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平成１４年（行ケ）第３５２号　特許取消決定取消請求事件
口頭弁論終結日　平成１６年２月１６日
判　　　　決
原　　　　告　　　　　　ニュー　ウェーブ　リサーチ
同訴訟代理人弁護士熊　倉　禎　男
同吉　田　和　彦
同相　良　由里子
同訴訟代理人弁理士　西　島　孝　喜
被　　　　告　　　　　　特許庁長官今井康夫
同指定代理人　　　三　原　彰　英
同高　木　　　進
同西　川　惠　雄
同涌　井　幸　一
主　　　　文
　　　　　１　特許庁が異議２０００－７３６５６号事件について平成１４年２月
２６日にした決定のうち，特許第３０２６３６２号の請求項３ないし６，１０及び
１４に係る部分を取り消す。
２　原告のその余の請求を棄却する。
３　訴訟費用は，これを５分し，その１を原告の負担とし，その余を被
告の負担とする。
４　原告について，この判決の上告及び上告受理申立てのための付加期
間を３０日と定める。
　事実及び理由
第１　当事者の求めた裁判
　１　原告
(1)　特許庁が異議２０００－７３６５６号事件について平成１４年２月２６日
にした決定のうち，特許第３０２６３６２号の請求項１ないし８，１０，１４に係
る部分を取り消す。
(2)　訴訟費用は被告の負担とする。
　２　被告
(1)　原告の請求を棄却する。
(2)　訴訟費用は原告の負担とする。
第２　前提となる事実（当事者間に争いがない。）
１　特許庁における手続の経緯
　　(1)　原告は，発明の名称を「プローブステーションおよびレーザ切断のための
多波長レーザ光学システム」とする特許第３０２６３６２号（以下「本件特許」と
いう。）の特許権者である。本件特許は，平成７年２月９日に国際出願（特願平７
－５２１８５４号。優先日・平成６年２月１８日。優先権主張国・米国。以下「本
件出願」という。）され，平成１２年１月２８日に設定登録されたものである。
　　(2)　ホーヤ・コンテニュアム株式会社は，平成１２年９月２７日，本件特許に
ついて，特許異議の申立てをした。特許庁は，同異議申立てを異議２０００－７３
６５６号事件として審理をした上，平成１４年２月２６日，「特許第３０２６３６
２号の請求項１ないし８，１０，１４に係る特許を取り消す。同請求項９，１１な
いし１３，１５に係る特許を維持する。」との決定（以下「本件決定」という。）
をし，その謄本は同年３月１８日に原告に送達された。
２　本件発明の要旨は，次のとおりである（甲２。以下，請求項１ないし１５
　　に係る発明を，それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明１５」という。）。
　　【請求項１】　プローブステーションシステムであって：ベースと；分析また
は試験すべき装置を保持するために，前記ベースにマウントされたチャックと；前
記装置のためのプローブをマウントするために，前記ベースにマウントされたプロ
ーブテーブルと；前記ベースにマウントされ，前記チャック上に保持された試験す
べき装置の上に視野を有する顕微鏡と；前記顕微鏡と共にマウントされ，ビームラ
イン上の顕微鏡光学系を通して出力ビームを前記顕微鏡の視野へ供給するレーザで
あって，複数の波長で前記ビームライン上に選択的に出力ビームを発生する光学系
を含んでいるレーザとを具備し，前記顕微鏡が前記複数の波長に対して透明な光学
系を含み，さらに，前記複数の波長が，出力ビームのための３つ以上の選択可能な
波長が（「を」の誤記と認める。）含んでいるシステム。
　　【請求項２】　プローブステーションシステムであって：ベースと；対象を保
持するために，前記ベースにマウントされたステージと；前記対象のためのプロー
ブをマウントするために，前記ベースにマウントされたプローブテーブルと；前記
ベースにマウントされ，前記ステージ上に保持された対象の上に視野を有する顕微
鏡と；前記顕微鏡と共にマウントされ，ビームライン上の顕微鏡光学系を通して出
力ビームを前記顕微鏡の視野へ供給するレーザであって，複数の波長で前記ビーム
ライン上に選択的に出力ビームを発生する光学系を含んでいるレーザとを具備し，
前記顕微鏡が，前記複数の波長において透明な光学系を含み，前記複数の波長が，
出力ビームのための３以上の選択可能な波長を含んだシステム。
　　【請求項３】　制御可能な減衰を伴う複数の波長を供給するためのレーザシス
テムであって：単一のビーム経路に沿って基本波長のビームを発生する固体レーザ
と；単一のビーム経路内の１以上の非線形光学系であって，前記レーザによって発
生されたビームを受信し，前記基本波長の複数の高調波を発生することが可能な非
線形光学系と；単一のビーム経路内の前記複数の高調波を受信し減衰することがで
きる可変減衰器と；前記出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備し
たシステム。
　【請求項４】　制御可能な減衰を伴う複数の波長を供給するためのレーザシス
テムであって，単一のビーム経路に沿って，基本波長のビームを発生する固体レー
ザと；単一のビーム経路内の前記基本波長の少なくとも１つの高調波を発生する１
以上の非線形光学系であって，前記複数の波長のうち少なくとも１つの特定波長の
ウォークオフを生じさせる非線形光学系と；複数の波長のそれぞれが，選択された
ときに単一のビームライン上に供給されるようにウォークオフを補償する手段と；
前記出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備したシステム。
　　【請求項５】　制御可能な減衰を伴う複数の波長を供給するためのレーザシス
テムであって，基本波長のビームを単一のビーム経路に沿って発生し，受動的に空
冷され，電子－光学的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザと，レーザによって
発生されたビームを受信し，基本波長の２次高調波を発生することができる単一の
ビーム経路内の第１の非線形結晶と，レーザによって発生されたビームを受信し基
本波長の３次または４次高調波の少なくとも１つを発生することができる，単一の
ビーム経路内の第２の非線形結晶と，レーザによって発生されたビームを受信し，
基本波長，２次高調波ならびに３次および４次高調波の少なくとも１つを発生する
ことができる単一のビーム経路内の可変減衰器と，基本波長，２次高調波ならびに
３次および４次高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択するた
めの切替可能な光学系とを具備したシステム。
　　【請求項６】　前記レーザが，ビーム経路に沿って基本波長のビームを発生す
る固体レーザと；前記基本波長の複数の高調波を発生するビーム経路内の１以上の
非線形光学系と；前記複数の波長のためのビーム経路内の可変減衰器と；前記複数
の高調波および前記基本波長の中から，前記出力ビームの波長を選択する切替可能
な光学系とを具備した請求の範囲第１項または第２項に記載のシステム。
　　【請求項７】　前記レーザが，空冷され，電子－光学的にＱスイッチされるＮ
ｄ：ＹＡＧレーザを備えた請求の範囲第１項，第２項または第３項に記載のシステ
ム。
　　【請求項８】　前記複数の波長が，赤外領域の少なくとも１つの波長，可視領
域の少なくとも１つの波長，および紫外領域の少なくとも１つの波長が（「を」の
誤記と認める。）含んでいる請求の範囲第１項，第２項または第３項に記載のシス
テム。
【請求項９】　前記可変減衰器が，少なくとも１つの高調波および基本波長に
向けられた，ビーム経路内の半波長プレートと，偏光器と，前記波プレートおよび
偏光器の相対的角度位置を制御して，前記複数の波長を減衰する機構とを備えた請
求の範囲第３項，第５項または第６項に記載のレーザシステム。
　　【請求項10】　前記複数の波長が，基本波長，基本波長の２次高調波および基
本波長の３次高調波が（「を」の誤記と認める。）含んでいる請求の範囲第４項ま
たは第９項に記載のレーザシステム。
　　【請求項11】　前記複数の波長が，基本波長，基本波長の２次高調波および基
本波長の４次高調波が（「を」の誤記と認める。）含んでいる請求の範囲第９項に
記載のレーザシステム。
　　【請求項12】　前記複数の波長が，基本波長の２次高調波および基本波長の３
次高調波を含んでいる請求の範囲第９項に記載のレーザシステム。
　　【請求項13】　前記複数の波長が，基本波長の２次高調波および基本波長の４
次高調波を含んでいる請求の範囲第９項に記載のレーザシステム。
　　【請求項14】　前記複数の波長が，赤外領域の基本波長，可視領域の２次高調
波ならびに紫外３次高調波および紫外４次高調波のうちの少なくとも１つを含んで
いる請求の範囲第３項または第４項に記載のレーザシステム。
　　【請求項15】　前記切替可能な光学系が，複数のフィルタおよび該複数のフィ
ルタの選択された１つをビーム経路の中に切り替えて出力波長を選択するための機
構を備え，第１および第２の非線形結晶によって複数の波長の少なくとも特定波長
のウォークオフを生じさせ，さらに，前記複数のフィルタの特定の１つは特定波長
を選択し，この特定のフィルタはウォークオフを補償するためにビーム経路に対し
て所定の角度でマウントされる請求の範囲第５項に記載のレーザシステム。
３　本件決定の要旨
(1)　本件発明１の進歩性について
　　　ア　本件発明１と「製品カタログ『レーザトリミング装置』１９８９年１月
印刷・ＨＯＹＡ株式会社発行」（甲３。以下「刊行物１」という。）に記載の発明
（以下「刊行物１発明」という。）とを対比すると，両者は，「ベースと，分析ま
たは試験すべき装置を保持するために，前記ベースにマウントされたチャックと，
前記装置のためのプローブをマウントする部材と，前記ベースにマウントされ，前
記チャック上に保持された試験すべき装置の上に視野を有する顕微鏡と，前記顕微
鏡と共にマウントされ，ビームライン上の顕微鏡光学系を通して出力ビームを前記
顕微鏡の視野へレーザを供給するプローブステーションシステム」である点で一致
しているが，次の点で相違している。
　　　　(ア)　プローブをマウントする部材が，本件発明１は，チャックとは別に
ベ　ースにマウントされたプローブテーブルであるのに対し，刊行物１発明は，チ
ャックを備えたＸＹステージである点（以下「相違点１」という。）
　　　　(イ)　本件発明１のレーザは，複数の波長でビームライン上に選択的に出
力ビームを発生する光学系を含んでいて，前記複数の波長が，３つ以上であるとす
る構成を具備するのに対し，刊行物１発明は，このような構成が不明である点（以
下「相違点２」という。）
　　　　(ウ)　本件発明１の顕微鏡が，複数の波長に対して透明な光学系を含んで
いるのに対し，刊行物１発明は，このような構成が不明である点（以下「相　違点
３」という。）
　　　イ　相違点を検討する
　　　　(ア)　相違点１については，この種の装置において，プローブをマウント
す　る部材として，ベースにマウントされたプローブテーブルは，本件特許に係る
明細書（以下「本件明細書」という。）においても「分析プローブステーション
は，半導体製造施設および設計施設において広範に使用されている。・・・典型的
には，プローブステーションには，プローブを装着するためのテーブルを備えたベ
ース機械・・・が含まれている。」（１頁１１～１８行）と記載されているように
当業者に良く知られており，刊行物１発明において，プローブをマウントする部材
としてのチャックを備えたＸＹステージとは別の，ベースにマウントされたプロー
ブテーブルとするのは，当業者であれば適宜なし得る程度のものと認められる。
　　　　(イ)　相違点２については，特開平２－２００３８９号公報（甲５。以下
「刊行物２」という。）には，制御可能な複数の波長を供給するためのレーザシス
テムであって，単一のビーム経路に沿って基本波のビームを発生するレーザと，該
ビームを受信し，前記基本波の第２高調波を発生することが可能な波長変換素子
と，出力ビームの波長を選択する波長選択板とを具備したレーザ加工のための照射
システムが記載されている。言い換えると，複数の波長でビームライン上に選択的
に出力ビームを発生する光学系が記載されており，しかも，加工に使用するレーザ
光として，刊行物１に記載された装置が対象とするＩＣについて，加工すべき対象
（例えば，パッシベーション層）の材質に適した波長が選択されることは，従来周
知であり，さらに，本件発明１において，選択可能な複数の波長を３つ以上とした
点には，単に選択可能な波長を増やしたということ以上に格別の技術的意義が存す
るとは解されないので，本件発明１は，刊行物１発明に刊行物２記載の事項等を適
用することにより容易に創出し得たものということができる。
　　　　(ウ)　相違点３については，刊行物１発明は，顕微鏡に搭載され，ビーム
ライン上の顕微鏡光学系を通して出力ビームを顕微鏡の視野へ供給する小型ＹＡＧ
レーザを具備するものであるから，波長が単数か複数かは不明ではあるが，少なく
とも或る波長に対して透明な光学系を含んでいるといえる。そして，顕微鏡で対応
すべき波長が複数の場合，それぞれの波長に対して透明であることが必要であり，
これは当業者が通常設計上配慮すべき必然的な技術事項であるといえる。
　　　　(エ)　以上検討したごとく，本件発明１は，刊行物１発明に刊行物２に記
載　の事項を適用し，その際，当業者に良く知られている事項及び当業者が通常設
計上配慮すべき必然的な技術事項を施すことにより，当業者が容易に発明をするこ
とができたものと認める。
　　(2)　本件発明２の進歩性について
　　　ア　本件発明２と刊行物１発明とを対比すると，両者は，「ベースと，対象
を保持するために，前記ベースにマウントされたステージと，前記対象のためのプ
