荒研削用の総形砥石の消耗が著し
いうえに、荒研削、仕上げ研削毎に砥石あるいはウエハーをセットし直さなければ
ならないという不利、欠点があった。」
ｂ　第２頁右上欄第１２行から第３頁第１０行
「　まず、第１図は本発明の方法において用いる砥石の代表的実施例を示すもので
あって、この砥石はデイスク状砥石本体１０の周縁部にそれぞれ２つの傾斜面１
１、１２と、２つの凹溝１３、１４を形成してなるものであり、この砥石の周面に
はたとえばダイヤモンド粒子からなる砥粒層１６が設けられている。……また上記
凹溝１３，１４はその彎曲内周面をそれぞれウエハー周縁部全体の荒研削面および
仕上げ研削面として作用させ、……そのためにこの実施例では上記砥粒層１６につ
いて、仕上げ研削面として作用させる凹溝１４の内周面を形成する砥粒層について
は比較的目の細いものとされ、この他の傾斜面１１、１２、凹溝１３の内周面等に
ついては比較的目の荒い砥粒層をもって構成されている。
第２図に示すデイスク状砥石を用い本発明方法に従って、実際にたとえば半導体
シリコンウエハーの面取り加工を行なうには、まず砥石１０を回転させると共に、
必要に応じウエハー２も回転させ、……その第４工程において同図（ｄ）に示すよ
うにその周縁部全体を砥石側周面の第１凹溝１３の内周面に接触させて、ウエハー
の周縁部に得ようとする彎曲面２ａに荒研削し、最後にこの荒研削されたウエハー
周縁部２ａを砥石の第２凹溝１４の内周面に当接させて仕上げ研削を行ない面取り
加工を終了する。
以上説明した通り、本発明においては、単一の砥石を用いてウエハーの面取り加
工を完全に行うことができて、従来法のように複数個の砥石を用いて面取り加工を
行っていた場合に比較して、その加工時間、加工能率を著しく向上でき、……した
がってその実用的価値はすこぶる高いものとされる。」
これらの記載から、刊行物１には、次の発明が記載されていると認める。
ウエハーの面取り加工法に使用する砥石において、
デイスク状砥石本体の周縁部の上下位置に２つの凹溝を形成し、上記砥石の周面
にダイヤモンド粒子からなる砥粒層を設け、一の凹溝は、他の凹溝に対して目の細
さの異なる砥粒層をもって構成すること。
（２）刊行物２記載の発明
　刊行物２には、次の記載がある。
ａ　明細書第２頁第４から７行
「（産業上の利用分野）
　この考案はドーナツ形デスク主としてガラスなどの硬脆材料からなるドーナツ形
デスクの内外面を仕上げるための工具に関する。」
ｂ　同第４頁第１２行から第５頁第８行
「　第１図はこの考案に係る工具Ｔの一部を切除して示すものであり、所要直径の
円形のデスク部１と中央部において上方に伸びる所要長さの筒状のシャンク部２と
からなり、デスク部１の下側には、中央において直径がドーナツ形切り出しデスク
２０の内径より小さく下向きに突出する所要高さのコア部３と、これと一定間隔
（切り出しデスクの外径より大きな間隔）の外周においてコア部３と高さを等しく
して下向きに突出する環状のリブ４が設けられ、コア部３の外周面と環状リブ４の
内周面には、ダイヤモンド、窒化硼素などの超硬砥粒からなり、上下の部分が互い
に向き合う側に外に開く斜面５ｂ，６ｂをなし中央部が加工ドーナツ板の肉厚より
大きな直立面５ａ，６ａをなしたみぞ形環状の砥石面５，６がそれぞれ電鋳、電
着、焼結などの手段で埋め込み固着されている。」
ｃ　同第７頁第４行から第８頁第１６行
「かくて、第３図の状態でテーブル１０をゆっくり回転させ、それと同時に上方の
研削ユニット（図示せず）を作動して油圧チャック９と工具Ｔを急速に回転させ、
かつ冷却液をチャック９内の通孔９ａ、工具Ｔの中心通孔２ａを通じて供給し、こ
れを放射通孔８、小孔８ａおよび仕切板７の内外の通孔７ａ，７ｂを介しコア部３
の砥石面５と外周リブ４の砥石面６に向って流出させ、次いで研削ユニットを支え
る自動縦送りユニット（図示せず）を作動して油圧チャック９と一しょに工具Ｔを
下降させ、そのコア部３を切り出しデスク２０の内径部に挿入しつつ内，外の砥石
面５，６を切り出しデスク２０の内外の周面に対向させる。
　その状態でテーブル１０を回転させながら水平方向（図示の例では右方）に移動
させ、切り出しデスク２０の中心線に対し反対側の内周面と外周面を工具Ｔの内外
の砥石面５，６の対向直立面５ａ，６ａに第２図のように圧接させて表面加工を行
い、所定の寸法位置でテーブル１０の水平送りを停止させ（回転は続行）、次いで
