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令和２年８月４日判決言渡
令和元年（行ケ）第１０１２４号特許取消決定取消請求事件
口頭弁論終結日令和２年６月２５日
判決
原告東京エレクトロン株式会社
同訴訟代理人弁理士伊東忠重
山口昭則
新川圭二
大貫進介
横山淳一
伊東忠彦
被告特許庁長官
同指定代理人小田浩
辻本泰隆
西出隆二
藤原直欣
小出浩子
主文
１特許庁が異議２０１８－７００６９０号事件につい
て令和元年８月２０日にした決定を取り消す。
２訴訟費用は，被告の負担とする。
事実及び理由
第１請求
主文第１項と同旨
第２事案の概要
１特許庁における手続の経緯等
⑴原告は，平成２９年３月１４日，発明の名称を「ウエハ検査装置」とする発明
について特許出願（平成２５年１０月２９日に出願した特願２０１３－２２４４６
０号（以下「本件原出願」という。）の分割出願）をし，平成３０年２月２日，特許
権の設定登録（特許第６２８３７６０号。請求項数２。甲９）を受けた（以下，この
特許を「本件特許」という。）。
⑵株式会社東京精密は，平成３０年８月２０日，本件特許について特許異議の
申立て（異議２０１８－７００６９０号）をした（甲１２）。
原告は，平成３１年４月１５日付け訂正請求書（甲１９）により，特許請求の範囲
について訂正請求をした（以下「本件訂正」という。）。
⑶特許庁は，令和元年８月２０日，本件訂正を認めた上，「特許第６２８３７６
０号の請求項１，２に係る特許を取り消す。」との決定（以下「本件決定」という。）
をし，その謄本は，同月２９日，原告に送達された。
⑷原告は，令和元年９月２６日，本件決定の取消しを求める本件訴訟を提起し
た。
２特許請求の範囲の記載
本件訂正後の特許請求の範囲の請求項１，２の記載は，以下のとおりである（甲
２０）。なお，「／」は原文の改行部分を示す（以下同じ。）。以下，各請求項に係る発
明を「本件発明１」などといい，これらを併せて「本件発明」という。また，本件訂
正後の明細書（甲９，２１）を，図面を含めて，「本件明細書」という。
【請求項１】ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導
体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと，前
記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引き出すスライドレールと，を備えた複
数の検査室と，／ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，／
前記被整備テストヘッドを引き出す整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側と
が前記複数の検査室が配置されたセルタワーの反対側であることを特徴とするウエ
ハ検査装置。
【請求項２】ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導
体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと，前
記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引き出すスライドレールと，を備えた複
数の検査室と，／ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，／
前記被整備テストヘッドを引き出す整備空間と前記ウエハを搬送するローダが前記
複数の検査室が配置されたセルタワーを挟んで対向することを特徴とするウエハ検
査装置。
３本件決定の理由の要旨
⑴本件決定の理由は，別紙決定書（写し）記載のとおりである。要するに，本件
発明は，下記アの引用例に記載された発明（以下「引用発明」という。）並びに下記
イの文献等に記載された事項及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができ
たものであって，特許法２９条２項の規定により，特許を受けることができないも
のである，というものである。
ア引用例：再公表特許第２０１１／０１６０９６号（甲１）
イ甲２文献：特開平５－１７５２９０号公報（甲２）
⑵本件決定が認定した引用発明，本件発明と引用発明との一致点及び相違点は，
次のとおりである。
ア引用発明
試験対象となる半導体ウエハ等の基板（ウエハ１０１）を試験装置１００の内部
で搬送する機構を内蔵するＥＦＥＭ１１０であって，ロードユニット１３０および
アライメントユニット４００の間でウエハを搬送するロボットアーム１１６を内蔵
するＥＦＥＭ１１０と，／複数の試験ユニット１７０のそれぞれを内部に収容する
複数の収容室１７２であって，前記試験ユニット１７０は，ウエハ１０１と電気的
に接続され，当該ウエハ１０１に形成されたチップの電気的特性を試験するテスト
ヘッド２００と，前記テストヘッド２００および前記ウエハ１０１を電気的に接続
するプローブカード３００とを有する，収容室１７２と，を備え，／当該収容室１
７２のそれぞれには，開口１７３，背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２
が設けられ，当該メンテナンスカバー１９２の外側には，前記プローブカード３０
０を引き出した場合に当該プローブカード３００を支持するガイドレール１９３が
設けられており，前記収容室１７２の底部に該当する部分に設けられた前記開口１
７３を介して前記収容室１７２と前記アライメントユニット４００とが連通してお
り，／前記背面扉１９０および前記メンテナンスカバー１９２は，前記収容室１７
２の背面側の部分に設けられており，前記背面扉１９０はテストヘッド２００のメ
ンテナンスが容易な位置に配され，前記メンテナンスカバー１９２は前記プローブ
カード３００のメンテナンスが容易な位置に配されており，／前記メンテナンスカ
バー１９２から外部に引き出した前記プローブカード３００が存在する空間は，前
