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平成１９年１０月３１日判決言渡
平成１９年(行ケ)第１００６２号審決取消請求事件
平成１９年９月１２日口頭弁論終結
判決
原告独立行政法人科学技術振興機構
１原告Ｘ
２原告Ｘ
原告ら訴訟代理人弁理士小林良平
被告特許庁長官肥塚雅博
同指定代理人正山旭
同岡和久
同小池正彦
同大場義則
主文
１原告らの請求を棄却する。
２訴訟費用は原告らの負担とする。
事実及び理由
第１請求
特許庁が不服２００４−２４９００号事件について平成１８年１２月２１日
にした審決を取り消す。
第２事案の概要
１特許庁における手続の経緯
原告らは，発明の名称を「プラズマ生成装置」とする発明につき，平成１５
年１月２３日，特許を出願（以下「本願発明」という。）し，平成１６年７月
１２日付け手続補正書により明細書の補正をしたところ，同年１０月２０日付
けの拒絶査定を受けた。そこで，原告らは，平成１６年１２月６日，これに対
する不服の審判請求（不服２００４−２４９００号事件）をすると共に，平成
１７年１月５日付け手続補正書を提出した（以下この補正を「本件補正」とい
う。）。特許庁は，平成１８年１２月２１日，本件補正を却下すると共に，
「本件審判の請求は，成り立たない。」との審決をした。
２特許請求の範囲の記載
(1)平成１７年１月５日付け手続補正書による補正後の本願発明の請求項１，
２，１０（以下「本願補正発明１」，「本願補正発明２」，「本願補正発明
１０」等という。請求項の数は全部で１１項である。）は，以下のとおりで
ある。
【請求項１】
a)真空容器と，
b)前記真空容器内にグループ分けして設けられた複数個の高周波アンテナ
であって，各グループが１個の高周波電源に並列に接続されている高周波
アンテナ群と，
c)各々の高周波アンテナに接続した，各アンテナ毎の電流又はアンテナ電
極間の電圧を調節するインピーダンス素子と，
を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項２】
a)真空容器と，
b)前記真空容器内に設けられ，１個の高周波電源に並列に接続された複数
の高周波アンテナと，
c)各々の高周波アンテナに接続した，各アンテナ毎の電流又はアンテナ電
極間の電圧を調節するインピーダンス素子と，
を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項１０】
真空容器内にグループ分けして設けられた複数個の高周波アンテナであっ
て，各グループが１個の高周波電源に並列に接続されている高周波アンテナ
群を備えたプラズマ生成装置において，各々の高周波アンテナにインピーダ
ンス素子を接続し，各インピーダンス素子のインピーダンス値を調節するこ
とによって該真空容器内のプラズマ密度分布を制御することを特徴とするプ
ラズマ制御方法。
(2)本件補正前の本願発明の請求項１，２，１１（以下「本願発明１」，
「本願発明２」，「本願発明１１」等という。請求項の数は全部で１２項で
ある。）は，以下のとおりである。
【請求項１】
a)真空容器と，
b)前記真空容器内に設けた複数の高周波アンテナと，
c)各々の高周波アンテナに接続した，各アンテナ毎の電流又はアンテナ電
極間の電圧を調節するインピーダンス素子と，
を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項２】
複数個の高周波アンテナが１個の高周波電源に並列に接続されていること
を特徴とする請求項１に記載のプラズマ生成装置。
【請求項１１】
真空容器内に複数の高周波アンテナを備えたプラズマ生成装置において，
各々の高周波アンテナにインピーダンス素子を接続し，各インピーダンス素
子のインピーダンス値を調節することによって該真空容器内のプラズマ密度
分布を制御することを特徴とするプラズマ制御方法。
(3)本願補正発明１，１０は，それぞれ本願発明１，１１を減縮するもので
あるが，これに対し，本願補正発明２は本願発明２と同じである（当事者間
に争いはない。）。
３審決の内容
別紙審決書の写しのとおりである。
審決は，本願補正発明２についてのみ検討し，同発明は，特開２００１ー３