ローブをマウントする部材と，前記ベースにマウントされ，前記ステージ上に保持
された対象の上に視野を有する顕微鏡と，前記顕微鏡と共にマウントされ，ビーム
ライン上の顕微鏡光学系を通して出力ビームを前記顕微鏡の視野へレーザを供給す
るプローブステーションシステム」である点において一致しているが，次の点で相
違している。
　　　　(ア)　プローブをマウントする部材が，本件発明２は，対象を保持するた
め　のステージとは別のベースにマウントされたプローブテーブルであるのに対
し，刊行物１発明は，チャックを備えたＸＹステージである点（以下「相違点４」
という。）
　　　　(イ)　本件発明２のレーザは，複数の波長でビームライン上に選択的に出
力ビームを発生する光学系を含んでいて，前記複数の波長が，３つ以上であるとす
る構成を具備するのに対し，刊行物１発明は，このような構成が不明である点（以
下「相違点５」という。）
　　　　(ウ)　本件発明２の顕微鏡が，複数の波長に対して透明な光学系を含んで
いるのに対し，刊行物１発明は，このような構成が不明である点（以下「相違点
６」という。）
　　　イ　相違点を検討するに，相違点４ないし６は，それぞれ，前記(1)において
検討した相違点１ないし３にそれぞれ相当しており，したがって，本件発明２は，
刊行物１発明に刊行物２に記載の事項を適用し，その際，当業者に良く知られてい
る事項及び当業者が通常設計上配慮すべき必然的な技術事項を施すことにより，当
業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　(3)　本件発明３の進歩性について
　　　ア　本件発明３と刊行物２に記載の発明（以下「刊行物２発明」という。）
を比較すると，両者は，「制御可能な複数の波長を供給するためのレーザシステム
であって，単一のビーム経路に沿って基本波長のビームを発生する固体レーザと，
単一のビーム経路内の１以上の非線形光学系であって，前記レーザによって発生さ
れたビームを受信し，前記基本波長の高調波を発生することが可能な非線形光学系
と，出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備したシステム」である
点で一致し，次の点で相違している。
　　　　(ア)　本件発明３の非線形光学系は複数の高調波を発生することが可能で
あ　るのに対し，刊行物２発明は１つの高調波のみを発生する点（以下「相違点
７」という。）
　　　　(イ)　本件発明３は単一のビーム経路内の複数の高調波を受信し減衰する
ことができる可変減衰器を有しているが，刊行物２発明はこのような可変減衰器を
有していない点（以下「相違点８」という。）
イ　相違点について検討する。
　　　　(ア)　相違点７については，この種のレーザシステムにおいて，複数の高
調　波を発生することが可能な非線形光学系を設けることは，特開平２－１２６２
４２号（甲７の(1)。以下「刊行物４」という。），特開平２－３０１１７８号（甲
７の(2)。以下「刊行物５」という。）及び特開昭６４－６４２８０号（甲７
の(3)。以下「刊行物６」という。）にもみられるごとく周知技術であり，刊行物２
発明にこの周知技術を適用して本件発明３のごとくするのは，当業者であれば，適
宜なし得る程度のものである。
　　　　(イ)　次に，相違点８については，特開昭６２－３２６７４号（甲６。以
下「刊行物３」という。）に，レーザ光２に対する結晶の位相整合条件を制御する
可変減衰器３が記載されており，この可変減衰器を刊行物２発明に適用して本件発
明３のごとくなすことは，いずれもレーザ加工に関するものであり，当業者であれ
ば容易である。　
　　　　(ウ)　上記のごとく，本件発明３は，刊行物２発明に，刊行物３に記載の
事項及び刊行物４ないし６に記載の周知技術を適用することにより，当業者が容易
に発明をすることができたものと認められる。
　　(4)　本件発明４の進歩性について
　　　ア　本件発明４と刊行物３に記載の発明（以下「刊行物３発明」という。）
を比較すると，両者は，「制御可能な減衰を伴う複数の波長を供給するためのレー
ザシステムであって，単一のビーム経路に沿って，基本波長のビームを発生する固
体レーザと，単一のビーム経路内の前記基本波長の少なくとも１つの高調波を発生
する１以上の非線形光学系であって，前記複数の波長のうち少なくとも１つの特定
波長のウォークオフを生じさせる非線形光学系と，複数の波長のそれぞれが，選択
されたときに単一のビームライン上に供給されるようにウォークオフを補償する手
段とを具備したシステム」である点で一致しているが，本件発明４は，出力ビーム
の波長を選択する切替可能な光学系を有しているのに，刊行物３発明はこのような
光学系を有しない点（以下「相違点９」という。）において相違している。
　　　イ　相違点９を検討するに，刊行物２には，この種のレーザシステムにおい
て，出力ビームの波長を選択する波長選択板を設ける技術事項が記載されており，
しかも，波長選択板を光路に対して進退させることにより所望の波長を選択できる
ことが記載されている。そして，刊行物２に記載されたものも刊行物３発明と同
様，２つの波長のレーザを利用するものであるから，この波長選択板を刊行物３発
明に適用して，本件発明４のごとくすることは，当業者であれば容易である。
　　　ウ　上記のごとく，本件発明４は，刊行物３発明に，刊行物２に記載の事項
を適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認める。
　　(5)　本件発明５の進歩性について
　　　ア　本件発明５と刊行物３発明とを比較すると，両者は，「制御可能な減衰
を伴う複数の波長を供給するためのレーザシステムであって，基本波長のビームを
単一のビーム経路に沿って発生するＮｄ：ＹＡＧレーザと，レーザによって発生さ
れたビームを受信し，基本波長の２次高調波を発生することができる単一のビーム
経路内の第１の非線形結晶と，レーザによって発生されたビームを受信し，基本波
長，２次高調波の少なくとも１つを発生することができる単一のビーム経路内の可
変減衰器とを具備したシステム」である点で一致しているが，次の点で相違してい
る。
　　　　(ア)　本件発明５のＮｄ：ＹＡＧレーザは，受動的に空冷され，電子－光
学　的にＱスイッチされるのに対して，刊行物３発明はこの構成が不明である点
（以下「相違点１０」という。）
　　　　(イ)　本件発明５は，レーザによって発生されたビームを受信し基本波長
の３次または４次高調波の少なくとも１つを発生することができる，単一のビーム
経路内の第２の非線形結晶を有しているのに対して，刊行物３発明は，このような
第２の非線形結晶を有していない点（以下「相違点１１」という。）
　　　　(ウ)　本件発明５は，可変減衰器が，更に，３次および４次高調波の少な
くとも１つを発生することができるのに対して，刊行物３発明は，このようになっ
ていない点（以下「相違点１２」という。）
　　　　(エ)　本件発明５は，基本波長，２次高調波並びに３次及び４次高調波の
少　なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択するための切替可能な光学系
を有しているのに対して，刊行物３発明は，このようになっていない点（以下「相
違点１３」という。）
イ　相違点について検討する。
　　　　(ア)　相違点１０については，「『レーザーハンドブック』編者・レーザ
ー　学会，昭和５７年１２月１５日発行，発行所・株式会社オーム社」の２２０頁
ないし２２７頁（以下「刊行物８」という。）にみられるごとく，Ｎｄ：ＹＡＧレ
ーザーにおいて冷却系を設けること及び電子－光学的にＱスイッチすることは，周
知技術であり，刊行物３発明のものにこの周知技術を適用して本件発明５のごとく
することは，当業者であれば適宜なし得る程度のものである。
　　　　(イ)　相違点１１については，この種のレーザ装置において，基本波長の
３次又は４次高調波の少なくとも１つを発生することができる第２の非線形結晶を
設けることは，刊行物４又は５に記載されており，刊行物３発明にこの第２の非線
形結晶を設ける点を適用して，本件発明５のごとくするのは当業者にとって容易で
ある。
　　　　(ウ)　次に，相違点１２については，刊行物３に，レーザ光２に対する結
晶の位相整合条件を制御する可変減衰器が記載されており，しかも２次高調波，３
次及び４次高調波の発生は何れも非線形結晶によっているので，これらの結晶の位
相整合条件を制御して，本件発明５のごとく基本波長，２次高調波並びに３次及び
４次高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択するようにするこ
とは，当業者であれば容易である。
　　　　(エ)　相違点１３については，複数の波長の中から出力ビームの波長を選
択　することは，「『オプトロニクス技術活用のための光学部品の使い方と留意
点』著者・末田哲夫，昭和６０年９月２０日発行，発行所・株式会社オプトロニク
ス社」の６８頁ないし７７頁（以下「刊行物７」という。）にみられるごとく，周
知技術であり，刊行物３発明のものにこの周知技術を適用して本件発明５のごとく
することは，当業者であれば必要に応じてなし得る程度のものと認められる。
　　　ウ　上記のごとく，本件発明５は，刊行物３発明に，刊行物３ないし５に記
載の事項及び刊行物７及び８に記載の２つの周知技術を適用することにより，当業
者が容易に発明をすることができたものと認める。
　(6)　本件発明６の進歩性について
　　　ア　請求項１を引用した本件発明６
　　　　　請求項１を引用した本件発明６と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(1)で認定した相違点１ないし３の他に，請求項６で限定した事項である
「前記レーザが，ビーム経路に沿って基本波長のビームを発生する固体レーザと；
前記基本波長の複数の高調波を発生するビーム経路内の１以上の非線形光学系と；
前記複数の波長のためのビーム経路内の可変減衰器と；前記複数の高調波および前
記基本波長の中から，前記出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備
した」点（以下「相違点１４」という。）においても相違する。　
　　　　　しかし，刊行物３には，レーザ装置が，１つのビーム経路に沿って基本
波成分のビームを発生するＮｄ：ＹＡＧレーザーである固体レーザと，前記基本波
成分の第２高調波成分を出射するビーム経路内の非線形光学効果を有する結晶体か
らなる第２高調波発生器１７と，レーザ光２に対する結晶の位相整合条件を制御す
る可変減衰器とを具備する点が記載されている。そして，出力ビームの波長を選択
するための切替可能な光学系を設ける点は，刊行物７にみられるごとく，周知技術
であり，また，複数の高調波を発生させるレーザ装置は，刊行物４ないし６にみら
れるごとく周知であるから，請求項１を引用した本件発明６は，刊行物１発明に刊
行物２及び上記刊行物３記載の事項を適用し，さらに，上記刊行物４ないし７に記
載の２つの周知技術を施したレーザを適用することにより，当業者が容易に発明を
することができたものと認める。
　　　イ　請求項２を引用した本件発明６
　　　　　請求項２を引用した本件発明６と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(2)で認定した相違点４ないし６の他に，請求項６で限定した事項である相
違点１４においても相違する。
　　　　　しかし，相違点４ないし６は，それぞれ相違点１ないし３に相当するの
で，請求項２を引用した本件発明６は，上記アで検討したごとく請求項１を引用し
た本件発明６と同様に，刊行物１発明に刊行物２及び上記刊行物３記載の事項を適
用し，さらに，上記刊行物４ないし７に記載の２つの周知技術を施したレーザを適
用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　(7)　本件発明７の進歩性について
　　　ア　請求項１を引用した本件発明７
　　　　　請求項１を引用した本件発明７と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(1)で認定した相違点１ないし３の他に，請求項７で限定した事項である
「前記レーザが，空冷され，電子－光学的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザ
を備えた」点（以下「相違点１５」という。）においても相違する。
　　　　　しかし，刊行物８には，請求項７で限定した事項について，周知の，冷
却系を備え，電子－光学的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザが記載されてい
るから，請求項１を引用した本件発明７は，刊行物１発明に刊行物２に記載の事項
を適用し，その際に，さらに刊行物８に記載の周知のＮｄ：ＹＡＧレーザを適用す
ることにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　　イ　請求項２を引用した本件発明７
　　　　　請求項２を引用した本件発明７と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(2)で認定した相違点４ないし６の他に，請求項７で限定した事項である相
違点１５においても相違する。
　　　　　しかし，前記(2)で検討したごとく相違点４ないし６は，それぞれ相違点
１ないし３に相当するので，請求項２を引用した本件発明７は，上記アで検討した
ごとく，請求項１を引用した本件発明７と同様に，刊行物１発明に刊行物２に記載
