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平成１４年（行ケ）６４号　審決取消請求事件　
平成１５年３月２０日判決言渡、平成１５年３月６日口頭弁論終結
判　　　　決
　　　原　　告　　　　　　　東京応化工業株式会社
訴訟代理人　　　　　　弁護士　稲元冨保、弁理士　小山有
　　　被　　告　　　　　　　特許庁長官　太田信一郎
指定代理人　　　末政清滋、辻徹二、大野克人、林栄二
　　　　　　　　　　主　　　　文
　原告の請求を棄却する。
　訴訟費用は原告の負担とする。
　　　　　　　　
　　　　　　　　　　事実及び理由
第１　当事者の求めた裁判
　特許庁が不服２０００－２０２５２号事件について平成１３年１１月２７日にし
た審決を取り消す、との判決。
第２　事案の概要
　１　特許庁における手続の経緯
　原告は、平成７年２月２７日、名称を「塗布方法」とする発明につき先の出願
（特願平６－２９５１４３号）に基づく優先権（優先権主張日平成６年１１月２９
日）を主張して特許出願（特願平７－３８３５０号）をし、拒絶査定を受けたの
で、これを不服として平成１２年１１月２１日に審判（不服２０００－２０２５２
号）を請求したが、平成１３年１１月２７日、「本件審判の請求は、成り立たな
い。」との審決があり（平成１４年１月８日発送）、その送達を受けた。
　２　本願発明の要旨（平成１３年９月１９日付け手続補正書による補正後のも
の）
【請求項１】矩形状基板の上方に連続した１本のスリットノズルを臨ませ、このス
リットノズルから塗布液を噴出しつつ矩形状基板と平行にスリットノズルを相対的
に移動させて、矩形状基板表面の略全域に塗布液を塗布した後、矩形状基板を回転
させて矩形状基板表面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめるようにした塗布方
法において、前記スリットノズルから塗布液を矩形状基板表面に向けて噴出する際
に、塗布液に圧力をかけるとともにスリットノズル下端と基板表面との間の間隔を
調整することで、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布することを特徴とする塗布方
法。
【請求項２】円板状基板の上方に連続した１本のスリットノズルを臨ませ、このス
リットノズルから塗布液を噴出しつつ円板状基板を低速で回転させて塗布液を円板
状基板表面の略全域に塗布液を塗布する際に、塗布液に圧力をかけるとともにスリ
ットノズル下端と基板表面との間の間隔を調整することで、塗布液の表面張力を抑
制しつつ塗布し、この後、円板状基板を回転させて円板状基板表面に塗布された塗
布液を均一に拡散せしめとともに、前記スリットノズルから塗布液を円板状基板表
面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめることを特徴とする塗布方法。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載の塗布方法において、塗布液の粘度は
10cP以下、塗布液にかける圧力は0.5kg/cm2
以上10kg/cm2
以下、スリットノズル下端
と基板表面との間隔は10mm以下としたことを特徴とする塗布方法。
【請求項４】請求項１乃至請求項３に記載の塗布方法において、カップ内に矩形状
基板または円板状基板をセットし、この矩形状基板または円板状基板の表面の略全
域に塗布液を塗布した後、前記カップを回転させ遠心力にて前記基板表面に塗布さ
れた塗布液を均一に拡散せしめるようにしたことを特徴とする塗布方法。
【請求項５】請求項１乃至３に記載の塗布方法において、前記矩形状基板または円
板状基板の表面の略全域に塗布液を塗布し、この後直ちに矩形状基板または円板状
基板をカップ内にセットし、次いでカップを回転させ遠心力にて前記基板表面に塗
布された塗布液を均一に拡散せしめるようにしたことを特徴とする塗布方法。
【請求項６】請求項４または請求項５に記載の塗布方法において、前記カップを回
転させ遠心力にて前記基板表面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめる際にカッ