５６９７号公報（甲１２，以下「刊行物１」という。）及び周知例（甲１３な
いし１５，以下順に，「周知例１」，「周知例２」，「周知例３」といい，こ
れらを併せて「本件各周知例」という場合がある。）記載の周知技術に基づい
て，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法２９条２項の
規定により独立して特許を受けることができないから，本件補正は却下すべき
ものであり，また，本願発明２も，刊行物１及び上記周知技術に基づいて，当
業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規
定により特許を受けることができない，と判断した。
審決は，引用発明の内容，本願補正発明２（本願発明２）と引用発明との一
致点及び相違点を，それぞれ，以下のとおり認定した。
⑴引用発明の内容
「真空容器と，前記真空容器内に設けられ，１個の高周波電源に並列に接
続された複数の直線状アンテナ１８ａ∼１８ｆとを備えたプラズマ発生装
置。」
(2)一致点
「真空容器と，前記真空容器内に設けられ，１個の高周波電源に並列に接
続された複数の高周波アンテナと，を備えたプラズマ生成装置」である点。
(3)相違点
本願補正発明２が，各々の高周波アンテナに接続した，各アンテナ毎の電
流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子を備えているの
に対し，引用発明では，そのような構成のない点。
第３取消事由に係る原告らの主張
本件審決は，周知例の認定等の誤り（取消事由１），相違点についての容易
想到性の判断の誤り（取消事由２），本願補正発明２に関する手続的瑕疵（取
消事由３）があり，これらの理由により取り消されるべきである。
１取消事由１（周知例の認定等の誤り）
(1)周知例１，２について
ア周知技術は，その技術分野において一般的に知られている技術であって，
例えば，これに関し，相当多数の公知文献が存在し，又は業界に知れわた
り，あるいは，例示する必要がない程よく知られている技術を指すという
べきである。しかし，周知例１，２は，２件の公知文献にすぎず，「業界
に知れわたり，あるいは，例示する必要がない程よく知られている技術」
に該当しないので，周知技術とはいえない。審決には，周知技術の記載さ
れていない文献を周知例とした点において誤りがある。
イ周知例１，２は，審決において初めて出願人（原告ら）に提示された。
周知例１，２については，審判の過程で，新たに拒絶理由通知を発した上
で，出願人（原告ら）に反論・補正の機会を与えるべきであったにもかか
わらず，審決をした点において違法がある。
(2)周知例３について
審決は，周知例３の「インピーダンス整合器」が，本願補正発明２の「イ
ンピーダンス素子」に相当すると認定するが，誤りである。
周知例３のインピーダンス整合器は，個々のアンテナにおける入力インピ
ーダンスと出力インピーダンスを整合させるものにすぎず，それが接続され
たアンテナに供給される電力を抑制することや他のアンテナに供給される電
力と比較して電力を増加又は減少させるという機能を持つものではない。
これに対して，本願補正発明２におけるインピーダンス素子は，各アンテ
ナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するものであり，必要に応じて
アンテナに供給される電力を抑制したり，他のアンテナとの間で電流及び／
又は電圧に差を生じさせる動作を可能とするものである。したがって，周知
例３記載のインピーダンス整合器は，本願補正発明２の「インピーダンス素
子」に相当するものではない。
２取消事由２（相違点についての容易想到性の判断の誤り）
(1)周知例１のコイル２１∼２４は，その順に径が増加する異径の円状コイ
ルであり，コイルユニット２０内で同心円状に内周側から外周側へ並べて設
置されるものである。このように各コイルの径が異なること，及びコイルの
内側に他のコイルが存在したりコイルの外側が他のコイルにより囲まれるこ
とにより，インダクタンス（自己インダクタンス及び相互インダクタンス）
が各コイル毎に異なる値となる。インダクタンスの値が異なるコイルを同時
に使用すると，各コイルにより生成されるプラズマの密度も当然コイル毎に