の事項を適用し，その際に，さらに刊行物８に記載の周知のＮｄ：ＹＡＧレーザを
適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　　ウ　請求項３を引用した本件発明７
　　　　　請求項３を引用した本件発明７と刊行物２発明とを対比すると，両者
は，前記(3)で認定した相違点７，８の他に，請求項７で限定した事項である相違点
１５においても相違する。
　　　　　しかして，請求項３を引用した本件発明７は，前記(3)において相違点
７，８について検討したごとく，刊行物２発明に，刊行物３に記載の事項及び刊行
物４ないし６に記載の周知技術を適用し，その際に，さらに刊行物８に記載の周知
のＮｄ：ＹＡＧレーザを適用することにより，当業者が容易に発明をすることがで
きたものと認められる。
　　(8)　本件発明８の進歩性について
　　　ア　請求項１を引用した本件発明８
　　　　　請求項１を引用した本件発明８と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(1)で認定した相違点１ないし３の他に，請求項８で限定した事項である
「前記複数の波長が，赤外領域の少なくとも１つの波長，可視領域の少なくとも１
つの波長，および紫外領域の少なくとも１つの波長を含んでいる」点（以下「相違
点１６」という。）においても相違する。
　　　　　しかして，この限定した事項については，刊行物４ないし６の，基本波
及び複数の高調波の発生に関する周知技術のうち，基本波（ω＝１０６４ｎｍ），
基本波の第２高調波（２ω＝５３２ｎｍ）が，それぞれ「赤外領域の少なくとも１
つの波長」，「可視領域の少なくとも１つの波長」，に相当しており，第３高調波
（３ω＝３３５ｎｍ）及び第４高調波（４ω＝２６６ｎｍ）が，「紫外領域の少な
くとも１つの波長」にそれぞれ相当しているから，請求項１を引用した本件発明８
は，刊行物１発明に刊行物２に記載の事項を適用し，その際に，さらに刊行物４な
いし６に開示の周知技術を適用することにより，当業者が容易に発明をすることが
できたものと認められる。
　　　イ　請求項２を引用した本件発明８
　　　　　請求項２を引用した本件発明８と刊行物１発明とを対比すると，両者
は，前記(2)で認定した相違点４ないし６の他に，請求項８で限定した事項である相
違点１６においても相違する。
　　　　　しかし，前記(2)で検討したごとく，相違点４ないし６は，それぞれ相違
点１ないし３に相当するので，請求項２を引用した本件発明８は，上記アで検討し
たごとく，請求項１を引用した本件発明８と同様に，刊行物１発明に刊行物２に記
載の事項を適用し，その際に，さらに刊行物４ないし６に開示の周知技術を適用す
ることにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　　ウ　請求項３を引用した本件発明８
　　　　　請求項３を引用した本件発明８と刊行物２発明とを対比すると，両者
は，前記(3)で認定した相違点７，８の他に，請求項８で限定した事項である相違点
１６においても相違する。
　　　　　しかして，請求項３を引用した本件発明８は，前記(3)において相違点
７，８について検討したごとく，刊行物２発明に刊行物３に記載の事項及び刊行物
４ないし６に記載の周知技術を適用し，その際に，さらに刊行物４ないし６に開示
の周知技術を適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものと
認められる。
　　(9)　本件発明１０の進歩性について
　　　　請求項４を引用した本件発明１０と刊行物３発明とを対比すると，両者
は，前記(4)で認定した相違点９の他に，請求項１０で限定した事項である「前記複
数の波長が，基本波長，基本波長の２次高調波および基本波長の３次高調波を含ん
でいる」点（以下「相違点１７」という。）においても相違する。　しかし，相違
点１７に関して，複数の波長が，基本波長，基本波長の２次高調波及び基本波長の
３次高調波が含んでいるレーザシステムは，刊行物４ないし６に開示された周知の
技術であるから，請求項４を引用した本件発明１０は，刊行物３発明に刊行物２に
記載の事項を適用し，その際に，さらに上記刊行物４ないし６に開示の周知技術を
適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　(10)　本件発明１４の進歩性について
　　　ア　請求項３を引用した本件発明１４
　　　　　請求項３を引用した本件発明１４と刊行物２発明とを対比すると，両者
は，前記(3)で認定した相違点７，８の他に，請求項１４で限定した事項である「前
記複数の波長が，赤外領域の基本波長，可視領域の２次高調波ならびに紫外３次高
調波および紫外４次高調波のうちの少なくとも１つを含んでいる」点（以下「相違
点１８」という。）においても相違する。
　　　　　この相違点１８に係る構成は，前記(8)で検討したように，刊行物４ない
し６に開示された周知の技術である。したがって，請求項３を引用した本件発明１
４は，刊行物２発明に刊行物３に記載の事項を適用し，その際に，さらに上記刊行
物４ないし６に開示の周知技術を適用することにより，当業者が容易に発明をする
ことができたものと認められる。
　　　イ　請求項４を引用した本件発明１４
　　　　　請求項４を引用した本件発明１４と刊行物３発明とを対比すると，両者
は，前記(4)で認定した相違点９の他に，請求項１４で限定した事項である相違点１
８においても相違する。
　　　　　しかし，上記アのごとく，請求項１４で限定した事項は，刊行物４ない
し６に開示された周知の技術と認められるから，請求項４を引用した本件発明１４
は，刊行物３発明に刊行物２に記載の事項を適用し，その際に，さらに刊行物４な
いし６に開示の周知技術を適用することにより，当業者が容易に発明をすることが
できたものと認められる。
　　(11)　請求項１ないし１５について記載不備がある旨の主張について
請求項１ないし１５について記載不備は認められない。
(12)　むすび
　　　　以上のとおり，本件発明１ないし８，１０及び１４は，刊行物１発明ない
し刊行物３発明及び刊行物４ないし８に記載の周知技術に基づいて容易に発明をす
ることができたものであるから，本件発明１ないし８，１０及び１４に係る特許
は，特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり，特許を取消すべきもの
である。
　　　　また，特許異議の申立ての理由及び証拠によっては，本件発明９，１１な
いし１３及び１５に係る特許を取消すことはできない。さらに，本件発明９，１１
ないし１３及び１５に係る特許については，他に取消し理由を発見しない。
第３　当事者の主張
　（原告主張の取消事由）
　１　取消事由１（本件発明１に関する進歩性判断の誤り）
　　　本件決定は，相違点２（本件発明１のレーザは，複数の波長でビームライン
上に選択的に出力ビームを発生する光学系を含んでいて，前記複数の波長が，３つ
以上であるとする構成を具備するのに対し，刊行物１発明は，このような構成が不
明である点）に関する判断において，①刊行物２には，複数の波長でビームライン
上に選択的に出力ビームを発生する光学系が記載されており，②加工すべき対象の
材質に適した波長が選択されることは従来周知であって，③選択可能な波長を増や
したということ以上に格別の技術的意義はないことを理由として，相違点２に係る
本件発明１の構成を想到することは容易であるとしている。
　　　しかしながら，以下に述べるとおり，本件決定の示す上記理由①及び③は誤
りであり，また，そもそも刊行物１発明に刊行物２記載の事項を適用する動機付け
はなく，仮に適用したとしても，本件発明１を創出することはできない。
　　(1)　上記理由①の誤りについて
　　　　刊行物２発明は，２つの光源を用いずに波長の異なる２つの光を得るた
め，レーザ照射装置は，基本波の２次高調波を発生する波長変換素子を具備してい
るのみである。本件決定は，２つの波長を，３つ以上を含む意味となる複数に言い
換えている。しかし，刊行物２には，基本波から３つ以上の波長を発生させる手段
や，波長を増やすことが望ましいといった記載はない。また，刊行物２の波長選択
の方法は，２つの波長のうちいずれかの波長を通過させる１枚の波長選択板を進退
させる方法であるから，３つ以上の波長が存在する場合に，そのうちの１つの波長
を選択することは不可能である。したがって，本件決定の上記理由①に関する認定
は，明らかに誤りである。
　　(2)　上記理由③の誤りについて
　　　　半導体欠陥分析において，３つの波長を選択することができるとすれば，
この分野において最も普遍的な波長である緑色のほか，紫外線エネルギーによっ
て，緑色領域では除去できない，窒化物及びポリイミドのようなパッシベーション
材料を直接除去ができ，さらに緑色に対して有利な補償的波長となる赤外波長によ
って，下地シリコンに対する損傷を少なくして，金属配線を除去することもでき
る。このように，３つ以上の波長を選択的に利用できることによって，半導体を完
壁に処理することが可能になる。しかし，従来の技術においては，プローブステー
ションシステムにおいて複数の波長の光を供給するためには，複数のレーザシステ
ムが必要とされ，また，紫外線を供給するエキシマレーザは大きな嵩高い装置であ
り，しかもレーザエネルギーを顕微鏡の光学系に導くために複雑なガイド管を必要
とするから，このような大きなレーザシステムでは，顕微鏡にマウントすることは
不可能である。　刊行物２発明は，２つの波長の光を供給できるレーザ加工装置に
すぎないだけでなく，顕微鏡にマウントできる程の極めてコンパクトな大きさで実
現できるようなレーザ装置ではなく，また，コンパクトにするための具体的な方法
の開示もない。
　　　　これに対し，本件発明１においては，出力される光の波長が３つ以上であ
るレーザ装置にもかかわらず，極めてコンパクトな寸法であるため，顕微鏡にマウ
ントすることができる。このため，半導体欠陥分析における極めて有利な効果を発
揮するのである。
　　(3)　本件決定における上記理由①及び③の認定は誤っているから，これらの理
由に基づき本件発明１に進歩性がないとした判断も，誤りである。
　　　　また，そもそも，刊行物１は，「顕微鏡つき，簡易型レーザトリミング装
置」の特徴等と，簡単な標準構成図を開示する製品パンフレットにすぎず，選択可
能な波長を複数にすることの利点やその問題点について，何らの記載も示唆もな
い。他方，刊行物２においても，レーザ加工装置の選択可能な波長を３つ以上にす
ることや，同装置を顕微鏡にマウントするようなコンパクトな大きさにすること，
さらに，そのことによる利点について，開示も示唆もされていない。
　　　　したがって，刊行物１発明及び刊行物２に記載の事項は，これらを組み合
わせることによって，本件発明１のようなプローブステーションを創出するという
動機付けをそもそも有していない。また，例え両者の組合わせを試みたとしても，
顕微鏡に搭載できるような極めてコンパクトな大きさのレーザ加工装置にすること
は不可能である。
　２　取消事由２（本件発明２に関する進歩性判断の誤り）
　　　本件発明２と刊行物１発明との相違点４ないし６は，それぞれ本件発明１と
刊行物１発明との相違点１ないし３にそれぞれ相当するから，本件発明２について
は，前記１で述べた議論がそのまま適用されることになる。したがって，取消事由
１と同様の理由により，本件決定の本件発明２に関する進歩性判断には誤りがあ
る。
　３　取消事由３（本件発明３と刊行物２発明との一致点の認定誤り及び本件発明
３に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　一致点の認定誤り
　　　　本件決定は，本件発明３と刊行物２発明とは，①「制御可能な複数の波長
を供給するためのレーザシステム」であること，②「出力ビームの波長を選択する
切替可能な光学系とを具備したシステム」であることにおいて一致するとしてい
る。しかし，以下に述べるとおり，上記一致点の認定は誤りである。
　　　ア　上記①について
　　　　　刊行物２発明においては，基本波長と２次高調波の２つの波長を供給す
ることしかできない。これに対し，本件発明３は，基本波長と複数の高調波という
３つ以上の波長を含むことが前提とされており，「複数の波長を供給する」といっ
ても，両者において，その意味は明らかに相違する。
　　　イ　上記②について
　　　　　刊行物２発明における波長選択の方法によっては，２つの波長を選択す
ることはできても，３つ以上の複数の波長を選択することはできない。これに対
し，本件発明３における切替可能な光学系は，３つ以上の波長を含む出力ビームの
波長を選択することができなければならない。したがって，本件決定のこの点に関
する認定は誤りである。
　　(2)　進歩性判断の誤り
　　　ア　本件決定は，相違点８（本件発明３は単一のビーム経路内の複数の高調
波を受信し減衰することができる可変減衰器を有しているが，刊行物２発明はこの
ような可変減衰器を有していない点）に関する判断において，刊行物３に記載の可
変減衰器を刊行物２発明に適用して相違点８に係る本件発明３の構成とすることは
容易であるとする。
　　　　　しかしながら，刊行物３に記載の可変減衰器は，レーザ光（波長１．０
６μｍ）が可変減衰器に送られ，非線形結晶体である２次高調波発生器によって，
基本波と２次高調波の出射光が得られ，２次高調波発生器を回動させることによっ
て出力光のエネルギー制御がなされ，光軸補正板によって光軸が補正された後，２
次高調波だけが可変減衰器の出力光として送出されるというものである。したがっ
て，刊行物３発明の可変減衰器は，レーザ光を受信し，可変減衰器内の高調波発生