プ上面の開口を蓋体で閉塞し、前記基板と一体的に回転させるようにしたことを特
徴とする塗布方法。
　３　審決の理由の要点
　審決は、別紙審決の写しのとおり、請求項２の発明（以下では、このものを「本
願発明」という。）は、引用例１（特開平４－３３２１１６号公報。甲第３号
証。）に記載された発明（以下、「引用発明」という。）及び周知の技術に基づい
て当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法２９条２
項の規定により特許を受けることができない、とした。
　上記の結論を導くに当たり審決のした本願発明と引用発明との一致点及び相違点
の認定は、以下のとおりである。
　　　引用例１の「ウエハ」、「ポリイミド」、「滴下」、「ゆっくり回転させな
がら」及び「膜厚形成のためにウエハを高速回転させる」が、本願発明の「基
板」、「塗布液」、「噴出」、「低速で回転させて」及び「基板を回転させて基板
表面に塗布された塗布液を均一に拡散せしめる」に相当する。
　　　また、引用例１では、図１から、ウエハが一回転すれば基板表面の略全域に
塗布液が適用されていることは、明らかである。また、引用例１の記載事項から、
引用例１のものに「塗布方法」が記載されていることも明らかである。
　　　したがって、両者は、以下の点で一致し、相違点１ないし５で相違する。
　　【一致点】　基板の上方にスリットノズルを臨ませ、このスリットノズルから
塗布液を噴出しつつ基板を低速で回転させて塗布液を基板表面の略全域に塗布液を
適用する際に、塗布液に圧力をかけ、この後、基板を回転させて基板表面に適用さ
れた塗布液を均一に拡散せしめることを特徴とする塗布方法。」
　【相違点】
　　相違点１：本願発明は、基板が「円板状基板」であるのに対し、引用例１に
は、「円盤状」の記載がない点。
　　相違点２：本願発明は、スリットノズルが「連続した１本のスリットノズル」
であるのに対し、引用例１では、スリットノズルは仕切壁９ａによりこまかく仕切
られている点。
　　相違点３：本願発明は、塗布液を適用するのに「塗布」しているのに対し、引
用例１では、「滴下」している点。
　　相違点４：本願発明は、スリットノズル下端と基板表面との間隔を調整してい
るのに対し、引用例１には、その点の記載がない点。
　　相違点５：本願発明は、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布しているのに対
し、引用例１には、その点の記載がない点。
第３　原告主張の審決取消事由の要点
　原告が争う点は、審決の理由欄の「３．対比」の項のうち、審決書２頁末行から
３頁１３行まで（一致点の認定）、及び相違点４、５の判断である。その余は争わ
ない。
　本願発明は、低粘度の塗布液を基板に塗布する場合に、ノズルと基板との間で塗
布液が連続した状態で行うとした点で既に引用発明と相違している。本願発明は、
上記の点を前提として、「塗布液に圧力をかけるとともにスリットノズル下端と基
板表面との間隔を調整することで、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」こと
を要件としたものであり、この点について当業者が適宜採用し得る最適な条件で塗
布を実行したにすぎないとした審決は、本願発明が表面張力に着目した最初の発明
であることを見落とし、本願発明の想到容易性についての判断を誤ったものである
から、取り消されるべきである。
１　取消事由１：本願発明と引用発明との一致点の認定の誤り
　（１）引用発明における塗布液は【0004】、【0009】に記載されるようにポリイ
ミドなどの高粘度の液体であり、高粘度の液体は表面張力よりも粘性力の方が大き
く、表面張力によってノズルと基板との間の塗布液の連続性が維持されるものでは
ない。引用発明において圧力をかけるのは、高粘度の液体を押し出すためであり、
圧力をかける対象はタンク８内に入っている塗布液である。
　一方、本願発明で圧力をかける目的は、ノズルと基板との問に保持されている塗
布液の表面張力を抑制するためであり、当然、圧力がかけられる対象はノズルと基
板との間に保持されている塗布液である。