異なる。このような前提条件の下では，均一なプラズマを形成するためにコ
イル毎に電流・電圧の調整を行うことは当然である。周知例２も同様である。
これに対して，引用発明の「マルチ型直線状アンテナ」は，各アンテナが
同じ形状を有し，かつ他のアンテナに囲まれたり，他のアンテナを囲むこと
はない。したがって，各アンテナのインピーダンスは等しいものと推測され
るから，引用発明の「マルチ型直線状アンテナ」には，上記の前提条件が存
在しないため，刊行物１と周知例１，２とを組み合わせる動機もない。
したがって，本願補正発明２は，当業者が刊行物１及び周知例１，２の記
載に基づいて本願補正発明２を容易に想到することができたものではない。
(2)引用発明の「マルチ型直線状アンテナ」は，現実には，プラズマ生成装
置内における温度分布による影響や，高周波アンテナが並ぶ方向にプラズマ
が拡散することの影響により，プラズマ密度に不均一性が生じる。このよう
な引用発明における解決課題は，本願発明者が発見したのであり，解決課題
の発見なくして本願補正発明２を想到することは，当業者にとって困難であ
るといえる。
したがって，当業者が刊行物１及び周知例１，２の記載に基づいて本願補
正発明２を容易に想到することができたものとはいえない。
３取消事由３（本願補正発明２に関する手続的瑕疵）
審決は，本願補正発明２が独立特許要件を欠くことを理由として，本件補正
を却下した。本願補正発明２は，限定的減縮がされていないのであるから，特
許出願の際の独立特許要件を満たすものではないことを理由として補正を却下
したのは誤りである。
なお，この点については，特許・実用新案審査基準（甲１６。以下単に「審
査基準」という。）には，独立特許要件について「この要件が課されるのは限
定的減縮に相当する補正がされた請求項のみであり，これに相当しない『誤記
の訂正』又は『明りょうでない記載の釈明』のみの補正がなされた請求項及び
補正されていない請求項については，独立して特許を受けることができない理
由が存在する場合において，それを理由として補正を却下してはならない。」
とされている。
本件において，本願補正発明２について独立特許要件がないとの理由により
本件補正を却下した結果，限定的減縮がされた本願補正発明１について，本来，
独立特許要件の有無を判断する必要があったにもかかわらず，その判断がされ
なかった。審決は，平成１８年６月法律第５５号による改正前の特許法（以下
「改正前特許法」という。）１７条の２第４項２号に反する手続上の瑕疵があ
る。
第４被告の反論
１取消事由１（周知例の認定等の誤り）に対し
(1)周知例１，２について
周知例１，２は，複数の高周波アンテナにおける「各アンテナ毎の電流又
はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子」の例示であって，
周知例１，２以外にも，例えば，特開平８−５０９９８号公報（乙２）や，
特開平７−８６２３８号公報（乙３）にも上記インピーダンス素子が開示さ
れている。
これらの周知例の存在からすれば，本件特許出願当時，「各アンテナ毎の
電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子」は周知の技
術事項といえるから，本件各周知例記載の技術を周知技術とした審決の認定
に誤りはない。
また，審決は，原査定と同じ理由の下に，周知事項の具体例として周知例
１，２を示したものである。原査定と理由が異なるものではない以上，周知
例１，２を提示したことによって，新たな拒絶理由を通知し，原告らに対し，
反論及び補正の機会を与える必要はなく，審決に手続的瑕疵もない。
(2)周知例３について
周知例３の「インピーダンス変換器６１ａ乃至６１ｈ」は，各アンテナ毎
にインピーダンス整合を図るためのインピーダンス素子といえる。インピー
ダンスとは，「アンテナ給電端子において，電圧と電流の比，あるいは放射
される全複素電力を｜電流｜で割った値」と定義され，インピーダンス整２
合とは，「インピーダンス変成器」等を用いて，「アンテナが接続される給
電線の特性インピーダンスとアンテナインピーダンスが一致しないと（不整
合），反射が起こり種々の悪影響が生じる」ことを防ぐことである（乙１）。