器によって発生する高調波出力光を減衰するものである。これに対し，本件発明３
における可変減衰器は，既に発生している複数の高調波を受信し，複数の高調波を
減衰するものである。したがって，刊行物３記載の可変減衰器が，本件発明３の可
変減衰器とは異なるものであることは明らかである。
　　　　　以上から，刊行物２発明に，刊行物３発明の可変減衰器を適用しても，
相違点８に係る本件発明３の構成のごとくすることはできない。
　　　イ　被告は，「複数の波長のレーザに対応する可変減衰器も，本件出願前に
周知となっていた」と主張する。
　　　　　しかし，本件出願前に周知であったのは，複数の波長のうちから出力ビ
ームとして選択された，いずれか１つの波長を減衰する可変減衰器にすぎない。例
えば，被告の提出した特開平７－１２４７６４号公報（乙５）においても，加工レ
ーザを波長可変とし，薄膜構成に適合した波長を選択することしか記載されていな
い。
　　　　　したがって，複数のすべての波長を減衰することのできる本件発明３に
おける可変減衰器は，本件出願当時においても周知ではなかった。
　４　取消事由４（本件発明４と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
４に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　一致点の認定誤り
　　　　本件決定は，本件発明４と刊行物３発明とは，①「制御可能な減衰を伴う
複数の波長を供給するためのレーザシステム」である点，②「前記複数の波長のう
ち少なくとも１つの特定波長のウォークオフを生じさせる非線形光学系」と，③
「複数の波長のそれぞれが，選択されたときに単一のビームライン上に供給される
ようにウォークオフを補償する手段」を具備する点で一致するとしている。しか
し，以下に述べるとおり，上記一致点の認定は誤りである。
　　　ア　上記①について
　　　　　刊行物３発明のレーザ装置は，単一の特定高調波のみを出力するための
レーザシステムであって，「複数の波長を供給するためのレーザシステム」ではな
い。
　　　イ　上記③について
　　　　　刊行物３には，光軸の位置ずれを補償する手段に関する記載があるが，
補償されるのは，２次高調波発生器を回動させることによって生じる光軸の位置ず
れである。また，刊行物３においては，回動によって，各波長について光軸のずれ
を確認しながら調整し，光軸が補正されることから，ウォークオフの補償手段であ
る「光軸補正板」は，所定の角度に定められているわけではない。さらに，刊行物
３には，光軸補正板２０は，光軸のずれを補正するとの開示はみられるものの，高
調波発生器１７のエネルギー強度の回動角制御（連続的制御）に伴う光軸のずれの
補正についての抽象的概念的開示にとどまっており，これを達成するための具体的
材料及び付随する数値等，不連続なウォークオフを定量的に把握する点について
も，これを即応的に補償する点についても，一切開示がない。
　　　　　これに対し，本件発明４の「ウォークオフ」とは，非線形光学系によっ
て生じる高調波の光軸の位置ずれのことである。刊行物３発明は，非線形光学系に
よって生ずる光軸のずれである「ウォークオフ」を補償する手段は具備していな
い。本件発明４においては，「特定波長の」ウォークオフについて，当該ウォーク
オフの補償のために所定の角度が設定されており，また，特定の複数の高調波すべ
てについて，発生するウォークオフを予め定量的に把握し，これらが単一のビーム
ラインに沿って供給されるよう補償する手段を設けている。
　　　ウ　上記②について
　　　　　刊行物３発明においては，非線形光学系によるウォークオフは生じてい
ないから，「特定波長のウォークオフを生じさせる非線形光学系」も具備していな
い。
　　(2)　進歩性判断の誤り
　　　　本件決定は，上記一致点の認定を誤っているから，本件発明４に関する進
歩性判断も誤っている。
　　　　また，本件決定は，相違点９（本件発明４は，出力ビームの波長を選択す
る切替可能な光学系を有しているのに，刊行物３発明はこのような光学系を有しな
い点）に関する判断において，刊行物３発明に刊行物２発明の波長選択板を適用し
て相違点９に係る本件発明４の構成とすることは容易であるとする。
　　　　しかし，刊行物３発明は，基本波であるレーザ光から高調波を発生させた
上で，基本波成分を抜き出し，単一の高調波のみを出力し，エネルギー制御して利
用するレーザ装置であり，２波長のレーザを利用するものではないから，刊行物２
発明の波長選択板を適用したとしても，そもそも波長を選択することはできず，相
違点９に係る本件発明４の構成を創出し得ない。
　５　取消事由５（本件発明５と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
５に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　一致点の認定誤り
　　　　本件決定は，本件発明５と刊行物３発明とを比較し，①「制御可能な減衰
を伴う複数の波長を供給するためのレーザシステムで」ある点，②「レーザによっ
て発生されたビームを受信し，基本波長，２次高調波の少なくとも１つを発生する
ことができる単一のビーム経路内の可変減衰器」を具備する点で，両者は一致する
と認定している。しかし，以下に述べるとおり，上記一致点認定は誤りである。
　　　ア　上記①について
　　　　　刊行物３発明は，単一の特定高調波のみを出力するためのレーザシステ
ムであり，上記認定は誤りである。
　　　イ　上記②について
　　　　　本件決定は，以下に述べるとおり，請求項５の記載を読み誤った結果，
上記②を一致点と認定したものであり，この認定は誤りである。
　　　　　すなわち，請求項５の記載は，本件発明５の可変減衰器は，(ア)基本波
長　と，(イ)２次高調波と，(ウ)３次及び４次高調波の少なくとも１つを発生する
ことができるということを意味している。このように，本件発明５において，可変
減衰器は，基本波長，２次高調波，３次及び４次高調波の少なくとも３つ以上，多
ければ４つの波長を発生することができるものである。これに対して，刊行物３発
明の可変減衰器は２次高調波のみを発生するものでしかない。したがって，本件発
明５と刊行物３発明とは上記②の点で一致しない。
　　(2)　進歩性判断の誤り
　　　　本件決定は，相違点１０，相違点１２及び相違点１３に関する判断におい
て，本件発明５は，刊行物３発明に，刊行物３ないし５に記載の事項，並びに刊行
物７及び８に記載の２つの周知技術を適用することにより，上記各相違点に係る本
件発明５の構成とすることは容易にできたとしている。しかしながら，以下に述べ
るとおり，上記各相違点についての本件決定の判断には，誤りがある。
　　　ア　相違点１０（本件発明５のＮｄ：ＹＡＧレーザは，受動的に空冷され，
電子－光学的にＱスイッチされるのに対して，刊行物３発明はこの構成が不明であ
る点）に関する判断について
　　　　　本件決定は，刊行物８の記載を根拠に，Ｎｄ：ＹＡＧレーザにおいて冷
却系を設けることは周知技術であるとして，刊行物３発明にこれを適用して相違点
１０に係る本件発明５の構成のごとくするのは容易であるとする。
　　　　　しかし，刊行物８には，Ｎｄ：ＹＡＧレーザに冷却系を設ける必要があ
ること，水の中に浸して冷却する方法については開示されているが，冷却系の具体
的な機構については何ら開示していない。これに対し，本件発明５は，受動的に冷
却される機構を有するものであり，このような機構を設けることによって，プロー
ブステーションの振動防止という顕著な効果を有するものである。刊行物８には，
受動的な冷却機構を設けること，及びそれによる効果について，これを示唆するよ
うな記載は一切認められない。したがって，冷却系を設けること自体は周知であっ
たとしても，受動的な冷却機構を設ける技術については，到底周知とはいえず，刊
行物３発明に，冷却系を設けるという周知技術を適用しても，相違点１０に係る本
件発明５の構成を創出することは不可能である。
　　　イ　相違点１２（本件発明５は，可変減衰器が，更に，３次および４次高調
波の少なくとも１つを発生することができるのに対して，刊行物３発明は，このよ
うになっていない点）に関する判断について
　　　　　本件決定は，刊行物３の記載から，基本波長，２次高調波並びに３次及
び４次高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択するようにする
ことは，当業者であれば容易であるとする。
　　　　　しかし，本件発明５は，上記のように３つ以上の波長を発生させるもの
であるのに，刊行物３発明は，単一の高調波のみを発生させる可変減衰器を備えて
いるにすぎないから，両者は全く異なる。したがって，相違点１２に関する上記判
断は，請求項５の記載を読み誤った結果，その判断を誤ったものである。
　　　ウ　相違点１３（本件発明５は，基本波長，２次高調波並びに３次及び４次
高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択するための切替可能な
光学系を有しているのに対して，刊行物３発明は，このようになっていない点）に
関する判断について
　　　　　本件決定は，「複数の波長の中から出力ビームの波長を選択すること
は，刊行物７にみられるごとく，周知技術であり」，刊行物３にこの周知技術を適
用すれば，相違点１３に係る本件発明５の構成になし得るとする。
　　　　　しかし，刊行物３発明においては，複数の波長が出力されないから，こ
れに波長を選択するための切替可能な光学系を適用しても，相違点１３に係る本件
発明５の構成には至らない。
　　　　　また，仮に，刊行物３発明において複数の波長が出力されたとしても，
本件発明５において，切替可能な光学系による波長選択の対象とされるのは，基本
波長と複数の高調波であるところ，基本波から高調波を発生させた場合ウォークオ
フが生じてしまうため，複数の高調波を切り替えて出力ビームとして利用する場合
には，何らかのウォークオフを補償する手段が必要となる。しかるに，刊行物７に
は，「複数の波長で発振するレーザ」の場合の波長選択機構について記載されてい
るにすぎず，基本波から複数の高調波を発生させた場合の波長選択機構は示唆すら
されていないから，刊行物３発明が複数の高調波を発生し得たと仮定しても，これ
に刊行物７記載の周知技術を適用したところで，相違点１３に係る本件発明５の構
成を創出することはできない。
　６　取消事由６（本件発明６に関する進歩性判断の誤り）
(1)本件決定は，本件発明１及び２の進歩性の判断を誤っており，本件発明１
及び２は進歩性を有するものであるから，請求項１及び２を引用する本件発明６も
進歩性を有するものである。
　　(2)　また，本件決定は，相違点１４（本件発明６が，「前記レーザが，ビーム
経路に沿って基本波長のビームを発生する固体レーザと；前記基本波長の複数の高
調波を発生するビーム経路内の１以上の非線形光学系と；前記複数の波長のための
ビーム経路内の可変減衰器と；前記複数の高調波および前記基本波長の中から，前
記出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備」しているのに対し，刊
行物１発明はそのようになっていない点）に関する判断において，刊行物１発明に
刊行物２及び刊行物３記載の事項を適用し，さらに，刊行物４ないし７に記載の２
つの周知技術を施したレーザを適用することにより，相違点１４に係る本件発明６
の構成とすることは容易に想到できたとするが，この判断も誤りである。
　　　ア　刊行物１発明に，刊行物３記載の事項を適用するには，刊行物３記載の
各レーザ装置を，顕微鏡にマウントできる程度のコンパクトなものにする必要があ
るが，刊行物３にはこれに関する技術は一切記載されていない。
　　　イ　また，前記５に述べたごとく，刊行物７には，基本波から複数の高調波
を発生させた場合の波長選択機構は示唆すらされておらず，ウォークオフ補償手段
も記載されていないから，刊行物７記載の周知技術を適用しても，相違点１４に係
る本件発明６の構成に至ることはできない。
　　　ウ　加えて，本件決定は，「複数の高調波を発生させるレーザ装置は，刊行
物４ないし６にみられるごとく周知である」と認定しているが，刊行物４ないし６
は，４次高調波や５次高調波を発生させる光学系について記載はしているものの，
いずれも出力ビームとしては単一の高調波を発生させるレーザ装置にすぎず，複数
の高調波をすべて出力ビームとして発生させる技術については記載も示唆もない。
したがって，複数の高調波を出力ビームとして発生するレーザ装置は周知技術とは
いえない。
　　　　　また，レーザ装置の大きさをコンパクトにする技術も刊行物４ないし６
に記載されておらず，周知技術ではない。
　　　エ　よって，刊行物１発明に刊行物２及び刊行物３の記載事項を適用し，刊
行物４ないし７に開示された周知技術を適用したとしても，相違点１４に係る本件
発明６の構成を創出することはできない。
　７　取消事由７（本件発明７に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　本件決定は，本件発明１ないし３の進歩性の判断を誤っており，本件発明
１ないし３は進歩性を有するものであるから，請求項１ないし３を引用する本件発
明７も進歩性を有するものである。　
　　(2)　また，本件決定は，相違点１５（本件発明７は，「前記レーザが，空冷さ
れ，電子－光学的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザ」を備えているのに対
し，刊行物１発明はこの構成が不明である点）に関する判断において，相違点１５