　本願の請求項には単に「塗布液」と記載しているが、本願発明の塗布液は、圧力
をかけることで表面張力が抑制されるものであるから、当然低粘度の塗布液という
ことになる。
　したがって、審決が、「塗布液に圧力をかける」点のみを抽出して本願発明と引
用例１とが一致するとしたことは、誤りである。
　（２）被告は、圧力をかける対象は引用例１と本願発明とも塗布液であることに
変わりはないと主張する。しかし、引用発明における塗布液に圧力をかけても高粘
度であるため、ビード部（ノズル先端と基板表面との間の液溜まり部）の体積は変
化しないが、本願発明にあっては圧力をかけることでビード部の体積が変化するの
で、両者は異なる。
　（３）本願発明は、低粘度塗布液の表面張力に着目した塗布方法の最初の発明で
ある。本願発明は、低粘度塗布液の塗布には表面張力が大きなファクターになって
いることを指摘した最初の文献である甲第４号証（月刊　ＦＰＤ　Intelligence
1999.1　技術水準示す文献である。）が公知となるよりも５年も先に出願されてい
る（もっとも、甲第４号証では表面張力を塗膜の端部の厚みが厚くなる原因として
捉え、本願発明では表面張力をノズルと基板との間の塗布液を連続した状態とする
要素として捉えている点が異なる。）。
　すなわち、本願発明は「塗布液に圧力をかけるとともにスリットノズル下端と基
板表面との間隔を調整することで、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」を特
徴としているのであり、審決は、この内容を誤認している。
　２　取消事由２：相違点４についての容易性判断の誤り
　（１）相違点４について、審決は、ノズル下端と基板表面との間隔を調整するこ
とは従来周知の技術事項であり、これを引用例１のものに適用するのは当業者にと
って容易であると判断し（審決４頁１２～２５行）、周知技術を示す文献として引
用例２（特開昭５９－２１３１３０号公報。甲第６号証）、特開平４－１１８０７
３号公報（甲第９号証）及び特開平６－１５１２９６号公報（甲第１０号証）を挙
げている。
　（２）しかし、引用例２（甲第６号証）に開示された内容は、ノズル先端と基板
との間隔Ａを広くすることで基板の搬送を容易かつ安全に行えるというものであり
（甲第６号証２頁右下欄１３～１５行）、本願発明のように塗布液の連続性が途切
れない範囲で間隔を広くするのとは「調整する」の意味が異なる。
　甲第９号証に開示された内容は、コーティング材と塗布ヘツドとの間隔を測定
し、コーティング材が所定の厚さになるように基板の高さを調整するというもので
あり（甲第９号証４頁右下欄１１～１７行）、塗布液の連続性が途切れないように
しつつ間隔を広げるものではない。
　甲第１０号証のものは、段落【0018】に「吐出ノズル14は前方のガラス液溜16aを
押しながらウエハ12の表面に沿って進み」と記載され、また図１からも明らかなよ
うに、吐出ノズル14の下面で高粘度の液状ガラスをウエハ12表面に押し付けながら
塗布するようにしているのであり、吐出ノズル14の下面とウエハ12との間隔は、形
成される塗膜の膜厚と等しいかそれ以下である。
　（３）本願発明は、審決が周知技術を示す例として挙げた上記のものとは異な
り、例えば表面に２０μｍ前後の凹凸を有する基板の表面に１０μｍ程度の塗膜を
形成しようというものであり、ノズルとウエハ（基板）との間隔で塗膜の厚さを決
定するものではない。ノズルとウエハ（基板）との間隔で塗膜の厚さを決定しよう
とすると、例えば凹凸２０μｍの基板表面に厚さ１０μｍの塗膜を形成することは
できない。
　本願発明の「ノズル下端と基板表面との間隔を調整する」という構成は、「塗布
液の表面張力を抑制しつつ塗布」する構成と不可分の関係にある。ノズル下端と基
板表面との間の塗布液が途切れると、加圧力がノズル下端と基板表面との間に保持
されている塗布液まで伝わらず表面張力を抑制することはできない。そこで、ノズ
ル下端と基板表面との間の塗布液が途切れる限界よりは間隔を小さくして（調整し
て）連続性を維持しつつ、塗布液の表面張力を抑制するというものである。
　甲第６号証、甲第９号証、甲第１０号証のいずれにも、上に述べたような意味で