上記インピーダンスの定義からすると，アンテナインピーダンスはアンテナ
に供給される電圧又は電流によるものであり，インピーダンス整合とは，ア
ンテナに供給される電圧又は電流を調節する機能を有することとなる。また，
周知例３は，各アンテナにより発生するプラズマの調節，すなわち，各アン
テナに供給される電力の調節も意図している。
そうすると，周知例３の「インピーダンス変換器」は，各アンテナ毎のイ
ンピーダンス整合の機能のみならず，それが接続されたアンテナに供給され
る電力を調節する機能をも有することになるため，「各アンテナ毎の電流又
はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子」に相当するものと
いえる。
よって，審決の周知例３の認定に誤りはない。
２取消事由２（相違点についての容易想到性の判断の誤り）に対し
刊行物１の図１１において，真空容器の辺にある直線状アンテナ同士の間隔
や配置（例えば，１８aと１８b）と，真空容器の隅に近い部分にある直線状ア
ンテナ同士の間隔や配置（例えば，１８bと１８c）とでは異なるため，引用発
明においても，アンテナ同士によって互いに影響を及ぼすインピーダンス（相
互インピーダンス）に違いが生じる可能性がある。たとえ，各アンテナ自身の
インピーダンス（自己インピーダンス）が等しい場合であっても，各アンテナ
から生成されたプラズマにアンテナ配置の疎密に起因する空間的な分布が生じ
る。また，半導体などの基板を製造するプラズマ生成装置において，より良く
均一なプラズマ処理が可能な装置を求めることは，必須の課題である。
そうすると，引用発明においても，膜厚やエッチングのより良い均一化のた
めに，プラズマ密度分布の調整やインピーダンス整合等を行う必要性は存在す
る。したがって，このような課題解決のため，引用発明において，一様なプラ
ズマ密度をより良く得るために調整手段を加えることは，当業者であれば，容
易に想到し得る。引用発明と周知例１及び周知例２とを組み合わせる動機付け
は存在するから，相違点に関する前記審決の判断に誤りはない。
３取消事由３（本願補正発明２に関する手続的瑕疵）に対し
改正前特許法１７条の２第４項２号所定の「特許請求の範囲の減縮」に該当
するか否かについては，補正に係る個々の「請求項」ではなく，「特許請求の
範囲」全体を対象として判断すべきである。すなわち，「特許請求の範囲」全
体が減縮されていれば，独立特許要件を充足しているか否かの判断が必要とな
るものと解すべきである。本件では，本願補正発明１，１０において，改正前
特許法１７条の２第４項第２号で規定する限定的減縮を目的とする補正がされ
ているのであるから，「特許請求の範囲」全体が減縮されていると解されるか
ら，限定的減縮がされていない本願補正発明２について，特許出願の際独立し
て特許を受けることができないことを理由に補正を却下しても，手続上の瑕疵
はないといえる。
なお，審査基準は，特許要件の審査に当たる審査官にとって基本的な考え方
を示すものであり，その審査基準によって審査・審理を行うことが望ましいと
はいえるが，限定的減縮がされていない本願補正発明２について，特許出願の
際独立して特許を受けることができないことを理由として，本件補正を却下し
た審決の措置が，審査基準に反したからといって，違法を来すものではない。
本願補正発明２については，本件補正の前後で記載に変更がないのであるか
ら，本願補正発明２について判断した内容は，本願発明２にもそのままあては
まることとなり，瑕疵はない。したがって，本願補正発明１について独立特許
要件を判断しなかったからといって，審決の結論に影響を及ぼすものではない。
第５当裁判所の判断
当裁判所は，原告らの請求には理由がなく棄却すべきものと判断する。以下理
由を述べる。
１取消事由１（周知例の認定の誤り）について
(1)周知例１，２について
当該技術分野において，一般的によく知られている技術又はよく用いられ
ている技術，すなわち周知技術については，審判手続の公平公正さを欠かな
い限り，審決において，常に，その認定根拠を詳細に示すまでの必要性はな
い。本件において，周知例１，２はいずれも公開特許公報であること，審決
において周知とされた事項（複数の高周波アンテナにおける各アンテナ毎の
