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平成１８年（行ケ）第１０４０７号審決取消請求事件
平成１９年７月２５日判決言渡，平成１９年６月２７日口頭弁論終結
判決
原告アプライドマテリアルズ
インコーポレイテッド
訴訟代理人弁理士小橋正明
被告特許庁長官肥塚雅博
指定代理人中島昭浩，前田幸雄，森川元嗣，大場義則
主文
原告の請求を棄却する。
訴訟費用は原告の負担とする。
この判決に対する上告及び上告受理申立てのための付加期間を３０日
と定める。
事実及び理由
第１請求
特許庁が訂正２００５−３９１９６号事件について平成１８年５月２日にした審
決を取り消す。
第２当事者間に争いがない事実
１特許庁における手続の経緯
()原告は，発明の名称を「化学的機械的研磨用の多層の止め輪を有するキャ1
リア・ヘッド」とする特許第３４３１５９９号（平成１１年５月７日出願〔以下
「本件出願」という。〕，優先権主張１９９８年〔平成１０年〕６月３日・米国，
平成１５年５月２３日設定登録〔以下「本件特許」という。〕）の特許権者である。
()本件特許については特許異議の申立てがされ，異議２００３−７２９７７2
号事件として係属し，平成１７年２月２８日付けで訂正請求がされたところ，特許
庁は，上記事件を審理した結果，平成１７年５月１７日，「訂正を認める。特許第
３４３１５９９号の請求項１，４∼２５に係る発明についての特許を取り消す。同
請求項２∼３に係る発明についての特許を維持する。」との決定をし，その謄本は，
同年６月８日，原告に送達された。
原告は，平成１７年１０月６日，上記決定のうち，「特許第３４３１５９９号の
請求項１，４∼２５に係る発明についての特許を取り消す。」との部分の取消しを
求めて，知的財産高等裁判所に対し訴えを提起し（当庁平成１７年（行ケ）第１０
７２１号として係属），同年１０月２７日，特許庁に対し，特許第３４３１５９９
号の請求項１の訂正（以下「本件訂正」という。）を求める審判請求をした。
特許庁は，これを訂正２００５−３９１９６号事件として審理し，平成１８年５
月２日，「本件審判の請求は，成り立たない。」との審決をし，その謄本は，同月
１２日，原告に送達された。
２発明の要旨
()本件出願の願書に添付した明細書（甲１５，以下「本件特許明細書」とい1
う。）の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「本件発明」とい
う。）の要旨
【請求項１】化学的機械的研磨のためのキャリア・ヘッドの止め輪であって，
研磨の間にポリシング・パッドと接触し，第一の材料で作られている，底部表面
を有する下部の部分と，
前記第一の材料より剛性である第二の材料で作られている，上部の部分と，を有
する，
ボルトによってキャリア・ヘッドのベースの外縁に固定されるようになっている
全体として環状の止め輪。
()本件訂正後の明細書（甲５，以下「訂正明細書」という。）の特許請求の2
範囲の請求項１に記載された発明（以下「訂正発明１」という。）の要旨（下線部
は訂正部分）。
【請求項１】化学的機械的研磨のために，ハウジング，ベース，ローディング
チャンバを有するキャリア・ヘッドにおいて，前記ハウジングと前記ベースの間に
前記ローディングチャンバが配置され，ポリシング・パッドに対する前記ベースの
垂直位置を制御する前記ローディングチャンバ内の圧力はポンプにより制御される，
前記キャリア・ヘッドの止め輪であって，
第一の材料で作られており且つ研磨の間にポリシング・パッドと接触する底部表
面を有する下部の部分と，
前記第一の材料より剛性である第二の材料で作られている，上部の部分と，を有
し，
前記上部の部分は，ボルトによってキャリア・ヘッドの前記ベースの外縁に固定
されるようになっており且つ前記下部の部分は，被研磨物の周縁部と接触して前記
被研磨物を前記キャリア・ヘッドの底部に画定されている被研磨物収容陥凹部に維
持する，全体として環状の止め輪。
３審決の理由
()審決は，別紙審決のとおり，本件訂正は新規事項を追加するものであり，1
特許法１２６条３項の規定に適合しないとし，また，訂正発明１は，国際公開９６
／３６４５９号（甲１，以下「刊行物１」という。）に記載された発明（以下「刊
行物１記載の発明」という。），国際公開９７／２０６６０号（甲２，以下「刊行
物２」という。）に記載された事項，周知の事項及び慣用手段に基づいて，当業者
が容易に発明をすることができたものであるから，同法２９条２項の規定により特
許を受けることができず，特許出願の際独立して特許を受けることができないもの
であるから，本件訂正は同法１２６条５項の規定に適合しないとした。
()審決が認定した刊行物１記載の発明の要旨2
「化学的機械的研磨のために，ショルダ２６０，上部プレート２７４，断面視で
ショルダと上部プレートと可撓性リング２７２とで囲まれる空間を有するツーリン
グヘッド２０２において，前記ショルダと前記上部プレートの間に前記空間が配置
され，ショルダ２６０は，ショルダ２６０とプラテン２６６（判決注：「上部プレ
ート２７４」の誤記と認められる。）との間で機能する圧縮バネ２７０が固定され
る円形のノッチ２６８を備え，ウエハ２００と研磨パッド２０６との間の力は圧縮
バネ２７０によって制御される，前記ツーリングヘッド２０２の，摩耗リング２９
１を備える保定リング２８２であって，プラスチック材料を含み且つ研磨の間に研
磨パッド２０６と接触する底部表面を有する摩耗リング２９１と，前記保定リング
２８２のうち摩耗リング２９１より上部の部分と，を有し，前記保定リング２８２
のうち摩耗リング２９１より上部の部分は，保定リング可撓性部材２８４によって，
可動性を有するように上部プレート２７４に取り付けられ，前記保定リング２８２
の正確な垂直位置は，ツーリングヘッドの周縁に沿って間隔を開けられたいくつか
のサーボ操作されるネジ２８８およびセンサ２９０によって制御される保定リング
２８２。」
()審決が認定した訂正発明１と刊行物１記載の発明の一致点及び相違点は，3
それぞれ次のとおりである。
ア一致点
「化学的機械的研磨のために，ハウジング，ベース，ハウジングとベースの間に
配置される空間を有するキャリア・ヘッドにおいて，前記ハウジングと前記ベース
の間に前記空間が配置される，前記キャリア・ヘッドの止め輪であって，第一の材
料で作られており且つ研磨の間にポリシング・パッドと接触する底部表面を有する
下部の部分と，上部の部分と，を有し，下部の部分は，被研磨物の周縁部と接触し
て被研磨物をキャリア・ヘッドの底部に画定されている被研磨物収容陥凹部に維持
する，全体として環状の止め輪」
イ相違点
(ｱ)相違点１
「前者（判決注：訂正発明１）は，ハウジングとベースの間に配置される空間が
ローディングチャンバであって，ポリシング・パッドに対するベースの垂直位置を
制御するローディングチャンバ内の圧力がポンプにより制御されるのに対して，後
者（判決注：刊行物１記載の発明）は，ハウジングとベースとの間で機能する圧縮
バネ２７０により，被研磨物と研磨パッド２０６との間の力が制御される点。」
(ｲ)相違点２
「前者は，上部の部分が『第一の材料より剛性である第二の材料で作られてい
る』のに対して，後者は，上部の部分の材料を特定していない点。」
(ｳ)相違点３
「前者は，止め輪の上部の部分は，ボルトによってキャリア・ヘッドの前記ベ『
ースの外縁に固定されるようになっているのに対して，後者は，止め輪の上部の』
部分は，ベースである上部プレート２７４に固定されるのではなく，保定リング『
可撓性部材２８４によって，可動性を有するようにベースである上部プレート２７
４に取り付けられ，その正確な垂直位置は，ツーリングヘッドの周縁に沿って間隔
を開けられたいくつかのサーボ操作されるネジ２８８およびセンサ２９０によって
制御される点。」』
第３原告主張の審決取消事由
審決は，本件訂正について，新規事項についての判断を誤り（取消事由１），ま
た，刊行物１記載の発明の認定を誤り（取消事由２），相違点１ないし３について
の認定判断を誤り（取消事由３ないし５），本件訂正が許されないとしたものであ
り，違法であるから，取り消されるべきである。
１取消事由１（新規事項についての判断の誤り）
()審決は，「化学的機械的研磨の対象物として『被研磨物』が『基板』及び1
『ウエーハ』以外のものを表さないことが自明であるとも認められない」（４頁第
１段落）として，本件訂正のうち，「且つ前記下部の部分は，被研磨物の周縁部と
接触して前記被研磨物を前記キャリア・ヘッドの底部に画定されている被研磨物収
容陥凹部に維持する，」という事項を追加すること（以下「訂正事項ｄ」とい
う。）が本件特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものでないと判断し
たが，誤りである。
化学的機械的研磨は，半導体の微細化のための平坦化技術として実用化されたも
のであり，化学的機械的研磨の対象物としての「被研磨物」は，「基板」及び「ウ
エハ（シリコンウエハを含む）」以外のものを表さないことは自明である。
このことは，本件特許明細書の段落【０００２】，【０００５】において，「基
板」及びその一例として「ウエハ」及び「シリコン（半導体）」が記載されている
こと，特許庁ウェブサイトにおける「４−４−１ＣＭＰ（（注）化学的機械的研
磨）装置」の説明（甲８）において，化学的機械的研磨の対象物としての被研磨物
として，「基板」，「半導体（シリコン）」及び「ウエハ」のみが記載されている
こと，「半導体平坦化ＣＭＰ技術（超ＬＳＩ製造のキープロセス）」（甲９）に，
化学的機械的研磨の被研磨物として，「基板」，「ウエハ」及び「半導体」のみが
記載されていること，化学的機械的研磨の技術に係る公開特許公報（特開平９−１
５５７３３号公報〔甲１０〕，特開平９−３２３２５５号公報〔甲１１〕，特開平
１０−３４５２２号公報〔甲１２〕，特開平１０−３４５２４号公報〔甲１３〕，
特開平１０−１２５６３７号公報〔甲１４〕）において，化学的機械的研磨の被研
磨物として，「基板」，「半導体」，「ウエハ」のみが記載されていることからも
明らかである。そして，「基板」，「半導体」又は「ウエハ」が，いずれも同じ実
体のものであることは，当業者に自明である。
この点について，被告は，特公昭５９−５３３１７号公報（乙１，以下「乙１公
報」という。）に，化学的機械的研磨の対象物としての「被研磨物」として「機械
部品」が含まれることが記載されている旨主張するが，そこに記載されている「機
械部品」は，基板上に形成した非晶質酸化アルミニウム層を化学的機械的研磨装置
により完全に研磨した結果得られる最終製品であって，化学的機械的研磨の対象物
としての被研磨物ではない。同公報における化学的機械的研磨の対象物としての被
研磨物は基板であるから，同公報は，化学的機械的研磨の対象物としての「被研磨
物」は「基板」であることを示す。
()審決は，訂正要件ｄを含む本件訂正が特許法１２６条３項の規定に適合し2
ないと判断するに当たり，「『被研磨物』には，『基板』及び『ウエーハ』以外の
化学的機械的研磨の対象物を含み得ると解される。そうすると，化学的機械的研磨
の対象物を『被研磨物』とすることは，本件特許明細書に記載した事項の範囲内に