工具Ｔを縦送りユニットにより上下させて砥石面５，６の上下の斜面５ｂ，６ｂを
切り出しデスク２０の内面、外面の上下の周縁に交互に圧接させて面取りを行う。
　所定の面取りが終れば、切り出しデスク２０の中心が工具Ｔの軸線に合うように
テーブル１０を水平送りして第３図の、元の位置に戻し、その位置で工具Ｔを上昇
させて回転を止めると共に冷却液の供給を止め、それと同時にテーブル１０の回転
も止めて吸着台１１の真空を開放すれば、第５図ロのように内外面の仕上げられた
ドーナツ形のデスク２０’が得られる。」
　これらの記載から、刊行物２には、次の発明が記載されていると認める。
　コア部を有するドーナツ形デスクの回転仕上げ用の工具であって、
コア部をドーナツ形の切り出しデスクの内径部に挿入しつつ、コア部のみぞ形環
状の砥石面をドーナツ形の切り出しデスクに対向させ、回転状態のコア部にドーナ
ツ形の切り出しデスクを水平方向に移動させ、上記みぞ形環状の砥石面でドーナツ
形の切り出しデスクの内面の面取りを行い、
面取り後、ドーナツ形の切り出しデスクの中心が工具の軸線に合うように水平送
りして、元の位置に戻し、その位置で工具を上昇させて面取りを終了する研削工具
であり、前記コア部の外周面にみぞ形環状の砥石面が形成されており、このみぞ形
環状の砥石面はダイヤモンド等の超硬砥粒からなる砥石面であるドーナツ形デスク
の回転仕上げ用の工具。
　
（３）刊行物５記載の発明
　刊行物５には、次の記載がある。
a　特許請求の範囲の請求項２及び３
「【請求項２】　断面形状の異なる複数の加工溝を多段に形成して成る円筒総形バ
フと、該円筒総形バフを回転駆動するバフ回転手段と、同円筒総形バフをこれの軸
方向に移動させるバフ移動手段と、ウエーハを保持してこれを回転駆動するウエー
ハ回転手段と、ウエーハを前記円筒総形バフの各加工溝に押圧するウエーハ押圧手
段を含んで構成されることを特徴とするウエーハ面取部の鏡面研磨装置。
【請求項３】　前記円筒総形バフは、その外周部に前記複数の加工溝を形成して成
る外筒総形バフであることを特徴とする請求項２記載のウエーハ面取部の鏡面研磨
装置」
ｂ　第２頁第１欄第２８行から３１行
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハ（以下、ウエーハと略称する）の
面取部を鏡面研磨する方法及び装置に関する。」
ｃ　第３頁第３欄第１４から１８行
「【００１６】更に、本発明においては、円筒総形バフの材質として、硬質ポリウ
レタン樹脂や同樹脂から成る合成皮革、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂等の比較的
硬質な弾性体材料を用いることにより、円筒総形バフの摩耗を小さく抑えてその寿
命の延長を図ることができる。」
ｄ　第４頁第６欄第３９行から第５頁第７欄第３４行
「【００３７】而して、最上段の加工溝４０ａは前述のようにその挟角θ１が２
０゜に設定されているため、図４に示すようにウエーハＷの外周面取部Ｗ１のうち
挟角θ１＝２０゜の直線ａに接触する部分が先ず最上段の加工溝４０ａによって鏡
面研磨される。
【００３８】上記のように最上段の加工溝４０ａによる鏡面研磨が終了すると、ウ
エーハ押圧手段７０のシリンダー７１の駆動が解除される。すると、吸着板５９と
ウエーハＷは板バネ６１の調心作用によってそれらの中心が回転軸５１の中心に一
致する位置まで移動せしめられるため、ウエーハＷは外筒総形バフ４０から離脱す
る。
【００３９】次に、コントローラー５０はモーター２５に制御信号を送って該モー
ター２５を駆動し、前述と同様の作用によって回転軸２１及び外筒総形バフ４０を
下降せしめる。このとき、外筒総形バフ４０の下降量（軸方向移動量）は位置セン
サー３２によって検出され、その検出信号はコントローラー５０に送信される。コ
ントローラー５０は位置センサー３２からの検出信号によって外筒総形バフ４０の
下降量を算出し、これが所定値（最上段の加工溝４０ａと２段目の加工溝４０ｂの
間のピッチＰ１）に達すると、即ち、２段目の加工溝４０ｂがウエーハＷの高さ位
置に一致した時点で、モーター２５に制御信号を送って該モーター２５の駆動を停
止して外筒総形バフ４０をその位置に停止させる。この状態でウエーハ押圧手段７
０を再び駆動すれば、ウエーハＷの外周面取部Ｗ１は２段目の加工溝４０ｂに押圧