電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子）について，
その周知性（その技術分野において，一般的によく知られている技術である
こと）を否定する事情が窺えないことに照らすならば，周知例１，２を挙げ
て上記事項を周知であると認定した点に，手続上及び実体上の瑕疵はない。
また，審決が示した文献の数をもって，周知性を否定する根拠とはならない。
そして，上記技術は当該技術分野においてよく知られている技術事項であ
る以上，審決において，拒絶理由通知に挙げられない周知例が示されたとし
ても，出願人に対する不意打ちとなるものではなく，手続上の違法はない。
以上のとおり原告らの主張は採用できない。
(2)周知例３について
ア証拠（甲１５）によると，周知例３には以下の記載がある。
①「放電用はしご型電極を用いる方法による高周波電源４の高周波数化
が困難な理由は次の通りである。図１３に示すように，放電用はしご型
電極の構造に起因したインピーダンスの不均一性が存在するために，プ
ラズマ発光の強い部分が局部的になる。例えば，上記電極の周辺部に強
いプラズマが発生し，中央部には発生しない。特に６０ＭＨｚ以上の高
周波数化に伴なってその減少は顕著になる。」（段落【００１４】）
②「(2)図１１において，高周波電極２２と基板加熱用ヒータ２３との
間に発生する電界により，反応ガス，例えばＳｉＨはＳｉ，ＳｉＨ，4
ＳｉＨ，ＳｉＨ，Ｈ，Ｈ等に分解され，基板２９の表面にａ−Ｓｉ膜232
を形成する。しかしながら，ａ−Ｓｉ膜形成の高速化を図るため，高周
波電源２４の周波数を現状の１３．５６ＭＨｚより，３０ＭＨｚないし
２００ＭＨｚへ高くすると，高周波電極２２と基板加熱用ヒータ２３間
に発生する電界分布の一様性がくずれ，その結果として，ａ−Ｓｉ膜の
膜厚分布が極端に悪くなる。図１２は，基板面積３０ｃｍ×３０ｃｍで
のプラズマ電源周波数と膜厚分布（平均膜厚からのずれ）の関係を示す
特性図である。膜厚分布の一様性（±１０％以内）が確保できる基板の
大きさ即ち面積は，５ｃｍ×５ｃｍないし２０ｃｍ×２０ｃｍ程度であ
る。」（段落【００１６】）
③「平行平板電極を用いる方法による高周波電源２４の高周波数化が困
難な理由は，次の通りである。平行平板型電極は，電極周辺部と中央部
の電気特性が異なるため，図１４（Ａ）に示すように電極周辺部に強い
プラズマが発生するか，あるいは図１４（Ｂ）に示すように中央部分の
みに強いプラズマが発生するという現象がある。」（段落【００１
７】）
④「本発明は，上記従来技術に鑑み，電極に対する給電を多点給電方式
とすることにより，供給電力の高周波化を図った場合でも，従来に比べ
て格段に膜厚分布の均一化を図り得るプラズマ化学蒸着装置を提供する
ことを目的とする。
また，本発明は，電極に周波数３０ＭＨｚ乃至２００ＭＨｚのグロー
放電発生用電力を供給する複数の供給点と前記電力分配器間に，これら
に夫々電気的に接続するインピーダンス変換器を配置した構成とするこ
とにより，さらに優れた膜厚分布が得られるプラズマ化学蒸着装置を提
供することを目的とする。」（段落【００１９】∼【００２０】）
⑤「各カソード電極２２ａ乃至２２ｈには，後に詳述する真空用同軸ケ
ーブル４３ａ乃至４３ｈ，インピーダンス変換器６１ａ乃至６１ｈ，電
力分配器６０，インピーダンス整合器２５を介して高周波電源２４が接
続されている。」（段落【００３０】）
⑥「前記インピーダンス変換器６１ａ乃至６１ｈは，電力分配器６０と
真空用同軸ケーブル４３ａ乃至４３ｈとカソード電極２２ａ乃至２２ｈ
のインピーダンスの整合をとるために，図４に示すようなフェライト製
環状体６５に絶縁被覆導線を２本，トランス巻線比が１対４となるよう
に巻きつけて製作されたものを用いた。その等価回路は図５に示す通り
である。同図に示すように，当該インピーダンス変換器６１ａ乃至６１
ｈは，トランスとコンデンサとを組み合わせた，伝送線路トランス方式
である。」（段落【００３３】）
⑦「表１に示されるデータから，電源周波数７０ＭＨｚ，基板面積４０
ｃｍ×８０ｃｍで，インピーダンス変換器が無い場合，膜厚分布±１４
％，インピーダンス変換器がある場合，膜厚分布±１０％と，従来装置