記複数の収容室１７２からみて，前記ＥＦＥＭ１１０と反対側である試験装置１０
０。
イ本件発明１との一致点及び相違点
一致点１：ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導体
デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドを備えた
複数の検査室と，／ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，
／整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前記複数の検査室の反対側であ
るウエハ検査装置。
相違点１：本件発明１は，「複数の検査室」が，「前記被整備テストヘッドを前記整
備空間側に引き出すスライドレール」を備え，「被整備テストヘッド」を引き出すも
のであるのに対し，引用発明は，「複数の収容室１７２のそれぞれには，」「メンテナ
ンスカバー１９２が設けられ，当該メンテナンスカバー１９２の外側には，前記プ
ローブカード３００を引き出した場合に当該プローブカード３００を支持するガイ
ドレール１９３が設けられ」，「プローブカード３００」を引き出しているものの，
「テストヘッド２００」を引き出すものではなく，「テストヘッド２００」を「整備
空間側に引き出すスライドレール」も備えていない点。
相違点２：本件発明１は，「複数の検査室が配置されたセルタワー」を備えている
のに対し，引用発明は，そのような構成を備えているか定かではない点。
ウ本件発明２との一致点及び相違点
一致点２：ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導体
デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドを備えた
複数の検査室と，／ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，
／整備空間と前記ウエハを搬送するローダが前記複数の検査室を挟んで対向するウ
エハ検査装置。
相違点３：本件発明２は，「複数の検査室」が，「前記被整備テストヘッドを前記整
備空間側に引き出すスライドレール」を備え，「被整備テストヘッド」を引き出すも
のであるのに対し，引用発明は，「複数の収容室１７２のそれぞれには，」「メンテナ
ンスカバー１９２が設けられ，当該メンテナンスカバー１９２の外側には，前記プ
ローブカード３００を引き出した場合に当該プローブカード３００を支持するガイ
ドレール１９３が設けられ」，「プローブカード３００」を引き出しているものの，
「テストヘッド２００」を引き出すものではなく，「テストヘッド２００」を「整備
空間側に引き出すガイドレール」も備えていない点。
相違点４：本件発明２は，「複数の検査室が配置されたセルタワー」を備えている
のに対し，引用発明は，そのような構成を備えているか定かではない点。
４取消事由
引用例に基づく進歩性判断の誤り
第３当事者の主張
〔原告の主張〕
１一致点１及び２の認定の誤り
一致点１及び２の認定は，引用発明の「プローブカード３００が存在する空間」
が本件発明の「整備空間」に相当することを前提としている。しかし，本件発明の
「整備空間」において整備される対象はテストヘッドであるのに対し，引用発明の
「プローブカード３００が存在する空間」において整備される対象は，テストヘッ
ドではなくプローブカードであるから，引用発明の「プローブカード３００が存在
する空間」が本件発明の「整備空間」に相当するとはいえない。
２相違点１及び３の容易想到性の判断の誤り
⑴文献の記載
ア甲２文献には，①ガイドレール７４，７５によりプローブカード２を引き出
す際，テストヘッド３はヘッドプレート１０ａ上に装着したままであること（【００
１９】），②テストヘッド３のメンテナンスなどを行う場合には，テストヘッド保持
手段４によりテストヘッド３を保持してプローブ装置本体１から分離させること
（【００２０】）が記載されている。このように，甲２文献において，プローブカード
２とテストヘッド３のメンテナンス方法は全く異なるものとして記載されているか
ら，甲２文献は，プローブカードのメンテナンス方法をテストヘッドのメンテナン
ス方法に容易に適用できない例を示すものである。
被告が指摘する乙１～３には，テストヘッドを収容する検査室を備えた構成は記
載されていない。
イ「スライド」は「滑ること。」，「滑る」は「物の上をなめらかに移行する。」，
「滑らか」は「面が平らで摩擦力が働かないこと。」を意味する（甲２３）から，本
件発明のスライドレールはテストヘッドを引き出す際の摩擦力を軽減する機能を果
たすものである。これに対し，甲２文献のガイドレール７４，７５は，プローブカー
ド用のレールとしてプローブカードを「保持」するものであり（【００１７】），摩擦
力を軽減する機能を有しないから，本件発明のスライドレールに相当しない。
⑵容易想到性
引用例には，プローブカード３００を引き出すことの記載はあるが，テストヘッ
ド２００を移動可能な構成としたり，収容室１７２の外に取り出したりすることを
示唆する記載はなく，テストヘッド２００を移動させた上でメンテナンスすること
は想定されていない。引用例には，メンテナンスの対象物をスライドレールにより
引き出してメンテナンスを行う方がメンテナンス作業を容易に行うことができるこ
との記載も示唆もない。プローブカードとテストヘッドは，形状・構造・重量等に大
きな差があることは技術常識であるから，引用発明におけるプローブカード３００
とガイドレール１９３に係る構成をテストヘッドに適用することを容易に想到する
ことはできない。
３相違点２及び４の容易想到性の判断の誤り
本件発明のセルタワーは，複数の検査室（セル）が多段に配置された構成を意味
する。これに対し，引用発明の収容室１７２はこのような構成を有しないから，本
件発明の検査室と相違する。
仮に，このような多段に配置されたセルタワーが周知技術であったとしても，本