され、該加工溝４０ｂによって鏡面研磨される。
【００４０】而して、２段目の加工溝４０ｂは前述のようにその挟角θ２が４０°
に設定されているため、図４に示すようにウエーハＷの外周面取部Ｗ１のうち挟角
θ２＝４０°の直線ｂに接触する部分が２段目の加工溝４０ｂによって鏡面研磨さ
れる。
【００４１】以後同様にしてウエーハＷの外周面取部Ｗ１を３段目の加工溝４０
ｃ、最下段のストレートな加工溝４０ｄに順次押圧すれば、該外周面取部Ｗ１は３
段目の加工溝４０ｃ、最下段の加工溝４０ｄによって順次鏡面研磨され、図４に示
すようにウエーハＷの外周面取部Ｗ１のうち挟角θ３＝６０°の直線ｃに接触する
部分、θ４＝１８０°の直線ｄに接触する部分（外周端縁）が加工溝４０ｃ，４０
ｄによって順次鏡面研磨される。
【００４２】以上のように、本実施例によれば、ウエーハＷの外周面取部Ｗ１が断
面形状の異なる複数の加工溝４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄによって順次鏡面研
磨されるため、ウエーハＷの外周面取部Ｗ１に未研磨部分が残らず、該外周面取部
Ｗ１の全面が均一に平滑鏡面化されて該ウエーハＷの品質が高められる。」
ｅ　【図２】
　図２には、次の事項が記載されている。
　円筒総形バフ４０の外周部に、上下位置に複数の加工溝が形成されていること。
　これらの記載から、刊行物５には、次の発明が記載されていると認める。
　ウエーハ面取部の鏡面研磨装置において、
　円筒総形バフの外周部には上下位置に複数の加工溝が形成されており、一の溝
は、他の異なる高さの溝に対して溝の挟角が相異なるように形成されていること。
　
８　本件発明１ないし３と刊行物１、２及び５記載の発明との対比・判断
（１）本件発明１
　まず、本件発明１と刊行物２記載の発明とを対比する。刊行物２記載の発明にお
ける「コア部」、「ドーナツ形デスク」、「内径部」、「みぞ形環状の砥石面」、
「コア部の外周面」及び「ダイヤモンド等の超硬砥粒からなる砥石面」が、それぞ
れ本件発明１における「コアー部材」、「ドーナツ状基板」、「円孔」、「環状凹
部」、「コアー部材の外周部」及び「ダイヤモンド砥石面」に相当することは明ら
かである。また、本件発明１において「該ドーナツ状基板を前記コアー部材の所定
高さに位置する環状凹部に位置させ」は、この記載の前に「コアー部材をドーナツ
基板の円孔に挿入して」との記載があることからわかるように、必ずしもドーナツ
状基板を移動させることを意味するものとは認められず、コアー部材とドーナツ基
板とを相対的に移動させることを意味するものと認められるから、刊行物２記載の
発明において「コア部のみぞ形環状の砥石面をドーナツ形の切り出しデスクに対向
させ」ることは、本件発明１において「ドーナツ状基板をコアー部材の環状凹部に
位置させ」ることに相当する。さらに、同様に刊行物２において「コア部にドーナ
ツ形の水平方向に移動させ」るは、本件発明１において「コアー部材とドーナツ状
基板との間に相対的水平運動を与え」ることに相当する。したがって、両者は次の
点で一致する。
コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して、該ドーナツ状基板を前記コアー
部材の環状凹部に位置させ、回転状態の前記コアー部材とドーナツ状基板との間に
相対的水平運動を与え、前記所定高さの環状凹部でドーナツ状基板の円孔の内周の
研削を行う研削工具であり、前記コアー部材の外周部に形成された環状凹部は、ダ
イヤモンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
　そして、本件発明１と刊行物２記載の発明は、次の２点で相違する。
（相違点１）本件発明１のコアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、この一の環状凹部は、他の異なる高さの環状凹部に対して砥石面の
ダイヤモンドの粒度が異なるように構成されるのに対し、刊行物２記載の発明で
は、コア部にみぞ形環状の砥石面が一つしか設けられていない点。
（相違点２）本件発明１では粗仕上げ研削後に、コアー部材の中心軸とドーナツ状
基板の中心軸とを接近させ、前記コアー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対