に係る本件発明７の構成は，刊行物１発明に刊行物８に記載の周知のレーザを適用
することにより，当業者が容易に想到できたとするが，この判断も誤りである。
　　　　すなわち，刊行物８に記載のレーザは，プローブステーションシステムに
装着するように設計されたもの，すなわち，顕微鏡にマウントできるような大きさ
のものではない。刊行物８には，冷却系を備え，電子－光学的にＱスイツチされる
Ｎｄ：ＹＡＧレーザを，そのような大きさに設計する技術について，何らの開示も
なく，一切示唆もない。そして，その効果についても，何ら記載されていない。
　　　　したがって，刊行物１発明に刊行物８に記載の周知のレーザを適用して
も，相違点１５に係る本件発明７の構成を当業者が容易に創出することはできな
い。
　８　取消事由８（本件発明８に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　本件決定は，本件発明１ないし３の進歩性の判断を誤っており，本件発明
１ないし３は進歩性を有するものであるから，請求項１ないし３を引用する本件発
明８も進歩性を有するものである。
　　(2)　また，本件決定は，相違点１６（本件発明８においては「前記複数の波長
が，赤外領域の少なくとも１つの波長，可視領域の少なくとも１つの波長，および
紫外領域の少なくとも１つの波長を含んでいる」のに対し，刊行物１発明において
はこのような構成が不明である点）に関する判断において，刊行物４ないし６に開
示の周知技術を適用することにより，相違点１６に係る本件発明８の構成は当業者
が容易に想到することができたとするが，この判断も誤りである。
　　　　すなわち，前記６の(2)ウで述べたとおり，刊行物４ないし６には，複数の
高調波すべてを出力ビームとして発生させることができる技術の記載や示唆はな
く，また，複数の高調波を発生させるようなレーザ装置の大きさをコンパクトにす
る技術の記載もない。
　　　　また，半導体欠陥分析において，最も普遍的な波長である緑色，紫外波
長，及び赤外波長の３つの波長を選択的に利用すると，半導体を完壁に処理するこ
とが可能になるという効果を奏する。
　　　　したがって，刊行物１発明に刊行物４ないし６にみられる周知技術を適用
しても，相違点１６に係る本件発明８の構成を当業者が容易に創出することはでき
ない。
　９　取消事由９（本件発明１０に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　本件決定は，本件発明４の進歩性の判断を誤っており，本件発明４は進歩
性を有するものであるから，請求項４を引用する本件発明１０も進歩性を有するも
のである。また，本件決定は本件発明９を維持するとしているから，請求項９を引
用する本件発明１０も進歩性を有するものである。
　　(2)　また，本件決定は，相違点１７（本件発明１０においては「前記複数の波
長が，基本波長，基本波長の２次高調波および基本波長の３次高調波を含んでい
る」のに対し，刊行物３発明においてはそのようになっていない点）に関する判断
において，刊行物３発明に刊行物４ないし６に開示の周知技術を適用することによ
り，相違点１７に係る本件発明１０の構成は当業者が容易に想到することができた
とするが，この判断も誤りである。
　　　　すなわち，本件発明１０においては，出力ビームが複数の高調波を含むこ
とが前提とされているのに対し，刊行物４ないし６には，複数の高調波を出力する
技術は記載されていないから，刊行物３発明に刊行物４ないし６に開示の周知技術
を適用しても，相違点１７に係る本件発明１０の構成に至ることはない。
　10　取消事由１０（本件発明１４に関する進歩性判断の誤り）
　　(1)　本件決定は，本件発明３及び４の進歩性の判断を誤っており，これらは進
歩性を有するものであるから，請求項３及び４を引用する本件発明１４も進歩性を
有するものである。
　　(2)　また，本件決定は，相違点１８（本件発明１４においては「前記複数の波
長が，赤外領域の基本波長，可視領域の２次高調波ならびに紫外３次高調波および
紫外４次高調波のうちの少なくとも１つを含んでいる」のに対し，刊行物２発明に
おいてはそのようになっていない点）に関する判断において，刊行物２発明に刊行
物４ないし６に開示の周知技術を適用することにより，相違点１８に係る本件発明
１４の構成は当業者が容易に想到することができたとするが，この判断も誤りであ
る。
　　　　すなわち，本件発明１４においては，出力ビームは，赤外領域の基本波
長，可視領域の２次高調波，紫外３次高調波及び紫外４次高調波のうちの少なくと
も１つ，の３つ以上の波長を含むことが前提であるのに対し，刊行物４ないし６に
開示の周知技術には，複数の高調波を出力する技術は含まれていないから，刊行物
２発明に刊行物４ないし６に開示の周知技術を適用しても，相違点１８に係る本件
発明１４の構成を創出することはできない。
　（被告の反論）
　１　取消事由１（本件発明１に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　理由①に係る認定について
　　　　本件決定の上記認定は，刊行物２の「制御可能な複数の波長を供給するた
めのレーザシステムであって，単一のビーム経路に沿って基本波のビームを発生す
るレーザと，該ビームを受信し，前記基本波の第２高調波を発生することが可能な
波長変換素子と，出力ビームの波長を選択する波長選択板とを具備したレーザ加工
のための照射システム」との記載部分を，「言い換えると」として認定したもので
あり，「２つ」が，複数の下位概念であることは，明らかであるから，この認定に
誤りはない。さらに，本件決定は，刊行物２に記載されたものは，３つ以上の波長
を選択するものとは異なるものと認定し，その相違点について判断を示しているか
ら，２つを複数に言い換えたことが本件決定の結論に影響を及ぼすものでもない。
　　(2)　理由③に係る認定について
　　　　特開平５－１９２７７９号公報（乙１）には，金属パターンの加工及び高
分子材料や絶縁膜などの被膜の加工に対して異なる波長のレーザ光を使用すること
が記載されており，また，１つの材質であっても加工の種類に応じて波長が選択さ
れることも刊行物２に記載されているように周知である。そして，波長を選択して
使用する際に使用可能な波長が多くなれば，使い勝手が良くなることは当然であ
る。本件発明の，基本波の赤外領域（１０６４ナノメートル），２次高調波の緑色
領域（５３２ナノメートル），及び４次高調波の紫外領域（２６６ナノメートル）
を選択することのできる装置も，特開昭６３－１６１４３５号公報（乙２）に記載
されているように周知であり，格別の技術的意義はない。
　　　　なお，原告の主張する，３つ以上の複数の波長を供給できるレーザを，顕
微鏡にマウントできるほどのコンパクトな寸法において提供することについて，そ
のための構成要件は請求項１に記載されていない。
本件決定の上記認定に誤りはない。
　　(3)　本件決定における理由①ないし③の認定に誤りはないから，これらの理由
に基づき相違点２に係る本件発明１の構成を想到することが容易であるとした本件
決定の結論にも，誤りはない。
　２　取消事由２（本件発明２に関する進歩性判断の誤り）について
　　　取消事由１についてと同様に，本件発明２の進歩性判断にも誤りはない。
　３　取消事由３（本件発明３と刊行物２発明との一致点の認定誤り及び本件発明
３に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　一致点の認定誤りの有無
　　　ア　一致点①の認定について
　　　　　前記１(1)において述べたとおり，刊行物２発明においては，基本波と２
次高調波の２つの波長を発していることは明らかであり，本件決定が，刊行物２発
明においては複数の波長が供給されると認定したことに誤りはない。
本件発明３が，「基本波長」と「複数の高調波」という３つ以上の波長
を含むという点については，本件決定は，相違点７として「本件発明３の非線形光
学系は複数の高調波を発生することが可能であるのに対し，刊行物２発明は１つの
高調波のみを発生する点」として，相違点として認定し，判断しているものである
から，刊行物２発明が，複数の波長を発生していると認定したことが，本件決定の
結論に影響を及ぼすものでもない。
　　　イ　一致点②の認定について
　　　　　刊行物２発明は，２つの波長の出力ビームを選択することができる光学
系を有しているものであり，出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具
備したシステムであるということができる。そして，本件決定は刊行物２発明はそ
の限りにおいて本件発明３と一致すると認定したにすぎず，その認定に誤りはな
い。また，本件発明３に係る請求項３において，３つ以上の波長を含む出力ビーム
の波長で選択するための具体的構成が限定されているわけでもない。
　　(2)　進歩性判断の誤りの有無
　　　ア　刊行物３には，レーザ加工装置において出力される高調波を可変減衰さ
せるという技術思想が開示されており，レーザの分野において，複数の波長のレー
ザに対応する可変減衰器も，本件出願前に周知となっていたから，複数の波長を出
力させる刊行物２発明に刊行物３記載の技術思想を適用する際に，従前知られてい
た「複数の高調波を減衰することができる可変減衰器」を用いるようにすることに
困難性はない。また，刊行物３の可変減衰器に，レーザによって発生されたビーム
として，基本波及び２次高調波を入力させた場合，入力された基本波に対して２次
高調波を，２次高調波に対して４次高調波を減衰可能に生じ，したがって，出力ビ
ームとして，基本波，２次高調波及び４次高調波の３つの波長から選択することは
可能である。
　　　イ　原告は，本件発明３における可変減衰器は，複数の波長をすべて受信し
て，すべての複数の波長を減衰して，単一のビームライン上に供給することができ
るものである旨主張している。
　　　　　しかし，請求項３の記載は，「単一のビーム経路内の前記複数の高調波
を受信し減衰することができる可変減衰器」というものであって，「複数の波長を
すべて受信」すると記載されているものではない。そして，特開平７－１２４７６
４号公報（乙５），特開平２－５０６３号公報（乙６の(1)），「『新版　レーザー
ハンドブック』編集者・矢島達夫他３名，１９８９年６月１５日発行，発行所・株
式会社朝倉書店」の２３８頁～２３９頁（乙６の(2)）に記載されたものも，本件発
明３における可変減衰器と同様に，複数の波長を受信して，いずれの波長も減衰し
て，単一のビームライン上に供給することができるものである。
　　　　　請求項３において，可変減衰器と切替可能な光学系の配置上の前後関係
は記載されていないから，切替可能な光学系により波長を選択した後に，複数の高
調波の１つを減衰するものも含まれるものと認められ，可変減衰器が，必ず複数の
高調波のすべてを同時に受信して減衰するものに限られると解するような原告の主
張は，特許請求の範囲の記載に基づかない主張である。
ウ　本件決定の本件発明３に関する進歩性判断に誤りはない。
　４　取消事由４（本件発明４と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
４に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　一致点の認定誤りの有無
　　　ア　一致点①の認定について
　　　　　「制御可能な減衰を伴う複数の波長を供給する」とは，レーザーシステ
ム内で複数の波長が供給されることを意味すると認められるところ，刊行物３に記
載のレーザ装置も，装置内で基本波と，減衰を伴う２次高調波が供給されるもので
あるから，本件決定の上記認定に誤りはない。
　　　　　そして，レーザーシステムから出力される制御された複数の波長の出力
については，刊行物２に記載されており，本件決定は，刊行物３発明と刊行物２発
明との組合せについて判断しているものであるから，この点に関する認定は，本件
決定の結論にも影響を及ぼすものではない。
　　　イ　一致点②，③の認定について
　　　　(ア)　ウォークオフとは光軸の位置ずれであり，ウォークオフの補償と
は，　光軸の位置ずれの補償であるから，本件決定が，このような光軸の位置ずれ
の補償を行う刊行物３発明の構成（光軸補正板２０）を，ウォークオフの補償手段
と認定した点に誤りはない。
　　　　　　なお，レーザ光を非線形光学系を通過させた際に，ウォークオフが生
ずることは，レーザ分野において周知である。
　　　　(イ)　原告は，特定のフィルタが，「ウォークオフの補償のために所定の
角度が設定されている」と主張しているが，請求項４には，ウォークオフの補償の
ための具体的手段は特定されていないから，原告の主張は，特許請求の範囲の記載
に基づかない主張である。
　　　　(ウ)　さらに，原告は，本件発明４の「ウォークオフの補償」が，出力ビ
ームの波長を切替可能に選択せしめるものであるためには，ウォークオフの量を明
細書開示のように具体的数値としてあらかじめ把握した上で補償するものでなけれ
ばならない旨主張するが，請求項４には，「ウォークオフの補償」が，出力ビーム
の波長を切替可能に選択せしめるものであることについて何らの記載もなく，原告
の主張は，特許請求の範囲の記載に基づかない主張である。
　　(2)　進歩性判断の誤りの有無
　　　　刊行物３発明は，基本波の他に高調波を発生させ，ダイクロイックミラー
で基本波を抜き出してトラップで吸収させるものであり，発生した基本波と高調波
のうちの高調波を選択したものであるから，刊行物３発明に，刊行物２に記載の複
数の波長選択板を設ける点を適用して，波長を選択することは当業者であれば容易
である。
本件決定の本件発明４に関する進歩性判断に誤りはない。
