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平成１１年（行ケ）第３７３号　特許取消決定取消請求事件
　　　　　判　　　　決
　原　告　　　　　　　　　日本電信電話株式会社
　代表者代表取締役　　　　【Ａ】
　原　告　　　　　　　　　株式会社ニコン
　代表者代表取締役　　　　【Ｂ】
　原告ら訴訟代理人弁理士　伊藤信和、渡辺隆男
　被　告　　　　　　　　　特許庁長官　【Ｃ】
　指定代理人　　　　　　　【Ｄ】、【Ｅ】、【Ｆ】、【Ｇ】
　　　　　主　　　　文
　原告らの請求を棄却する。
　訴訟費用は原告らの負担とする。
　　　　　事実及び理由
第１　原告らの求めた裁判
　「特許庁が平成１０年異議第７０３２７号事件について平成１１年９月３０日に
した決定を取り消す。」との判決。
第２　事案の概要
　１　特許庁における手続の経緯
　原告らは、名称を「投影露光装置」とする特許第２６３４０３９号発明（昭和５
９年１０月１１日に出願された特願昭５９－２１１２６９号（原出願）の分割出願
として、平成８年３月１１日出願。平成９年４月２５日設定登録。本件発明）の特
許権者である。本件特許について特許異議の申立てがあり、原告らは平成１０年１
１月９日に訂正請求をしたが（平成１１年２月２６日付手続補正書で補正）、平成
１１年９月３０日本件特許を取り消す旨の決定があり、その謄本は同年１０月２５
日原告らに送達された。
　２　本件発明の要旨
　(1)　訂正請求前の特許請求の範囲の記載
【請求項１】　レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基
板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、
　前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均
一化光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記
光学部材は、前記２次光源の中心から偏心した位置に配置された1対の透過部を持つ
第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ該第１領域の透過部よりも低い
透過率を持つ第２領域とを有することを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】　前記一対の透過部は、前記中心から等距離の位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】　前記光学部材は、２対の弓形状の開口部を有するフィルタを含むこ
とを特徴とする請求項１または請求項２記載の投影露光装置。
【請求項４】　前記光学部材は、４対の円形状の開口部を有するフィルタを含むこ
とを特徴とする請求項１または請求項２記載の投影露光装置。
　(2)　訂正請求に係る特許請求第１項の範囲の記載（訂正請求は特許請求の範囲の
請求項１の減縮を目的とする。）
　レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基板上に投影露
光する投影光学系とを有する投影露光装置において、
　前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均
一化光学系と、前記均一化光学系の入射側の照明光の分布を円輪状にする入射光学
系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材
は、前記２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領
域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ不透過部である第２領域とを有するこ
とを特徴とする投影露光装置。
　３　決定の理由の要点
　(1)　異議申立ての概要
　異議申立人【Ｈ】は、本件特許の原出願における平成８年３月１１日付け手続補
正書及び原出願の公開公報である特開昭６１－９１６６２号公報（引用例）を提出
し、本件請求項１～４に係る発明は、原出願の発明と同一であり、本件特許は分割
要件を満足していないので、本件特許の出願日は分割出願がなされた平成８年３月
１１日であり、本件請求項１～４に係る発明は、引用例に記載された発明と同一で
あるので、本件請求項１～４に係る発明の特許は、特許法２９条１項の規定に違反
してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
　(2)　平成１１年４月２８日付け取消理由通知の概要
　本件特許の請求項１に係る発明は、原出願の明細書又は図面に記載されておら
ず、かつ、示唆もされていないので、本件特許に係る出願は、特許法４０条１項の
規定による適法な分割出願であるとすることができず、本件特許出願日は、平成８
年３月１１日であると認める。
　そして、請求項１～４に係る発明は、特開平４－２６７５１号公報に記載された
発明及び引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができた
ものであるから、請求項１～４に係る発明の特許は取り消すべきものである。
　(3)　訂正拒絶理由の概要
　訂正請求における請求項１に係る発明（訂正発明）は、原出願の明細書又は図面
に記載されておらず、かつ、示唆もされていないので、本件特許に係る出願は、特
許法４０条１項の規定による適法な分割出願であるとすることができず、本件特許
出願日は、平成８年３月１１日であると認める。
　そして、請求項１に係る発明は、特開平４－２６７５１号公報に記載された発明
及び特開昭６１－９１６６２号公報（引用例）に記載された発明に基づいて当業者
が容易に発明することができたものであるから、訂正発明は、特許法２９条２項の
規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　したがって、訂正請求は、特許法１２０条の４第３項で準用する同法１２６条４
項の規定に適合しない。
　(4)　引用例に記載された発明の認定
　(4)－１　引用例の記載内容
　引用例には、以下の事項が記載されている。
　引用例の発明の詳細な説明【産業上の利用分野】の項には、「本発明は、半導体
集積回路等の製造に要する微細レジストパターンを形成する投影露光装置に関する
ものである。」と記載されている。
　また、引用例の発明の詳細な説明の【発明が解決しようとする問題点】の項に
は、「・・・従来の装置においては、レチクル８を照射する光の性質を制御するの
がコヒーレンシイσ値だけであるため、焦点深度、領域内均一性、線幅制御性等各
種条件を満たしつつ微細パターンを形成しようとすると、ＮＡとσとによって決ま
る限界があった。したがって、投影光学系１４の開口数ＮＡと２次光源２４の大き
さが決まると、パターン形成特性が自動的に決り、さらに解像性能を高めることは
できなかった。
　本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