移動して、ドーナツ状基板を前記粗仕上げ研削に使用した環状凹部と異なる高さに
位置する別の環状凹部に位置させ、再度、前記コアー部材とドーナツ状基板との間
に相対的水平運動を与えてドーナツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行うのに対
し、刊行物２記載の発明ではドーナツ形の切り出しデスクを一のみぞ形環状の砥石
面に対向する位置から他のみぞ形環状の砥石面に位置合わせするために両者の相対
的移動を行う構成がない点。
　上記相違点１について検討すれば、ウエハーの面取り加工法に使用する砥石にお
いて、砥石の周縁部の上下位置に２つの凹溝を形成し、一の凹溝は、他の凹溝に対
してダイヤモンド砥粒の目の細さを異なるように形成することによって、荒研削と
仕上げ研削で凹溝を使い分けることは、上記刊行物１に記載されている。そして、
刊行物１及び２記載の発明は、どちらも、硬脆材料を用いて製造されるドーナツ状
基板の研削を行うためのものであるから、刊行物１記載の上記発明を刊行物２記載
の発明に適用することは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　さらに上記相違点２に関し、上記適用を行った場合に、ドーナツ形の切り出しデ
スクを、荒研削用の凹溝に対向した状態から、仕上げ研削用の凹溝に対向する位置
に上下方向に相対移動させる必要があることは自明の事項である。また、刊行物２
には、面取り後、ドーナツ形の切り出しデスクの中心が工具の軸心に合うように水
平送りし、工具を上昇させることが開示されている。したがって、上記適用を行っ
た場合、ドーナツ形の切り出しデスクを他の凹溝に対向する位置に上下方向に相対
移動する際には、コアー部材の軸線とドーナツ形の切り出しデスクの中心とを接近
させた後、前記コア部と前記ドーナツ状の切り出しデスクとを上下方向に相対移動
し、さらに前記コア部と前記ドーナツ状の切り出しデスクとの間に相対的水平運動
を与えて、前記コアー部をドーナツ状の切り出しデスクの内周面に当接させること
は、上記適用にあたって、当然に採用される構成である。
　そうすると、本件発明１は、上記刊行物１及び２に基づいて当業者が容易に発明
をすることができたものである。
　
（２）本件発明２
　次に、本件発明２と刊行物２記載の発明とを対比する。刊行物２記載の発明にお
ける「コア部」、「ドーナツ形デスク」、「内径部」、「みぞ形環状の砥石面」、
「コア部の外周面」及び「ダイヤモンド等の超硬砥粒からなる砥石面」が、本件発
明２における「コアー部材」、「ドーナツ状基板」、「円孔」、「環状凹部」、
「コアー部材の外周部」及び「ダイヤモンド砥石面」に相当することは明らかであ
る。また、上記８（１）に示したものと同様の理由により、刊行物２記載の発明に
おいて「コア部のみぞ形環状の砥石面をドーナツ形の切り出しデスクに対向させ」
ることは、本件発明２において「ドーナツ状基板をコアー部材の環状凹部に位置さ
せ」ることに相当する。さらに、同様に刊行物２において「コア部にドーナツ形の
水平方向に移動させ」るは、本件発明２において「コアー部材とドーナツ状基板と
の間に相対的水平運動を与え」ることに相当する。したがって、両者は次の点で一
致する。
　コアー部材をドーナツ状基板の円孔に挿入して、該ドーナツ状基板を前記コアー
部材の環状凹部に位置させ、回転状態の前記コアー部材とドーナツ状基板との間に
相対的水平運動を与え、前記所定高さの環状凹部でドーナツ状基板の円孔の内周の
研削を行う研削工具であり、前記コアー部材の外周部に形成された環状凹部は、ダ
イヤモンド砥石面であることを特徴とするドーナツ状基板の円孔研削工具。
　そして、本件発明２と刊行物２記載の発明は、次の２点で相違する。
（相違点１）本件発明２のコアー部材の外周部には上下位置に複数の環状凹部が形
成されており、この一の環状凹部は、他の異なる高さの環状凹部に対して環状凹部
の開放角が相異なるように構成されるのに対し、刊行物２記載の発明では、コア部
にみぞ形環状の砥石面が一つしか設けられていない点。
（相違点２）本件発明２では粗仕上げ研削後に、コアー部材の中心軸とドーナツ状
基板の中心軸とを接近させ、前記コアー部材とドーナツ状基板とを上下方向に相対
移動して、ドーナツ状基板を前記粗仕上げ研削に使用した環状凹部と異なる高さに