　５　取消事由５（本件発明５と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
５に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　一致点の認定の誤りの有無
　　　ア　一致点①の認定について
　　　　　上記４(1)アにおいて述べたとおり，本件決定の上記認定に誤りはない。
　　　イ　一致点②の認定について
　　　　　本件発明５の可変減衰器の構成は，３つ以上の波長光のうちの１つの波
長光を発生させるものも含まれるものであって，可変減衰器が３つ以上の波長光を
発生させるもののみを意味しない。刊行物３発明は，レーザビームを受信し，２次
高調波を発生するものであるから，レーザによって発生されたビームを受信し，２
次高調波を発生させる点で一致する。
本件決定の上記認定に誤りはない。
　　(2)　進歩性判断の誤りの有無
　　　ア　相違点１０に関する判断について
　　　　　刊行物８には，水の中に浸して冷却する方法が記載されている。そし
て，この種のレーザー装置において，振動を嫌うものであることも従来より知られ
ており（特開平４－５０１５３４号公報（乙４）参照），このような振動を嫌うも
のにその必要とする冷却の程度に応じて，水冷，空冷等の周知の冷却手段を設ける
ことは必然のことであり，本件発明５の「受動的に空冷され」については，本件明
細書に具体的な構成が記載されていないが，例えば，フィン等の受動的な冷却手段
とすることは，当業者であれば適宜なし得る程度のものである。また，Ｎｄ：ＹＡ
Ｇレーザが，電子－光学的にＱスイッチされる点は，刊行物８に記載されているよ
うに周知技術である。
　　　イ　相違点１２に関する判断について
　　　　　前記(1)イで述べたとおり，本件発明５の可変減衰器の構成は，３つ以上
の波長光のうちの１つの波長光を発生させるものも含まれるものである。刊行物３
発明は，レーザビームを受信し，２次高調波を発生するものであり，また，刊行物
３には，より高次の高調波発生器を採用し得ることも記載されている。そこで，本
件決定は，相違点１２に係る本件発明５の構成とすることは当業者が容易に想到で
きると判断したものである。
　　　ウ　相違点１３に関する判断について
　　　　　刊行物３発明においても，複数の波長を発生させた上で一方の波長を選
択して出力するものである。ウォークオフを補償する手段は，本件発明５の構成要
件ではない。また，刊行物７には，波長選択の基礎技術として波長選択機構につい
ての記載がされており，レーザが，基本波から複数の高調波を発生させる場合であ
れば，波長選択機構において，これらの複数の波長を選択できるようにすること
は，設計上当然なされるべき事項である。
エ　上記のとおり，本件決定の本件発明５に関する進歩性判断に誤りはな
い。
　６　取消事由６（本件発明６に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　本件発明１，２が進歩性を有しないとした本件決定に誤りがないことは既
に述べたとおりであり，したがって，請求項１，２を引用した本件発明６も進歩性
を有しない。
　　(2)　相違点１４に関する判断の誤りについて
原告は本件決定の相違点１４に関する判断は誤っているとして，（原告主
張の取消事由）６の(2)アないしウのとおり主張する。
ア　取消事由６の(2)アについて
レーザ装置の大きさをコンパクトにする構成は，本件発明６には，特段
の構成として限定されていない。
イ　取消事由６の(2)イについて
前記５の(2)ウで述べたとおりである。
　　　ウ取消事由６の(2)ウについて
　　　　　刊行物４ないし６記載のレーザ装置は，複数の高調波を出力ビームとし
て発生することのできるレーザ装置といえるから，「複数の高調波を発生させるレ
ーザ装置は，周知技術であるといえる。また，レーザ装置の大きさをコンパクトに
する構成は，本件発明６には，特段の構成として限定されていない。
　　(3)　上記のとおり，本件決定の本件発明６に関する進歩性判断に誤りはない。
　７　取消事由７（本件発明７に関する進歩性判断の誤り）に対して
　(1)　本件発明１ないし３が進歩性を有しないとした本件決定に誤りがないこと
は既に述べたとおりであり，したがって，請求項１ないし３を引用した本件発明６
も進歩性を有しない。
(2)　前記５(2)アで述べたとおり，当業者が相違点１５に係る本件発明７の構
成を想到することは容易というべきである。
(3)　上記のとおり，本件決定の本件発明７に関する進歩性判断に誤りはない。
　８　取消事由８（本件発明８に関する進歩性判断の誤り）について
(1)　本件発明１ないし３が進歩性を有しないことは既に述べたとおりであり，
したがって，請求項１ないし３を引用した本件発明８も進歩性を有しない。
　　(2)　相違点１６に関する判断について
　　　　刊行物５記載のレーザ装置は，基本波，２次高調波，４次高調波及び５次
高調波を発生しており，刊行物５には，このうち必要な波長を出力として選択でき
ることが実質的に記載されていると認められる。また，レーザ装置の大きさをコン
パクトにする技術については，本件発明８が，特段の構成を備えているとは認めら
れない。
当業者が相違点１６に係る構成を想到することは容易であるとした本件決
定に誤りはない。
　９　取消事由９（本件発明１０に関する進歩性判断の誤り）について
(1)　本件発明４が進歩性を有しないことは既に述べたとおりであり，したがっ
て，請求項４を引用した本件発明１０も進歩性を有しない。
(2)　相違点１７に関する判断について
　　　　前記８(2)に述べたのと同様の理由により，当業者が相違点１７に係る本件
発明１０の構成を想到することは容易であるというべきである。
(3)　上記のとおり，本件決定の本件発明１０に関する進歩性判断に誤りはな
い。
　10　取消事由１０（本件発明１４に関する進歩性判断の誤り）について
(1)　本件発明３，４が進歩性を有しないことは既に述べたとおりであり，した
がって，請求項３，４を引用した本件発明１４も進歩性を有しない。
(2)　相違点１８に関する判断について
　　　　前記８(2)に述べたのと同様の理由により，当業者が相違点１８に係る本件
発明１４の構成を想到することは容易というべきである。
(3)　上記のとおり，本件決定の本件発明１４に関する進歩性判断に誤りはな
い。
第４　当裁判所の判断
　１　取消事由１（本件発明１の進歩性判断の誤り）について
　　(1)　原告は，本件決定が，相違点２に関する判断において，①刊行物２には，
複数の波長でビームライン上に選択的に出力ビームを発生する光学系が記載されて
いるとした点，③選択可能な波長を増やしたということ以上に格別の技術的意義は
ないとした点は誤りであり，本件発明１は進歩性を有する旨主張している。
　　　　そこでまず，原告の上記主張について検討する。
　　　ア　上記①について
　　　　　刊行物２（甲５）の記載によれば，刊行物２発明は，基本波とその２次
高調波を発生するレーザ照射装置であると認められる。そして，２つの波長も複数
の波長であることには変わりがなく，したがって，本件決定が，刊行物２には，複
数の波長でビームライン上に選択的に出力ビームを発生する光学系が記載されてい
るとした点に誤りがあるとすることはできない。なお，本件決定は，本件発明１に
おいて選択可能な複数の波長が３つ以上である点について，上記のとおり③として
別途判断している。
　　　イ　上記③について
　　　　　刊行物２（甲５）によれば，「レーザ光を被照射物に照射してレーザ加
工を行なう場合，この被照射物の同一部分に溶融加工と変質加工（たとえば紫外線
処理）などのように２つの加工を同時あるいは順次に行なうことがある。従来，こ
のような２つの加工を同時あるいは順次に行なうには，それぞれの加工に適した波
長の光を別々の光源から出射させ，反射鏡などの光学部品を用いて上記被加工物の
同一箇所に導くようにしていた。」（１頁左下欄２０行～右下欄９行），「このよ
うに，従来は被照射物に波長の異なる２つの光を照射する場合，２つの光源を用い
るようにしていたので，構成の複雑化を招いたり，各光源から出射されたそれぞれ
の光の位置決めが難しくなるなどのことがあった。この発明は上記事情にもとづき
なされたもので，その目的とするところは，２つの光源を用いずに波長の異なる２
つの光を得ることができ，しかも，複雑な光学部品を用いずにこれら２つの光の一
方を焦点位置を合致させ，他方を焦点はずして被照射物に照射することができるよ
うにしたレーザ照射装置を提供することにある。」（２頁左上欄６～１７行）と記
載されており，この記載によれば，刊行物２発明は，被照射物の同一部分に溶融加
工と変質加工などのように２つの加工を行うときに使用する同一光源から２つの波
長を発生するレーザ照射装置であると認められる。また，証拠（乙１）には，段落
【０００６】～【０００９】に，被加工物の材質の異なる加工に対して，すなわ
ち，金属パターンの加工及び高分子材料や絶縁膜などの被膜の加工に対して，１台
のレーザ加工装置によって，異なる２種類の波長のレーザ光を選択的又は同時に使
用することが記載されている。そして，これらの刊行物に開示されているのは，い
ずれも２つの波長を発生するレーザ照射装置であるが，レーザ加工の種類又は加工
材料によって，さらに多くの波長のレーザ光が必要であることは自明であり（刊行
物２には，７５０ｎｍと３７５ｎｍの波長及び１．０６４μｍと０．５３２μｍの
波長を使用すること，乙１には，ＹＡＧレーザの２次高調波と４次高調波及び２次
高調波と３次高調波を使用することが記載されている。），また，刊行物４ないし
６（甲７の(1)ないし(3)）に開示されているように，非線形光学素子を複数用いれ
ば基本波長と合わせて３つ以上の波長の光を発生することができることは周知であ
るから，本件発明１において，「出力ビームのための３つ以上の選択可能な波長」
とすることは，単に，選択可能な波長を増やしたということ以上の意義を有するも
のとは認められない。
　　　　　原告は，半導体欠陥分析において，最も普遍的な波長である緑色，紫外
波長，及び赤外波長の３つの波長を選択的に利用すると，半導体を完壁に処理する
ことが可能になるという効果を奏すると主張する。しかしながら，本件発明１は，
前示のごとく，出力ビームのために３つ以上の選択可能な波長を含むことを規定す
るのみで，波長領域を特定するものではないから，原告の主張する効果は，本件発
明１の奏する効果とはいえない。
ウ　以上のとおり，原告の上記主張はいずれも理由がない。
　(2)原告は，刊行物１は，「顕微鏡つき，簡易型レーザトリミング装置」の特
徴等と，簡単な標準構成図を開示する製品パンフレットにすぎず，他方，刊行物２
においても，レーザ加工装置の選択可能な波長を３つ以上にすることや，同装置を
顕微鏡にマウントするようなコンパクトな大きさにすることは開示されていないか
ら，刊行物１発明と刊行物２発明とは組み合わせる動機付けを有していないし，ま
た，組み合わせたとしても，顕微鏡に搭載できるような極めてコンパクトな大きさ
のレーザ加工装置にすることは，不可能である旨主張する。
　　　　しかしながら，刊行物１（甲３）には，小型ＹＡＧレーザを超長作動距離
対物レンズのついた顕微鏡に搭載した簡易型のレーザトリミング装置が開示されて
おり，したがって，刊行物１発明と刊行物２発明とは，ともにレーザ加工を行う装
置である点で共通しており，両者は技術分野を共通にするから，両者を組み合わせ
る動機付けは存するというべきである。
　　　　また，本件発明１は，３つ以上の波長の光を供給できるレーザを顕微鏡と
共にベースにマウントするものであるが，特許請求の範囲にレーザをコンパクトに
するための具体的な構成要件は規定されておらず，さらに，本件明細書（甲２）に
は，レーザシステムはＮｄ：ＹＡＧレーザと複数の高調波発生器を含むものである
ことが記載されており，刊行物２（甲５）にも，「上記励起ヘッド２の他方の端面
と出力透過ミラー４との間にはβ－ＢａＢ２０４結晶からなり，上記基本波の一部
分を波長が３７５ｎｍの第２高調波に変換する波長変換素子５が位相整合を満たす
角度で設置されている。」（２頁左下欄７～１１行），「なお，上記１実施例では
アレキサンドライトレーザについて述べたが，波長が１．０６４μｍのＮｄ：ＹＡ
Ｇレーザの基本波を波長が０．５３２μｍの第２高調波に変換する場合にもこの発
明は適用することができ，レーザの種類に制限を受けるものではない。」（３頁左
下欄１４～１８行）と記載され，Ｎｄ：ＹＡＧレーザと高調波発生器を使用するこ
とが示唆されているから，刊行物２記載のレーザ照射装置を刊行物１発明のレーザ
としてマウントすることができないということはできない。
　　(3)　以上のとおりであるから，取消事由１は理由がない。
　２　取消事由２（本件発明２に関する進歩性判断の誤り）について
　　　原告は，取消事由１と同様の理由により，本件決定の本件発明２に関する進
歩性判断には誤りがある旨主張するが，取消事由１に理由がないことは前記１に説
示したとおりであり，したがって，取消事由２も理由がない。
　３　取消事由３（本件発明３と刊行物２発明との一致点の認定誤り及び本件発明
３に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　本件決定は，相違点８（本件発明３は単一のビーム経路内の複数の高調波
を受信し減衰することができる可変減衰器を有しているが，刊行物２発明はこのよ
うな可変減衰器を有していない点）を本件発明３と刊行物２発明との相違点の１つ
として挙げるが，原告は，刊行物３発明の可変減衰器は，本件発明３の可変減衰器
とは異なるものであるから，これを刊行物２発明に適用しても，相違点８に係る本
件発明３の構成にはならない旨主張する。