投影光学系の開口数とレチクル照射用２次光源の大きさを固定した後のパターン解
像性能をさらに向上させる投影露光装置を提供することにある。」と記載されてい
る。
　また、【問題点を解決するための手段】の項には、「このような目的を達成する
ために本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わ
りに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるように
した特殊絞りを装着可能としたものである。」と記載されている。
　さらに、【実施例】の項において、「本発明に係わる投影露光装置に適用される
特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図～第４図に示す。
　第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が高い
石英、フッ化カルシウム、フッ化リチウム等の基板にクロム等の遮光体を蒸着する
ことによって作製することができる。また第２図（ａ）に示す絞りは透過率に分布
を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すように、周辺に近
づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる絞りである。
この絞りは、第１図に示す絞り同様に、透過基板に遮光体を径方向に厚さ分布を持
たせて付着させることにより作製することができる。なお第２図（ｂ）に示す曲線
は、円の周辺に近づく程透過率が高くなる曲線であれば何でもよい。第３図に示す
絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の小開口を有する絞りであり、金属
板等に穴をあけることにより作製できる。また、第４図に示す絞りは第１図に示し
た絞りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口部の一部
につなぎの部分を入れたものである。」と記載されている。
　さらに、「第１図に示した円輪状開口絞りを使用した本発明の投影露光装置の一
実施例によれば、線幅０．４μｍ、ピッチ０．８μｍのラインアンドスペースまで
解像し得ることが確認されている。円輪状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光
線だけを使うようにする程高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により
効果はおのおの異なってくるが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解
像となる。また、第２図～第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた
効果を生じ、これら以外の形状でも外側で高透過率を有する形状ならば何でもよ
い。」と記載されている。
　また、「オプチカルインテグレータ５に入る光の分布を円錐レンズの着脱により
周辺円輪状と中央集中型とに切り替え可能とし」と記載され、均一化光学系の入射
側の照明光の分布を円輪状にする入射光学系が示されている。
　また、【発明の効果】の項には、「以上説明したように本発明は、従来装置が用
いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞りの代わりに円輪状透過部
を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装
着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパターンをより深い焦点深度
で形成することができるので、半導体集積回路等の製造に適用すれば大幅な集積度
向上がはかれる効果がある。」と記載されている。
　第６図の説明として、２頁右下欄１０行～３頁左上欄１８行を参照すると、第６
図における第１集光光学系１８、均一化光学系１９、開口絞り９及び第２集光光学
系２０は、レチクル８を照明する光学系を構成するから、第６図には、レチクルを
照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基板１５上に投影露光する投
影光学系１４とを有する投影露光装置が図示され、均一化光学系１９の出射側の、
２次光源２４が形成される位置に開口絞り９が配置されたものが図示されている。
　第３図には、周縁部に８つの円形状の小開口部を有する開口絞りが図示されてい
る。
　第４図には、周縁部に４つの弓形状の開口部を有する開口絞りが図示されてい
る。
　(4)－２　引用例に記載された発明の認定
　引用例には、「第１集光光学系１８、均一化光学系１９、開口絞り９及び第２集
光光学系２０からなる、レチクル８を照明する照明光学系と、前記レチクル８上の
パターンを投影光学系とを有する投影露光装置において、均一化光学系１９と、前
記均一化光学系に相当するオプティカルインテグレータに入る光の分布を周辺円輪
状とする円錐レンズと、均一化光学系１９の出射側の、２次光源２４が形成される
位置に配置された開口絞り９とを有し、前記開口絞り９は、周縁部に８つの円形状
の小開口部を有する金属板又は、周縁に４つの弓形状の開口部を有する金属板であ
る投影露光装置。」の発明が記載されている。
　(5)　訂正の適否についての判断
　(5)－１　訂正明細書に基づく出願日の認定
　訂正発明の必須の構成である「１対の透過部である第１領域」が、原出願の明細
書に記載又はその構成の示唆がされているか否かについて検討すると、原出願の明
細書には、「１対の透過部である第１領域」なる記載がなく、また、その構成の示
唆もない。さらに、原出願の明細書には、「１対の透過部である第１領域」なる構
成についての技術的意義に関して何ら記載されておらず、その示唆もされていな
い。
　そうすると、原出願の明細書に記載又は示唆されていない「１対の透過部である
第１領域」を構成とする訂正発明は、原出願に包含される発明の一部を分割したも
のとすることができないので、本件特許に係る出願日は、平成８年３月１１日であ
ると認める。
　なお、特許権者（原告ら）は、平成１１年２月２６日付け意見書において、原出
願の明細書において「１対の透過部」なる技術上の概念が示唆されている根拠とし
て、原出願の明細書１４頁１４行～１５頁６行の記載「第１図に示した円輪状開口
絞りを使用した本発明の投影露光装置の一実施例によれば、線幅０．４μｍ、ピッ
チ０．８μｍのラインアンドスペースまで解像し得ることが確認されている。円輪
状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光線だけを使うようにするほど高解像性と
なるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果はおのおの異なってくるが、いず
れの場合も単純な円形開口に比較すると高解像となる。また、第２図～第４図に示