では実現できなかった良好な結果が得られていることが判る。」（段落
【００３６】）
⑧「上述の如く，上記第１の実施の形態においては，インピーダンス変
換器６１ａ乃至６１ｈとして図４及び図５に示す伝送線路トランス方式
のものを用いている。この場合，高周波電源２４の出力周波数が７０Ｍ
Ｈｚ程度の場合には，従来に比べ極めて良好な成膜状態を実現すること
ができるが，電源周波数をさらに上昇させた場合，１２０ＭＨｚ程度の
周波数で生成されるプラズマが不安定になることが分かった。そこで，
１２０ＭＨｚ程度以上の高周波数領域でもプラスマの安定化を図り，良
好な成膜状態を得るべく，実験を重ねた結果，インピーダンス変換器６
１ａ乃至６１ｈにπ回路方式を採用することにより，所望の特性が得ら
れることが分かった。このπ回路方式のインピーダンス変換器とは，そ
の等価回路を図７に示すように，コイルの両端に可変コンデンサを並列
に接続し，全体としてπ型に形成したインピーダンス変換器である。」
（段落【００４０】）
⑨「図７は入力パワー１５０Ｗあたりの反射パワーを，伝送線路トラン
ス方式のインピーダンス変換器を用いた場合と，π回路方式のインピー
ダンス変換器を用いた場合のＣＶＤ装置で計測した結果を示す特性図で
ある。同図の横軸は電源周波数，縦軸は反射パワーである。同図を参照
すれば，伝送線路トランス方式の場合，電源周波数が１００ＭＨｚを越
えたあたりから反射パワーが急激に増加しているのに対し，π回路方式
では２００ＭＨｚを越えても反射パワーは十分小さいことが分かる。ち
なみに，反射パワーが小さい方が電力が効率よく負荷へ供給されている
ことを意味している。」（段落【００４１】）
⑩「【発明の効果】以上実施の形態とともに詳細に説明した通り，本発
明によれば，放電用高周波電極，即ちカソード電極を，複数個の小面積
電極に分割して各小面積電極を一平面内に配置するか，又は複数の給電
点を有するはしご型電極を用いて多点給電方式とし，夫々のカソード電
極にインピーダンス整合器，電力分配器，インピーダンス変換器，電流
導入端子及び真空用同軸ケーブルを介して３０ＭＨｚ乃至２００ＭＨｚ
の高周波電源が出力する高周波電力を供給することにより，従来技術に
比べ，著しく均一性が向上した良好な膜厚分布が得られるという効果を
奏する。
上述の如き効果は，ａ−Ｓｉ薄膜応用に限らず，３０ＭＨｚ乃至２０
０ＭＨｚ級の高周波電源を用いるプラズマＣＶＤ技術が，微結晶Ｓｉ及
び薄膜多結晶Ｓｉの製造方法としての用途があることから，太陽電池，
薄膜トランジスタ及び感光ドラムなどの産業上の利用価値は著しく大き
い。
また，インピーダンス変換器を設けた場合には，さらに膜厚分布の均
一化を図ることができる。しかも，このとき１２０ＭＨｚ程度以上の高
周波領域では，π回路方式のインピーダンス変換器を用いることにより，
安定なプラズマを生成させることができ，従来は不可能とされていた高
周波領域での所望の薄膜を高効率で形成することが可能になる。」（段
落【００４７】∼段落【００４９】）
イ以上の記載によると，①周知例３のインピーダンス変換器は，個々のカ
ソード電極ごとにそれぞれ接続されるものであること，②インピーダンス
変換器の回路方式として，伝送線路トランス方式や，コイルの両端にイン
ピーダンスが可変な素子を並列に接続したπ回路方式が用いられること，
③インピーダンス変換器は，カソード電極に供給される電力に対する反射
パワーを減らす機能を有すること，④電極に対する給電を多点給電方式と
することで膜圧分布の均一性を向上するものにおいて，インピーダンス変
換器を設けることにより，さらに膜圧分布が均一化されることが認められ
る。また，証拠（乙１）によると，インピーダンスとは，アンテナ給電端
子において，電圧と電流の比，あるいは放射される全複素電力を｜電流｜
で割った値をいい，インピーダンス整合とは，インピーダンス変成器等２
を用いて，アンテナが接続される給電線の特性インピーダンスとアンテナ
インピーダンスを一致させることを指すものと認められる。
以上を総合すると，周知例３のインピーダンス整合は，インピーダンス
変換器を用いてアンテナ毎に供給される電圧又は電流を調節する機能を有
するものであるから，周知例３のインピーダンス変換器は，「各アンテナ
毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダンス素子」に相
当するということができ，審決の認定に誤りはない。
２取消事由２（相違点についての容易想到性の判断の誤り）について
(1)原告らは，刊行物１の「マルチ型直線状アンテナ」は，各アンテナのイ
ンピーダンスは一見して等しいように推測されるはずであるから，当業者に
とって，引用例１と周知例１，２とを組み合わせる動機は生じないと主張す
る。
しかし，原告らのこの点の主張は，以下のとおり採用できない。
すなわち，引用発明は，本願補正発明２の「各々の高周波アンテナに接続
した，各アンテナ毎の電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダ
ンス素子を備えている」との構成を備えていないとの点で相違するが（当事
者間に争いはない。），このような場合に，当業者は，必要に応じて，プラ
ズマ密度分布の調整やインピーダンス整合等を行い，また，より詳細な設定
を可能としようとすることは当然であるといえるから，動機付けがないとは
いえない。そして，周知例１，２によれば，「複数の高周波アンテナにおい
て，各アンテナ毎に電流又はアンテナ電極間の電圧を調節するインピーダン
ス素子を設ける」との技術事項が周知である点は前記のとおりであるから，
審決に原告ら主張の誤りはない。
(2)次に，原告らは，引用発明の「マルチ型直線状アンテナ」には，プラズ
マ生成装置内における温度分布による影響等により，プラズマ密度が不均一
になるとの解決課題が存在することについて，当業者には発見できなかった
はずであるから，本願補正発明２を容易に想到することはできなかったと主
張する。
しかし，原告らのこの点の主張は，以下のとおり採用できない。
すなわち，刊行物１の図１１によると，真空容器の辺にある直線状アンテ
ナ同士の間隔や配置（例えば，１８aと１８b）と，真空容器の隅に近い部分
にある直線状アンテナ同士の間隔や配置（例えば，１８bと１８c）とでは異
なることが認められる。そうすると，引用発明においても，アンテナ同士に
よって互いに影響を及ぼすインピーダンス（相互インピーダンス）に違いが
生じることになり，したがって，各アンテナ自身のインピーダンス（自己イ
ンピーダンス）が等しい場合であっても，各アンテナから生成されたプラズ
マにアンテナ配置の疎密に起因する空間的な分布が生じることは明らかであ
るといえる。また，前記認定の周知例３の記載によると，プラズマ生成装置
において，より良く均一なプラズマ処理が可能な装置を求めることは，必須
の課題ということができる。
そうすると，引用発明においても，膜厚のより良い均一化のために，プラ
ズマ密度分布の調整やインピーダンス整合等を行う必要があるとの解決課題
が生じているから，その課題を解決する目的で，引用発明において，一様な
プラズマ密度をより良く得るために調整手段を加えることは，容易に想到し
得ることである。
したがって，この点の原告らの主張は採用できない。
３取消事由３（本願補正発明２に関する手続的瑕疵）について
(1)原告らは，本願補正発明２は，限定的減縮がされていないにもかかわら
ず，本願補正発明２が独立特許要件を欠くことを理由として，本件補正を却
下した審決には，手続上の瑕疵があると主張する。
この点について検討する。
改正前特許法１７条の２第４項柱書きは「・・・第１項第３号及び第４号
に掲げる場合において特許請求の範囲についてする補正は，次に掲げる事項
を目的とするものに限る。」と，同項１号は「・・・請求項の削除」，同項
２号は「特許請求の範囲の減縮・・・」，同項３号は「誤記の訂正」，同項
４号は「明りょうでない記載の釈明・・・」とそれぞれ規定し，また，同条
５項は「第１２６条第４項の規定は，前項第２号の場合に準用する。」と，
改正前特許法１２６条４項は「第１項ただし書第１号及び第２号の場合は，
訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明
が特許出願の際独立して特許を受けることができるものでなければならな
い。」と，それぞれ規定する。したがって，法は，特許請求の範囲の減縮に
係る補正の場合のみ，いわゆる独立特許要件の有無を判断することを要する