おいてしたものではない。したがって，訂正事項ｄを含む本件訂正は，特許法第１
２６条第３項の規定に適合しない。」（４頁第１段落）としたが，このような判断
の手法は違法である。
訂正の内容が新規事項を含むものであるか否かの判断は，その訂正の内容が「当
初明細書等に記載した事項」の範囲を超える内容を含むものであるか否かによって
されるべきであり，その場合の「当初明細書等に記載した事項」とは，①「当初明
細書等に明示的に記載された事項」だけではなく，②「当初明細書等の記載から自
明な事項」を含むものであって，その場合に，訂正された事項が，「当初明細書等
の記載から自明な事項」であるといえるためには，当初明細書等に明示的な記載が
なくとも，これに接した当業者であれば，出願当時の技術常識に照らして，その意
味であることが明らかであり，その事項がそこに記載されているのと同然であると
理解される事項でなければならない。
審決は，「被研磨物」には，「基板」及び「ウエハ」以外の化学的機械的研磨の
対象物を含み得ると解されるとするが，そのような対象物として具体的にどのよう
なものが存在するかを指摘しない。仮に，化学的機械的研磨の「被研磨物」として
「基板」及び「ウエハ」以外の対象物が存在したとしても，上記のとおり，訂正の
内容が新規事項を含むものであるか否かの判断に当たっては，新たな対象物が当初
明細書等に記載されていると同然であるか否かの判断を行う必要があるにもかかわ
らず，審決は，明示的に記載されている対象物以外の新たな対象物がどのようなも
のであるかを具体的に指摘しないので，新たな対象物が当初明細書等に記載されて
いるのと同然であるか否かの判断を行うことができない。このような判断手法は，
原告の反論の機会を失わせるものであり，違法である。
２取消事由２（刊行物１記載の発明の認定の誤り）
()審決は，刊行物１の図９ないし図１１にかんがみて刊行物１記載の発明を1
認定するとした。
刊行物１の図９の実施態様は，研磨装置に使用することが可能なツーリングヘッ
ド２０２の構成として，プラテン２６６の下面から突出して保定リップ２７３が設
けられ，保定リップ２７３はプラテン２６６に対して可動性を有さず，不動的であ
る。これに対し，図１０ないし図１２の実施態様は，研磨装置に使用することが可
能なツーリングヘッド２０２の構成として，磨耗リング２９１を具備する保定リン
グ２８２が上部プレート２７４に対して可動的に設けられており，ウエハ２００と
磨耗リング２９１との間の高さの関係Ｈを制御することが可能である。この点にお
いて，図９の実施態様と図１０∼図１２の実施態様は構造が全く異なるものである。
審決が認定した刊行物１記載の発明は，「保定リング２８２」を包含するもので
あり，上部の部分が保定リング可撓性部材２８４によって可動性を有するように上
部プレート２７４に取り付けられる構成となっているから，図９の実施態様が包含
されるものではない。しかし，審決は，互いに排他的な構造を有する不動性の保定
リップ２７３と可動性の保定リング２８２の存在にもかかわらず，特段の理由もな
く，刊行物１記載の発明について，排他的な構造を相互に有する図９ないし図１１
にかんがみて認定するとしているものであり，その認定には誤りがある。図９の不
動性の保定リップ２７３を含む構成については「刊行物１記載の発明１」とし，図
１０，図１１の可動性の保定リング２８２を含む構成については「刊行物１記載の
発明２」とすべきである。
この点について，被告は，重複する構成について，図９に係る記載をもって，図
１０の構成を明らかにしたものである旨主張しているが，刊行物１記載の発明にお
いては，「磨耗リング２９１を備える保定リング２８２」のみが記載されているに
すぎず，図９と図１０，図１１に共通の重複する構成が記載されているものではな
い。
()審決は，刊行物１記載の発明の保定リング２８２に係る構成について，2
「前記保定リング２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分と，を有し，前記
保定リング２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分は，保定リング可撓性部
材２８４によって，可動性を有するように上部プレート２７４に取り付けられ」
（８頁第２段落）と認定した。
ここで，審決が，「保定リング２８２」とせず，「保定リング２８２のうち磨耗
リング２９１より上部の部分」と定義したのは，刊行物１の図１０ないし図１２の
とおり，摩耗リング２９１は，その上部が保定リング２８２の底面の一部内に部分
的に埋め込まれ，厳密には，保定リング２８２は，磨耗リング２９１より「上部の
部分」と「上部でない部分」とを有することによる。
ここで，保定リング２８２の「上部の部分」と「上部でない部分」とは，両者と
も保定リング２８２の一部にすぎないものであり，それぞれ，異なる材料からなる
ものであることを示唆する記載もなく，同一の材料から構成されていることが示唆
されているといえるから，保定リング２８２を「上部の部分」と「上部でない部
分」とに分断する基準が不明である。
そして，保定リング２８２は，「上部の部分」と「上部でない部分」とを有して
いるので，保定リング２８２全体としては，磨耗リング２９１に対して「上部の部
分」ということはできない。審決の「刊行物１記載の発明」の認定は，「保定リン
グ２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分」とは具体的に保定リング２８２
のうちのどの部分のことを指しているのか説明せず，さらに，保定リング２８２の
「上部でない部分」については全く無視しており，そのことについての何らの説明
もない点において失当である。
３取消事由３（相違点１についての認定判断の誤り）
()審決は，相違点１の容易想到性判断に当たり，「相違点１に係る，訂正発1
明１の上記構成及び刊行物１記載の発明の上記構成とは，ベースに印加される下方
への圧力を制御する点で同等のものということができる。」（１２頁第１段落）と
認定判断したが，誤りである。
()訂正発明１におけるローディングチャンバ１０８と，刊行物１における圧2
縮バネ２７０とは技術的意義が全く異なり，その目的，構成及び作用効果も全く異
なる。
訂正発明１におけるローディングチャンバは，単に，「ベースに印加される負荷
すなわち下方への圧力」を制御するものではなく，ポリシング・パッド３２に対す
るベース１０４の「垂直位置を制御」して，止め輪１１０をポリシング・パッド３
２に負荷を加えるように下向きに押すこと，すなわち，止め輪１１０をポリシング
・パッド３２と接触させるように垂直位置を制御するとともに，ポリシング・パッ
ド３２との間に所定の接触圧（負荷）を与えるように下向きに押すものである。訂
正明細書の段落【００１０】，【００２０】，【００３３】，【００３４】の記載
を参照すれば，訂正発明１が，ベースの垂直位置の制御により，ポリシング・パッ
ドと非接触の状態にあった止め輪を，ポリシング・パッドと接触させること，ベー
ス１０４の垂直位置を制御することをもって，止め輪１１０をポリシング・パッド
３２に負荷を加えるように下向きに押すものであることは，当業者にとって明らか
である。
したがって，訂正発明１においては，比較的大型のキャリア・ヘッド全体を垂直
方向に移動させることなく，ローディングチャンバ内の圧力を制御することによっ
て，ベースを垂直に移動させ，止め輪の底部表面をポリシング・パッドと接触させ
ることが可能である。
また，訂正発明１においては，ベースの垂直位置が制御されて，止め輪の底部表
面がポリシング・パッドと接触したとしても，基板が必然的にポリシング・パッド
と接触することになるものではなく，訂正明細書及び図２に示されている実施例に
おいては，ブラダー１４４又はチャンバ１９０内の圧力を別のポンプで制御するこ
とにより基板１０を保持する可撓膜１１８を下方向へ移動させて基板１０をポリシ
ング・パッド３２に対して押し付けることが可能であり，止め輪１１０の垂直位置
は基板１０の垂直位置とは別個に制御することが可能である。
一方，刊行物１記載の発明は，刊行物１の図２及び図９に図示されるように，ポ
スト２０４がＺ方向，すなわち，垂直方向に位置変化することにより，それに接続
されているツーリングヘッド２０２も同期してＺ方向に位置を変化させ，その結果，
ツーリングヘッド２０２に保持されているウエハ２００が研磨パッド２０６と接触
し，このようにしてウエハ２００が研磨パッド２０６と接触したとき，圧縮バネ２
７０がショルダ２６０とプラテン２６６との間で圧縮され，Ｚ方向への力であるウ
エハへの圧力が変化し得ることを確実にするものである。すなわち，圧縮バネ２７
０自体がツーリングヘッド２０２のＺ方向の位置を制御するためにツーリングヘッ
ドをＺ方向に移動させるのではなく，ポスト２０４のＺ方向への移動によりツーリ
ングヘッド２０２がＺ方向へ移動されて，ウエハ２００が研磨パッド２０６と接触
状態となったとき，圧縮バネ２７０がポスト２０４によって加えられるＺ方向への
力であるウエハへの圧力が変化し得ることを確実にする。
したがって，刊行物１記載の発明においては，圧縮バネ２７０は，あくまでも受
動的機能を有するにすぎないものであって，ショルダ２６０がＺ方向に移動しない
状態において，プラテン２６６のみをＺ方向に位置制御することが可能なものでは
なく，また，ウエハ２００と無関係に止め輪の底部表面を研磨パッドと接触させる
ことが可能なものではない。
()被告は，原告の上記()の主張が特許請求の範囲の記載に基づかない旨主張32
する。
しかし，訂正発明１の特許請求の範囲には，止め輪が上部の部分と下部の部分と
を有しており，上部の部分は「ボルトによってキャリア・ヘッドの前記ベースの外
縁に固定される」こと，下部の部分は「研磨の間にポリシング・パッドと接触する
底部表面を有する」ことが記載されている。したがって，止め輪はベースに固定さ
れていることが記載されていて，ローディングチャンバ内の圧力を制御してポリシ
ング・パッドに対するベースの垂直位置を制御するということは，ポリシング・パ
ッドに対する止め輪の垂直位置を制御することを意味することが明らかである。更
に，止め輪の底部表面は研磨の間にポリシング・パッドと接触することが記載され
ているので，ベースの垂直位置の制御によって，研磨の間，止め輪の底部表面がポ
リシング・パッドと接触させるものである。そして，止め輪は交換部品であり使用
により消耗するものであるから，非研磨の間に，止め輪をポリシング・パッドと接
触させたままとすることは当業者の常識に反することであり，その底部表面が研磨
の間にポリシング・パッドと接触するということは，非研磨の間にはポリシング・
パッドと非接触であることを意味していることが明らかである。
また，被告は，訂正発明１のローディングチャンバと刊行物１の圧縮バネは，ベ
ースに印加される下方への圧力を制御するという機能の点で共通する旨主張する。
しかし，刊行物１記載の発明においては，圧縮バネによって制御される対象は，ウ
エハ（被研磨物）と研磨パッド（ポリシング・パッド）との間の力であり，ウエハ
と研磨パッドとが接触している状態においてのみ力の制御が可能である。一方，訂
正発明１においては，ローディングチャンバ内の圧力は，ポリシング・パッドに対