した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた効果を生じ、これら以外の形状でも外
側で高透過率を有する形状ならば何でもよい。」旨の記載を挙げている（原出願の
出願当初の図面第１図～第４図は、本判決別紙原出願当初図面）。
　また、この記載から、第１図に示した円輪状開口フィルタによる効果とは異な
る、第３図に示された１対の開口部を４組有するフィルタによる透過光の分布に応
じた効果、第４図に示された１対の開口部を２組有するフィルタによる透過光の分
布に応じた効果が生じる旨主張している。
　上記主張について検討すると、原出願の明細書【問題点を解決するための手段】
の項には、「本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り
の代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなる
ようにした特殊絞りを装着可能としたものである。」と記載されていること、ま
た、【実施例】の項において、
　「本発明に係わる投影露光装置に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞
りの各実施例を第１図～第４図に示す。
　第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が高い
石英、フッ化カルシウム、フッ化リチウム等の基板にクロム等の遮光体を蒸着する
ことによって作製することができる。また第２図（ａ）に示す絞りは透過率に分布
を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すように、周辺に近
づくほど透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる絞りであ
る。この絞りは、第１図に示す絞り同様に、透過基板に遮光体を径方向に厚さ分布
を持たせて付着させることにより作製することができる。なお第２図（ｂ）に示す
曲線は、円の周辺に近づくほど透過率が高くなる曲線であれば何でもよい。第３図
に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の小開口を有する絞りであ
り、金属板等に穴をあけることにより作製できる。また、第４図に示す絞りは第１
図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口
部の一部につなぎの部分を入れたものである。」
　と記載されていること、さらに、【発明の効果】の項には、「以上説明したよう
に本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞
りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くな
るようにした特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパ
ターンをより深い焦点深度で形成することができるので、半導体集積回路等の製造
に適用すれば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。」と記載されていることか
らすると、原出願の出願当初の明細書に記載され又は示唆された実施例は、「円輪
状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊
絞り」なる概念を開示したにすぎない。
　そうすると、原出願の願書に最初に添付された図面の第３図及び第４図に示され
たものに固有の効果は、「金属板等に穴をあけることにより作成できる」又は、
「簡便に金属板等をくりぬいて作成」できるというものであって、それらの開口部
が一対であるか否かによって生ずるものでないから、それらの図に示されたもの
が、それぞれ、一対の開口部を４組有するもの及び一対の開口部を２組有するもの
であると解したとしても、これらの図は、「円輪状透過部を有する形状」を単に例
示するものとして記載されたにすぎず、「一対の透過部である第１領域」という技
術的概念が、原出願の出願当初の明細書又は図面に、記載又は示唆されていたとす
る根拠とはならない。
　(5)－２　訂正拒絶理由において示した引用例との対比
　訂正発明と、引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された発明
の「開口絞り９」及び「円錐レンズ」は、訂正発明の「光学部材」及び「入射光学
系」に相当し、引用例に記載された発明において、２次光源２４は均一化光学系に
よって形成され、レチクル８を均一に照明するためのものである。そして、４つの
弓形状の開口部は、開口絞り９の周縁部にあることから２次光源の中心から偏心し
た位置にあたり、開口絞り９は、４つの弓形状の開口部でのみ照明光を透過させる
から、透過部である領域と、光を透過させない、すなわち、透過部よりも低い透過
率である領域とから構成されている。
　そうすると、訂正発明と引用例に記載された発明とは、「レチクルを照明する照
明光学系と、前記レチクル上のパターンを投影光学系を基板上に投影露光する投影
光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを均一
に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、前記均一化光学系の入射側
の照明光の分布を円輪状にする入射光学系と、該２次光源が形成される位置に配置
された光学部材とを有し、前記光学部材は、前記２次光源の中心から偏心した位置
に配置された透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ第１
領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有する投影露光装置」である点
で一致し、訂正発明が、「１対の透過部」なる構成を有するのに対し、引用例に記
載された発明は４つの弓形状の透過部を有するものである点で相違する。
　上記相違点について検討すると、引用例に記載された発明において、弓形状の開
口部は、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたことによって、形成されたもの
であって、つなぎの部分は、開口絞り９の中央部分を支持するために適宜の数形成
すればよいものであるから、引用例に記載された発明において、つなぎの部分を２
箇所とし、弓形状の開口部を２つすなわち一対とすることは、当業者が容易になし
得るものにすぎず、またそのようにすることに格別の意義は認められない。
　そうすると、訂正発明は、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に
発明できたものであると認められる。
　(5)－３　訂正の適否についての結論
　そうすると、訂正発明は、出願の際独立して特許を受けることができないもので