の「ノズル下端と基板表面との間隔を調整する」ことについての開示はない。
　（４）被告は、ノズル下端と基板表面との間において「塗布液の連続性が途切れ
ないように塗布する」という点は本願発明の構成に基づかないとし、同時に、乙第
１号証ないし乙第４号証を挙げて「連続性が途切れないように塗布する」ことは周
知であると主張するが、被告の主張は矛盾している。「連続性が途切れないように
塗布する」ことが周知であるならば、特に特許請求範囲に記載されている必要はな
い。原告も「連続性が途切れないように塗布する」のが周知であることは、認識し
ており、「連続性が途切れないように塗布する」ための手段として、塗布液に圧力
を加えて表面張力を抑制しているのである。
　また、被告は、「乙第１号証には、ビード部を適当な大きさに保つには液圧が主
要なパラメータであることが記載されている」と主張するが、誤りである。
　また、本願明細書の図３には、スリットノズル６が塗布液10を基板Ｗに押し付け
ている状態が示されていると主張するが、図３からはそのような状態は認められな
い。実施例は低粘度のホトレジスト液を用いており、このような低粘度の塗布液
が、スリットノズル６で基板表面に押し付けられるわけがない。
　甲第１０号証のように高粘度塗布液をノズルが基板に押し付ける場合には、ノズ
ルと基板との間隔で塗膜の厚さが決定されるが、低粘度の塗布液の場合には、塗膜
の厚さは塗布液の供給量と相対速度で決定されるのであり、これは、甲第４号証お
よび被告が提出した乙第２号証からも明らかである。
　３　取消事由３：相違点５についての容易性判断の誤り
　（１）相違点５について審決は、塗布液の粘度、塗布速度、塗膜の必要膜厚等に
応じて、塗布液の加圧圧力、ノズルと基板面の間隔等を調整し、最適な条件で塗布
を実行することは当業者にとって当然のことであり、また最適な条件で塗布を実行
すれば、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布していることになるから、「塗布液の
表面張力を抑制しつつ塗布」した点は格別の構成ではなく、そのような限定を付す
ことは、当業者にとって容易なことである（審決４頁２６行～５頁２行）、と判断
したが、誤りである。
　（２）スリットノズルを用いた塗布方法において、塗布液が高粘度の場合と低粘
度の場合とでは、全く異なる挙動を示し、前者では表面張力を無視することができ
たが、後者では表面張力が大きなファクターとなる。
　このことについて初めて触れた文献が１９９９年に発行された甲第４号証である
ことは既に述べた。この文献中では、中外炉工業が１９９６年４月からテーブルゴ
ータ（スリットノズルを用いた塗布装置）をＰＤＰ用及びＬＣＤ用として約２０台
販売したが、結局のところ、ＬＣＤ用については表面張力に起因する問題があるこ
とを指摘するに止まっている。
　審決では、最適な条件で塗布を実行すれば、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布
したことになると認定しているが、加圧によって塗布液の表面張力を抑制するに
は、ノズル下端と基板との間の塗布液が連続していることが要件となる。この連続
した状態について示しているのは、甲第１０号証（特開平６－１５１２９６号公
報）のみである。しかも、甲第１０号証に開示される塗布液は表面張力の影響のな
い高粘度のＳＯＧ（液状ガラス）であり、更に膜厚がノズル下面と基板との間隔に
等しいかそれ以下となっており、この甲第１０号証から、表面張力を抑制するとい
う考えは全く出てこない。
　高粘度の塗布液にあっては、粘性が強いため必然的にノズルと基板との間におい
て塗布液が連続した状態になる。一方、低粘度の塗布液は、連続した状態になりづ
らく、引用例３（特開昭６３－２７４１５０号公報。甲第７号証）の図２に示すよ
うに、基板の表面に塗布液の液滴を落下させるようにしている。このように液滴状
に分離した塗布液に対して表面張力を抑制することはできない。また、レジスト液
（低粘度塗布液）を塗布液としている甲第８号証（特開平６－２６０４０４号公
報：審決における引用例４）にあっても、ノズルと基板との間に塗布液が連続して