するベースの垂直位置を制御するものであり，止め輪のポリシング・パッドに対す
る垂直位置を制御するものであるから，ローディングチャンバによって制御される
対象は，止め輪とポリシング・パッドとの間の位置関係及び力（接触状態とされた
場合）であり，刊行物１記載の発明と訂正発明１とは，ベースに印加される下方へ
の圧力を制御する上で，機能及び制御対象において著しく異なっている。
４取消事由４（相違点２についての認定判断の誤り）
()審決は，「刊行物１記載の発明における『保定リング２８２』のうち摩耗1
リング２９１より上部の部分は『摩耗リング２９１』を支持するものであるから，
支持される『摩耗リング２９１』より高剛性の材料を採用することは当業者が適宜
選択し得る事項にすぎない。しかも，『保定リング２８２』が『ウエハへの横方向
の力に抵抗する』ためのものであることを考慮すれば，より外力に抗することので
きるより高剛性の材料を可能であるなら選択すべきところ，『摩耗リング２９１』
がプラスチック材料からなるのであれば，『保定リング２８２』のうち摩耗リング
２９１より上部の部分を該プラスチック材料よりも高剛性の材料で作り，もって
『保定リング２８２』をより高剛性のものとすることは，当業者であれば容易に想
到し得ることである。したがって，刊行物１記載の発明における止め輪の『上部の
部分』を，『下部の部分』を構成する『第一の材料』より剛性である『第二の材
料』で作ることは，当業者が容易になし得ることである。」（１３頁最終段落∼１
４頁第２段落）と判断したが，誤りである。
()訂正発明１は，ボルト締めによる止め輪の「変形」や基板と当接すること2
による止め輪の「偏向」に起因する止め輪自体の端部効果助長原因に関する技術課
題を解決するものである。このような技術課題は，訂正発明１に独特のものであり，
訂正発明１の出願前に認識されていなかった。すなわち，訂正発明１の出願前にお
いて，止め輪が，基板を所定位置に維持する機能のみならず，端部効果を減少させ
る機能を併せ持つことは認識されていたが，止め輪がボルト締めにより「変形」し
たり，基板との当接により「偏向」したりして，かえって，端部効果を助長する原
因となることがあるとの技術課題は認識されていなかった。訂正発明１は，止め輪
を使用しているにもかかわらず，端部効果が再発しているため，鋭意研究した結果，
止め輪自体に起因する端部効果助長原因が存在することを突き止め，この原因を除
去するためにされたものである。
このような訂正発明１の独特の技術課題は，刊行物１に記載されていないし，示
唆もされていない。刊行物１においては，図１０∼図１２に示されるように，磨耗
リング２９１と保定リング２８２とからなり，たまたま，訂正発明１の上部の部分
と下部の部分とを有する止め輪の構造に類似する，２層構造のリングが示されてい
るにすぎない。また，刊行物１は，磨耗リング２９１は，研磨パッドによる研磨に
耐える高い耐研磨性及びゆがみに耐える良好な寸法安定性の両方を備えたプラスチ
ック材料からなることを記載するが，保定リング２８２の材料を一切記載しないし，
示唆もせず，保定リング２８２を形成する材料が磨耗リング２９１を形成する材料
より剛性であることを記載するものでも，示唆するものでもない。更に，保定リン
グ２８２は，保定リング可撓性部材２８４によって，「可動性」を有するように上
部プレート２７４に取り付けられるものであって，刊行物１は，保定リング２８２
を上部プレート２７４に固定することを記載するものでも示唆するものでもなく，
保定リング２８２をボルトなどにより，上部プレート２７４に固定して「不動性」
のものとしたのではそのような長所は得られないこととなるから，保定リング２８
２を「不動性」のものとすることは保定リング２８２の所与の目的に反することと
なり不合理であり，刊行物１の磨耗リング２９１が訂正発明１の止め輪の下部の部
分に対応し，保定リング２８２が訂正発明１の止め輪の上部の部分に対応するとい
うことはできない。
()審決は，上記()のとおり，「『保定リング２８２』のうち摩耗リング２31
９１より上部の部分は『摩耗リング２９１』を支持するものであるから，支持され
る『摩耗リング２９１』より高剛性の材料を採用することは当業者が適宜選択し得
る事項にすぎない。」としたが，失当である。支持するものと支持されるものとが
ある場合に，支持するものの方が支持されるものより高剛性のものでなければなら
ない必然性はない。
そして，刊行物１において，磨耗リング２９１については，高い耐摩耗性及びゆ
がみに耐える良好な寸法安定性の両方を備えたプラスチック材料として特記してい
るのに対し，保定リング２８２については，材料について何ら記載していないので
あるから，かえって，支持される磨耗リング２９１の方が支持する保定リング２８
２よりも高剛性の材料であることが要望されているといえる。また，保定リング２
８２は可動性であることが必要とされているところ，一般的には，高剛性の場合に
は高重量であることが当業者にとって技術常識である（甲１８，１９）から，例え
ば，金属などの高剛性の材料で保定リング２８２を製造した場合，保定リング２８
２の重量が大きくなり，可動性に悪影響を与える可能性があり，特に，保定リング
２８２の「上部の部分」はかなり寸法が大きいものであり，それを金属で構成した
場合には保定リング２８２の重量は相当程度の大きさとなり，高重量の保定リング
２８２を支持するために可撓性部材２８４（円形鉄バンド）の厚さを大きく設定す
ることが必要となって，可撓性部材２８４の可動性が悪化することとなるから，保
定リング２８２の材料を磨耗リング２９１よりも高剛性の材料とすることは，むし
ろ否定されている。
更に，従来技術においては，止め輪はその全体がプラスチックから形成されてお
り，ベースなどにボルト締めにより固定されていたものであるから，保定リング２
８２が磨耗リング２９１と同等又はそれ以下の剛性のプラスチック材料から形成す
ることに支障はない。
被告は，保定リング２８２の正確な垂直位置は，ネジ２８８及びセンサ２９０に
よって制御されていて，保定リング２８２の垂直位置を正確に制御するため，「上
部の部分」を，ネジ２８８との間で力が加わっても，その部分で変形が生じること
のない剛性の高い材料とすべきことは明らかである旨主張するが，保定リング２８
２の「上部の部分」とネジ２８８とが直接に接触しているとの前提に誤りがある。
()審決は，上記()のとおり，「『保定リング２８２』が『ウエハへの横方41
向の力に抵抗する』ためのものであることを考慮すれば，より外力に抗することの
できる，より高剛性の材料を可能であるなら選択すべきところ，『摩耗リング２９
１』がプラスチック材料からなるのであれば，『保定リング２８２』のうち摩耗リ
ング２９１より上部の部分を該プラスチック材料よりも高剛性の材料で作り，もっ
て『保定リング２８２』をより高剛性のものとすることは，当業者であれば容易に
想到し得る」とするが，失当である。
ウエハ２００の横方向の力は，直接的には，磨耗リング２９１に作用し，磨耗リ
ング２９１は，ウエハ２００から直接的に横方向の力を受けるばかりか，研磨パッ
ド２０６に押し付けられているので，研磨パッド２０６からも直接的に力を受ける。
一方，保定リング２８２は，磨耗リング２９１を介して間接的にその横方向の力を
受けるにすぎず，研磨パッド２０６から直接的に力を受けることはない。
したがって，ウエハの横方向の力に抵抗するためには，保定リング２８２より，
磨耗リング２９１の方が，一層高剛性の材料であることが必要である。更に，保定
リング２８２は，可撓性部材２８４に支持され，可動性を有しているので，ウエハ
からの横方向の力は保定リング２８２において分散され，かつ，可撓性部材２８４
によって吸収される傾向となり，その点からも，保定リング２８２を磨耗リング２
９１より高剛性の材料とすることの可能性は低い。加えて，刊行物１の図１１のと
おり，保定リング２８２は，磨耗リング２９１と比較してその横方向の幅が大きく
設定されている。これは，保定リング２８２は磨耗リング２９１と比較して剛性の
低い材料から形成されているので，横方向寸法を大きくして保定リング２８２の剛
性を高めているものである。
５取消事由５（相違点３についての認定判断の誤り）
()審決は，相違点３の容易想到性判断に当たり，「後者（判決注：刊行物２1
に記載の事項）の『主研磨ヘッド部材４０』は，『止め輪』が固定される部材であ
る点に限り前者（判決注：訂正発明１）の『ベース』と共通するものである。」
（１４頁第４段落）としたが，誤りである。
駆動シャフトに接続され，回転及び横方向運動が駆動制御されるという機能の同
一性から，訂正発明１のハウジング１０２は，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０に
対応する。そして，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０に設けられている真空マニホ
ールド４２は，訂正発明１のローディングチャンバ１０８に対応するが，刊行物２
に記載された事項においては，真空マニホールド４２内の圧力によって基板５０を
吸引又は離脱させていて，訂正発明１のベースに対応する部材は存在しない。
この点について，被告は，刊行物２においては，訂正発明１におけるハウジング
に相当する部分とベースに相当する部分とが一体となって主研磨ヘッド部材４０を
構成している旨主張するが，まず，訂正発明１において別々の要素として記載され
ているハウジングとベースとを一体とすることの必然性について何らの説明をして
いない恣意的なものであり，更に，ハウジングとベースとが一体となって主研磨ヘ
ッド部材４０を構成するとしても，主研磨ヘッド部材４０のどの部分がハウジング
に相当し，かつ，どの部分がベースに相当するかが明らかではない。また，被告の
主張のように，主研磨ヘッド部材４０はハウジングとベースとが一体となったもの
であるとした場合，訂正発明１において明記されているローディングチャンバ内の
圧力によるベースの垂直位置制御という要件が欠如することとなり，不合理である。
()審決は，「刊行物１記載の発明は，上部部分を含めた止め輪全体が，ベー2
スに相当する上部プレートに対して可動性を有するものであって，当該上部プレー
トに固定されていないが，止め輪をベースに対して可動性を有することを要しない
場合（上述刊行物１記載の図９参照）も存在することは明らかである。そうすると，
刊行物１記載の発明も刊行物２に記載の事項も，共に，化学的機械的研磨という同
一の技術分野に属するものであることを考慮すれば，刊行物１記載の発明における
止め輪の上部の部分をベースに保持させる方式を，止め輪をベースに対して可動性
を有することを要しないものとし，キャリア・ヘッドのベースの外縁にボルトで固
定するとの事項を適用し，相違点３に係る構成を訂正発明１のそれとすることは，
刊行物２に記載の事項及び慣用手段から当業者が容易になし得ることである。」
（１４頁第５段落∼第６段落）と認定判断したが，誤りである。
まず，前記２のとおり，審決における「刊行物１記載の発明」においては，刊行
物１の図９の不動性の保定リップの構成は排除されており，図１０，図１１の可動
性の保定リングの構成のみを含むものである。審決は，「止め輪をベースに対して