ある。
　したがって、訂正請求は、特許法１２０条の４第３項で準用する同法１２６条４
項の規定に適合しない。
　以上のとおりであるから、訂正請求は認められない。
　(6)　異議申立てに対する判断
　(6)－１　特許明細書に基づく出願日の認定
　請求項１に係る発明の必須の構成である「１対の透過部を持つ第１領域」が、原
出願の明細書に記載又はその構成の示唆がされているか否かについて検討すると、
原出願の明細書には、「１対の透過部を持つ第１領域」なる記載がなく、また、そ
の構成の示唆もない。さらに、原出願の明細書には、「１対の透過部を持つ第１領
域」なる構成についての技術的意義に関して何ら記載されておらず、その示唆もさ
れていない。
　そうすると、原出願の明細書に記載又は示唆されていない「１対の透過部を持つ
第１領域」を構成とする請求項１に係る発明は、原出願に包含される発明の一部を
分割したものとすることができないので、本件特許に係る出願日は、平成８年３月
１１日であると認める。
　(6)－２　本件特許の請求項１に係る発明（本件第１発明）と引用例との対比
　本件第１発明と、引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された
発明の「開口絞り９」及び「円錐レンズ」は、本件第１発明の「光学部材」及び
「入射光学系」に相当し、引用例に記載された発明において、２次光源２４は均一
化光学系によって形成され、レチクル８を均一に照明するためのものである。そし
て、４つの弓形状の開口部は、開口絞り９の周縁部にあることから２次光源の中心
から偏心した位置に当たり、開口絞り９は、４つの弓形状の開口部でのみ照明光を
透過させるから、透過部である領域と、光を透過させない、すなわち、透過部より
も低い透過率である領域とから構成されている。
　そうすると、本件第１発明と引用例に記載された発明とは、「レチクルを照明す
る照明光学系と、前記レチクル上のパターンを投影光学系を基板上に投影露光する
投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを
均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、該２次光源が形成され
る位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、２次光源の中心から偏心
した位置に配置された透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成され
かつ第１領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有する投影露光装
置。」である点で一致し、本件第１発明が、「１対の透過部」なる構成を有するの
に対し、引用例に記載された発明は４つの弓形状の開口部を有するものである点で
相違する。
　上記相違点について検討すると、引用例に記載された発明において、弓形状の開
口部は、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたことによって、形成されたもの
であって、つなぎの部分は、開口絞り９の中央部分を支持するために適宜の数形成
すればよいものであるから、引用例に記載された発明において、つなぎの部分を２
箇所とし、弓形状の開口部を２つすなわち一対とすることは、当業者が容易になし
得るものにすぎず、またそのようにすることに格別の意義は認められない。
　そうすると、本件第１発明は、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容
易に発明できたものであると認められる。
　(6)－３　本件特許の請求項２に係る発明（本件第２発明）と引用例との対比
　引用例に記載された発明における開口絞り９の弓形の開口部も２次光源の中心か
ら等距離に配置されているものと認められるから、本件第２発明は、本件第１発明
と同様に上記引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明できたもの
であると認められる。
　したがって、本件第２発明の特許は、特許法２９条２項の規定に違反してなされ
たものである。
　(6)－４　本件特許の請求項３に係る発明（本件第３発明）と引用例との対比
　上記引用例に記載された発明の開口絞り９も４つの弓形状の開口部を有し、フィ
ルタとして機能するものであるから、本件第３発明は、本件第１発明と同様に上記
引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものであると認め
られる。
　したがって、本件第３発明の特許は、特許法２９条２項の規定に違反してなされ
たものである。
　(6)－５　本件特許の請求項４に係る発明（本件第４発明）と引用例との対比
　上記引用例２に記載された発明の開口絞り９も８つの円形状の開口部を有し、フ
ィルタとして機能するものであるから、本件第４発明は、本件第１発明と同様に上
記引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものであると認
められる。
　したがって、本件第４発明の特許は、特許法２９条２項の規定に違反してなされ
たものである。
　(7)　むすび
　以上のとおりであるから、本件第１～第４発明に係る特許は、取り消すべきもの
である。
第３　原告ら主張の決定取消事由
　決定は、訂正発明の必須の構成である「１対の透過部である第１領域」が、原出
願の明細書に記載がなく、また、その構成の示唆もないと認定しているが、誤りで
ある。その結果、決定は分割要件について誤って判断したものである。
　１　原出願の明細書の【実施例】の項には、「本発明に係わる投影露光装置に適
用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図～第４図に示
す。」と記載され、第３図には、周縁部に８つの円形状の小開口部を有する開口絞
りが、第４図には、周縁部に４つの弓形状の開口部を有する開口絞りが図示されて
いる。かかる８つの円形状の小開口部及び４つの弓形状の開口部を別言すれば、４
組の一対の開口部及び２組の一対の開口部である。つまり、「１対の透過部である
第１領域」なる構成は、原出願の第３図と第４図とに開示された４組の一対の開口
部と２組の一対の開口部との共通の構成として表現したものであり、原出願の明細
書にはその構成の開示がある。
　２　決定は、原出願の明細書の【問題を解決するための手段】の項、【実施例】
の項の一部、及び【発明の効果】の項の記載を根拠として次のように認定してい
る。
　「原出願の出願当初の明細書に記載され又は示唆された実施例は、『円輪状透過
部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り』
なる概念を開示したにすぎない。そうすると、原出願の願書に最初に添付された図
面の第３図及び第４図に示されたものに固有の効果は、『金属板等に穴をあけるこ
とにより作成できる』又は、『簡便に金属板等をくりぬいて作成』できるというも