　　(2)ア　そこで，検討するに，刊行物３（甲６）には次の記載がある。
　　　　(ア)　「第１図は全体としてレーザ加工装置を示すもので，１はレーザで
あ　り，例えばＮｄ：ＹＡＧレーザが用いられ，レーザ光２（波長１．０６［μ
ｍ］）が可変減衰器３に送られる。可変減衰器３は，レーザ光２に対する結晶の位
相整合条件を制御することによって出力レーザ光６のエネルギーを制御するもの
で，第２図及び第３図に示すように，平行平面板状の第２高調波発生器１７と，光
軸補正板２０と，ダイクロイックミラー１９とからなる。」（２頁左下欄９～１８
行）
　　　　(イ)　「第２高調波発生器１７は，非線形光学効果を有する結晶体，例え
ば透明なＫＤＰ（リン酸二水素カリウム）からなり，基本波（波長１．０６［μ
ｍ］）のレーザ光が入射したとき，基本波成分と第２高調波（波長０．５３［μ
ｍ］）成分とでなる出射光１８が得られる。」（２頁左下欄１８行～右下欄４行）
(ウ)　「第２高調波発生器１７の出射光１８のエネルギー強度は，ＫＤＰ
結晶子の方位と電場ベクトルの方向との位相整合条件に応じた値になり，位相整合
がとれたとき最大値を呈するようになされている。第２高調波発生器１７は，第２
図，第３図の仮想軸３８を中心にして入射光２に対して前後方向に回動し得るよう
に回動自在に設けられ，かくして第２高調波発生器１７の結晶と入射光との間の相
対的位相関係を連続的に変更し得るようになされている。ここで，第２高調波発生
器１７を仮想軸３８を中心に回動させると，第４図に示すようにある回動角の範囲
内では回動角θが入射光２と結晶との間の位相整合がとれたマッチング回動角θ。
になったとき出射光１８のエネルギー強度が最大になり，回動角がこのマッチング
回動角θ。からずれて行くに従って出射光１８のエネルギー強度が低下して行く関
係がみられる。その結果，第２高調波発生器１７の出射光１８のエネルギー強度
は，回動角をマッチング回動角θ。を中心にして調整することにより制御すること
ができる。」（２頁右下欄５行～３頁左上欄６行）
　　　　(エ)　「かくして第２高調波発生器１７から得られる出射光１８のエネル
ギ
　　　　　ー強度が制御されるが，その際に回動角に応じた量だけ光軸が平行に位
置ずれする（第３図参照）。この光軸の位置ずれは，ガラス材料でなる光軸補正板
２０によって補正され，その出射光３９がダイクロイックミラー１９に送出され
る。ダイクロイックミラー１９は，光軸補正板２０を通過したレーザ光３９のう
ち，基本波を抜き出してトラップ４に導いて吸収させ，これにより，第２高調波成
分だけを可変減衰器３の出力光６として送出する。」（３頁左上欄１０行～右上欄
１行）
　　　　(オ)　第３図には，レーザ光２が傾斜した第２高調波発生器１７に入射
し，基本波と第２高調波とでなる出射光１８が下方に光軸がずれて出射し，第２高
調波発生器１７と逆方向に傾斜したガラス材料でなる光軸補正板２０に入射して，
元の光軸に戻ったレーザ光３９が出射することが示されている。
　　　イ　上記認定の刊行物３の記載によれば，刊行物３の可変減衰器は第２高調
波発生器等で構成され，第２高調波発生器の非線形光学結晶体を傾斜させることに
より位相整合条件を変化させ，発生する第２高調波の強度を制御するものであると
認められる。そうすると，上記可変減衰器は，非線形光学結晶体を傾斜させること
により第２高調波を減衰させた上，これを出力ビームとして使用するものであると
はいえるが，元来基本波である入射光自体の強度を減衰させることを目的とするも
のではないというべきである。また，上記記載及び技術常識に照らせば，刊行物３
の可変減衰器は，基本波のみを受信し，位相整合条件を変化させることにより，基
本波から第２高調波に波長変換する割合を変化させるものであるから，第２次高調
波の出力が減衰すれば，基本波の出力は増強し，逆に，第２高調波の出力が増強す
れば，基本波の出力は減衰するのであって，基本波と第２高調波の両者を減衰する
ことができるものではないと認められる。
　　　ウ　他方，本件発明３における可変減衰器は，「単一のビーム経路内の前記
複数の高調波を受信し減衰することができる可変減衰器」であり，単一のビーム経
路内の複数の高調波を受信して，その受信した複数の高調波自体を減衰することが
できるものと解されるから，前記刊行物３記載の可変減衰器と異なるものであるこ
とは明らかである。
　　(3)　被告は，レーザの分野において，複数の波長のレーザに対応する可変減衰
器も，本件出願前に周知となっていたと主張して，乙５（特開平７－１２４７６４
号公報）及び乙６の(1)（特開平２－５０６３号公報），(2)（「『新版　レーザー
ハンドブック』編集者・矢島達夫他３名，１９８９年６月１５日発行，発行所・株
式会社朝倉書店」の２３８頁～２３９頁）を提出する。しかしながら，乙５は，平
成７年５月１６日に公開された公開公報であるから，本件出願前公知の文献ではな
く，また，波長可変レーザから出力された１波長のレーザ光を減衰するものであ
る。また，乙６の(1)には，フリーエレクトロン形のレーザであるパルス化光源から
の１波長のレーザ光を可変減衰するものが記載されており，乙６の(2)には，フリー
エレクトロン形のレーザが，波長可変のレーザであることが示されている。してみ
ると，これらの刊行物には，１波長のレーザ光を入射させて可変減衰する減衰器が
開示されているにすぎず，複数の波長のレーザ光を入射させて，該複数の波長のレ
ーザ光を減衰させる減衰器は開示されていない。
　　　　被告は，請求項３には，可変減衰器と切替可能な光学系の配置上の前後関
係は規定されていないから，切替可能な光学系により波長を選択した後に，複数の
高調波の１つを減衰するものも含まれると主張する。しかしながら，本件発明３に
おける可変減衰器は，単一のビーム経路内の複数の高調波を受信して，その受信し
た複数の高調波自体を減衰することができるものと解されることは前示のとおりで
あり，切替可能な光学系が前置されるのであれば，「前記複数の高調波を受信し減
衰することができる可変減衰器」とは記載せず，単に「可変減衰器」と記載するも
のと認められる。
被告の上記主張はいずれも理由がない。
　　(4)　以上のとおり，刊行物３発明に係る可変減衰器は，本件発明３に係る可変
減衰器とは異なるものであるから，これを刊行物２発明に適用しても，相違点８に
係る本件発明３の構成とはならず，また，本件発明３の可変減衰器が周知であると
の証拠も見出せないから，原告のその他の主張を検討するまでもなく，取消事由３
は理由がある。
　４　取消事由４（本件発明４と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
４に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　原告は，本件決定は，本件発明４と刊行物３発明とは，①「制御可能な減
衰を伴う複数の波長を供給するためのレーザシステム」である点，②「前記複数の
波長のうち少なくとも１つの特定波長のウォークオフを生じさせる非線形光学系」
と，③「複数の波長のそれぞれが，選択されたときに単一のビームライン上に供給
されるようにウォークオフを補償する手段」を具備する点で一致しているとする
が，この認定は誤りである旨主張する。
　　(2)　そこで，まず，上記②，③の点を一致点とした本件決定の認定の当否につ
いて検討する。
　　　ア　刊行物３の前記３(2)アの記載によれば，刊行物３発明の可変減衰器にお
いては，基本波が入射される第２高調波発生器１７は，その回動角に応じた量だ
け，基本波と第２高調波とでなる出射光１８の光軸を平行に位置ずれさせ，この光
軸の位置ずれを，ガラス材料でなる光軸補正板２０を逆方向に回動させることによ
って補正する構成が採用されていると認められる。そして，刊行物３（甲６）の第
３図には，第２高調波発生器１７からの出射光１８には，基本波と第２高調波とが
同一光軸にあり，また，光軸補正板２０からの出射光３９においても，基本波と第
２高調波とが同一光軸にあることが示されている。そうすると，刊行物３発明にお
いて，第２高調波発生器１７からの出射光１８の光軸が入射光２の光軸とずれてい
るのは，非線形光学結晶体の複屈折によるものではなく，非線形光学結晶体が平行
平面板であり，回動により傾斜したことに起因するものであることは明らかであ
る。
　　　イ　これに対し，本件明細書（甲２）の「可変減衰器１１２からの減衰され
たビームは，切替可能なフィルタ機構１１６を通って経路１０５に供給される。切
替可能なフィルタ機構には，該システムの出力波長を選択するために用いる複数の
フィルタが装着されている。複数の波長選択フィルタのうちの１つをビーム経路へ
移動させることによって，出力波長が選択される。次いで，３次高調波または４次
高調波を発生させるための非線形結晶１０９が高調波波長のウォークオフを生じ，
約０．５ミリメータだけビーム経路１０５からづれる。顕微鏡がマウントされたレ
ーザシステムにおいて，全ての選択された波長について，出力ビームが同一のビー
ムラインに沿って顕微鏡の視野の中に進まなければならない場合，このウォークオ
フは極めて重大である。」（７頁右欄１７～２９行），「３次高調波または４次高
調波を選択するために用いるフィルタ１１７を傾けることによって，このウォーク
オフは修正される。」（７頁右欄３０～３２行），「本発明による切替可能な光学
系の単純化した図面が，図３Ａおよび図３Ｂに与えられており，これらの図面は，
複数のフィルタ２０１，２０２，２０３および２０４が装着されるホイール２００
を例示している。それぞれのフィルタは，特定の出力波長を選択するように設計さ
れたカラーガラスフィルタからなっている。」（８頁左欄４３～４８行），「ウォ
ークオフを修正するために，３次高調波または４次高調波を選択するフィルタ２０
１は，傾斜してマウントされる。」（８頁右欄８～１０行）と記載されており，こ
れらの記載からすれば，本件発明４における「ウォークオフ」は，非線形結晶の複
屈折により，異常光である高調波と常光である基本波とが分離し，高調波の光軸の
みが位置ずれするものであると認められる。
　　　ウ　したがって，刊行物３には，本件発明４における「ウォークオフ」につ
いての開示はなく，当該ウォークオフについて，「ウォークオフを生じさせる非線
形光学系」及び「ウォークオフを補償する手段」も記載されていないから，これら
を本件発明４と刊行物３発明との一致点とした本件決定の認定は誤りである。
　　(3)　本件決定は前記(2)に説示したとおり一致点の認定を誤り，その結果，相
違点を看過したものというべきところ，かかる相違点に係る構成の容易想到性の有
無が本件決定の結論に影響を及ぼすことは明らかである。
　　　　したがって，原告のその他の主張について検討するまでもなく，取消事由
４は理由がある。
　５　取消事由５（本件発明５と刊行物３発明との一致点の認定誤り及び本件発明
５に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　原告は，本件発明５の可変減衰器は，基本波長，２次高調波，３次及び４
次高調波の少なくとも３つ以上の波長を発生することができるものであるが，刊行
物３発明の可変減衰器は２次高調波のみを出力するものであるから，本件発明５と
刊行物３発明とは「レーザによって発生されたビームを受信し，基本波長，２次高
調波の少なくとも１つを発生することができる単一のビーム経路内の可変減衰器」
を具備する点で一致するとした本件決定の認定は誤りである旨主張するので，以下
検討する。
　　　ア　本件発明５について，請求項５には，「レーザによって発生されたビー
ムを受信し，基本波長，２次高調波ならびに３次および４次高調波の少なくとも１
つを発生することができる単一のビーム経路内の可変減衰器」を具備すると記載さ
れているところ，ここにいう「基本波長，２次高調波ならびに３次および４次高調
波の少なくとも１つを発生する」との記載が，３つ以上の波長を発生するものに限
られるか，１つの波長を発生するものを含むのかが問題となる。
　　　　　しかしながら，請求項５には，本件発明５は「基本波長，２次高調波な
らびに３次および４次高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択
するための切替可能な光学系」を具備していることが記載されており，この記載箇
所における「基本波長，２次高調波ならびに３次および４次高調波の少なくとも１
つ」が３つ以上の波長を意味することは明らかであり，また，可変減衰器が１つの
波長しか発生しないのであれば，切替可能な光学系は不要であることを考慮すれ
ば，上記可変減衰器は，３つ以上の波長を発生するものに限られると解するのが相
当である。
　被告は，可変減衰器について「基本波長，２次高調波ならびに３次およ
び４次高調波の少なくとも１つを発生することができる可変減衰器」とした請求項
５記載の構成要件は，３つ以上の波長光の内の１つの波長光を発生させるものも含
むものである旨主張するが，このような解釈は本件発明５の他の構成要件と整合し
ないものであり，採用できない。
　　　イ　したがって，本件決定の上記一致点の認定は誤りである。
　　(2)　原告は，本件決定は，刊行物３発明において相違点１２（本件発明５は，
可変減衰器が，更に，３次および４次高調波の少なくとも１つを発生することがで
きるのに対して，刊行物３発明は，このようになっていない点）に係る本件発明５
の構成を想到することは容易であるとしたが，この判断は誤りである旨主張する。
　　　　そこで検討するに，本件決定は，相違点１２に関し，「刊行物３に，レー
ザ光２に対する結晶の位相整合条件を制御する可変減衰器が記載されており，しか
も２次高調波，３次及び４次高調波の発生は何れも非線形結晶によっているので，