可動性を有することを要しない場合（上述刊行物１記載の図９参照）」を検討して
いるが，審決の「刊行物１記載の発明」の定義においては，図９に示された構成は
排除されているから，審決でいう「止め輪をベースに対して可動性を有することを
要しない場合（上述刊行物１記載の図９参照）」とは，「刊行物１記載の発明」に
包含されるものではなく，「刊行物１記載の発明」とは別の発明である。
そして，以下のとおり，刊行物１記載の発明に，刊行物１の図９の構成及び刊行
物２に記載の事項を適用することには，阻害要因がある。
刊行物１記載の発明は，刊行物１の図１０，図１１の構成に対応しており，磨耗
リング２９１を具備する保定リング２８２は，可撓性部材２８４によって上部プレ
ート２７４に対して可動的に設けられている。一方，刊行物１の図９の構成では，
プラテン２６６の下面に突出して保定リップ２７３がプラテン２６６に固定して不
動的に設けられている。刊行物２における保持リング５２は，プラスチック（デル
リン）から構成されていて，主研磨ヘッド部材４０の下部エッジを取り囲んでその
底部にネジで取り付けられ，主研磨ヘッド部材の外縁にネジにより固定されている。
ここで，磨耗リング２９１を具備する保定リング２８２が可撓性部材２８４によ
って上部プレート２７４に対して可動的に設けられている技術的意義について，刊
行物１には，「ウエハ２００と磨耗リング２９１との垂直方向への差である高さの
関係Ｈも示されている。研磨の間，高さの関係Ｈは，材料の均一な除去を確実にす
るための重要なパラメータである。この関係における小さな変動も，均一性に対し
て有意な影響を与え得る。」（翻訳文の２７頁１９行目∼２２行目），「ウエハ２
００と保定リング２８２との高さの関係Ｈの調節ができるため，ウエハ２００と磨
耗リング２９１との間にかけられる力の分布の制御が有利に可能になる。」（翻訳
文の２８頁４行目∼５行目），「保定リングの位置を正確に制御し続けることによ
って，本発明は，より均一な除去率および表面仕上げを得るために，ウエハに対す
る圧力の分布の微妙な調整を可能にするという長所を提供する。」（翻訳文の２９
頁４行目∼６行目）との記載があり，これらによれば，図１０，図１１に示された
刊行物１記載の発明において，保定リング２８２が可動性を有するように上部プレ
ート２７４に取り付けられていることは，絶対的に必要な条件である。そして，刊
行物１の図９及び刊行物２に記載の事項を刊行物１記載の発明（図１０，図１１）
に適用して，保定リング２８２を上部プレート２７４の外縁部に固定して取り付け
ると，高さの関係Ｈを調節することが不可能となって，より均一な除去率及び表面
仕上げを得るという所期の目的を達成することは不可能となるものである。
したがって，保定リング２８２を上部プレート２７４の外縁部に固定させるとい
うことは，図１０，図１１に示された刊行物１記載の発明において，保定リング２
８２を上部プレート２７４に対して可動的に設けることにより得られる本来の目的
を達成することが不可能なこととなるものであるから，刊行物１記載の発明に刊行
物１の図９及び刊行物２に記載の事項を適用することは困難である。
()被告は，刊行物１記載の発明の主たる目的は，ウエハと研磨媒体との間の3
速度を一定に保つ機構によっても達成できるものであり，リングの高さを調節可能
とするという構成は目的を達成する一手段にすぎず，必須なものでない旨主張する
が，ウエハと研磨媒体との間の速度を一定に保つ機構とは，刊行物１の図２∼図８
に示されている発明に対応するものであって，審決が認定した刊行物１記載の発明
とは別のものである。刊行物１記載の発明は，リングの高さを調節可能とする構成
を必要としており，調節可能な保定リングによって高さ関係Ｈを調節することによ
って，より均一な除去率及び表面仕上げを得ることを主たる目的とするものである
ことは明らかである。
また，審決は，「保定リップ又は保定リングを設ける主たる目的は，ウエハの端
部と接触し，ウエハへの横方向の力に抵抗して，ウエハをプラテン又は上部プレー
トの中心位置に保つことであり，保定リングの垂直位置を制御することによりウエ
ハに対する圧力の分布の微妙な調整を行うことは付加的な目的であると解するのが
妥当である。」（１５頁第２段落）とするが，保定リップ又は保定リングがウエハ
をプラテン等の中心位置に維持することは，刊行物１の出願時において当業者に周
知の課題であり，同課題が，刊行物１記載の発明の主たる目的ということはできな
い。
第４被告の反論
１取消事由１（新規事項についての判断の誤り）に対して
原告は，化学的機械的研磨の対象物としての「被研磨物」が，「基板」，「ウエ
ハ」及び「半導体（シリコン）」に限られる旨主張するが，原告がその主張の根拠
として掲げる文献は，化学的機械的研磨の対象物としての「被研磨物」が，「基
板」，「ウエハ」及び「半導体（シリコン）」である場合を例示したものであり，
「被研磨物」として，「基板」，「ウエハ」及び「半導体（シリコン）」以外のも
のを含み得ないとする根拠に直ちになり得るものではない。
乙１公報の２欄１行目∼２５行目には，化学的機械的研磨の対象物としての「被
研磨物」として，「機械部品」が含まれることが記載されていることからも，「化
学的機械的研磨の対象物として『被研磨物』が『基板』及び『ウェーハ』以外のも
のを表さないことが自明であるとも認められない。」（審決４頁第１段落）との審
決の認定判断に誤りはない。
そして，本件特許明細書に，化学的機械的研磨の対象物として記載されている，
「基板」，「ウエハ」又は「シリコン」は，集積回路製造に係るものであるから，
「機械部品」を含まないことは自明である。
２取消事由２（刊行物１記載の発明の認定の誤り）に対して
()原告は，審決が，刊行物１記載の発明を排他的な構造を相互に有する図９1
ないし図１１にかんがみて認定するとしているとして，その認定が誤りである旨主
張するが，失当である。
審決が，刊行物１記載の発明において，図９を含めて認定しているのは，実施例
として刊行物１に記載されている図１０，図１１の実施態様において，他の実施例
である図９と重複する構成が図１０において記載が省略されていることから，図９
に係る記載を挙げて，図１０の構成を明らかにしたものである。
また，刊行物１の記載によれば，ツーリングヘッドには，保定リップ又は保定リ
ングのいずれか一方が具備されていれば足り，両者のいずれを採用するかは当業者
が適宜選択し得る事項にすぎないので，両者のうち，保定リングを有するものとし
て刊行物１記載の発明を認定したことに誤りはない。
()審決は，刊行物１記載の発明について，「前記保定リング２８２のうち磨2
耗リング２９１より上部の部分と，を有し，前記保定リング２８２のうち磨耗リン
グ２９１より上部の部分は，保定リング可撓性部材２８４によって，可動性を有す
るように上部プレート２７４に取り付けられ」と認定したところ，原告は，摩耗リ
ング２９１は，その上部部分が保定リング２８２の底面の一部内に部分的に埋め込
まれ，厳密には，保定リング２８２は，磨耗リング２９１より「上部の部分」と
「上部でない部分」とを有するものであるとして，保定リング２８２を「上部の部
分」と「上部でない部分」とに分断する基準が不明である旨等を主張する。
しかし，刊行物１の記載に照らすと，「磨耗リング２９１」は，「保定リング２
８２」に含まれるものと解するのが相当であり，「保定リング２８２」は，「磨耗
リング２９１」と「保定リング２８２のうち摩耗リング２９１より上部の部分」と
から構成されるものである。原告が主張する「保定リング２８２のうち摩耗リング
２９１より上部の部分」についての解釈は誤りであり，この解釈に基づく主張にも
理由がない。
３取消事由３（相違点１についての認定判断の誤り）に対して
()原告は，訂正発明１においては，比較的大型のキャリア・ヘッド全体を垂1
直方向に移動させることなく，ローディングチャンバ内の圧力を制御することによ
って，ベースを垂直に移動させ，止め輪の底部表面をポリシング・パッドと接触さ
せることが可能となる旨主張するが，失当である。
訂正発明１に係る特許請求の範囲には，ローデングチャンバ内の圧力を制御して
「ポリシング・パッドに対する前記ベースの垂直位置を制御する」と記載されてい
るだけであり，ベースの垂直位置の制御によって，ポリシング・パッドと非接触の
状態にあった止め輪をポリシング・パッドと接触させることについては，何ら記載
されておらず，原告の主張は，特許請求の範囲の記載に基づくものではない。
また，仮に，本件特許明細書を参酌したとしても，本件特許明細書には，ベース
の垂直位置の制御によりポリシング・パッドと非接触の状態にあった止め輪をポリ
シング・パッドと接触させることは，何ら記載されていない。
そして，訂正発明１において，ローディングチャンバの圧力が制御されることは，
ベースに印加される負荷すなわち下方への圧力を制御することを含むものである。
一方，刊行物１記載の発明における「ハウジングとベースとの間で機能する圧縮
バネ２７０」は，Ｚ方向におけるハウジングの位置変化によってベースに下方への
力を印加して，それにより被研磨物とポリシング・パッドとの間に力を作用させる
ものである。
したがって，訂正発明１のローディングチャンバと刊行物１の圧縮バネは，ベー
スに対し下方への押圧力を与える点，すなわちベースに印加される下方への圧力を
制御するという機能の点で共通するから，審決における「相違点１に係る，訂正発
明１の上記構成及び刊行物１（甲１）記載の発明の上記構成とは，ベースに印加さ
れる下方への圧力を制御する点で同等のものということができる」（１２頁第１段
落）とした判断に誤りはない。
なお，訂正発明１において，ベースの垂直位置を制御することが，止め輪の垂直
位置を制御することを示唆するものであるとしても，刊行物１記載の発明において
は，ポリシング・パッド（弾性パッド２９８）は，Ｚ方向への力で圧縮可能である
ことから，ローディングチャンバ内の圧力をポンプで制御することによりベースに
印加される下方への圧力の制御を行うようにした場合，ポリシング・パッドと接触
した止め輪とベースとは，ネジ２８８を介して一体的に移動する。そうすると，刊
行物１記載の発明に周知技術を適用することによって，「ポリシング・パッドに対
する前記ベースの垂直位置を制御する前記ローディングチャンバ内の圧力はポンプ
により制御される」こととなれば，ポリシング・パッドに対する止め輪の垂直位置
も制御されることとなる。
したがって，訂正発明１と，刊行物１記載の発明に周知技術を適用したものとは，
「ポリシング・パッドに対する止め輪の垂直位置を制御するローディングチャンバ
内の圧力はポンプにより制御される」点においても差異はない。
()原告は，訂正発明１の止め輪１１０の垂直位置は，基板１０の垂直方向と2
は別々に制御することが可能である旨主張するが，これは，訂正明細書の図２に示
されている実施例に係る機能を主張しているものであるところ，その機能を達成す
るための構成であるブラダ１４４及び別のチャンバ１９０等は，訂正発明１の構成
に含まれていないから，特許請求の範囲の記載に基づかない主張であって，失当で
ある。
４取消事由４（相違点２についての認定判断の誤り）に対して
()原告は，支持するものと支持されるものとがある場合に，支持するものの1