のであって、それらの開口部が一対であるか否かによって生ずるものでないから、
それらの図に示されたものが、それぞれ、一対の開口部を４組有するもの及び一対
の開口部を２組有するものであると解したとしても、これらの図は、『円輪状透過
部を有する形状』を単に例示するものとして記載されたにすぎず、『１対の透過部
である第１領域』という技術的概念が、原出願の出願当初の明細書又は図面に、記
載又は示唆されていたとする根拠とはならない。」
　この認定は、原出願の出願当初の明細書に記載され又は示唆された実施例は、第
１図に開示されたような円輪状透過部を有する形状によって中央部に対して周辺部
の透過率が高くなるようにした特殊絞りのみを開示し、第３図及び第４図は、「円
輪状透過部を有する形状」を単に例示するものと判断した結果であり、失当であ
る。
　３　そこには以下のとおり、「１対の透過部である第１領域」という技術的概念
が記載されている。
　(1)　原出願の出願当初の明細書に記載され又は示唆された実施例から導ける概念
は、「中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」であり、そ
の特殊絞りの各実施例が、それぞれ第１図ないし第４図に開示されているのであ
る。そして、訂正発明は、特に第３、第４図に開示された技術的概念を表したもの
である。
　(2)　原出願の明細書の【問題を解決するための手段】の項には、「本発明は、従
来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わりに円輪状透過部を
有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着
可能としたものである。」と記載されている。
　すなわち、「円輪状透過部を有する形状等」とあるように、原出願の明細書の
【問題を解決するための手段】は、中央部に対して周辺部の透過率が高くなるよう
にした特殊絞り（光学部材）として、第１図に示された円輪状透過部を有する特殊
絞りのみでなく、他の形状をも意図した記載となっている。つまり、原出願の明細
書の【問題を解決するための手段】は、原出願の第３図及び第４図に示された「２
次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領域」を有す
る特殊絞りも技術的概念として開示する。
　(3)　原出願の明細書の【実施例】の項において、「本発明に係わる投影露光装置
に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図～第４図に
示す。第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が
高い石英、フッ化カルシウム、フッ化リチウム等の基板にクロム等の遮光体を蒸着
することによって作製することができる。・・・第３図に示す絞りは周辺部のみに
数個又はそれ以上の多数個の小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけるこ
とにより作製できる。また、第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを
簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入
れたものである。」と記載されている。
　(4)　上記引用箇所には、第１図に示された「円輪状透過部を有する形状」の絞り
の単に例示として、第３図、第４図に示された絞りを説明する旨の趣旨の類はどこ
にも記載されていない。それどころか上記引用箇所には「特殊絞りとしての２次光
源制御用絞りの各実施例を第１図～第４図に示す。」と記載されている。つまり、
中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りとして、一つの実施
例は第１図に示された特殊絞りであり、また別の実施例は第３図に示された特殊絞
り、さらに別の実施例は第４図に示された特殊絞りであることを意図している。第
３図及び第４図を参照すれば、それぞれ一対の開口部を４組有する特殊絞り及び一
対の開口部を２組有する特殊絞りを示唆していることが明らかである。すなわち原
出願の明細書の【実施例】の項は、原出願の第３図及び第４図に示された、「２次
光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領域」を有する
特殊絞りを開示している。
　(5)　原出願の明細書の【発明の効果】の項において、「以上説明したように本発
明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞りの代
わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるよう
にした特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパターン
をより深い焦点深度で形成することができるので、半導体集積回路等の製造に適用
すれば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。」と記載されている。
　つまり、原出願の明細書の【発明の効果】の項は、第１図に示された円輪状透過
部の特殊絞りのみでなく、他の形状であっても中央部に対して周辺部の透過率が高
くなるようにした特殊絞りであれば、微細なパターンをより深い焦点深度で形成す
ることができる旨を開示している。すなわち、原出願の明細書の【発明の効果】
は、原出願の第３図，第４図に示された「２次光源の中心から偏心した位置に配置
された１対の透過部である第１領域」を有する特殊絞りも技術的概念として開示す
る。
　(6)　さらに、原出願の明細書の１４頁１４行～１５頁６行には、「第１図に示し
た円輪状開口絞りを使用した本発明の投影露光装置の一実施例によれば、線幅０．
４μｍ、ピッチ０．８μｍのラインアンドスペースまで解像し得ることが確認され
ている。円輪状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光線だけを使うようにする程
高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果はおのおの異なってく
るが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解像となる。また、第２図～
第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光の分布に応じた効果を生じ、これら
以外の形状でも外側で高透過性を有する形状ならば何でもよい。」と記載がある。
　この記載は、第１図に示した円輪状開口絞りによる効果とは異なる、第３図に示
された１対の開口部を４組有する絞りによる透過光の分布に応じた効果、第４図に
示された１対の開口部を２組有する絞りによる透過光の分布に応じた効果が生じる