件発明は，スライドレールを用いることによりウエハ検査装置のセルタワーを小型
化できるという作用効果を有する。これに対し，引用発明のように，テストヘッド
を引き出す構成を備えない構成で収容室１７２を多段の積層構造とすれば，収容室
１７２の内部にメンテナンス作業用のスペースを要することになり，試験装置１０
０に余分な高さが必要になり，このような作用効果を有しない。
４まとめ
以上によれば，本件決定における引用例に基づく進歩性判断には誤りがあり，こ
の誤りは決定の結論に影響を及ぼすことが明らかであるから，本件決定は取り消さ
れるべきものである。
〔被告の主張〕
１一致点１及び２の認定の誤り
引用発明における「プローブカード３００」のメンテナンスを行う空間は「整備
空間」である。本件決定は，整備空間において整備される対象がテストヘッドであ
ることを一致点として認定しているわけではないから，本件決定の一致点１及び２
の認定に誤りはない。
２相違点１及び３の容易想到性の判断の誤り
⑴文献の記載
甲２文献によれば，メンテナンスの対象物を引き出してメンテナンスをすること，
その際に，スライドレールにより引き出す構成とすることは周知技術である。この
ことは，乙１にテストヘッドをレールにより水平移動（引出）する構成とすること，
乙２及び３に，テストヘッドをレールにより水平移動（引出）してメンテナンスす
ることが記載されていることからも裏付けられる。
原告は，甲２文献のガイドレール７４，７５は本件発明のスライドレールとは異
なると主張するが，本件明細書にはスライドレールが摩擦力を軽減する機能を果た
すことの記載はないし，「スライド」の語は摩擦力を軽減するという意味を有しない
から，両者が異なるということにはならない。
⑵容易想到性
乙３（【００２４】）にも記載があるとおり，テストヘッドを引き出した方が作業
性に優れることは自明であるから，メンテナンスの対象物をスライドレールにより
引き出してメンテナンスを行う方が，作業が容易であることを動機付けとして，引
用発明において，テストヘッド２００を収容室１７２から引き出し，その際にスラ
イドレールにより引き出す構成を採用することは容易に想到できたといえる。
したがって，当業者が，引用発明において，相違点１に係る本件発明の構成を採
用することは容易に想到することができたといえる。
３相違点２及び４の容易想到性の判断の誤り
特許請求の範囲には，セルタワーが複数の検査室（セル）が多段に配置されたも
のを意味するとの記載はない。本件明細書の「前記複数の検査室が配置されたセル
タワー」（【０００８】）との記載からは，セルタワーはセルが多段に配置されたもの
に限られないことが理解される。したがって，本件発明のセルタワーは，複数の検
査室が配置されたものであると解されるから，相違点２は実質的な相違点ではない。
仮に，本件発明のセルタワーが多段に検査室が配置された構成を意味するとして
も，甲３（【００３１】）及び甲４（【００４５】）に記載された周知技術に照らせば，
相違点２に係る構成は容易に想到することができる。原告の主張する本件発明の作
用効果（スライドレールを用いることによりウエハ検査装置のセルタワーを小型化
できる）は，本件明細書に記載がないし，自明のものともいえない。
第４当裁判所の判断
１本件発明について
⑴本件明細書の記載
本件発明に係る特許請求の範囲は，前記第２の２のとおりであるところ，本件明
細書の発明の詳細な説明には，以下の記載がある（また，図面は別紙本件明細書図
面目録のとおり）。
ア技術分野
【０００１】本発明は，複数のテストヘッドを有するウエハ検査装置に関する。
イ背景技術
【０００２】多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハ（以下，単に「ウエ
ハ」という。）において各半導体デバイスの電気的特性検査を行うために，ウエハ検
査装置としてのプローバが用いられている。プローバはウエハと対向するプローブ
カードを備え，プローブカードは複数の柱状接触端子であるコンタクトプローブを
有する（例えば，特許文献１参照。）。このプローバでは，プローブカードの各コンタ
クトプローブが半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプに接続された半導
体デバイスへ検査信号を流すことによって半導体デバイスの電気回路の導通状態等
を検査する。
【０００３】プローブカードの各コンタクトプローブへは検査回路であるメイン
ボードを搭載したテストヘッドから検査信号が流されるが，近年，ウエハの検査効
率を向上するために，それぞれにプローブカードが装着された複数のテストヘッド
を備え，搬送ステージによって一のテストヘッドへウエハを搬送中に他のテストヘ
ッドでウエハの半導体デバイスを検査可能なウエハ検査装置が開発されている。こ
のウエハ検査装置では，フットプリント削減の観点から複数のテストヘッドを収容
するセルが多段積みで配置される。
【０００４】各テストヘッドのメインボードは一種の消耗品であるために定期的
に交換する必要があるが，メインボードを交換するためにはテストヘッドをウエハ
検査装置から整備用台車の上に引き出す必要がある。
ウ発明が解決しようとする課題
【０００６】しかしながら，テストヘッドは重量が約７０ｋｇｆであり，スライ
ドレールで支持されるため，テストヘッドを引き出し方向以外に移動させるのは困
難である。したがって，整備用台車の位置をテストヘッドの位置へ正確に合わせる
必要があるが，整備用台車はリフト機構等を有し，重量が大きいために位置の微調
整が困難であり，その結果，テストヘッドを引き出すのが困難であるという問題が
ある。
【０００７】本発明の目的は，テストヘッドを容易に引き出すことができるウエ
ハ検査装置を提供することにある。
エ課題を解決するための手段
【０００８】上記目的を達成するために，本発明のウエハ検査装置は，ローダと
整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導体デバイスが形成された
ウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと，前記被整備テストヘッドを
前記整備空間側に引き出すスライドレールと，を備えた複数の検査室と，ウエハを
搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，前記被整備テストヘッドを引
き出す整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前記複数の検査室が配置さ
れたセルタワーの反対側であることを特徴とする。
【０００９】上記目的を達成するために，本発明のウエハ検査装置は，ローダと
整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導体デバイスが形成された
ウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと，前記被整備テストヘッドを
前記整備空間側に引き出すスライドレールと，を備えた複数の検査室と，ウエハを
搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，前記被整備テストヘッドを引
き出す整備空間と前記ウエハを搬送するローダが前記複数の検査室が配置されたセ
ルタワーを挟んで対向することを特徴とする。
オ発明の効果
【００１０】本発明によれば，テストヘッドを容易に引き出すことができる。
カ発明を実施するための形態
【００１２】以下，本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】まず，本実施の形態に係るウエハ検査装置について説明する。
【００１４】図１は，本発明の実施の形態に係るウエハ検査装置の構成を概略的
に示す斜視図である。
【００１５】図１において，ウエハ検査装置１０は，複数の検査室（セル）１１が
多段，例えば，４段に配置されたセルタワー１２と，該セルタワー１２に隣接して
配置され，搬送機構（図示しない）を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行
うローダ１３とを備える。セルタワー１２及びローダ１３はそれぞれ直方体状を呈
し，高さは，例えば，２．４ｍである。
【００１６】ウエハ検査装置１０では，セルタワー１２におけるローダ１３との
隣接面の反対側（以下，「外側」という。）には作業者が各セル１１の整備作業を行う
ことが可能な空間が確保され，後述する整備用台車２７が配置される。
【００１７】図２は，図１におけるセルタワーの各セルに内蔵される構成要素を
説明するための図であり，図２（Ａ）はテストヘッドの斜視図であり，図２（Ｂ）は
各セルにおけるテスタヘッド，ポゴフレーム及びプローブカードの配置状態を示す
正面図である。
【００１８】図２（Ａ）において，テストヘッド１５は，直方体状の筐体からなる
本体１６と，本体１６の長手方向の側面上部から側方へ突出するフランジ１７とを
有し，本体１６は検査回路であるメインボード（図示しない）を収容する。
【００１９】また，図２（Ｂ）に示すように，各セル１１は，内部において，テス
トヘッド１５と，プローブカード１８と，プローブカード１８及びメインボードを
電気的に接続するポゴピン（図示しない）を保持するポゴフレーム１９とを有する。
プローブカード１８及びポゴフレーム１９，並びにポゴフレーム１９及びテストヘ
ッド１５の間にはシール部材２０，２１が配置され，該シール部材２０，２１に囲
まれた空間が減圧されることにより，プローブカード１８及びポゴフレーム１９が
真空吸着によってテストヘッド１５へ装着される。
【００２０】プローブカード１８は，円板状の本体２４と，本体２４の下面から
図中下方へ向けて突出するように配置される多数の柱状接触端子である複数のコン
タクトプローブ２５とを有する。各コンタクトプローブ２５は，プローブカード１
８へウエハ（図示しない）が当接した際，該ウエハに形成された各半導体デバイス
の電極パッドや半田バンプ（いずれも図示しない）と接触する。
【００２１】図１に戻り，各セル１１の外側には整備用開口部２６が開設され，
該整備用開口部２６を介してテストヘッド１５が引き出される。作業者は引き出さ
れたテストヘッド１５から消耗したメインボードを取り外し，新しいメインボード
を取り付ける。
【００２２】ところで，テストヘッド１５の重量は約７０ｋｇｆであり，作業者
の力だけでは取り扱いが困難であるため，テストヘッド１５は，セル１１内におい
て当該テストヘッド１５の長手方向（以下，単に「長手方向」という。）に沿って配
置されるスライドレール（図示しない）によってフランジ１７を介して支持され，
スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引き出し
可能に構成される。
【００２３】ウエハ検査装置１０において，作業者が容易にメインボードの交換
を行うためには引き出されたテストヘッド１５を支持する支持機構が必要であり，
これに対応して，本実施の形態では後述する整備用台車２７が提供される。
【００２４】図３は，本実施の形態に係る整備用台車の構成を概略的に示す図で
あり，図３（Ａ）は側面図であり，図３（Ｂ）は正面図である。
【００２５】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）において，整備用台車２７は，複数のころ
２８（車輪）によって支持されて移動可能に構成される台車基部２９と，該台車基
部２９から立設されたリフト機構３０と，テストヘッド１５を収容可能な筐体状の
テストヘッドケース３１（ケース）とを有する。
【００２９】図４は，図３（Ａ）及び図３（Ｂ）におけるリフタ及びテストヘッド
ケースの構成を概略的に示す図であり。図４（Ａ）は側面図であり，図４（Ｂ）は正
面図である。なお，説明を簡単にするために，図４（Ａ）及び図４（Ｂ）では，テス
トヘッド１５が破線で示され，さらに，図４（Ｂ）は，後述するスライドレールカバ
ー４０を一点鎖線で示し，且つスライドレールカバー４０を透けた状態で示す。