方が支持されるものより高剛性のものでなければならないという必然性は存在せず，
刊行物１が「上部の部分」の材料を記載していないこと，上部の部分を金属とする
と重量が高くなることなどを挙げて，相違点２についての審決の判断が誤りである
旨主張する。
しかし，刊行物１において，「上部の部分」の材料について何ら記載されていな
いことが，支持される摩耗リング２９１の方が支持する「上部の部分」よりも高剛
性の材料であることが要望されている理由となる具体的な主張はなく，必ずしも，
摩耗リング２９１の方が支持する「上部の部分」よりも高剛性の材料であることが
要望されているとすることはできない。また，原告は，高剛性の材料として金属を
例示して，「上部の部分」の重量が高くなることを主張するが，「剛性」と「重
量」は異なる物性であり，高剛性であるからといって，必ずしも高重量であるとは
いえない。「上部の部分」を金属で構成したとしても，保定リング２８２の移動量
はウエハの研磨量に応じたわずかなものであり，移動速度もウエハの研磨量に応じ
た遅々たるものであり，ネジ２８８が保定リング２８２の自重を支えているもので
ないことは明らかであって，ネジ２８８の駆動に「上部の部分」の自重は直接影響
するものではないことから，「上部の部分」の重量がその可動性に悪影響を与える
とまではいえない。
そして，止め輪を，摩耗リング２９１と「上部の部分」に分けた時に，「上部の
部分」が摩耗リング２９１以下の剛性のプラスチック材料から形成することに支障
がないとする原告の主張に具体的な理由はない。止め輪としてプラスチック材料を
使用するのは，ウエハに汚染などの悪影響を及ぼさない材料を選択することによる
のであり，ウエハ及びポリシング・パッドと接触していない「上部の部分」の材料
について，プラスチック材料以外の材料を選択することの阻害要因はない。刊行物
１の図９と図１０とを比較すると，図９では，プラテン２６６に対して直接ウエハ
２００を保持しており，ウエハ２００と隣接する保定リップ２７３もプラテン２６
６に直接設けられているのに対し，図１０では，ウエハ２００を保持するプラテン
は可撓性プラテン２７７として，上部プレート２７４から突出した態様となってい
る。単に，保定リップを可撓性プラテン２７７の突出した厚さに対応させるには，
保定リップを厚くする必要があるが，その場合，突出していない場合と同じ負荷が
かかっても，より大きな変位，変形が生じることは，当業者であれば技術常識とし
て容易に理解できることである。そして，ウエハ及びポリシング・パッドと接触す
る部分は，保定リップの下部の一部分となることから，ウエハ及びポリシング・パ
ッドと接触する部分を所望の性能のプラスチック部材とすれば足りること，所望の
性能が必要な部分にのみ特定の材料を用い，それ以外の部分に剛性の高い材料を用
いることにより，全体として剛性を向上させることが周知の事項であることを勘案
すれば，２つの部材からなる，保定リング２８２において，突出していない場合と
同じ負荷がかかってもより大きな変位，変形が生じることを防ぐために，「上部の
部分」の材料として，摩耗リング２９１の材料より高剛性の材料を選択することは，
当業者であれば困難なく想到し得る事項である。
()原告は，ウエハ２００の横方向の力は直接的には磨耗リング２９１に作用2
するものであり，保定リング２８２は磨耗リング２９１を介して間接的にその横方
向の力を受けるにすぎないこと，保定リング２８２は磨耗リング２９１と比較して
その横方向の幅が大きく設定されていて，これは，保定リング２８２は磨耗リング
２９１と比較して剛性の低い材料から形成されているので，横方向寸法を大きくし
て保定リング２８２の剛性を高めていることを挙げて，上部の部分の剛性をより高
くすることに当業者が容易に想到できたとの審決の判断を争う。
しかし，ウエハ２００の横方向の力は摩耗リング２９１に直接作用するものの，
その力は「上部の部分」にも伝達されることから，保定リング２８２全体としては，
ウエハ２００の横方向の力へ抵抗するためには，「上部の部分」の剛性が高ければ
高いほど望ましいことは明らかであり，保定リング２８２の剛性を高いものとする
ことは，当業者であれば，容易に想到し得る事項である。また，材料を特定のもの
とすることを要しない「上部の部分」の剛性が必要であれば，高剛性の材料で構成
するとともに横方向寸法も大きくした方がさらに剛性が高まることは明らかである。
さらに，保定リング２８２の正確な垂直位置は，ネジ２８８及びセンサ２９０に
よって制御されているといえるのであるから，保定リング２８２の「上部の部分」
の剛性が低いために「上部の部分」とネジ２８８との接触部分で「上部の部分」の
変形が生じると，保定リング２８２の垂直位置を正確に制御できなくなる。そうす
ると，「上部の部分」を，ネジ２８８との間で力が加わっても変形が生じることの
ない剛性の高い材料とすべきことは明らかである。
５取消事由５（相違点３についての認定判断の誤り）に対して
()原告は，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０を，訂正発明１のベースと共通1
するとした審決の認定は誤りであるとし，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０は訂正
発明１のハウジング１０２に対応すると主張する。
しかし，訂正明細書の特許請求の範囲には，発明の構成として「駆動シャフト」
は記載されておらず，回転及び横方向運動が駆動制御されるという作用的記載もな
い。原告は，特許請求の範囲の記載に基づかない機能が同一であることのみをもっ
て，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０が訂正発明１のハウジング１０２に対応する
との根拠としているもので，失当である。また，原告は，刊行物２の真空マニホー
ルド４２が，訂正発明１のローディングチャンバ１０８に対応するとするが，訂正
発明１のローディングチャンバ１０８は，特許請求の範囲に「ポリシング・パッド
に対する前記ベースの垂直位置を制御する前記ローディングチャンバ内の圧力はポ
ンプにより制御される，」と記載されていることから，ベースに作用するものであ
る。原告は，刊行物２には，ベースに対応する部材は存在していないと主張するが，
そうすると機能の点からは，刊行物２記載の真空マニホールド４２が，訂正発明１
のローディングチャンバ１０８に対応しているとすることはできないこととなり，
原告の主張は，矛盾を生じるものであり，失当である。
()原告は，図１０，図１１に示された刊行物１記載の発明は，調節可能な保2
定リングによって高さ関係Ｈを調節することによって，より均一な除去率及び表面
仕上げを得ることが主たる目的である旨主張するが，刊行物１記載の発明において，
主たる目的は，ウエハと研磨媒体との間の速度を一定に保つ機構によっても達成で
きるものであり，リングの高さを調節可能とする構成は目的を達成する一手段にす
ぎず，必須のものではない。
第５当裁判所の判断
１取消事由１（新規事項についての判断の誤り）について
()審決が，「訂正事項ｄのうち，化学的機械的研磨の対象物を『被研磨物』1
とすることについて検討するに，本件特許明細書には『被研磨物』という語は記載
されておらず，化学的機械的研磨の対象物としての『基板』又は『ウェーハ』が記
載されているのみである。また，化学的機械的研磨の対象物として『被研磨物』が
『基板』及び『ウェーハ』以外のものを表さないことが自明であるとも認められな
い。そして，『被研磨物』には，『基板』及び「ウェーハ」以外の化学的機械的研
磨の対象物を含み得ると解される。そうすると，化学的機械的研磨の対象物を『被
研磨物』とすることは，本件特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたもの
ではない。したがって，訂正事項ｄを含む本件訂正は，特許法第１２６条第３項の
規定に適合しない。」（３頁最終段落∼４頁第１段落）としたのに対し，原告は，
その認定判断を争う。
()本件発明の特許請求の範囲は，「化学的機械的研磨のためのキャリア・ヘ2
ッドの止め輪であって，研磨の間にポリシング・パッドと接触し，第一の材料で作
られている，底部表面を有する下部の部分と，前記第一の材料より剛性である第二
の材料で作られている，上部の部分と，を有する，ボルトによってキャリア・ヘッ
ドのベースの外縁に固定されるようになっている全体として環状の止め輪。」とい
うものであり，本件発明の「止め輪」は，「化学的機械的研磨のためのキャリア・
ヘッド」の止め輪である。ここで，化学的機械的研磨を含む研磨においては，研磨
の対象物，すなわち，「被研磨物」の存在を前提とすることは明らかであるから，
本件発明は，「化学的機械的研磨」の対象物，すなわち，「被研磨物」の存在を前
提としていることは，本件特許明細書の本件発明の特許請求の範囲の記載に照らし
ても，当業者にとり，明らかであると認められる。他方，本件発明の特許請求の範
囲の記載において，その「被研磨物」の種類が限定されているものではないことも
明らかである。
そうすると，「且つ前記下部の部分は，被研磨物の周縁部と接触して前記被研磨
物を前記キャリア・ヘッドの底部に画定されている被研磨物収容陥凹部に維持す
る，」という事項を追加する訂正事項ｄにより，化学的機械的研磨の対象物を「被
研磨物」と規定することは，当業者にとり，本件特許明細書に記載されているのと
同然と認められる事項を規定するものにすぎず，本件特許明細書に記載した事項の
範囲内においてしたものであると認められるのであるから，訂正事項ｄについても，
特許法１２６条３項の規定に適合するものであり，これを否定した審決の認定判断
は，その点において誤りがある。
しかしながら，審決は，本件訂正を前提として，訂正発明１について，特許出願
の際独立して特許を受けることができるものでなければならないとの要件を検討し，
訂正発明１は当業者が容易に想到することができたものであるから，本件訂正は許
されないとしているところ，後記２ないし５のとおり，審決のその認定判断に誤り
はないから，原告主張の取消事由１について審決の誤りは，審決の結論に影響する
ものではない。
()したがって，原告主張の取消事由１は理由がない。3
２取消事由２（刊行物１記載の発明の認定の誤り）について
()審決が，刊行物１には，「化学的機械的研磨のために，ショルダ２６０，1
上部プレート２７４，断面視でショルダと上部プレートと可撓性リング２７２とで
囲まれる空間を有するツーリングヘッド２０２において，前記ショルダと前記上部
プレートの間に前記空間が配置され，ショルダ２６０は，ショルダ２６０とプラテ
ン２６６との間で機能する圧縮バネ２７０が固定される円形のノッチ２６８を備え，
ウエハ２００と研磨パッド２０６との間の力は圧縮バネ２７０によって制御される，
前記ツーリングヘッド２０２の，摩耗リング２９１を備える保定リング２８２であ
って，プラスチック材料を含み且つ研磨の間に研磨パッド２０６と接触する底部表
面を有する摩耗リング２９１と，前記保定リング２８２のうち摩耗リング２９１よ
り上部の部分と，を有し，前記保定リング２８２のうち摩耗リング２９１より上部
の部分は，保定リング可撓性部材２８４によって，可動性を有するように上部プレ