旨を示している。つまり、「２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の
透過部である第１領域」による効果も、原出願の明細書に開示されている。決定の
「原出願の願書に最初に添付された図面の第３図及び第４図に示されたものに固有
の効果は、「金属板等に穴をあけることにより作成できる」又は、「簡便に金属板
等をくりぬいて作成」できるというものであって、それらの開口部が一対であるか
否かによって生ずるものでない」との判断は、上記「第２図～第４図に示した絞り
を用いてもそれぞれ透過光の分布に応じた効果を生じ」の記載を看過したものであ
る。
　４　以上のように、訂正発明の必須の構成である「１対の透過部である第１領
域」という技術的概念が、原出願の出願当初の明細書及び図面に、記載又は示唆さ
れている。
　そうすると、原出願の出願当初の明細書及び図面に記載又は示唆されている「１
対の透過部である第1領域」を構成とする前記訂正発明は、原出願に包含される発明
の一部を分割したものであり、本件特許に係る出願の出願日は、昭和５９年１０月
１１日である。審決は、この点の認定を誤ったものである。
第４　決定取消事由に対する被告の反論
　１　原出願の出願当初の明細書及び図面の記載は、「円輪状透過部を有する形状
等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」なる概念を開示
しているにすぎない。
　２　原出願に開示された特殊絞りの形状についてみると、第１図～第４図に示さ
れた開口部の形状はいずれも円周の全体にわたって開口部の形状を形成したものが
開示されているのみであって、「円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺
部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」における「形状等」に含まれる形状は
せいぜい「略円輪状透過部を有する形状」と解すべきであって、円周上の一部分の
みに透過部を有するものまで含むと解することはできない。
　「円輪状透過部を有する形状等」が「１対の透過部である第１領域」という概念
を意味するものでもなく、また、第３図及び第４図に示された、８つの小開口、又
は４つの弓形開口が、一「対」の透過部の例示としてされたものである根拠もな
い。そして、一「対」の開口部は、対となる開口部があることを意味し、したがっ
て、開口部の数は偶数でなければならないが、原出願においては開口部の数は偶数
でなければならない旨の記載はない。
　３　原出願の明細書【問題点を解決するための手段】の項には、「本発明は、従
来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わりに円輪状透過部を
有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着
可能としたものである。」と記載されていること、また、【実施例】の項におい
て、「本発明に係わる投影露光装置に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用
絞りの各実施例を第１図～第４図に示す。第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有
する絞りであり、照射光の透過率が高い石英、・・・等の基板にクロム等の遮光体
を蒸着することによって作製することができる。また第２図（ａ）に示す絞りは透
過率に分布を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すよう
に、周辺に近づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる
絞りである。・・・第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の
小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製できる。また、
第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて
作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたものである。」と記載さ
れていること、さらに、【発明の効果】の項には、「以上説明したように本発明
は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞りの代わ
りに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるように
した特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパターンを
より深い焦点深度で形成することができるので、半導体集積回路等の製造に適用す
れば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。」と記載されていることからする
と、原出願の出願当初の明細書及び図面の第３図及び第４図に記載された実施例
は、「円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるよう
にした特殊絞り」の例示として示されたものである。
第５　当裁判所の判断
　１　原出願の明細書の記載
　甲第４号証によれば、原出願の出願当初の明細書及び図面（願書添付明細書及び
図面）に次の記載があることが認められる。
　①「［産業上の利用分野］　本発明は、半導体集積回路等の製造に要する微細レ
ジストパターンを形成する投影露光装置に関するものである。」（２頁１２ないし
１５行）
　②「［発明が解決しようとする問題点］　・・・従来の装置においては、レチク
ル８を照射する光の性質を制御するのがコヒーレンシイσ値だけであるため、焦点
深度、領域内均一性、線幅制御性等各種条件を満たしつつ微細パターンを形成しよ
うとすると、ＮＡとσとによって決まる限界があった。したがって、投影光学系１
４の開口数ＮＡと２次光源２４の大きさが決まると、パターン形成特性が自動的に
決り、さらに解像性能を高めることはできなかった。」（１０頁１１ないし１９
行）
　③「本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、投影光学系の開口数とレチクル照射用２次光源の大きさを固定した後のパター
ン解像性能をさらに向上させる投影露光装置を提供することにある。」（１０頁下
から１行ないし１１頁４行）
　④「［問題点を解決するための手段］　このような目的を達成するために本発明
は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わりに円輪状透
過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り
を装着可能としたものである。」（１１頁５ないし１０行）
　⑤「［作用］　本発明においては、レジストが薄い場合、解像度向上のために２