【００３０】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように，テストヘッドケース３１は
直方体状を呈するとともに，長手方向に関する両端が開放されて開口部を形成し，
テストヘッド１５をセル１１から引き出す際，両端の開口部のいずれかがセル１１
の整備用開口部２６に対向し，整備用開口部２６を介して引き出されたテストヘッ
ド１５を内部に収容する。また，テストヘッドケース３１の上面も開放されている
ため，作業者は収容されたテストヘッド１５へテストヘッドケース３１の上面から
アクセス可能であり，該上面を介してメインボードを交換する。
【００３４】テストヘッドケース３１の長手方向に関する両側面の上部には複数
のボール台座からなるスライドレール３７が配される。スライドレール３７はテス
トヘッドケース３１に収容されたテストヘッド１５のフランジ１７を支持し，テス
トヘッド１５をテストヘッドケース３１の長手方向にスライドさせる。
【００３８】図１に戻り，セルタワー１２の外側下方にはガイドレール４１が配
される。ガイドレール４１はセルタワー１２の長手方向に沿い，断面が矩形の管状
体であり，セルタワー１２と反対側の側壁４１ａにスリット４２が形成される。一
方，図３（Ｂ）に示すように，整備用台車２７は台車基部２９に配されたガイド部４
３（ガイド機構）を有する。
【００４４】図７は，図３の整備用台車を用いるウエハ検査装置の整備方法を説
明するための工程図である。
【００４５】まず，ガイドレール４１の端部においてガイド部４３のローラ４３
ｂをガイドレール４１の内部に収容させた後，ローラ４３ｂをガイドレール４１の
内部に収容させたまま整備用台車２７を，整備を行うテストヘッド１５が収容され
るセル１１が存在する位置まで大まかに移動させる。その後，台車基部２９の各こ
ろ２８のブレーキを作動させて整備用台車２７の位置を固定する（図７（Ａ））。
【００４６】次いで，リフト機構３０がテストヘッドケース３１を，当該テスト
ヘッドケース３１のスライドレール３７が整備を行うテストヘッド１５のフランジ
１７と正対する高さまで上昇させ，その後，テストヘッドケース３１の位置を固定
する（図７（Ｂ））。
【００４７】次いで，水平位置調整ステージ３５によってテストヘッドケース３
１の位置を水平方向に微調整してスライドレール３７を，整備を行うテストヘッド
１５のフランジ１７と正確に正対させ（図７（Ｃ）），本整備方法を終了する。
【００４８】本実施の形態に係る整備用台車２７によれば，水平位置調整ステー
ジ３５が，移動自在な台車基部２９から立設されるリフト機構３０のリフタ３４，
及びテストヘッド１５を収容するテストヘッドケース３１の間に介在し，テストヘ
ッドケース３１をリフタ３４に対して水平に移動させるので，台車基部２９の位置
を固定し，整備を行うテストヘッド１５が存在する位置までテストヘッドケース３
１を昇降させて当該テストヘッドケース３１の位置を固定した後，テストヘッドケ
ース３１の位置を水平方向に微調整してスライドレール３７を，整備を行うテスト
ヘッド１５のフランジ１７と正確に正対させることができ，その結果，テストヘッ
ドケース３１へ向けてテストヘッド１５を容易に引き出すことができる。
⑵前記⑴によれば，本件発明の概要は，以下のとおりである。
テストヘッドのメインボードは定期的に交換する必要があるところ，従来，複数
のテストヘッドを収容するセルが多段積みで配置されたウエハ検査装置において，
交換のためにテストヘッドをウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出す際に，
テストヘッドは重量が約７０ｋｇｆで，スライドレールにより支持されるため，引
き出し方向以外に移動させるのは困難であった。そのため，整備用台車の位置をテ
ストヘッドの位置へ正確に合わせる必要があるが，整備用台車は重量が大きいため
に位置の微調整が困難であり，その結果，テストヘッドを引き出すのが困難である
という問題があった。本件発明は，テストヘッドを容易に引き出すことができるウ
エハ検査装置を提供することを目的とする。（【０００１】，【０００３】，【０００４】，
【０００６】，【０００７】，【００１０】）
本件発明は，ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導
体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと，前
記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引き出すスライドレールと，を備えた複
数の検査室と，ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，前記
被整備テストヘッドを引き出す整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前
記複数の検査室が配置されたセルタワーの反対側である（本件発明１），または，前
記複数の検査室が配置されたセルタワーを挟んで対向する（本件発明２）ことを特
徴とするウエハ検査装置である。（【０００８】，【０００９】）
２取消事由（引用例に基づく進歩性判断の誤り）について
⑴引用発明について
ア引用例には，次の記載がある（図面は別紙引用例図面目録のとおり）。
【００１３】・・・また，試験装置１００は，複数の試験ユニットを内部に収容す
る筐体１７１を備える。試験装置１００は，例えば，半導体ウエハに形成されたチ
ップの電気的特性を試験して，被試験デバイスの良否を判断する。・・・
【００１４】ＥＦＥＭ１１０は，試験対象となる半導体ウエハ等の基板を試験装
置１００の内部で搬送する機構を内蔵する。・・・
【００２０】図２は，試験装置１００の部分縦断面図の一例を概略的に示す。・・・
【００２３】ＥＦＥＭ１１０は，ロボットアーム１１６を内蔵する。ロボットア
ーム１１６は，レール１１５に沿って走行するコラム１１７に搭載され，ロードユ