ート２７４に取り付けられ，前記保定リング２８２の正確な垂直位置は，ツーリン
グヘッドの周縁に沿って間隔を開けられたいくつかのサーボ操作されるネジ２８８
およびセンサ２９０によって制御される保定リング２８２。」（８頁第３段落）と
の刊行物１記載の発明が記載されていると認定したのに対し，原告は，その認定が
誤りである旨主張する。
()刊行物１には，以下の記載がある。2
ア「技術分野本発明は，集積回路などのチップがそこから作られるタイプの
半導体ウエハの研磨に関する。詳細には，化学的，機械的処理(ＣＭＰ)において，
半導体ウエハを，ツーリングヘッドで固定し，制御された化学的に活性な環境の下
で研磨材料と接触させることによって研磨する。」（翻訳文〔特表平１１−５０５
１８１号公報〕の１０頁４行目∼８行目）
イ「例えば，入手可能な多くのＣＭＰ機器において，ウエハの端部付近におい
て材料の除去率が高いことがわかっている。（研磨媒体に対してウエハを固定す
る）プラテンの形状，およびプラテンと（ウエハをプラテンの中心に保つ）保定リ
ングとの関係は，最終的なウエハの平坦性に決定的に重大である。」（同１３頁２
５行目∼２８行目）
ウ「ウエハは，円形プラテンおよびプラテンの外端部の周りに周縁的に方向付
けられた保定リングを備えるツーリングヘッドによって研磨パッドと接触して配置
場所に固定される。ウエハの面と研磨面との係合によって生じるウエハへの横方向
の力に抵抗するために，保定リングが取り付けられて配置される。」（同１５頁１
５行目∼１８行目）
エ「本発明の好ましい実施態様によれば，ウエハと研磨パッドとの間の力は，
(図９に図示される)ツーリングヘッド２０２に位置する圧縮バネによって制御され
る。ツーリングヘッドは，コンピュータによる制御下で，Ｚ方向に移動可能である
ため，使用者は，スラリー()または切除流体の分布および切除効率を改善すslurry
るために，ウエハと研磨パッドとの間にかけられる力を自由にプログラムすること
ができる。例えば，研磨の間にかけられる力を変化させることによって研磨結果を
改善する場合もあり得る。」（同１８頁２２行目∼２８行目）
オ「図９は，本発明の１つの実施態様によるツーリングヘッド２０２の横断面
図である。図示されるように，ポスト２０４は，ショルダ２６０に接続されて，Ｚ
方向への動作および力を提供する。ショルダ２６０は中実の円筒部材であり，中心
に，ガイドボール２６４とかみ合う円筒形のガイドボールソケット２６２を有する。
ガイドボール２６４は，ボルトなどによってプラテン２６６にしっかりと留められ
ている。図示するように，ウエハ２００は，プラテン２６６の下面と接触している。
保定リップ２７３は，プラテン２６６の下面で突出しており，ウエハの端部と接触
することによってウエハをプラテンの中心に保っている。ガイドボール２６４およ
びガイドボールソケット２６２は，プラテン２６６およびショルダ２６０のＸおよ
びＹ方向への正確な位置づけを提供する。好ましくは，ガイドボール２６４は，ガ
イドボールソケット２６２にきっちりと固定され，ＸおよびＹ方向への移動は約０．
０００２インチを下回る。ショルダ２６０はまた，その中に，ショルダ２６０とプ
ラテン２６６との間で機能する圧縮バネ２７０が固定される円形のノッチ()notch
２６８を備える。好ましい実施態様において，バネ２７０は，円形のベルビル
（）バネを積み重ねたものを含む。バネ２７０は，プラテン２６６をウエBellville
ハおよびテーブルに対して偏らせ，Ｚ方向への力，従ってウエハの圧力が変化し得
ることを確実にする。従って，ショルダ２６０およびポスト２０４の位置をＺ方向
に変化させることによって，ウエハ２００と研磨パッドとの間の圧力が正確に制御
され得る。」（同２４頁９行目∼２６行目）
カ「図１０は，本発明の他の実施態様によるツーリングヘッドの断面図である。
ウエハ２００がツーリングヘッド２０２によって固定されて示されている。ウエハ
２００の裏面は，可撓性プラテン２７７とウエハ２００との間でバネとして機能し，
Ｚ方向への力で圧縮可能な，好ましくは弾性材料を含む弾性パッド２９８と接触し
ている。可撓性プラテン２７７は，厚い壁部２７６および薄い面部２７９を含む。
プラテン２７７は，好ましくは，鉄のような金属材料からなる。プラテン２７７の
壁部は，上部プレート２７４に取り付けられ，プラテン２７７の壁部および面部，
ならびに上部プレート２７４によってキャビティ２７８が規定されている。ダイア
フラムとして機能するプラテン２７７の面部に正または負の圧力をかけるために，
キャビティ２７８は気体または液体を充填され得る。キャビティ２７８から気体ま
たは液体を供給および排出するために，ポート２８０が設けられる。好ましい実施
態様によれば，キャビティ２７８内の圧力がプログラム可能かつ正確に制御され得
るように，コンピュータによって制御される電気圧力レギュレータ２８１が設けら
れる。キャビティ２７８内の流体または気体の量を制御することによって，プラテ
ン２７７の面を，凹凸形状にたわますことができ，研磨の間ウエハ２００の形状を
有利に変化させ得る。図１１は，ウエハの端部付近の領域を示す，図１０を参照し
ながら説明した実施態様によるツーリングヘッドの部分断面図である。図示される
ように，ウエハ２００は，ウエハ２００の円周を囲む，磨耗リング２９１を備える
保定リング２８２によって位置に固定されている。保定リング２８２およびプラス
チック磨耗リング２９１は，曲線の反った外端部を有し，これにより，研磨の間，
研磨パッドの平坦化が補助され，ウエハからのより均一な材料の除去をもたらす。
好ましくは，磨耗リング２９１は，研磨パッドによる研磨に耐える高い耐研磨性，
および歪みに耐える良好な寸法安定性の両方を備えたプラスチック材料を含む。保
定リング２８２は，保定リング可撓性部材２８４によって，可動性を有するように
上部プレート２７４に取り付けられる。保定リング可撓性部２８４は，平坦な円形
鉄バンドからなり，上部プレート２７４に留められるクランプリング２７５（図１
０に図示）によって上部プレート２７４に留められる。可撓性部材２８４は，保定
リング２８２が，ウエハ２００の面と実質的に直交する垂直方向に移動することを
可能にする。保定リング２８２の正確な垂直位置は，ツーリングヘッドの周縁に沿
って間隔を開けられたいくつかのサーボ操作されるネジ２８８およびセンサ２９０
によって制御される。センサ２９０は，上部プレート２７４に対する保定リング２
８２の垂直の高さを測定し，好ましくは，コンピュータコントローラに情報を送達
する。コンピュータもまた，操作の間，保定リング２８２の垂直位置をセットする
サーボ操作されるネジ２８８を制御する。保定リング２８２の垂直位置が調節可能
である一方で，ネジ２８８および可撓性部材２８４は，リングを配置位置に固く固
定する・・・」（同２５頁１１行目∼２６頁１８行目）
()原告は，刊行物１の図９ないし図１１が互いに排他的な構成を示すもので3
あるにもかかわらず，審決が，刊行物１記載の発明を，図９ないし図１１にかんが
みて認定するとした誤りがある旨主張する。
ア刊行物１において，図９は，一つの実施態様を示すものであり，「保定リッ
プ２７３は，プラテン２６６の下面で突出しており，ウエハの端部と接触すること
によってウエハをプラテンの中心に保っている。」（上記()オ）の記載及び図９2
によれば，保定リップ２７３は，プラテン２６６に固着されていて，可動性はない。
それに対し，図１０は，図９とは異なる一つの実施態様を示すものであり，「保定
リング２８２は，保定リング可撓性部材２８４によって，可動性を有するように上
部プレート２７４に取り付けられる。保定リング可撓性部２８４は，平坦な円形鉄
バンドからなり，上部プレート２７４に留められるクランプリング２７５（図１０
に図示）によって上部プレート２７４に留められる。可撓性部材２８４は，保定リ
ング２８２が，ウエハ２００の面と実質的に直交する垂直方向に移動することを可
能にする。保定リング２８２の正確な垂直位置は，ツーリングヘッドの周縁に沿っ
て間隔を開けられたいくつかのサーボ操作されるネジ２８８およびセンサ２９０に
よって制御される。」（同カ）との記載及び図１０によれば，保定リング２８２は，
可撓性部材２８４により，上部プレート２７４に取り付けられ，垂直方向に可動で
あり，その点において，図９で示された実施態様と，図１０及び図１０で示された
態様の具体的断面図である図１１で示された実施態様とは異なるものである。
イ審決は，刊行物１記載の発明として，「摩耗リング２９１を備える保定リン
グ２８２」を有する発明を認定しているのであるから，刊行物１の図１０及び図１
１に示された実施態様の発明を刊行物１記載の発明として認定したと認められる。
他方，図１０には，ショルダ２６０内部に圧縮バネ２７０を備える構成が示され
ているところ，図１０については，同構成についての詳細な説明はない（前記()2
カ参照）。しかし，図面を参酌すれば，図１０で示された上記構成は，図９で示さ
れている，ショルダ内部に圧縮バネ２７０を備える構成と同じであると認められ，
図９については，同構成についての説明があり（同オ），図１０の実施態様におい
ても，ショルダ内部の圧縮バネ２７０に係る構成は，図９の実施態様と同様である
と認められる。したがって，審決は，図１０で示された実施態様の発明について，
ショルダ内部の圧縮バネ２７０に係る構成については，図９及びその説明である前
記()オを参酌して，図１０，図１１に示されている実施態様の発明において，2
「ショルダ２６０は，ショルダ２６０とプラテン２６６との間で機能する圧縮バネ
２７０が固定される円形のノッチ２６８を備え，ウエハ２００と研磨パッド２０６
との間の力は圧縮バネ２７０によって制御される」等の構成を備えるものとして，
刊行物１記載の発明を認定したものであり，その認定に誤りはない。
そして，その他，上記()の記載に照らし，審決の刊行物１記載の発明の認定に2
誤りはない。
ウ原告は，図９に示された実施態様と図１０，図１１に示された実施態様が排
他的な関係にあるとして，図９ないし図１１にかんがみて刊行物１記載の発明を認
定するとした審決に誤りがある旨主張するのであるが，上記のとおり，審決は，図
１０，図１１に示された実施態様の発明を刊行物１記載の発明として認定し，ただ，
図１０，図１１に示された実施態様において，ショルダ内部の圧縮バネ２７０に係
る構成等については，図９に示された実施態様と共通すると認められることから，
その点について，図９及びその説明を参酌したにすぎないものであって，原告の主
張は，審決を正解しないもので，失当である。
()原告は，審決が，刊行物１記載の発明について，保定リング２８２に関し4
て，「前記保定リング２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分と，を有し，
前記保定リング２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分は，保定リング可撓
性部材２８４によって，可動性を有するように上部プレート２７４に取り付けら
れ」として，保定リング２８２を「上部の部分」と「上部でない部分」とを有する
と認定したのに対し，審決の認定が誤りである旨主張する。
ア刊行物１には，「図１１は，ウエハの端部付近の領域を示す，図１０を参照