次光源の中心部の光を用いず２次光源の周辺部の光のみによって露光する。」（１
１頁１１ないし１４行）
　⑥「「発明の効果」　本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決め
る円形絞り等の均一絞りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周
辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト
層に従来より微細なパターンをより深い焦点深度で形成することができるので、半
導体集積回路等の製造に適用すれば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。また
本発明はこのような特殊絞りと従来の均一絞りとを交換可能としたので、膜厚の厚
いレジストにも対応できる効果がある。」（１６頁下４行ないし１５頁８行）
　⑦「［実施例］　本発明に係わる投影露光装置に適用される特殊絞りとしての２
次光源制御用絞りの各実施例を第１図～第４図に示す。・・・第１図に示す絞りは
円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が高い石英・・・等の基板に
クロム等の遮光体を蒸着することによって作製することができる。第２図（ａ）に
示す絞りは透過率に分布を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）
に示すように、周辺に近づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全
遮光となる絞りである。・・・第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上
の多数個の小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製でき
る。また、第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等を
くりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたものであ
る。」（１１頁１５行ないし１２頁１７行）
　⑧「第１図～第４図に示した絞りを用いた本発明に係わる投影露光装置では、２
次光源の中心部の光を用いず２次光源の周辺の光のみによって露光することができ
るので、レジストを薄くすれば、従来の装置ではとうてい得られなかった微細結晶
のパターンを得ることができる。」（１４頁３ないし８行）
　⑨「第１図に示した円輪状開口絞り・・・においてはできるだけ外側の光線だけ
を使うようにする程高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果は
おのおの異なってくるが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解像とな
る。また、第２図～第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた効果を
生じ、これら以外の形状でも外側で高透過率を有する形状ならば何でもよい。」
（１４頁１４行ないし１５頁６行）
　原出願に添付された図面の第１図ないし第４図は別紙原出願当初図面のとおりで
あり、これによれば、第１図の絞りは、単一の円輪状の開口を備え、第２図の絞り
は、開口を備えないが、絞りの中心から周辺部に向けて光の透過率が高まるように
構成され、第３図の絞りは、周辺部円周上に等間隔で８個の円形の小開口を備え、
第４図の絞りは周辺部円周上に等間隔で４個の円弧状の開口を備えることが認めら
れる。
　２　原出願の明細書における「１対の透過部」についての記載又は示唆の有無
　(1)　これらの記載及び図面のうち、「円輪状透過部を有する形状等中央部に対し
て周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」の形状・機能等に関連する記載
としては、「本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り
の代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなる
ようにした特殊絞りを装着可能としたものである。」（④）、「本発明に係わる投
影露光装置に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図
～第４図に示す。」（⑦）、「第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りで
あり、照射光の透過率が高い石英・・・等の基板にクロム等の遮光体を蒸着するこ
とによって作製することができる。」（⑦）、「第２図（ａ）に示す絞りは透過率
に分布を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すように、周
辺に近づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる絞りで
ある。」（⑦）、「第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の
小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製できる。」
（⑦）、「第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等を
くりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたものであ
る。」（⑦）、「円輪状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光線だけを使うよう
にする程高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果はおのおの異
なってくるが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解像となる。また、
第２図～第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた効果を生じ、これ
ら以外の形状でも外側で高透過率を有する形状ならば何でもよい。」（⑨）等があ
るが、これらはいずれも、絞りの開口部を「対」あるいは「組」として把握するこ
とについて、何ら具体的に言及していないことが明らかである。
　(2)　そして、第４図の絞りについては、「第４図に示す絞りは第１図に示した絞
りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につ
なぎの部分を入れたものである。」（⑦）と記載されているところ、これによれ
ば、第４図の絞りは、第１図の絞り（この絞りは、単一の円輪状の開口を有し、し
たがって、その開口を、「対」あるいは「組」として把握する余地がないことは明