いる旨の記載はなく、むしろ「滴下」なる記載から液滴を落下させていると推察さ
れる。
　（３）被告は、本願発明において表面張力が大きなファクターになるとの原告の
主張は発明の構成に基づかない主張であると反論しているが、特許請求の範囲に記
載される発明の構成からみて、表面張力が大きなファクターになるのは明らかであ
る。この点に着目した本願発明の相違点５に係る「塗布液の表面張力を抑制しつつ
塗布」する構成は、格別なものである。
第４　被告の反論の要点
　本願明細書には塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布を行うことが具体的にどのよ
うなことであるのか記載がない。また、表面張力を抑制することと、塗布液にかけ
る圧力、あるいは、表面張力を抑制することと、ノズル下端と基板表面との間隔、
あるいは、これら３者がどのように関係するのかについても具体的な記載がない。
　原告は様々な前提と仮定の下に、本願明細書の特許請求の範囲、発明の詳細な説
明の記載を逸脱して説明・主張をしているが、いずれも根拠のないものであり、審
決の認定判断に誤りはない。
　１　取消事由１（本願発明と引用発明との一致点の認定誤り）に対して
　原告の主張は本願発明の構成に基づかないものであり、審決の本願発明と引用発
明との一致点の認定に誤りはない。
　原告は、本願発明における塗布液は、圧力をかけることで表面張力が抑制される
ものであるから、当然低粘度の塗布液ということになる、と主張しているが、本願
発明の構成に基づかない主張である。
　また、原告は、引用例１において圧力をかける対象はタンク８内に入っている塗
布液であるが、本願発明では、圧力をかける目的はノズルと基板との間に保持され
ている塗布液の表面張力を抑制するためであるから、当然、圧力がかけられる対象
はノズルと基板との間に保持されている塗布液である旨主張する。しかし、本願明
細書の段落【0020】の「スリットノズル６には加圧装置７を介して塗布液が供給さ
れ、またスリットノズル６の構造としては、図３に示すような１本のノズル孔８を
有する構造に限らず、・・・」との記載及び図３を参照すれば、本願発明でもノズ
ルの上方から塗布液に圧力をかけている。圧力をかける対象が異なるという原告の
主張は失当である。
　甲第４号証は、何ら本願出願前の技術水準を明らかにするものではない。
　２　取消事由２（相違点４についての判断の誤り）に対して
　（１）原告は種々主張するが、いずれも本願発明の構成に基づかない主張であ
る。ノズル下端と基板表面との間隔を調整することは、審決の「相違点４につい
て」で述べられているように従来周知の技術事項である。この周知の技術事項を引
用発明に適用してスリットノズル下端と基板表面との間隔を調整することは、当業
者にとって容易なことである、とした審決の判断に誤りはない。
　（２）付言すれば、ノズル吐出端と被塗布表面との間の塗布液が途切れないよう
に塗布することは、本願発明の構成に基づかない構成ではあるが、そのような構成
は、乙第１号証（特開昭６２－１１７６６６号公報２頁左下欄１～１４行目）、乙
第２号証（特開平４－６１９５８号公報６頁右上欄下から３行～左下欄１２行目、
同７頁右上欄１～１１行目、及び図４、５）、乙第３号証（特開平４－１３９６３
３号公報２頁左上欄末行～左下欄６行目）、及び乙第４号証（特開平５－１３３２
０号公報左欄４４行～右欄９行目））にあるように、従来周知の構成である。
　特に、乙第１号証には、ビード部（液だまり部）を適当な大きさに保つために
は、液圧が主要なパラメータであることが記載され、乙第２号証には、ビード６６
を保持しながら塗布した点が記載され、乙第３号証には、ノズル開口部と基板との
間に生じる表面張力により塗布液が基板側に転移される旨記載され、乙第４号証か
らは、「ノズル３底面突出部と半導体ウエハ１表面との微少間隔」及び「噴出する
のではなく、例えば毛細管現象に類似する如く、滲み出る」の文言から塗布液が途
切れていないことが理解される。
　３　取消事由３（相違点５についての判断の誤り）に対して
　原告は種々主張するが、いずれも本願発明の構成に基づかないものである。塗布