とし，その他の補正（例えば，誤記の訂正，明りょうでない記載の釈明に係
る補正等）の場合にはいわゆる独立特許要件の有無を判断することを要しな
いこととなる。
ところで，改正前特許法１７条の２第４項２号所定の特許請求の範囲の減
縮に該当するか否かは，当該出願に係る特許請求の範囲の全体により判断す
べきではなく，補正に係る個々の「請求項」に限定して判断すべきである。
けだし，出願人が，特定の請求項について，「誤記の訂正」ないし「明りょ
うでない記載の釈明」のみに係る補正をしたところ，他の請求項に「特許請
求の範囲の減縮」に係る補正がされ，結果として出願に係る特許請求の範囲
の全体として減縮しているという理由によって，特許請求の範囲の減縮に該
当しない請求項について，いわゆる独立特許要件を充足しない限り，補正が
認められないとすることは，そのような解釈を支える条文上の根拠がないと
いうべきである。のみならず，そのような手続を前提とすると，出願人に不
慮の不利益を及ぼす可能性も生じ，また，審査，審判の実務の煩雑化を招来
することになる。その意味で，独立特許要件について「この要件が課される
のは限定的減縮に相当する補正がなされた請求項のみであり，これに相当し
ない『誤記の訂正』又は『明りょうでない記載の釈明』のみの補正がなされ
た請求項及び補正されていない請求項については，独立して特許を受けるこ
とができない理由が存在する場合において，それを理由として補正を却下し
てはならない。」とする審査基準に基づく運用は合理性があるというべきで
ある。なお，知的財産高等裁判所平成１８年２月１６日判決（平成１７年
（行ケ）第１０２６６号審決取消請求事件）は，各請求項のいずれについて
も，特許請求の範囲の減縮に係る補正をした事案であって，本件とは事案を
異にする。
以上のとおりであるから，本願補正発明２について独立特許要件がないと
の理由により本件補正を却下した点は，改正前特許法１７条の２第４項２号
に反する手続上の瑕疵があることになる。
(2)そこで，進んで，上記手続上の瑕疵が審決の結論に影響を及ぼすか否か
について検討する。
本願補正発明２は，本願発明２が請求項１を引用する形式で記載されてい
たものを，引用しない形式に変えたものであって，本件補正の前後において，
特許請求の範囲の記載に変更はない。本願補正発明２に特許要件がないとし
た審決の判断は，本願発明２にもそのまま妥当することとなる。そして，前
記のとおり，本願補正発明２は，引用発明及び周知技術に基づいて当業者が
容易に発明をすることができたものであるとした審決の判断に誤りはない以
上，本願発明２についても，当然に，引用発明及び周知技術に基づいて当業
者が容易に発明をすることができたものといえる。したがって，上記手続き
上の瑕疵は，審決の結論に影響を及ぼすことはない。
これに対し，原告らは，①改めて拒絶理由が発せられれば，意見書提出・
補正の機会が与えられたはずであるにもかかわらず，その機会を失ったこと，
②減縮された本願補正発明１については，独立特許要件の有無を判断する必
要があったにもかかわらず，その判断がされなかったという点において，前
記瑕疵は，審決の結論に影響を及ぼすと主張する。
しかし，本件においては，原告らは，本願発明に係る請求項１ないし１２
について，平成１６年４月３０日に刊行物１を含む刊行物の記載及び周知技
術により当業者が容易に想到し得るとの拒絶理由通知を受け，本願発明２に
つき補正の機会があったこと（甲３），本願発明２について特許要件がない
とした審決の判断に誤りがないことからすると，他の請求項についての特許
性の有無について検討するまでもなく，本願は拒絶されるべきものであるか
ら，原告らの上記の各主張に係る瑕疵は，審決の結論に影響を及ぼすものと
はいえない。したがって，原告らの主張は採用できない。
４結論
以上に検討したところによれば，原告らの主張する取消事由にはいずれも理
由がなく，審決を取り消すべきその他の誤りは認められない。
よって，原告らの請求は理由がないから棄却することとし，主文のとおり判
決する。
知的財産高等裁判所第３部
裁判長裁判官飯村敏明
裁判官三村量一
裁判官上田洋幸

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