らかである。）に近いものを簡便に作製することができることにあるとされている
のであるから、この記載は、第４図の絞りの開口を「対」あるいは「組」として把
握することを示唆するというより、否定するものというべきである。
　第３図の絞りについては、「第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上
の多数個の小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製でき
る。」（⑦）と記載されているところ、これによれば、絞りの開口の数は、「数個
又はそれ以上の多数個」とのみ記載され、例えば、その数が偶数個であるなど、
「対」あるいは「組」を構成することを示唆する記載を何ら含んでいない。むしろ
第３図の絞りについても、その作製法について「金属板等に穴をあけることにより
作製できる」（⑦）とし、円輪状に近い開口を簡便に金属板等をくりぬいて作製で
きることを特徴とする第４図の絞りと同旨の記載があるのであり、第３図の絞りに
関する記載からも、その開口を「対」あるいは「組」として把握することが示唆さ
れているということはできない。
　(3)　以上のとおり、原出願の出願当初の明細書及び図面には、第３図及び第４図
の絞りの開口を「対」あるいは「組」として把握することについての記載あるいは
示唆があるとはいえず、これを抽象化した「２次光源の中心から偏心した位置に配
置された１対の透過部である第１領域」の概念が記載ないし示唆されているとも認
めることはできない。
　３　原告らの主張について
　(1)　原告らは、原出願の出願当初の明細書又は図面には、「円輪状透過部を有す
る形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」の実施例
として、第３図に、周縁部に８つの円形状の小開口部を有する開口絞りが、第４図
に、周縁部に４つの弓形状の開口部を有する開口絞りがそれぞれ図示されており、
これらは、一対の開口部を４組有する特殊絞り、及び一対の開口部を２組有する特
殊絞りといえるから、原出願の当初明細書及び図面には「２次光源の中心から偏心
した位置に配置された１対の透過部である第１領域」を有する特殊絞りの技術的概
念が記載又は示唆されている旨、主張する。
　第１図の絞りは、単一の円輪状の開口を備え、第２図の絞りは、絞りの中心から
周辺部に向けて光の透過率が高まるように構成され、第３図の絞りは、周辺部円周
上に等間隔で８個の円形の小開口を備え、第４図の絞りは周辺部円周上に等間隔で
４個の円弧状の開口を備えるものであることは、上記⑩のとおりである。
　これらの絞りの全周方向の透過光の分布についてみると、第１図及び第２図の絞
りでは周辺部の全周から光が均一に透過し、第３図の絞りでは規則的に変化しなが
らも周辺部の全周から光が透過し、第４図の絞りでは極く一部を除き周辺部の全周
からほぼ均一に光が透過するものであって、それぞれ透過光の分布は異なるもの
の、いずれの絞りにおいても、巨視的にみれば周辺部のほぼ全周から光が透過する
ものであることが認められる。
　仮に原告らが主張するように、第３図、第４図の絞りはそれぞれ、「一対の開口
部を４組有する特殊絞り」、「一対の開口部を２組有する特殊絞り」であり、これ
らから、「２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１
領域」を有する特殊絞りの技術的概念が記載又は示唆されていると解釈すると、
「２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領域」を
有する絞りには、例えば、第３図に示される８個、すなわち４対（組）の開口部の
うちの１対（組）の開口部のみを備えたものが包含されることとなる。同様に、第
４図の絞りについては、２対（組）の開口部のうちの１対（組）の開口部のみを備
えたものが包含されることとなる。
　しかしながら、そのような絞りは、周辺部の光のうち、１対（組）の領域からの
光のみを透過するものであって、光を透過する領域が偏在し、巨視的に見ても、絞
りの周辺部のほぼ全周から光が透過するものではないから、仮に、そのような絞り
を備えた投影露光装置を半導体装置の製造に使用すると、そのような開口部を透過
した光は、レチクルを均等に照射することができず、その結果、レチクル上のパタ
ーンを均一にウエハに投影することが不可能となり、ひいては「パターン解像性能
をさらに向上させる投影露光装置を提供する」との本件発明の目的、あるいは「薄
いレジスト層に従来より微細なパターンをより深い焦点深度で形成することができ
る」との効果を達成することができないことは、当業者が直ちに理解し得るところ
である。
　そうすると、第３図及び第４図が、「２次光源の中心から偏心した位置に配置さ
れた１対の透過部である第１領域」を有する絞りを記載しあるいは示唆するもので
あると認めることはできない。
　(2)　原告らはまた、決定は、原出願の出願当初の明細書の「第２図～第４図に示
した絞りを用いてもそれぞれ透過光の分布に応じた効果を生じ」との記載を看過し
たものであるとし、この記載は、第３図に示された１対の開口部を４組有する絞り
及び第４図に示された１対の開口部を２組有する絞りは、それらの透過光の分布に
応じ、第１図に示された絞りと異なる効果が生じる旨を示すものであり、「２次光
源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領域」からの透過
光による効果を開示するものである旨主張し、その効果は甲第９号証（原告株式会
社ニコンの担当者による効果比較）により明らかである旨主張する。
　しかしながら、甲第９号証は、第３図に示される８個の開口を有する絞り及び第
４図に示される４個の開口を有する絞りと、第１図に示される円輪状の１個の絞り
の効果の差異を示すのみであって、上記のような「２次光源の中心から偏心した位
置に配置された１対の透過部である第１領域」を有する絞りについてテストしたも
のでないから、甲第９号証の記載をもって、原告ら主張の効果を認めることはでき
ない。
　４　総括
　したがって、「『１対の透過部である第１領域』を構成とする前記訂正発明は、
原出願に包含される発明の一部を分割したものとすることができないので、本件特
許に係る出願日は、平成８年３月１１日である」とした決定の認定に誤りはない。
　原告らの決定取消事由は、決定が認定した出願日に誤りがあることを前提にする
ものであり、理由がない。
第６　結論
　以上のとおり、原告ら主張の決定取消事由は理由がないので、原告らの請求は棄
却されるべきである。
（平成１３年１月１８日口頭弁論終結）
　東京高等裁判所第１８民事部
　　　　　　　　　　裁判長裁判官　　　永　　　井　　　紀　　　昭
　　　　　　　　　　　　　裁判官　　　塩　　　月　　　秀　　　平
　　　　　　　　　　　　　裁判官　　　橋　　　本　　　英　　　史
別紙　原出願当初図面

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