液の表面張力を抑制しつつ塗布することは、格別の構成でなく、当業者にとって容
易なことであるとした審決の判断に誤りはない。
第５　当裁判所の判断
　１　取消事由１（本願発明と引用発明との一致点の認定の誤り）について
　（１）原告は、本願発明の塗布液は、圧力をかけることで表面張力が抑制される
ものであるから当然低粘度の塗布液であるのに対し、引用発明の塗布液は高粘度の
塗布液であって圧力をかけることで表面張力が抑制されるものではないから、両者
は相違するのであって、審決が両発明を「塗布液に圧力をかける点」で一致すると
したことは、一致点の認定を誤ったものであると主張する。
　（２）本願明細書（甲第２、第３号証）の特許請求の範囲【請求項２】の記載
は、「円板状基板の上方に連続した１本のスリットノズルを望ませ、このスリット
ノズルから塗布液を噴出しつつ円板状基板を低速で回転させて塗布液を円板状基板
表面の略全域に塗布する際に、塗布液に圧力をかけるとともにスリットノズル下端
と基板表面との間隔を調整することで、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布
し、・・（中略）・・塗布された塗布液を均一に拡散せしめることを特徴とする塗
布法。」というものであり、塗布液を低粘度のものに限定する記載はない。
　また、本願明細書の発明の詳細な説明欄には、塗布液に関して、「塗布液の表面
張力を抑制する手段としては、スリットノズル下端と基板表面との間隔を小さくし
且つ塗布液に圧力をかけることが挙げられる。具体的な数値で示せば、塗布液の粘
度が１０ｃｐ以下のときには、塗布液にかける圧力は０．５ｋｇ／ｃｍ２
以上１０ｋ
ｇ／ｃｍ２
以下、スリットノズル下端と基板表面との間隔は１０ｍｍ以下とする。」
（【００１１】）との説明、実施例についての「塗布液の表面張力に関与するファ
クターとしては、①塗布液の粘度（ｃＰ）、②塗布液にかける圧力（ｋｇ／ｃｍ２
）、③スリットノズル下端と基板表面との間隔（ｍｍ）、④ノズルの移動速度、⑤
基板の表面粗度、⑥温度等が考えられる。例えば、カラーフィルター用のフォトレ
ジストについて考察すると、通常の粘度は１０ｃＰ以下である。このような１０ｃ
Ｐ以下の塗布液に対して、上記の条件④～⑥を固定した場合、塗布液にかける圧力
Ｐは０．５（ｋｇ／ｃｍ２
）以上１０（ｋｇ／ｃｍ２
）以下、スリットノズル下端と
基板表面との間隔は１０（ｍｍ）以下とするのが好ましい。」（【００２４】、
【００２５】）との説明、及び粘度６．５ｃｐのカラー用フォトレジストを塗布す
る実施例（【００２７】、【００２８】表１）が記載されていることが認められる
が、挙げられた塗布液の粘度はスリットノズル下端と基板表面との間隔との相関関
係における数値にすぎず、しかも、塗布液の粘度の例示にすぎないものであって、
本願発明における塗布液を低粘度のものに限定する趣旨の記載は、本願明細書中に
見いだすことができない。
　したがって、本願発明の塗布液が低粘度のものに限定されると認めることはでき
ない。
　（３）原告は、圧力をかけることで表面張力が抑制されるということから、当
然、塗布液は低粘度であることが理解されると主張する。しかし、この点に関し、
本願明細書には、「【発明の効果】・・・このスリットノズル下端と基板表面との
間隔を小さくし且つ塗布液に圧力をかけつつ塗布するようにしたので、基板表面に
接触したときの塗布液に表面張力を相殺する力が作用することとなり・・・」
（【００３６】）と記載されているのみであって、本願明細書の記載からは、表面
張力を相殺する力が作用するメカニズムと塗布液が低粘度であることとの関係は不
明であるといわざるを得ない。また、原告の主張するような理解が当業者の技術常
識であることを示す証拠も存在しない。原告の上記主張は採用することができな
い。
　原告は、また、本願発明はノズルと基板との間に保持されている塗布液の表面張
力を抑制するために圧力をかけるので、圧力をかける対象はノズルと基板との間の
塗布液であり、ノズルの上方から圧力をかける引用発明とは圧力をかける対象が異
なると主張するが、本願明細書の「スリットノズル６には加圧装置７を介して塗布