ニット１３０およびアライメントユニット４００の間でウエハを搬送する。・・・
【００２７】試験ユニット１７０は，被試験デバイスを試験する。試験ユニット
１７０は，テストヘッド２００と，プローブカード３００とを有する。本実施形態
において，試験装置１００は，複数の試験ユニット１７０を備える。また，試験装置
１００は，複数の試験ユニット１７０を内部に収容する筐体１７１を備え，筐体１
７１は，複数の収容室１７２を有する。複数の収容室１７２は，試験ユニット１７
０のそれぞれを内部に収容する。・・・
【００２８】本実施形態において，複数の収容室１７２のそれぞれには，開口１
７３，背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２が設けられる。また，メンテ
ナンスカバー１９２の外側には，プローブカード３００を引き出した場合にプロー
ブカード３００を支持するガイドレール１９３が設けられる。開口１７３は，筐体
１７１の収容室１７２の底部に該当する部分に設けられており，開口１７３を介し
て収容室１７２とアライメントユニット４００とが連通している。
【００２９】背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２は，筐体１７１の収
容室１７２の背面側の部分に設けられており，複数の試験ユニット１７０のそれぞ
れを外部に対して開放または閉鎖できる。背面扉１９０はテストヘッド２００のメ
ンテナンスが容易な位置に配され，メンテナンスカバー１９２はプローブカード３
００のメンテナンスが容易な位置に配されている。
【００３０】プローブカード３００は，開口１７３の周囲に支持されているが，
メンテナンスカバー１９２を開けて，背面のメンテナンスカバー１９２から外部に
引き出すことができる。・・・
【００３６】テストヘッド２００は，ウエハ１０１と電気的に接続され，ウエハ
１０１の電気的特性を試験する。・・・テストヘッド２００は，複数のピンエレクト
ロニクス２１０を格納する。ピンエレクトロニクス２１０には，試験の対象および
試験の内容に応じて求められる電気回路が実装される。本実施形態において，テス
トヘッド２００は，下面に装着されたコンタクタ２０２を介して，プローブカード
３００と電気的に接続される。
【００３７】プローブカード３００は，試験装置１００において試験を実行する
場合に，テストヘッド２００とウエハ１０１との間に介在して，テストヘッド２０
０およびウエハ１０１を電気的に接続する配線基板ユニットであってよい。ウエハ
１０１に対して試験を実行する場合は，プローブカード３００により，テストヘッ
ド２００とウエハ１０１との間に電気的な信号経路が形成される。プローブカード
３００を交換することにより，レイアウトの異なるウエハ１０１に試験装置１００
を対応させることができる。
【００６１】図５は，テストヘッド２００の断面図である。図１から図４と共通
の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。テストヘッド２００は，筐
体２０１，コンタクタ２０２，ピンエレクトロニクス２１０，マザーボード２２０
およびフラットケーブル２３０を備える。
【００６３】マザーボード２２０の上面において，中継コネクタ２２４の各々に
は，アングルコネクタ２２２を介してピンエレクトロニクス２１０が装着される。
このような構造により，試験対象の仕様および試験内容に応じてピンエレクトロニ
クス２１０を交換することができる。・・・
【００６９】図６は，試験装置１００の背面図の一例を概略的に示す。・・・試験
装置１００は，複数の収容室１７２のそれぞれに対応して，背面扉１９０，メンテ
ナンスカバー１９２，ガイドレール１９３，施錠部１９６および警告表示部１９８
を備える。
【００８０】・・・即ち，制御システム５００は，モード切替スイッチ１８６で選
択された試験ユニット１７０と，施錠部１９６で選択された試験ユニット１７０と
が一致した場合に，モード切替スイッチ１８６で選択された試験ユニット１７０を
外部に対して開放することを許可する。これにより，ユーザは，対応する背面扉１
９０およびメンテナンスカバー１９２を開けて，試験ユニット１７０のピンエレク
トロニクス２１０，プローブカード３００を交換したり，その他のメンテナンスを
実施したりすることができる。
【００８５】予め定められた動作としては，テストヘッド２００とプローブカー
ド３００とを接触させる工程，ウエハ１０１とプローブカード３００とを位置合わ
せする工程のように，機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な工程を例示で
きる。これにより，他の試験ユニット１７０が予め定められた動作を実行している
間，当該動作に影響を与える動作を禁止すべき旨をユーザに伝えることができる。
当該動作に影響を与える動作としては，対応する背面扉１９０およびメンテナンス
カバー１９２を開ける作業，試験ユニット１７０のピンエレクトロニクス２１０，
プローブカード３００を交換する作業，またはその他のメンテナンス作業のように，
試験ユニット１７０に機械的な振動または電圧の変動を与えるような動作を例示で
きる。
イ引用発明の認定
以上によれば，引用例には，本件決定が認定したとおりの引用発明（前記第２の
３⑵ア）が記載されていることが認められ，この点については当事者間に争いがな
い。
ウ本件発明と引用発明との対比
(ｱ)以上によれば，本件発明１と引用発明との相違点は，本件決定が認定した相
違点１及び２（前記第２の３⑵イ），本件発明２と引用発明との相違点は，本件決定
が認定した相違点３及び４（前記第２の３⑵ウ）のとおりであると認められる。
(ｲ)原告は，本件発明と引用発明では整備される対象が異なるから，引用発明の
「プローブカード３００が存在する空間」が本件発明の「整備空間」に相当すると
はいえず，本件決定の本件発明と引用発明との一致点１及び２の認定に誤りがある
と主張する。
しかし，原告の主張する整備の対象が異なるとの点は相違点１及び３において相