これらの結晶の位相整合条件を制御して，本件発明５のごとく基本波長，２次高調
波並びに３次及び４次高調波の少なくとも１つの中から，出力ビームの波長を選択
するようにすることは，当業者であれば容易である」と判断している（前記第２の
３(5)イ(ウ)のとおり）ところ，この判断は，本件発明５の可変減衰器が，基本波
長，２次高調波，３次及び４次高調波のうちいずれか１つを発生するものを含むこ
とを前提にしたものである。
　　　　しかしながら，前記(1)に説示のとおり，本件決定の前記(1)記載の一致点
の認定は誤りであり，本件発明５の可変減衰器は，基本波長と２次高調波と３次又
は４次高調波のいずれか１つの３つ以上の波長を発生するものに限られるから，本
件決定は上記判断の前提において誤っているといわざるを得ない。
　　(3)　以上のとおりであるから，原告のその他の主張について検討するまでもな
く，取消事由５は理由がある。
　６　取消事由６（本件発明６に関する進歩性判断の誤り）について
　　　原告は，本件決定は，相違点１４（本件発明６が，「前記レーザが，ビーム
経路に沿って基本波長のビームを発生する固体レーザと；前記基本波長の複数の高
調波を発生するビーム経路内の１以上の非線形光学系と；前記複数の波長のための
ビーム経路内の可変減衰器と；前記複数の高調波および前記基本波長の中から，前
記出力ビームの波長を選択する切替可能な光学系とを具備」しているのに対し，刊
行物１発明はそのようになっていない点）に係る本件発明６の構成を想到すること
は容易であったとするが，この判断は誤りである旨主張する。
　　　上記「前記複数の波長のためのビーム経路内の可変減衰器」は，基本波及び
複数の高調波が入射され，それらを減衰する可変減衰器と解すべきであることは，
請求項６の記載に照らし明らかである。そして，刊行物３記載の可変減衰器は基本
波が入射され，２次高調波を減衰させるものであること，複数の波長のレーザに対
応する可変減衰器が本件出願前に周知であるとの証拠がないことも前記３に説示の
とおりであるから，相違点１４に係る本件発明６の構成は，刊行物１発明に刊行物
２及び刊行物３記載の事項を適用しても，当業者が容易に想到できないものと認め
られる。
　　　上記のとおり，本件決定の相違点１４に関する進歩性判断には誤りがあるか
ら，取消事由６は理由がある。
　７　取消事由７（本件発明７に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　原告は，本件発明１ないし３は進歩性を有するから，請求項１ないし３を
引用する本件発明７も進歩性を有すると主張する。
　　　　しかしながら，本件発明１及び本件発明２が進歩性を有しないとした本件
決定の判断に誤りがないことは前記１及び２に説示したとおりであるから，これら
の発明が進歩性を有することを前提にして，請求項１及び２を引用する本件発明７
が進歩性を有するとする原告の主張は，その前提を欠き，理由がない。
　　(2)　原告は，本件決定は，相違点１５（本件発明７は，「前記レーザが，空冷
され，電子－光学的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザ」を備えているのに対
し，刊行物１発明はこれを備えているか否か不明である点）に関する判断におい
て，相違点１５に係る本件発明７の構成は，刊行物１発明に刊行物８に記載の周知
のレーザを適用することにより，当業者が容易に想到できた旨判断するが，この判
断も誤りである旨主張する。
　　　　しかしながら，刊行物８（甲９）には，冷却系を備え，電子－光学的にＱ
スイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザが記載されており，また，刊行物８の２２６頁
の表１６・７には，Ｎｄ：ＹＡＧレーザによる加工例として，ジャイアントパルス
を出力することにより半導体のトリミングを行うことが記載されている。そして，
本件発明７は，Ｎｄ：ＹＡＧレーザをベースにマウントするものであるところ，請
求項７には，Ｎｄ：ＹＡＧレーザをコンパクトにする構成要件は規定されていない
から，刊行物８に記載のＮｄ：ＹＡＧレーザを刊行物１発明のプローブステーショ
ンシステムに装着できないとする理由はない。
　　　　なお，本件明細書の「このレーザシステムには，電子光学的にＱスイッチ
されたＮｄ：ＹＡＧレーザ１００，例えば，この出願の譲受人であるカリフォルニ
ア州サンニバル（Sunnyvale,California）所在のニューウエーブリサーチＩｎ
ｃ．（NewWeveResearchInc.）から入手可能な，市販のＡＣＬ－１空冷レーザが
含まれている。このシステムには，インバールで安定化された，電子光学的にＱス
イッチされ受動的に空冷されるレーザ共振器が含まれている。」（６頁右欄４７行
～７頁左欄５行）と記載されており，この記載からすれば，空冷され，電子－光学
的にＱスイッチされるＮｄ：ＹＡＧレーザは公知のものであると認められる。
　　(3)　以上のとおり，本件発明１及び本件発明２を引用する本件発明７の進歩性
の判断に誤りはないから，取消事由７は理由がない。
　８　取消事由８（本件発明８に関する進歩性判断の誤り）について
　　(1)　原告は，本件発明１ないし３は進歩性を有するから，請求項１ないし３を
引用する本件発明８も進歩性を有する旨主張する。
　　　　しかしながら，本件発明１及び２が進歩性を有しないとする本件決定の判
断に誤りがないことは前記１及び２に説示したとおりであるから，これらの発明が
進歩性を有することを前提にして，請求項１及び２を引用する本件発明８が進歩性
を有するとする原告の主張は，その前提を欠き，理由がない。
　　(2)　原告は，本件決定は，相違点１６（本件発明８が，前記複数の波長が，赤
外領域の少なくとも１つの波長，可視領域の少なくとも１つの波長，および紫外領
域の少なくとも１つの波長を含んでいるという構成を採用しているのに対し，刊行
物１発明はこのような構成が不明である点）に関する判断において，刊行物４ない
し６に開示の周知技術を適用することにより，相違点１６に係る構成は当業者が容
易に想到することができた旨判断するが，この判断も誤りである旨主張する。
　　　ア　そこで検討するに，刊行物４（甲７の(1)。特開平２－１２６２４２
号），刊行物５（甲７の(2)。特開平２－３０１１７８号）及び刊行物６（甲７
の(3)。特開昭６４－６４２８０号）には，次のとおり記載されている。
(ア)　刊行物４
　　　　　「従来，第６図に示すように，Ｎｄ－ＹＡＧレーザ発振器(1)から１０６
４ｎｍのレーザ光を第１の非線形光学結晶(2)に入射すると，この基本波の第２高調
波である５３２ｎｍの光が発生し，さらにこの第２高調波と基本波を第２の非線形
光学結晶(3)に入射させて第３高調波である３５５ｎｍの光が発生する現象は第３高
調波発生装置として知られている。」（２頁左上欄２～８行）
　　　　(イ)　刊行物５
　　　　　①　「一方，固体レーザは，・・・波長が１．０６μｍのＮｄ：ＹＡＧ
レーザであり，」（１頁右下欄１７～２０行）
　　　　　②　「第１７図に，従来の波長変換の１例の光路図を示す。図におい
て，レーザ装置は，基本波長ω＝１．０６μｍ用の反射鏡６ａ及び６ｂよりなる共
振器内に，レーザ物質からなる固体ロッドと励起用ランプを配置したランプハウス
１を置いて構成されている。通常，反射鏡６ｂは，反射率として５０％程度のもの
が用いられる。反射鏡６ｂより出射した基本波長ω＝１．０６μｍのレーザ光は，
第２高調波２ωへの波長変換素子４により波長２ω＝０．５３μｍの光に変換さ
れ，更に第４高調波４ωへの波長変換素子５により波長４ω＝０．２６６μｍの光
に変換される。変換効率は，１０～２０ｎｓ．０．５Ｊのレーザ光の場合に，第２
高調波で６０％，第４高調波では２０％程度である。又，第５高調波５ω＝０．２
１２８μｍの，更に短波長の光を必要とする場合は，残りのω＝１．０６μｍの光
と４ω＝０．２６６μｍの光とを，第５高調波５ωへの波長変換素子８に通し，第
５高調波５ω＝０．２１２８μｍの光へと変換する。この場合，波長変換効率は１
０％程度である。」（２頁左上欄４行～右上欄４行）
　　　　　③　「第１図は，本発明の第１実施例を示す光路図である。本実施例に
おいて，レーザ装置の共振器は反射鏡２ａ及び２ｂにより構成され，この共振器内
に１つのランプハウス１を置いて，レーザ装置が構成されている。前記ランプハウ
ス１としては，固体ロッド１本と励起ランプ１本とからなる装置を用い，又，第１
実施例には簡単のため記入していないが，Ｑスイッチをかけ，パルス幅を１０～２
０ｎｓと短くしている。」（２頁右下欄９～１８行）
　　　　(ウ)　刊行物６
　　　　　①　「アレキサンドライトをレーザ媒質としたレーザ発振器と，このレ
ーザ発振器から放出されたレーザ光の光路上に所定の間隔をおいて対向しかつ上記
レーザ光の各波長に対して位相整合する角度で上記光路の進行方向に従って順次設
置された第１，第２の非線形光学素子と，これら非線形光学素子間に位置し上記第
２の非線形光学素子に上記レーザ光の基本波と第２高調波との和周波発生のための
偏光が整合するように設置された旋光性物質とを備えた構成とし，旋光性物質によ
って偏光を揃えて再度非線形光学素子を通過させ３倍高調波を得るようにしたもの
である。」（２頁右上欄７～１８行）
　　　　　②　「第１図は本発明の１実施例で，第２図に示した要素と同一のもの
には同一符号が付してある。すなわち，レーザ発振器(1)を有し，このレーザ発振
器(1)から放出されたレーザ光（Ｌ）の光路に第１の非線形光学素子(2)，水晶から
なる旋光性物質(10)および第２の非線形光学素子(8)をレーザ光の進行に従って順次
同軸的に配置した構成としたものである。」（２頁左下欄２～８行）
上記刊行物４ないし６の各記載によれば，刊行物４ないし６には，基本
波及び複数の高調波の発生に関する技術が開示されており，この技術は本件出願当
時周知であったと認められる。そして，本件決定の認定するとおり，刊行物４ない
し６の，基本波（ω＝１０６４ｎｍ），基本波の２次高調波（２ω＝５３２ｎｍ）
が，それぞれ「赤外領域の少なくとも１つの波長」，「可視領域の少なくとも１つ
の波長」に相当し，３次高調波（３ω＝３５５ｎｍ及び４次高調波（４ω＝２６６
ｎｍ）が，「紫外領域の少なくとも１つの波長」にそれぞれ相当するものというべ
きである。
　　　イ　また，「出力ビームのための３つ以上の選択可能な波長を含むこと」に
進歩性が認められないこと，刊行物２（甲５）には，レーザ照射装置において，Ｎ
ｄ：ＹＡＧレーザを使用し，１０６４ｎｍと５３２ｎｍの波長を使用することが示
唆されていることは，前記１において検討したとおりである。
　　　ウ　そうすると，刊行物１発明に刊行物２発明を適用し，３つの波長を出力
させる際に，Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（基本波，１０６４ｎｍ，赤外光）を使用し，非
線形光学素子を複数用いて，２次高調波（５３２ｎｍ，可視光），３次高調波（３
５５ｎｍ，紫外光）又は４次高調波（２６６ｎｍ，紫外光）を発生させるようにす
ることに格別の困難性は認められないというべきである。
　　　エ　原告は，半導体欠陥分析において，最も普遍的な波長である緑色，紫外
波長，及び赤外波長の３つの波長を選択的に利用すると，半導体を完壁に処理する
ことが可能になるという効果を奏すると主張する。
　　　　　しかしながら，本件発明８に係る請求項８においては，「前記複数の波
長が，赤外領域の少なくとも１つの波長，可視領域の少なくとも１つの波長，およ
び紫外領域の少なくとも１つの波長を含んでいる」と規定されているのみで，可視
領域の波長が緑色とするものとの特定はされていないし，本件発明８に係るシステ
ムについてこれが半導体欠陥分析に使用することの特定もされていない。そうする
と，原告の上記主張は，本件発明８の効果を主張するものではなく失当である。
　　(3)　以上のとおり，請求項１及び２を引用する本件発明８の進歩性の判断に誤
りはないから，取消事由８は理由がない。
　９　取消事由９（本件発明１０に関する進歩性判断の誤り）について
　　　前記４に説示したとおり，本件発明４が進歩性を有しないとした本件決定の
判断は誤りであり，また，本件決定は，本件発明９の進歩性を肯定しているから，
相違点１７に関する本件決定の判断の適否を検討するまでもなく，請求項４及び請
求項９を引用する本件発明１０が進歩性を有しないとした本件決定の判断も誤りで
ある。
　　　したがって，取消事由９は理由がある。
　10　取消事由１０（本件発明１４に関する進歩性判断の誤り）について
　　　前記３及び４に説示したとおり，本件発明３及び本件発明４が進歩性を有し
ないとした本件決定の判断は誤りであるから，相違点１８に関する本件決定の判断
の適否を検討するまでもなく，請求項３及び４を引用する本件発明１４が進歩性を
有しないとした本件決定の判断も誤りというべきである。
　　　したがって，取消事由１０は理由がある。
　11　以上の次第で，原告の主張する取消事由３ないし取消事由６，取消事由９及
び取消事由１０は理由があるが，取消事由１，取消事由２，取消事由７及び取消事
由８には理由がない。
よって，原告の本件請求のうち，本件決定中，本件特許の請求項３ないし
６，１０及び１４に係る部分の取消しを求める部分は理由があるから，これを認容
し，その余の部分は理由がないから，これを棄却することとし，主文のとおり判決
する。
　　東京高等裁判所第３民事部
　　裁判長裁判官　北　　山　　元　　章
　裁判官　　青　　栁　　　　　馨
　　　　　　　裁判官清　　水　　　　　節

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