しながら説明した実施態様によるツーリングヘッドの部分断面図である。図示され
るように，ウエハ２００は，ウエハ２００の円周を囲む，磨耗リング２９１を備え
る保定リング２８２によって位置に固定されている。」（前記()カ）等の「摩耗2
リング２９１を備える保定リング２８２」との記載がある。これは，刊行物１の原
文では，「」と記載されているものであretentionring282,whichincludeswearring291
り，保定リング２８２は，摩耗リング２９１を含むものを指していると解釈するこ
とが可能である。審決は，同解釈に基づき，保定リング２８２は，摩耗リング２９
１を含むものであるとし，そのような保定リング２８２のうち，摩耗リング２９１
を含まない部分であり，図１１において，摩耗リング２９１の上部に位置し，引出
線２８２が付された左下がりのハッチングが施された部分を保定リング２８２の
「上部の部分」とし，また，摩耗リング２９１を保定リング２８２の「上部でない
部分」としたものと認められる。刊行物１の上記記載に照らし，審決の認定に誤り
があるとはいえず，また，その「上部の部分」と「上部でない部分」が不明確であ
るとは認められない。
イ原告は，摩耗リング２９１は，その上部が保定リング２８２の底面に部分的
に埋め込まれ，厳密には，保定リング２８２は，磨耗リング２９１より「上部の部
分」と「上部でない部分」とを有するとして，「上部の部分」と「上部でない部
分」が不明確であることなどを主張するが，原告の上記主張は，保定リング２８２
が摩耗リング２９１を含まないものであることを前提とするものであるところ，同
前提は，審決の認定解釈と異なるものであって，審決と異なる認定解釈により，保
定リング２８２の「上部の部分」と「上部でない部分」をとらえて非難するもので
あって，保定リング全体としては，刊行物１の図１０，図１１に示された位置関係
からも，磨耗リング２９１を保定リングの上部でない部分とし，磨耗リング２９１
を含まない部分を保定リングの上部の部分と認めることができるのであることから
も，原告の主張は失当である。
()したがって，原告主張の取消事由２は理由がない。5
３取消事由３（相違点１についての認定判断の誤り）について
()審決は，訂正発明１と引用刊行物１記載の発明の相違点１として，「前者1
（訂正発明１）は，ハウジングとベースの間に配置される空間がローディングチャ
ンバであって，ポリシング・パッドに対するベースの垂直位置を制御するローディ
ングチャンバ内の圧力がポンプにより制御されるのに対して，後者（刊行物１記載
の発明）は，ハウジングとベースとの間で機能する圧縮バネ２７０により，被研磨
物と研磨パッド２０６との間の力が制御される点。」を認定し，「相違点１に係る，
訂正発明１の上記構成及び刊行物１記載の発明の上記構成とは，ベースに印加され
る下方への圧力を制御する点で同等のものということができる。」（１２頁第１段
落）としたのに対し，原告は，訂正発明１におけるローディングチャンバ１０８と，
刊行物１における圧縮バネ２７０とは技術的意義が全く異なり，目的，構成及び作
用効果も全く異なるとして，これらを同等のものとした審決の認定判断が誤りであ
る旨主張する。
()訂正発明１のローディングチャンバに係る構成について，訂正発明１の特2
許請求の範囲には，ローデングチャンバ内の圧力を制御して「ポリシング・パッド
に対する前記ベースの垂直位置を制御する」と記載されており，ローディングチャ
ンバ内の圧力の制御により，ベースの垂直位置を制御するとの構成が記載されてい
て，「ポリシング・パッドに対するベースの垂直位置を制御」するとは，発明の性
質及びベース，ポリシング・パッドの位置関係等に照らしても，ベースに加えられ
る下方への圧力を制御するものであると認められる。
しかし，特許請求の範囲において，上記のとおり認められることを超えて，ロー
ディングチャンバ内の圧力の制御により，キャリア・ヘッド全体を垂直方向に移動
させることなく，ポリシング・パッドと非接触の状態にあった止め輪のポリシング
・パッドへの接触を可能とする構成について，明記されていないことは明らかであ
る。
そして，訂正明細書の発明の詳細な説明には，ローディングチャンバに関し，
「ローディング・チャンバ１０８は，負荷すなわち下方への圧力をベース１０４に
加えるように，ハウジング１０２とベース１０４の間に配置されている。ポリシン
グ・パッド３２に対するベース１０４の垂直の位置も，ローディング・チャンバ１
０８により制御される。」（段落【００２２】），「第二のポンプ（図示せず）は，
ローディング・チャンバ内の圧力とベース１０４に印加される負荷を制御するため
に，ローディング・チャンバ１０８に流体的に接続されることができる。」（段落
【００２８】），「流体がローディング・チャンバ１０８に送り込まれ，ベース１
０４が下向きに押されると，止め輪１１０も，ポリシング・パッド３２に負荷を加
えるように下向きに押される。」（段落【００３３】）との記載がある。これらに
よっても，訂正発明１のローディングチャンバは，その内部の流体圧を制御し，そ
の下方への圧力を制御する構成によって，ベース４に加えられる負荷，ひいては，
ポリシング・パッドに加えられる負荷を制御する機能を有するものであることが認
められる。しかし，訂正明細書の発明の詳細な説明においても，ローディングチャ
ンバ内の圧力の制御により，ポリシング・パッドと非接触の状態にあった止め輪を
ポリシング・パッドと接触させることが記載されているものではないし，止め輪の
ポリシング・パッドへの接触が，キャリア・ヘッドの移動と無関係にされることな
どの構成が記載されているものではない。
そうすると，訂正発明１においては，止め輪のポリシング・パッドへの接触がど
のような構成により可能となるものかについては，特定がされていないと認めるの
が相当である。
()一方，刊行物１記載の発明における「ハウジングとベースとの間で機能す3
る圧縮バネ２７０」は，被研磨物とポリシング・パッドとの間の力が制御されるた
めのものであり，Ｚ方向におけるハウジングの位置変化によってベースに下方への
力を印加し，それにより，被研磨物とポリシング・パッドとの間に力を作用させる
ものである。
したがって，訂正発明１のローディングチャンバと，刊行物１の圧縮バネとは，
前者が内部の圧力を制御しているのに対し，後者がショルダ２６０及びポスト２０
４の位置をＺ方向に変化させている点において差異はあるものの，ベースに対し下
方への押圧力を与える点，すなわちベースに印加される下方への圧力を制御すると
いう機能の点で共通するから，審決における「相違点１に係る，訂正発明１の上記
構成及び刊行物１（甲１）記載の発明の上記構成とは，ベースに印加される下方へ
の圧力を制御する点で同等のものということができる。」（１２頁第１段落）との
認定判断に誤りはない。
()原告は，ローディングチャンバ内の圧力を制御してポリシング・パッドに4
対するベースの垂直位置を制御するということは，ポリシング・パッドに対する止
め輪の垂直位置を制御することを意味し，研磨の間，止め輪の底部表面がポリシン
グ・パッドと接触するところ，止め輪は交換部品であり使用により消耗するもので
あるから，非研磨の間，止め輪をポリシング・パッドと接触させたままとすること
は当業者の常識に反することであり，底部表面が，研磨の間にポリシング・パッド
と接触するということは，非研磨の間にはポリシング・パッドと非接触であること
を意味していることが明らかであるとして，訂正発明１においては，比較的大型の
キャリア・ヘッド全体を垂直方向に移動させることなく，ローディングチャンバ内
の圧力を制御することによって，ベースを垂直に移動させ，止め輪の底部表面をポ
リシング・パッドと接触させることが可能となる旨主張する。
しかし，非研磨の間には止め輪がポリシング・パッドと非接触であるとしても，
キャリアヘッド全体を垂直方向に移動させることにより，止め輪をポリシング・パ
ッドに接触させることができることは明らかなところ，上記()のとおり，訂正発明2
１においては，特許請求の範囲の記載には，止め輪のポリシング・パッドへの接触
がどのような構成により可能となるのかについての特定はないというほかなく，ま
た，訂正明細書の発明の詳細な説明においても，ローディングチャンバ内の圧力の
制御によって，ポリシング・パッドと非接触の状態にあった止め輪をポリシング・
パッドと接触させることが記載されていないのであるから，原告が上記において指
摘する事実が前記()の判断を左右するものとは認められない。3
また，原告は，訂正発明１においては，ベースの垂直位置が制御されて，止め輪
の底部表面がポリシング・パッドと接触したとしても，基板が必然的にポリシング
・パッドと接触することになるものではなく，止め輪１１０の垂直位置は基板１０
の垂直位置とは別々に制御することが可能である旨主張する。
しかし，その主張の根拠とする，ブラダー１４４又はチャンバ１９０内の圧力を
別のポンプで制御することにより基板１０を保持する可撓膜１１８を下方向へ移動
させて基板１０をポリシング・パッド３２に対して押し付けることが可能であると
の構成は，訂正発明１の特許請求の範囲の記載に照らしても，訂正発明１の構成で
あるとは認められないものであり，原告の主張は，前提を欠くもので，失当である。
その他，原告の主張は，上記()のとおり，訂正明細書の記載を参酌しても，採用2
することができないものである。
()したがって，原告主張の取消事由３は理由がない。5
４取消事由４（相違点２についての認定判断の誤り）について
()審決が，「刊行物１記載の発明における止め輪の『上部の部分』を，『下1
部の部分』を構成する『第一の材料』より剛性である『第二の材料』で作ることは，
当業者が容易になし得ることである。」（１４頁第２段落）としたのに対し，原告
は，その判断を争う。
()刊行物１には，保定リングに関し，前記２()ウのとおり，「ウエハは，22
円形プラテンおよびプラテンの外端部の周りに周縁的に方向付けられた保定リング
を備えるツーリングヘッドによって研磨パッドと接触して配置場所に固定される。
ウエハの面と研磨面との係合によって生じるウエハへの横方向の力に抵抗するため
に，保定リングが取り付けられて配置される。」との記載がある。
これにより，刊行物１記載の発明において，保定リングの配置の目的は，ウエハ
の面と係合面によって生じるウエハの横方向の力に抵抗するというものであること
が認められる。そして，横方向の力に抵抗するという保定リングの目的に照らせば，
保定リングが必要な剛性を備えるものとすることは，当業者が設計上，当然に考慮
する事項である。
ここで，刊行物１記載の発明の保定リングについてみると，刊行物１の図１０等
の記載のとおり，保定リングは，保定リングの下部，すなわち摩耗リングにおいて，
研磨パッドと接し，保定リングのうち摩耗リングより上部の部分は，保定リング可
撓性部材によって，可動性を有するように上部プレートに取り付けられているもの
である。そして，刊行物１には，保定リングの材質，剛性等について，「好ましく
は，磨耗リング２９１は，研磨パッドによる研磨に耐える高い耐研磨性，および歪
みに耐える良好な寸法安定性の両方を備えたプラスチック材料を含む。」（前記２
()カ）との保定リングの下部である磨耗リング２９１に関する記載はあるが，他2