違点として認定されており，本件発明における「被整備テストヘッドを引き出す整
備空間」と引用発明における「外部に引き出した前記プローブカード３００が存在
する空間」がいずれも「整備空間」であるとした本件決定の一致点１及び２の認定
に誤りはない。
⑵相違点１について
ア公知文献の記載（各文献の図面は証拠番号に対応した別紙各目録のとおりで
ある。）
(ｱ)甲２文献
ａ甲２文献には次のとおりの記載がある。
【０００１】本発明は，プローブ装置に関する。
【００１０】被検査体の測定時には，テストヘッドはプローブ装置本体の例えば
上面に被検査体に対向して載置されているが，プローブ装置のデバッグやテストヘ
ッドの交換あるいはテストヘッドのメンテナンスなどを行うときには，テストヘッ
ド保持手段を，対応するプローブ装置本体の近傍まで移動させ，この保持手段によ
りテストヘッドを保持してプローブ装置本体から離脱させて上昇させる。・・・
【００１６】そして前記筐体１内には，図示しない駆動機構によりＸ，Ｙ，Ｚ，θ
方向に移動可能なウエハ保持台１１が設置されると共に，このウエハ保持台１１の
上方側には，プローブ針２１を備えたプローブカード２がウエハ保持台１１と対向
するように配設されている。前記プローブカード２は，インサートリング２２の下
面に固定されると共に，このインサートリング２２は，取り付けリング７１内に嵌
合して保持されている。
【００１７】前記筐体１０の上面部をなすヘッドプレート１０ａには，例えばイ
ンサートリング２２をテストヘッド３側のポゴピン１３に対して接離させるに十分
なストロークだけ昇降させるように，穴２３の周縁部にて図示しない昇降機構によ
り昇降する（Ｚ方向に移動する）Ｚプレート７２が設けられており，更にこのＺプ
レート７２には，プローブ針２１とウエハＷ上の電極パッドとのθ方向（鉛直軸を
中心とする回転方向）の微小な位置合わせを行うためにθ方向に回動自在なθプレ
ート７３が取り付けられている。このθプレート７３の下面には，一対のＬ字型の
ガイドレール７４，７５が，筐体１０前面に形成された引き出し用の窓７６を通し
て水平に外側に伸びるように架設されており，前記インサートリング２２は前記ガ
イドレール７４，７５に保持されながら案内されるように取り付けられている。・・・
【００１８】次に上述実施例の作用について説明する。・・・次いでプローブ針２
１と電極パッドとを接触させ，テストヘッド３に接続された図示しないテスタによ
りウエハＷ上のＩＣチップについて測定を行う。
【００１９】そして例えばプローブ針２１が摩耗してプローブカード２を交換す
る場合には，テストヘッド３をヘッドプレート１０ａ上に装着したままＺプレート
７２を下降させて，インサートリング２２をテストヘッド３側のポゴピン１３から
離し，その後作業者により取り付けリング７１をガイドレール７４，７５に沿って
スライドさせながら筐体１０の窓７６を介して外に引き出し，プローブカード２を
取り付けリング７１から取り外して新たな別のプローブカード２を当該取り付けリ
ング７１に嵌入して，逆の操作によりプローブカードを所定位置（プロービングセ
ンタ）に装着する。この場合プローブカード２をプロービングセンタから筐体１０
の外に引き出し，また逆にプロービングセンタに装着する操作は，別途作動機構を
設けて自動化してもよいし，更に取り付けリング７１に対するプローブカード２の
着脱はロボットアームを用いて行ってもよい。
【００２０】またテストヘッド３のパフォーマンスボードの交換，テストヘッド
３のメンテナンスなどを行う場合には，テストヘッド保持手段４を前記テストヘッ
ド３に近接する位置に移動させ，次のようにしてテストヘッド３を保持してプロー
ブ装置本体１から分離させる。先ず例えばモータＭによりボールネジ６３を回動さ
せてアーム４１，４２をテストヘッド３の両側面と対向する位置まで降下させ，キ
ャスタ６４により前記保持手段４本体を動かしてアーム４１，４２のＸ，Ｙ方向の
位置を調整すると共に，ボールネジ６３によりＺ方向の位置を調整し，更にネジ５
１，５３及び回動部材５２を調整して夫々Ｘ，Ｙ，Ｚ軸まわりについてのテストヘ
ッド３に対するアーム４１，４２の位置合わせを行う。
【００２１】そしてボールネジ４３を手動であるいは図示しないモータにより駆
動させてアーム４１，４２を閉じ，アーム４１，４２側の突起部４４とテストヘッ
ド３側の凹部３４とを係合させこの係合のみによってあるいは更にテストヘッド３
の両側面を狭圧した状態で，アーム４１，４２によりテストヘッド３を保持し，装
置本体１から分離して上昇させる。その後保持手段４を例えば別の場所へ移動して
テストヘッド３のメンテナンスやパフォーマンスボードの交換などを行う。テスト
ヘッド３について所定の作業が終了した後上述と逆の操作によりテストヘッド３を
プローブ装置本体１の元の位置に戻すが，このとき筐体１０の上面の突起部１４と
テストヘッド３の仮面側の凹部３１とを係合させることによって筐体１０に対して
テストヘッド３が自動的に位置合わせされる。
ｂ以上によれば，甲２文献には，プローブ装置において，①プローブ装置筺体
内から外に向かってガイドレールを設け，プローブカードを交換する際に，プロー
ブカードをガイドレールに沿って引き出すこと，②プローブ装置本体の上面に被検
査体に対向して載置されたテストヘッドのメンテナンスやパフォーマンスボードの
交換については，テストヘッドをプローブ装置本体から分離して上昇させて別の場
所に移動することが記載され，検査室の内部から整備空間側にテストヘッドを引き
出すことの記載はない。
(ｲ)本件原出願時の公知文献には次のことが記載されている。
ａ乙１（特開昭６３－１１４２２９号公報）には，半導体ウエハプローバに関
し，テストヘッド５を，測定位置（プローバ筺体の上方）とプローバ筺体側面のテス
トヘッド収納部１７の間において，ガイドレール１３に沿ってスライド可能とする
構成が記載されている。
ｂ乙２（特開平８－６４６４５号公報）には，半導体ウエハのプローブ装置に
関し，テストヘッド５を搬送手段７によって装置本体１の側面に沿って水平方向に
搬送して装置本体１の上方から退避させ，装置本体１に装着されたプロ－ビングカ