液が供給され、またスリットノズルの構造としては、図３に示すような１本のノズ
ル孔８を有する構造に限らず・・・」（【００２０】）との記載及び図３によれ
ば、本願発明においてもノズルの上方から塗布液に圧力をかけていることが認めら
れるから、圧力をかける対象が異なるということはできない。
　（４）以上説示したところによれば、本願発明と引用発明とが「・・・塗布液を
適用する際に、塗布液に圧力をかけ、この後、基板を回転させて基板表面に適用さ
れた塗布液を均一に拡散せしめることを特徴とする塗布方法。」の点で一致すると
した審決の認定に誤りはない。
　原告主張の取消事由１は理由がない。
２　取消事由２（相違点４についての判断の誤り）について
　（１）本願発明と引用発明との相違点４（引用例１にはスリットノズル下端と基
板表面との間隔を調整することについて記載がない点）についての審決の判断は、
「ノズル下端と基板表面との間隔を調整することは従来周知の技術事項（甲第６、
９、１０号証）であり、これらはいずれも基板への塗布に用いるものであるので、
引用例１のものに適用して、スリットノズル下端と基板表面との間隔を調整するこ
とは、当業者にとって容易なことである。」
というものである。
　（２）原告は、審決が周知技術を示す文献として挙げたものは、いずれも本願発
明のようにノズル下端と基板表面との間で塗布液の連続性が途切れない範囲で間隔
を調整するものではなく、「調整」の意味が異なると主張する。
　しかしながら、「塗布液の連続性が途切れない範囲で間隔を調整する」ことにつ
いては、本願明細書の特許請求の範囲に記載されておらず、また、発明の詳細な説
明欄の記載を検討しても、本願発明が「塗布液の連続性が途切れない範囲で間隔を
調整する」ものであることを示唆する記載は見いだすことができない。したがっ
て、「調整」が前記のとおり限定された意味内容のものであるとする原告の主張
は、本願明細書及び図面の記載に基づかないものといわざるを得ず、採用すること
ができない。
　（３）スリットノズル下端に対して基板を移動（回転）させながらスリットノズ
ルから塗布液を噴出させ、基板表面に塗布液を塗布する場合に、塗布状態を良好な
ものとするべく、スリットノズル下端と基板表面との間の間隔を適宜調整すること
は、所期の塗布状態を得る上で、ごく自然に行われるものである。さらに、乙第１
ないし第４号証（特開昭６２－１１７６６号公報、特開平４－６１９７８号公報、
特開平４－１３９６３３号公報及び特開平５－１３３２０号公報）によれば、ノズ
ル吐出端と被塗布表面との間の塗布液が途切れないように塗布することも周知技術
であると認められる（原告も争わない。）。
　そうすると、引用発明に上記周知の技術事項を適用して相違点４に係る構成とす
ることは当業者の容易になし得たことというべきである。これと同旨の審決の判断
に誤りはない。
　原告主張の取消事由２は理由がない。
　３　取消事由３（相違点５の判断の誤り）について
（１）本願発明と引用発明との相違点５（引用例１には、塗布液の表面張力を抑
制しつつ塗布していることの記載がない点）についての審決の判断は、
　　　　「ノズルから塗布液を塗布する場合に、塗布液の粘度、塗布速度、塗膜の
必要膜厚（「圧」は誤記と認められる。）等に応じて、塗布液の加圧圧力、ノズル
と基板面の間隔等を調整し、最適な条件で塗布を実行することは、当業者にとって
当然のことであり、格別の創意を要するものではない。
　　　　　本願明細書の発明の効果の欄には、塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布
する点について、『スリットノズル下端と基板表面との間隔を小さくし且つ塗布液
に圧力をかけつつ塗布したので、基板表面に接触したときの塗布液の表面張力を相
殺する力が作用することになり』と記載され、前述のように、塗布液の加圧圧力、
ノズルと基板面の間隔等を調整し、最適な条件で塗布を実行すれば、結果として、
塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布していることになるといえる。
　　　　　したがって、「塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布」した点は、格別の