に記載はない。
上記のとおり，刊行物１記載の発明の保定リングの目的に照らせば，保定リング
が必要な剛性を備えるものとすることは，当業者が設計上当然に考慮する事項であ
る。そして，保定リングは，上部の部分と下部の部分とからなり，下部の部分は上
部の部分に支持されているところ，下部の部分である磨耗リングの材質については，
研磨パッド及びウエハと接することからくる制約があると認められるが，上部の部
分については，そのような制約がないのであり，保定リング全体として剛性が必要
なとき，保定リングの下部の部分を支持する保定リングの上部の材質について，研
磨パッドと接することからくる制約に服する保定リングの下部の部分の材質より高
い剛性のものとすることは当業者が容易に想到することであると認められる。
()原告は，訂正発明１は，ボルト締めによる止め輪の「変形」や基板と当接3
することによる止め輪の「偏向」に起因する止め輪自体の端部効果助長原因に関す
る技術課題を解決したものであり，刊行物１には，そのような技術課題が示唆され
ていない旨主張する。
しかし，刊行物１に，訂正発明１についての原告主張の技術課題が記載されてい
なかったとしても，刊行物１自体に記載された保定リングの目的に照らし，当業者
が，相違点２に係る訂正発明１の構成に容易に想到することができたと認められる
ことは前記()のとおりである。2
また，原告は，支持するものと支持されるものとがある場合に，支持するものの
方が支持されるものより高剛性のものでなければならないという必然性は存在しな
いこと，刊行物１において，磨耗リング２９１については，高い耐摩耗性及びゆが
みに耐える良好な寸法安定性の両方を備えたプラスチック材料として特記している
のに対し，保定リング２８２についてはその材料について何ら記載していないこと，
金属などの高剛性の材料で保定リング２８２を製造した場合には，保定リング２８
２の重量が高くなり可動性に悪影響を与える可能性があること，従来技術において
は，止め輪はその全体がプラスチックから形成されていたことを挙げ，当業者が，
相違点２に係る訂正発明１の構成に想到することが容易でない旨主張する。
しかし，保定リングの上部の部分の剛性を磨耗リングの剛性より高くすることが，
直ちに，保定リングの上部の部分を金属とし，その重量を大きくするものであると
は認められず，その他，原告主張の事項は，前記()に記載したとおり，刊行物１に2
記載された保定リングの目的等に照らせば，保定リング全体の剛性を高くするため，
保定リングの上部の材質について，下部の部分の材質より高い剛性のものとするこ
とは当業者が容易に想到することであるとの上記判断を左右するものとは認められ
ない。
また，原告は，ウエハ２００の横方向の力は直接的には磨耗リング２９１に作用
するものであり，保定リング２８２は磨耗リング２９１を介して間接的にその横方
向の力を受けるものであること，ウエハからの横方向の力は保定リング２８２にお
いて分散され，かつ，可撓性部材２８４によって吸収される傾向となり，その点か
らも，保定リング２８２の方が磨耗リング２９１よりも高剛性の材料とすることの
可能性は低いこと，図１１に図示されているように，保定リング２８２は磨耗リン
グ２９１と比較してその横方向の幅が大きく設定されていて，磨耗リング２９１よ
りも剛性の低い材料から形成されているので，横方向寸法を大きくして保定リング
２８２の剛性を高めているものであることなどを挙げて，審決の判断を争う。
しかし，ウエハ２００の横方向の力は直接的には磨耗リング２９１に作用するも
のであるとしても，磨耗リング２９１を支持している，保定リング２８２の上部の
部分にも当然に力が作用するものであり，原告主張の事項は，保定リングが必要な
剛性を備えなければならないとき，材質について制約がない保定リングの上部の部
分の材質を，制約がある磨耗リングの材質の剛性よりも高いものとすることに当業
者が想到することを阻害するものとは認められない。
()したがって，原告主張の取消事由４は理由がない。4
５取消事由５（相違点３についての認定判断の誤り）について
()審決が，相違点３の容易想到性判断に当たり，「後者（刊行物２に記載の1
発明）の『主研磨ヘッド部材４０』は，『止め輪』が固定される部材である点に限
り前者（訂正発明１）の『ベース』と共通するものである」（１４頁第４段落）と
認定したのに対し，原告は，刊行物２の主研磨ヘッド部材４０に設けられている真
空マニホールド４２は，訂正発明１のローディングチャンバ１０８に対応するが，
刊行物２に記載された発明は，真空マニホールド４２内の圧力によって基板５０を
吸引又は離脱させており，訂正発明１のベースに対応する部材は存在しないとして，
審決の認定が誤りである旨主張する。
相違点３は，「前者（訂正発明１）は，止め輪の『上部の部分は，ボルトによっ
てキャリア・ヘッドの前記ベースの外縁に固定されるようになっている』のに対し
て，後者（刊行物１記載の発明）は，止め輪の上部の部分は，ベースである上部プ
レート２７４に固定されるのではなく，『保定リング可撓性部材２８４によって，
可動性を有するようにベースである上部プレート２７４に取り付けられ，その正確
な垂直位置は，ツーリングヘッドの周縁に沿って間隔を開けられたいくつかのサー
ボ操作されるネジ２８８およびセンサ２９０によって制御される』点。」というも
のであり，止め輪がどのような方法で固定部材に固定されているかという，止め輪
の固定手段に係る構成の相違である。
そして，刊行物２に記載の発明において，研磨対象物を保持し，訂正発明１の
「止め輪」に相当するものは，「保持リング５２」であり，その「保持リング５
２」の固定手段に関する構成をみると，「保持リング５２」は，「主研磨ヘッド部
材４０の外縁にねじによって固定されている」（審決９頁第２段落）と認められる
のであるから，その固定される部材は，「主研磨ヘッド部材４０」であり，固定手
段としては，ねじによって固定されていると認められる。したがって，相違点３を
検討するに当たり，刊行物２に記載の発明において，訂正発明１の「止め輪」が固
定される部材に相当するものは，「主研磨ヘッド部材４０」と認められ，刊行物２
の「主研磨ヘッド部材４０」について，訂正発明１の「止め輪」が固定される部材
である「ベース」と，「止め輪」が固定される部材である点で共通するものである
とした審決に誤りはない。
原告は，訂正発明１のハウジング１０２は，刊行物２記載の主研磨ヘッド部材４
０に対応し，訂正発明１のベースに対応する部材は存在しない旨主張するが，相違
点３は，「止め輪」の固定手段に係る構成の相違であるから，その観点から，刊行
物２に記載の発明における「止め輪」が固定される部材が問題となるにもかかわら
ず，原告の上記主張は，そのような観点でなく，相違点３においては関係しない機
能を挙げるなどして，訂正発明１と刊行物２に記載の発明の対応関係を主張するも
のであり，採用することができない。
()審決が，「刊行物１記載の発明は，上部部分を含めた止め輪全体が，ベー2
スに相当する上部プレートに対して可動性を有するものであって，当該上部プレー
トに固定されていないが，止め輪をベースに対して可動性を有することを要しない
場合（上述刊行物１記載の図９参照）も存在することは明らかである。そうすると，
刊行物１記載の発明も刊行物２に記載の事項も，ともに，化学的機械的研磨という
同一の技術分野に属するものであることを考慮すれば，刊行物１記載の発明におけ
る止め輪の上部の部分をベースに保持させる方式を，止め輪をベースに対して可動
性を有することを要しないものとし，キャリア・ヘッドのベースの外縁にボルトで
固定するとの事項を適用し，相違点３に係る構成を訂正発明１のそれとすることは，
刊行物２に記載の事項及び慣用手段から当業者が容易になし得ることである。」
（１４頁第５段落）としたのに対し，原告は，その認定判断が誤りである旨主張す
る。
()刊行物１記載の発明においては，止め輪の上部の部分である，保定リング3
２８２のうち磨耗リング２９１より上部の部分は，ベースである上部プレート２７
４に固定されるのではなく，保定リング可撓性部材２８４によって，可動性を有す
るようにベースである上部プレート２７４に取り付けられ，その正確な垂直位置は，
ツーリングヘッドの周縁に沿って間隔を開けられたいくつかのサーボ操作されるネ
ジ２８８およびセンサ２９０によって制御されるものである。しかし，刊行物１記
載の発明と同じ技術分野であり，刊行物１においては，同一発明の異なる実施態様
とされている刊行物１の図９に記載されている化学的機械的研磨の発明において
（前記２()オ，カ），保定リップ２７３は，プラテン２６６に固着されていて，2
可動性はなく，化学的機械的研磨のための止め輪について，ベースに対して不動の
構成とすることがあると認められ，また，刊行物２には，「被研磨物の化学的機械
的研磨装置において，研磨パッドと接触する底部表面を有する止め輪が，止め輪が
固定される部材の外縁に螺合手段によって固定されている」（審決１４頁第５段
落）ことが記載されていることも併せ考えると，「刊行物１記載の発明における止
め輪の上部の部分をベースに保持させる方式を，止め輪をベースに対して可動性を
有することを要しないものとし，キャリア・ヘッドのベースの外縁にボルトで固定
するとの事項を適用し，相違点３に係る構成を訂正発明１のそれとすることは，刊
行物２に記載の事項及び慣用手段から当業者が容易になし得ることである。」（審
決１４頁第６段落）とした審決の判断に原告主張の誤りはない。
()原告は，刊行物１記載の発明に，刊行物１の図９に示された構成及び刊行4
物２に記載の事項を適用することには，阻害要因があるとして，刊行物１記載の発
明の保定リング２８２を上部プレート２７４の外縁部に固定して取り付けた場合に
は，高さの関係Ｈを調節することが不可能となり，その結果，より均一な除去率及
び表面仕上げを得るという所期の目的を達成することは不可能となるから，当業者
は，そのような構成に想到しない旨主張する。
しかし，前記()のとおり，刊行物１の図９に記載されている発明等が化学的機械3
的研磨のための止め輪をベースに対して不動の構成としていることからも明らかな
とおり，化学的機械的研磨のための止め輪の発明においては，止め輪をベースに対
して可動的なものとする構成は，付加的な作用に係る構成であり，化学的機械的研
磨のための止め輪に係る他の各構成と不可分の関係にあるとは認められず，止め輪
をベースに対して可動的なものとすることにより，一定の作用効果を奏するとして
も，同構成をそれと異なる構成とすることが，性質上，困難であるとは認められな
い。このことは，刊行物１記載の発明についても同様であって，原告主張の事項が，
刊行物１記載の発明に，刊行物２に記載された事項を適用することを阻害し，当業
者が相違点３に係る訂正発明１の構成に想到することを困難にするものとは認めら
れない。
()したがって，原告主張の取消事由５は理由がない。5
６以上によれば，原告主張の取消事由はいずれも理由がないから，原告の請求
は棄却することとする。
知的財産高等裁判所第１部
裁判長裁判官塚原朋一
裁判官宍戸充
裁判官柴田義明

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