ード３を交換し，あるいは，テストヘッド５を回転駆動機構２０により反転させて
点検を行う構成が記載されている（【０００１】，【００２４】，【００２５】）。
ｃ乙３（特開平９－１４８３８８号公報）には，半導体ウエハのプローブ装置
において，装置本体１の上方に設置された５００ｋｇを超えるような超重量級のテ
ストヘッド４を装置本体１の一側面で例えば前後方向，上下方向及びθ方向で移動
させる移動機構６を備え，この移動機構６は，テストヘッド４を水平方向に往復移
動させる水平移動機構１１を備えて，これにより，テストヘッド４をガイドレール
１１４に従って水平方向に，メンテナンス等の作業性に優れた位置に装置本体１か
ら退避させる構成が記載されている（【０００１】，【０００５】，【０００７】，【００
１１】，【００２１】，【００２４】）。
イ容易想到性
上記アによれば，甲２文献及び乙１～３には，相違点１に係る構成（検査室が整
備空間側にテストヘッドを引き出すスライドレールを備え，テストヘッドを引き出
す構成）の記載はなく，本件証拠上，他に上記構成が記載された文献はない。そうす
ると，引用発明に甲２文献及び乙１～３に記載された事項を組み合わせても，本件
発明の構成には到らない。
したがって，当業者において，引用発明に甲２文献及び乙１～３に記載された事
項を組み合わせて，相違点１に係る本件発明１の構成を容易に想到することができ
たということはできない。
ウ被告の主張について
(ｱ)被告は，甲２文献や乙１～３の記載によれば，メンテナンスの対象物を引き
出してメンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す
構成とすることは周知技術であると主張する。
前記⑴ア及び上記ア(ｱ)のとおり，引用例及び甲２文献には，プローブ装置におい
て，メンテナンスの際に検査室からプローブカードを引き出すこと及びその際ガイ
ドレールに沿って引き出す構成とすることの記載がある。しかし，本件原出願の当
時，テストヘッドの重量は２５ｋｇから３００ｋｇを超えるものが知られ（本件明
細書【００２２】，甲５【０００３】・【００４３】，甲６【００１４】，甲７，乙３【０
００５】），テストヘッドとプローブカードとは重量や大きさにおいて相違すること
は明らかである。したがって，プローブカードに関する上記記載から，テストヘッ
ドを含むメンテナンスの対象物一般について，メンテナンスの対象物を引き出して
メンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す構成と
することが周知技術であったということはできない。
また，乙１～３には，検査室に収容されたテストヘッドの構成は開示されておら
ず，テストヘッドを引き出すものではないから，被告の主張する周知技術を裏付け
るものではない。
以上によれば，被告の主張する各文献の記載から，メンテナンスの対象物を引き
出してメンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す
構成とすることが周知技術であったということはできず，ほかにこれを認めるに足
りる証拠はない。
(ｲ)被告は，乙３（【００２４】）にも記載があるとおり，テストヘッドを引き出
した方が作業性に優れることは自明であるから，メンテナンスの対象物をスライド
レールにより引き出してメンテナンスを行う方が，作業が容易であることを動機付
けとして，引用発明において，相違点１に係る構成を想到することは容易であると
主張する。
しかし，前記ア(ｲ)ｃのとおり，乙３はテストヘッドが検査室に収容されたプロー
ブ装置を開示するものではなく，同段落の「超重量級のテストヘッドであってもテ
ストヘッド４を安全且つ円滑に反転させ，前後，上下に移動させることができ，テ
ストヘッド４をメンテナンス等の作業性に優れた位置へ移動させることができる。」
との記載から，テストヘッドを引き出した方が作業性に優れていることを読み取る
ことはできない。
また，引用例には，①試験対象の仕様及び試験内容に応じて行うピンエレクトロ
ニクスの交換や，その他のテストヘッドのメンテナンスは収容室の背面扉を開けて
行うこと（【００２９】，【００３６】，【００６３】，【００８０】，【００８５】），②レ
イアウトの異なるウエハに対応するためのプローブカードの交換や，その他のプロ
ーブカードのメンテナンスは収容室のメンテナンスカバーを開けて行い，プローブ
カードは収容室の外部に引き出すことができること（【００２８】，【００２９】，【０
０３０】，【００３７】，【００８０】，【００８５】），③背面扉はテストヘッドのメン
テナンスが容易な位置に配置され，メンテナンスカバーはプローブカードのメンテ
ナンスが容易な位置に配されていること（【００２９】）が記載されている。
このように，引用発明においては，テストヘッドのメンテナンスは背面扉を開け
て行うものとされ，背面扉はメンテナンスを行うのに容易な位置に配置されている
のであるから，検査室が整備空間側にテストヘッドを引き出すスライドレールを備
え，テストヘッドを引き出す構成を採用することの動機付けは見いだせない。
(ｳ)以上によれば，被告の主張は採用できない。
⑶相違点３について
相違点３に係る本件発明の構成の容易想到性については，上記⑵において相違点
１について述べたところが妥当する。
⑷小括
よって，その余の点を判断するまでもなく，本件発明は，引用発明及び甲２文献
等に記載された事項に基づいて容易に発明をすることができたということはできな
い。したがって，本件決定の判断には誤りがあり，取消事由は理由がある。
３結論
以上によれば，原告の請求は理由があるから認容することとし，主文のとおり判
決する。
知的財産高等裁判所第１部
裁判長裁判官髙部眞規子
裁判官小林康彦
裁判官髙橋彩
別紙本件明細書図面目録
別紙引用例図面目録
別紙甲２文献図面目録
別紙乙１図面目録
別紙乙２図面目録
別紙乙３図面目録

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