構成ではなく、そのような限定を付すことは、当業者にとって容易なことである。
　　　　　また、本願発明の効果も引用例１の記載及び上記の周知技術から予測さ
れる程度のものにすぎない。」
　というものである。
　（２）原告は、「塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」とは、ノズル下端と
基板表面との間で連続した状態になりにくい低粘度の塗布液を、加圧により、ノズ
ル下端と基板表面との間の塗布液が連続した状態で、塗布することを意味している
旨主張し、このような表面張力に着目してなされた相違点５に係る本願発明の構成
は、相違点４に係る構成と一体に理解されるべきもので、格別な構成であると主張
する。　
　（３）しかしながら、「塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」ことに関連す
る説明としては、本願明細書中に「塗布液の表面張力を抑制する手段としては、ス
リットノズル下端と基板表面との間隔を小さくし塗布液に圧力をかけることが挙げ
られる。」（【００１１】）、「【作用】スリットノズルと基板表面との間隔を小
さくし且つ塗布液に圧力をかけることで、基板表面に接触したときの塗布液に表面
張力を相殺する力を与えることになる。」（【００１５】）、「・・・塗布液を薄
くかつ均一に塗布しておくことが好ましい。このためにはガラス基板表面に向けて
塗布液を噴出する際に、塗布液の表面張力を抑制しつつ行うようにすればよい。」
（【００２３】）、「【発明の効果】・・・このスリットノズル下端と基板表面と
の間隔を小さくし且つ塗布液に圧力をかけつつ塗布するようにしたので、基板表面
に接触したときの塗布液に表面張力を相殺する力が働くことになり、・・」（【０
０３６】）と記載されているのみである。
　そして、「塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」ことを実現するために考慮
すべき各種塗布条件については、何ら特定されていないから、それらは当業者が適
宜選択するところに委ねられていると解される。
　そうすると、本願発明の相違点５に係る構成は、その具体的手段が特定されてい
ないものであるから、当業者が塗布を行うに際して、良好な塗布状態を得るべく試
みるであろう条件設定のすべてを包含するものとして理解せざると得ない。
　してみれば、本願明細書に表面張力を抑制する手段として記載された「スリット
ノズル下端と基板表面との間隔を小さくし且つ塗布液に圧力をかけつつ塗布」する
ことと、「塗布液の加圧圧力、ノズルと基板面の間隔等を調整し、最適な条件で塗
布を実行」すること（審決）との間に画然たる差異は存在しないというべきであ
り、引用発明においても、良好な塗布状態を得るべく、塗布条件は適宜選択される
ものであって、最適な塗布条件が選択されていれば、結果として、塗布液の表面張
力を抑制しつつ塗布していることになるというべきである。
　（４）なお、原告は、本願発明の「塗布液の表面張力を抑制しつつ塗布する」と
の構成に関して、この構成は、塗布液が低粘度であること、ノズル下端と基板表面
との間の塗布液の連続が途切れないように塗布することを前提としている旨主張す
るが、それらの主張が本願発明の構成に基づかない主張として採用し得ないことは
既に説示したとおりであり、その前提に立って本願発明の相違点５に係る構成が格
別のものであるとする原告の主張も採用することができない。
　（５）以上のとおりであるから原告主張の取消事由３は理由がない。
第６　結論
　以上のとおり、原告主張の取消事由１ないし３はいずれも理由がなく、他に審決
を取り消すべき瑕疵は認められない。
　原告の請求は棄却されるべきである。
東京高等裁判所第１８民事部
　　　　　　　裁判長裁判官　　　　　塚　　　原　　　朋　　　一
裁判官　　　　　古　　　城　　　春　　　実
　　　　　　　　　　裁判官　　　　　田　　　中　　　昌　　　利

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