位置する別の環状凹部に位置させ、再度、前記コアー部材とドーナツ状基板との間
に相対的水平運動を与えてドーナツ状基板の円孔の内周の仕上げ研削を行うのに対
し、刊行物２記載の発明ではドーナツ形の切り出しデスクを一のみぞ形環状の砥石
面に対向する位置から他のみぞ形環状の砥石面に位置合わせするために両者の相対
的移動を行う構成がない点。
　上記相違点１について検討すれば、ウエーハ面取部の鏡面研磨装置において、円
筒総形バフの外周面に上下位置に複数の加工溝を形成し、一の溝は、他の異なる溝
に対して溝の開放角が相異なるように形成することは、上記刊行物５に記載されて
いる。そして、刊行物２及び５記載の発明は、どちらも、硬脆材料を用いて製造さ
れる円板の研削を行うためのものであるから、刊行物５記載の上記発明を刊行物２
記載の発明に適用することに困難性があったとは認められない。また、該適用によ
り、１つの加工溝にかかる研削負担が小さくなることは、刊行物２記載の発明に刊
行物５記載の発明を適用した際に、必然的に生じる効果に過ぎない。
　さらに上記相違点２に関し、上記適用を行った場合に、ドーナツ形の切り出しデ
スクを、荒研削用の凹溝に対向した状態から、仕上げ研削用の凹溝に対向する位置
に上下方向に相対移動させる必要があることは自明の事項である。また、上記した
ように、刊行物２には、面取り後、ドーナツ形の切り出しデスクの中心が工具の軸
心に合うように水平送りし、工具を上昇させることが開示されている。したがっ
て、上記適用を行った場合、ドーナツ形の切り出しデスクを他の凹溝に対向する位
置に上下方向に相対移動する際には、コアー部材の軸線とドーナツ形の切り出しデ
スクの中心とを接近させた後、前記コア部と前記ドーナツ状の切り出しデスクとを
上下方向に相対移動し、さらに前記コア部と前記ドーナツ状の切り出しデスクとの
間に相対的水平運動を与えて、前記コアー部をドーナツ状の切り出しデスクの内周
面に当接させることは、上記適用にあたって、当然に採用される構成である。
　そうすると、本件発明２は、上記刊行物２及び５に基づいて当業者が容易に発明
をすることができたものである。
　
(３）本件発明３
　本件発明３は、上記発明２において、一の環状凹部は、他の異なる高さの環状凹
部に対して粒度の異なるダイヤモンドを使用したダイヤモンド砥石面であるとの構
成を付加したものである。
　上記刊行物５記載の発明は、多段の加工溝によってウエーハの外周面取部を順次
研磨することのより、面取部の外径を順次成形するものではあるが、粗加工から仕
上げ加工へと、順次研削精度を上げるものではない。したがって、刊行物２記載の
発明に、刊行物１及び５記載の両発明を同時に適用することが容易であったとする
ことはできない。
　そうすると、本件発明３は、上記刊行物１、２及び５に基づいて当業者が容易に
発明をすることができたものとは言えない。
　また、上記刊行物３及び４には、硬脆材料製の板の研削装置において、粗加工か
ら仕上げ加工へと、他段階に研削精度を上げて順次研削することは、記載されてい
ない。
　したがって、本件発明３は、上記刊行物１ないし５に基づいても当業者が容易に
発明をすることができたものとは言えない。
　
９　むすび
　以上のとおりであるから、請求項１及び２に係る特許は、特許法第２９条第２項
の規定に違反してされたものである。
　また、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項３に係る特許が拒絶
の査定をしなければならない出願に対してされたものとすることはできない。
　したがって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６条）附則第
１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定
める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、請求項１及び２
に係る特許は取り消されるべきものであり、請求項３に係る特許は取り消すことが
できない。また、他に請求項３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
　　　　　平成１３年　９月　４日

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